专利名称：电容式微压传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种电容器，特别涉及一种用改变电容容量直接测量流体微小压力的电容式微压传感器。
现有的电容式传感器，壳体与膜片的结合用滚焊连接，这种结构易使膜片晶格破坏，影响精度，至使输出信号小，并且固定极上用蒸铝，易挥发，长期稳定性不好，由容量变化而产生的非线性严重，零点漂移大，抗干扰能力差。
本实用新型的目的是解决上述现有技术中所存在的问题，提供一种输出信号大，零点漂移小的电容式微压传感器。
本实用新型是这样实现的上壳体和底壳由锁紧环连接，在壳体内安装有底座，在底座右端面采用氩弧焊接一个弹簧片，底座和弹簧片之间自然形成一个气室，在底壳内还分别安装有极板、固定板、线路板和垫圈，极板上的接线端子与线路板上的电子元件相连接组成电子线路，在上壳体上通过紧固螺钉、垫环、安装接口，接口通过导线与电子线路的输出端相联接，一旦底座的进气口的压力改变，弹簧片发生变形，电容极片受压后发生变化，改变电容的容量，通过电子线路转换成电信号输出。
图1为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型的电子线路连接以下结合附图提供本实用新型的实施例如图所示，本实用新型具有底壳1，底壳1与上壳体7由锁紧环6连接锁紧；在底壳1内安装底座2、底座2具有进气口，在底座2的外径开有槽以与端部相连接的弹簧片10氩弧焊接均匀，使底座2与弹簧片10之间自然形成一个气室，气压的变化可使弹簧片10变化幅度增大，输出信号大。在底壳1内还分别安装有极板3、固定板4、极板5以及固定板12，在极板3与弹簧片10之间、极板3与固定板4之间，固定板4与极板5之间、极板5与固定板12之间安装有垫圈11，极板3、极板5的中部镀有一层金属钛作为极面，极板3的极面与弹簧片10之间构成传感电容(C1)，极板5与固定板4之间构成平衡电容(C3)，极板3、极板5的接线柱通过导线分别与线路板上的a、b结点连接(见线路图2)，与线路板14上的电子原件二极管、电容C2、电阻R组成的电子线路；线路板14通过螺丝15、绝缘垫圈13紧固在固定板12上，固定板12通过外螺纹与底座2的内螺纹配合锁紧，由于采用了用屏蔽线分路引出，并与线路板上的电子原件连接，因而可增强传感能力，增强了电容的抗干扰能力，减小零点漂移；在极板3镀钛的极面上挖一个三角形，以减小其容量变化时产生的非线性；在上壳体7上通过紧固螺钉9、垫环16安装接口8，电子线路的输出端通过导线与接口8连接，当接口8与二次仪表相连可实现数字显示。
权利要求1.一种用改变电容容量直接测量流体微小压力的电容式微压传感器，包括由锁紧环连接的上壳体和底壳组成壳体，在壳体内安装有底座、极板、线路板，上壳体上通过紧固螺钉、垫环、安装接口，接口通过导线与电子线路的输出端相联接，其特征是在底座(2)的外径开有槽并且端部氩弧焊接弹簧片10，底座与弹簧片之间形成一个气室，极板(3)、极板(5)的接线柱用屏蔽线分别与线路板上的a、b结点连接，在极板(3)镀钛的极面上挖有一个三角形。
专利摘要一种测量流体微小压力的电容式微压传感器，解决了现有的电容式传感器，输出信号小，极板上的蒸铝易挥发，长期稳定性不好，由容量变化而产生的非线性严重，零点漂移大的问题；其特征是在底座右端面采用氩弧焊接弹簧片，底座和弹簧片之间自然形成一个气室，可使输出信号大；极板上的接线端子与线路板上的电子元件连接采用屏蔽线分路引出，因而可增强传感能力和电容的抗干扰能力，减小零点漂移，在极板镀钛的极面上挖一个三角形，以减小其容量变化时产生的非线性。
文档编号G01L9/12GK2098678SQ91217129
公开日1992年3月11日 申请日期1991年6月24日 优先权日1991年6月24日
发明者陈才 申请人:陈才