1.一种微加速度计，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微加速度计，其特征在于，所述第一开孔贯穿至所述电极板的朝向所述第一表面的表面。
3.根据权利要求2所述的微加速度计，其特征在于，所述基体包括多个第二开孔，所述第二开孔包括第二开口，所述第二开口朝向所述电极板，所述多个第二开孔与至少部分的所述第一开孔相连通。
4.根据权利要求3所述的微加速度计，其特征在于，所述第二开孔的数量与所述第一开孔的数量相等，且所述第二开孔与所述第一开孔一一相对并连通。
5.根据权利要求1-4任一项所述的微加速度计，其特征在于，所述基体还包括凹槽，所述凹槽包括第三开口，所述第三开口朝向所述电极板，且与所述至少一个第一开孔相连通。
6.根据权利要求5所述的微加速度计，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的微加速度计，其特征在于，所述多个第一开孔的部分组成第一组开孔，所述第一组开孔设置于所述第一电极板上。
8.根据权利要求7所述的微加速度计，其特征在于，所述多个第一开孔的部分组成第二组开孔，所述第二组开孔设置于所述第二电极板上。
9.根据权利要求7或8所述的微加速度计，其特征在于，所述凹槽包括第一凹槽，所述第一凹槽与所述第一组开孔中的至少一个所述第一开孔相连通。
10.根据权利要求9所述的微加速度计，其特征在于，所述第一凹槽包括至少一个第一凹槽部分，所述第一凹槽部分为长槽，所述第一凹槽部分的长度方向垂直于所述第一方向，且垂直于所述第二方向。
11.根据权利要求10所述的微加速度计，其特征在于，所述第一凹槽还包括至少一个第二凹槽部分，所述第二凹槽部分为长槽，所述第二凹槽部分的长度方向垂直于所述第一方向，且平行于所述第二方向，所述第二凹槽部分与所述第一凹槽部分相连通。
12.根据权利要求11所述的微加速度计，其特征在于，
13.根据权利要求9所述的微加速度计，其特征在于，所述凹槽包括第二凹槽，所述第二凹槽与所述第二组开孔中的至少一个所述第一开孔相连通。
14.根据权利要求8所述的微加速度计，其特征在于，所述第一组开孔中的第一开孔的数量大于所述第二组开孔中的第一开孔的数量。
15.根据权利要求1-4任一项所述的微加速度计，其特征在于，
16.根据权利要求15所述的微加速度计，其特征在于，所述通孔数量与所述第一开孔的数量相等且一一相对。
17.根据权利要求1-4任一项所述的微加速度计，其特征在于，
18.根据权利要求17所述的微加速度计，其特征在于，
19.根据权利要求18所述的微加速度计，其特征在于，
20.根据权利要求1-4任一项所述的微加速度计，其特征在于，所述第一开孔的在所述第一方向上的高度大于或者等于1微米，且小于或者等于10微米。
21.根据权利要求5所述的微加速度计，其特征在于，所述凹槽在所述第一方向上的高度小于或者等于100微米。
22.根据权利要求1-4任一项所述的微加速度计，其特征在于，所述基体的第一表面上未被所述电极板覆盖的区域设有至少一个第三开孔。
23.一种微加速度计，其特征在于，包括：
24.一种电子设备，其特征在于，包括：