用于测试电子元件的装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种用于测试电子元件的装置。
【背景技术】
[0002] 通常，电子元件在其生产后需要进行特定的试验，以便测试其电性能。对此，通常 在可升降的柱塞（Stempel)上固定槽件（Nest)，在所述槽件中可精确定位电子元件。然而， 众所周知，多个电子元件固定在支脚上，然后将整个支脚定位在槽件中。
[0003] 柱塞与槽件属于搬运装置，即，所谓的处理机构。通常在所述处理机构上固定测试 头，通过所述测试头评价输入信号，然后决定被测试电子元件的质量。电子元件单个与测试 插座或（在使用支脚时）以组群的方式与一个或多个测试插座同时连接。在此，电子元件 以预先设定的力被挤压接触测试插座的测试接触部。
[0004] 已经发现，随着时间的推移，测试插座的测试接触部受到污染，例如，由于锡及其 氧化物的沉积，其中，导电性能下降，且电子元件的有意义的测试一直很难进行。因此，测试 接触部必须在相对短的时间间隔内进行清洁或更换。
[0005] 对此，测试必须中断，且测试插座必须拆下，且经常甚至被拆除。在测试接触部清 洁或更换后，完成组装，且测试装置以反向的顺序重新调试。
[0006] 已经尝试设置清洁装置，在预先设定数量测试作业的测试后，自动终止测试，进入 在测试插座的范围中，测试接触部进行人工清洁，如借助刷子。然而，在所述方法中，电子元 件的实际测试被终止，使得平均的循环时间延长。
[0007] 还有，已经使用的简洁的清洁假体。所述简洁的清洁假体具有与待测试的电子元 件相同的形状。然而，用具有清洁功能的部件替代接触部。由于在具有清洁功能的部件与 测试插座的测试接触部之间的小的相对移动，清洁效果评级较低。因此，所述简洁清洁假体 通常必须渗入到测试中，以便避免测试结果变差。同样，几乎不可能改造旧的处理机构，因 为所述旧的设备不能区分待测试的电子元件与清洁假体。所述方法还延长了平均的循环时 间。
[0008] 在US 2011/0 132 396 Al中公开了用于清洁接触件及测试接口的支撑结构的清 洁材料（Reinigungsmarerial)，例如测试插座，其用于半导体元件的功能测试。所述清洁材 料包括清洁层，在其下方设置多个的中间层，用于支撑清洁层。使用清洁材料可以清除接触 件与支撑结构的污染物。
[0009] 在DE 10 2008 029 129 Al中公开了用于连接特别是IC的电子元件的连接装置， 其具有连接插座的连接弹簧。提供具有带运动机构及清洁带的带清洁装置，所述清洁带通 过连接插座的连接弹簧引导。清洁带包括：至少一个凹槽，通过所述凹槽输送元件，及至少 一个清洁区域，所述清洁区域在其面向接触弹簧的一侧上具有粘结层。
[0010] 在US 2007/0 205 753 Al中公开了用于清洁自动测试装置的接触销的方法，其 中，备用清洁装置设置在测试插座中，以便用清洁剂清洁接触销。
【发明内容】
[0011] 发明的目的在于，提供用于测试电子元件的装置，所述装置减少或完全避免了现 有装置的缺点。
[0012] 根据本发明，该目的通过具有权利要求1的特征的用于测试电子元件的装置实 现。由此，至少一个清洁单元这样地构造，即，在每个测试过程中测试接触部与至少一个清 洁单元接触，测试接触部在每次测试之前和/或之后进行清洁，使得在测试接触部上不会 形成较大的沉积物而且不需要为清洁而终止测试由于清洁实际上在测试过程中已经完成， 不必安排用于清洁的额外时间，使得平均的循环时间没有延长。
[0013] 因为在每个测试过程中做清洁，针对清洁不必使用腐蚀性清洁剂。因此每次仅需 要清除非常少量的污染物。此外，不存干燥物及氧化物固化的危险，因为由电子元件运输到 试接触部上的沉积物在测试下个电子元件前已经被再次清除。
