一种微观检测铬样品的表面处理方法与流程

文档序号:35529643发布日期:2023-09-21 07:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微观检测铬样品的表面处理方法,其特征在于,所述表面处理方法包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(1)所述微观检测铬样品包括靶材、蒸发料或装配配件中的任意一种。

3.根据权利要求1或2所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(1)所述第一抛光处理采用400#砂纸进行;

4.根据权利要求1-3任一项所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(1)所述第二抛光处理采用1000#砂纸进行;

5.根据权利要求1-4任一项所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(1)所述第三抛光处理采用2000#砂纸进行;

6.根据权利要求1-5任一项所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(2)所述辉光放电溅射处理的电压为950-1000v。

7.根据权利要求1-6任一项所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(2)所述辉光放电溅射处理的电流为1.8-2.2ma。

8.根据权利要求1-7任一项所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(2)所述辉光放电溅射处理的温度为-195至-185℃。

9.根据权利要求1-8任一项所述的表面处理方法,其特征在于,步骤(2)所述辉光放电溅射处理的时间为28-32min。

10.根据权利要求1-9任一项所述的表面处理方法,其特征在于,所述表面处理方法包括如下步骤:


技术总结
本发明涉及一种微观检测铬样品的表面处理方法,所述表面处理方法包括如下步骤:(1)对微观检测铬样品的表面依次进行第一抛光处理、第二抛光处理以及第三抛光处理,得到预处理铬样品;(2)对步骤(1)所得预处理铬样品的表面进行辉光放电溅射处理,得到待测铬样品。本发明依次采用三段抛光处理对微观检测铬样品进行预处理,结合辉光放电溅射处理,可以获得组织更为清晰的结构,且辉光放电溅射处理不受操作人员、材料组织及外界环境因素的影响,可操作性强。

技术研发人员:姚力军,潘杰,王学泽,李小萍
受保护的技术使用者:宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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