。本发明采用垫片9调节装置，实现保证刀架5稳定性的前提下，精细微调，相对于一般的无级调节装置，更加稳固，才能适应成像样品7加工；相对于一般的分级调节装置，更加精细，才能满足本发明加工平整性的要求。
[0030]以下为实施例:
[0031]实施例1
[0032]一种显微成像样品7的平面加工装置，结构如图1所示，所述金刚石刀4以XZ平面作为接触面装配在所述刀架5上，刀刃沿Y方向设置。
[0033]所述支架座1，用来安装精密三维平移台以及刀架5。
[0034]所述刀架5，通过固定孔6安装在支架座I横梁上，用于装配金刚石刀4。
[0035]所述金刚石刀刀头8的刀角α，其角度为45度，所述金刚石刀4的第一后刀面和XY平面交角β，其角度为10度。所述金刚石刀4和所述刀架5之间设置有垫片9微调装置，所述垫片9微调装置，用于调节刀刃和Y方向的夹角Θ，使得Θ不超过0.25mrad。所述垫片9调微调装置，采用厚度100 μ m的硬塑料纸作为垫片9。
[0036]所述三维精密移动平台2，其上设有样品槽3，带动样品槽3分别沿X、Y和Z方向运动，X方向为进刀方向，Y方向为换刀方向，Z方向为样品7切除方向。X方向为连续运动装置，Y方向为步进运动装置，步长为2毫米之间，Z方向为步进运动装置，步长在5微米之间。
[0037]所述支架座I基座上设置三维精密移动平台2，横梁上固定有所述刀架5，所述金刚石刀4以XZ平面作为接触面装配在所述刀架5上，刀刃沿Y方向设置。刀架5通过固定在支架座I的横梁上。在三维精密移动平台2上安装有样品槽3，可以把样品7固定在样品槽3中，这样就可以控制三维精密移动平台2来对样品7进行三维的移动。
[0038]实施例2
[0039]一种显微成像样品7的平面加工装置，结构如图1所示，所述金刚石刀4以XZ平面作为接触面装配在所述刀架5上，刀刃沿Y方向设置。
[0040]所述支架座1，用来安装精密三维平移台以及刀架5。
[0041]所述刀架5，通过固定孔6安装在支架座I横梁上，用于装配金刚石刀4。
[0042]所述金刚石刀刀头8的刀角α，其角度为35度，所述金刚石刀4的第一后刀面和XY平面交角β，其角度为9度。所述金刚石刀4和所述刀架5之间设置有垫片9微调装置，所述垫片9微调装置，用于调节刀刃和Y方向的夹角Θ，使得Θ不超过0.25mrad。所述垫片9调微调装置，采用厚度100 μ m的硬塑料纸作为垫片9。
[0043]所述三维精密移动平台2，其上设有样品槽3，带动样品槽3分别沿X、Y和Z方向运动，X方向为进刀方向，Y方向为换刀方向，Z方向为样品7切除方向。X方向为连续运动装置，Y方向为步进运动装置，步长为1.5毫米之间，Z方向为步进运动装置，步长在I微米之间。
[0044]所述支架座I基座上设置三维精密移动平台2，横梁上固定有所述刀架5，所述金刚石刀4以XZ平面作为接触面装配在所述刀架5上，刀刃沿Y方向设置。刀架5通过固定在支架座I的横梁上。在三维精密移动平台2上安装有样品槽3，可以把样品7固定在样品槽3中，这样就可以控制三维精密移动平台2来对样品7进行三维的移动。
[0045]实施例3
[0046]—种显微成像样品7的平面加工装置，结构如图1所示，所述金刚石刀4以XZ平面作为接触面装配在所述刀架5上，刀刃沿Y方向设置。
[0047]所述支架座1，用来安装精密三维平移台以及刀架5。
[0048]所述刀架5，通过固定孔6安装在支架座I横梁上，用于装配金刚石刀4。
[0049]所述金刚石刀刀头8的刀角α，其角度为30度，所述金刚石刀4的第一后刀面和XY平面交角β，其角度为8度。所述金刚石刀4和所述刀架5之间设置有垫片9微调装置，所述垫片9微调装置，用于调节刀刃和Y方向的夹角Θ，使得Θ不超过0.25mrad。所述垫片9调微调装置，采用厚度100 μ m的硬塑料纸作为垫片9。
[0050]所述三维精密移动平台2，其上设有样品槽3，带动样品槽3分别沿X、Y和Z方向运动，X方向为进刀方向，Y方向为换刀方向，Z方向为样品7切除方向。X方向为连续运动装置，Y方向为步进运动装置，步长为I毫米之间，Z方向为步进运动装置，步长在0.2微米之间。
[0051]所述支架座I基座上设置三维精密移动平台2，横梁上固定有所述刀架5，所述金刚石刀4以XZ平面作为接触面装配在所述刀架5上，刀刃沿Y方向设置。刀架5通过固定在支架座I的横梁上。在三维精密移动平台2上安装有样品槽3，可以把样品7固定在样品槽3中，这样就可以控制三维精密移动平台2来对样品7进行三维的移动。
[0052]本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种显微成像样品的平面加工装置，其特征在于，包括金刚石刀(4)、刀架(5)、三维精密移动平台(2)和支架座(I)，所述三维精密移动平台(2)带动样品槽(3)分别沿X、Y和Z方向运动，X方向为进刀方向，Y方向为换刀方向，Z方向为样品切除方向；所述金刚石刀(4)以XZ平面作为接触面装配在所述刀架(5)上，刀刃沿Y方向设置，所述金刚石刀(4)的刀头(8)的刀角角度在30度到45度之间，所述金刚石刀(4)的第一后刀面和XY平面交角在8度到10度之间；所述刀架(5)以XZ平面作为接触面装配在支架座(I)的横梁上，之间设置有垫片微调装置。
2.如权利要求1所述的平面加工装置，其特征在于，所述垫片微调装置，用于调节刀刃和Y方向的夹角9，使得Θ不超过0.25mrad。
3.如权利要求1或2所述的平面加工装置，其特征在于，所述垫片调微调装置，采用硬塑料纸作为垫片(9)。
4.如权利要求1所述的平面加工装置，其特征在于，所述三维精密移动平台(2)Z方向为步进运动装置，步长在0.2微米至5微米之间。
5.如权利要求1所述的平面加工装置，其特征在于，所述三维精密移动平台(2)Y方向为步进运动装置，步长在I毫米至2毫米之间。
【专利摘要】本发明公开了一种显微成像样品的平面加工装置，包括金刚石刀、刀架、三维精密移动平台和支架座，所述三维精密移动平台带动样品分别沿X、Y和Z方向运动，X方向为进刀方向，Y方向为换刀方向，Z方向为样品切除方向；所述金刚石刀以XZ平面作为接触面装配在所述刀架上，刀刃沿Y方向设置，所述金刚石刀的刀角角度在30度到45度之间，所述金刚石刀的第一后刀面和XY平面交角在8度到10度之间；所述刀架以XZ平面作为接触面装配在支架座的横梁上，之间设置有垫片微调装置。本发明提供的装置，能高效的加工出平整度高的样品平面，可应用于大面积树脂样品或多样品包埋的树脂样品，无需抛光，不破坏内部结构。
【IPC分类】G01N1-28
【公开号】CN104833553
【申请号】CN201410566913
【发明人】曾绍群, 吕晓华, 杨涛, 尚振华, 黄凯
【申请人】华中科技大学
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2014年10月22日