[0014] 本发明的其它的细节及优点将在从属权利中给出。
[0015] 在本发明的实施方式中，设置至少一个清洁单元，使得其与槽件一起移动。由此， 清洁单元参与槽件的每次移动。因此可以确保当槽件进入测试位置上时实施清洁过程。而 且，当槽件返回到位置上时，还实施第二次清洁过程，其中，已完成测试的电子元件由还未 测试的电子元件替换。这表示，每个测试循环实施两次清洁过程，即，当槽件被置于测试位 置上时的测试前的清洁过程，以及当槽件再次返回时的测试后的清洁过程。
[0016] 在第一实施例中，在槽件上或具有槽件移动的柱塞上设置至少一个清洁单元。在 所述实施例中，必要的清洁单元的数量取决于电子元件的接触部的状态。如果接触部设置 在电子元件的两个相对的侧面上，则同样地使用两个清洁单元。
[0017] 然而，如果接触部分布在电子元件的所有四个侧面上，则还可能需要四个清洁单 元，因为所述测试插座的测试接触部也适当地设置。在电子元件的一侧设置有接触部及测 试插座的相应设置的测试接触部的情况下，一个清洁单元是足够的。
[0018] 为了使待测试的电子元件位置精确地固定在槽件中，经常使用特殊的固定件 (Halteglieder)。所述固定件通常通过锁定机构与槽件连接，使得所述待测试的电子元件 处在槽件与固定件之间。在本发明的第二实施例中，电子元件通过固定件固定在槽件中，可 以使至少一个清洁单元固定在固定件上。当然，也可以将清洁功能直接集成在固定件中。
[0019] 在另一实施例中，至少一个清洁单元可移动地设置在测试插座上。在所述实施例 中，清洁单元不参与槽件的整个移动，而槽件仅作为针对移动的驱动，所述移动必须足够 远，使得所述清洁单元可以完成其清洁功能。
[0020] 也可能，清洁单元例如磁力地或机械地连接在槽件的移动部上，且在槽件返回移 动时再次取消所述连接。然而特别有利的是，至少一个清洁单元逆着弹性件的力抵靠测试 插座移动。通过该方式无需连接，因为在槽件返回移动期间压力消退，弹性件的清洁单元恢 复到其初始位置。
[0021] 在此，至少一个清洁单元移动通过槽件自身或通过与槽件相连的部分。这种与槽 件相连的部分例如可以是待测试的电子元件的自身。为了避免损伤电子元件，优选地，因此 使用固定件，或使用附加设置在槽件上的剪切闸板（Schubstdikl )。
[0022] 也在所述实施例中，每个测试循环实施两次清洁过程，使得对于所有的变体存在 测试接触部的高强度清洁，且可以可靠地避免不期望的颗粒沉积。
[0023] 优选地，至少一个清洁单元包括基身（Gmndkdrper)和至少一个接触模块。根据 实施例，设置多个分别仅具有一个接触模块的清洁单元，或仅设置一个具有多个接触模块 的清洁单元。
[0024] 所述接触模块可以有非常不同的设计。优点已经得到验证，即，当至少一个接触模 块具有刷毛时。所述刷毛可以如此选择，使其达到好的清洁作用，而不磨损或损伤测试接触 部。可以通过刷毛的表面、长度、硬度及弹性设置实现所期望的特性。
[0025] 然而也可能的是，接触模块由其它材料制造。这同样得到证明，如果至少一个接触 模块由弹性材料组成，其中，待清洁测试接触部的至少一个接触模块的表面包括预先确定 的表面粗糙度。这种接触模块可以通过如非常廉价的泡沫塑料加工制成，其中，在此可以简 单地通过设置基体材料及泡沫塑料的密度实现所期望的特性。
[0026] 优选地，至少一个接触模块具有硬度，其确保稳定清洁测试插座的测试接触部，同 时不损伤测试接触部。然而，这意味着，连接模块优选地比测试接触部柔软，因此受到磨损。 为了可以确保稳定清洁测试接触部，因此，在实施例中至少一个清洁单元可以更换。