一种振弦式压力传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种振弦式压力传感器，属于压力传感器技术领域。
【背景技术】
[0002]目前，压力传感器主要采用振弦式，这种传感器的振弦一端固定，另一端连结在弹性感压膜片上。弦的中部装有一块软铁，置于磁铁和线圈构成的激励器的磁场中。但这种压力传感器的非线性会影响测量精度，对工作频段和预应力的设置要求比较高。
【发明内容】
[0003]目的:为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种振弦式压力传感器。
[0004]技术方案:为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为:
一种振弦式压力传感器，包括振弦、基座、永久磁铁、高压侧膜片、低压侧膜片、保护管、固定件、传压通道、硅油，所述永久磁铁包括N极磁铁、S极磁铁，所述基座两侧分别设置有高压侧膜片、低压侧膜片，所述基座顶部固定有保护管，所述保护管上、下两端分别设置有N极磁铁、S极磁铁；所述高压侧膜片、低压侧膜片之间还设置有传压通道，所述传压通道内设置有硅油；所述保护管内设置有振弦，振弦一端与固定件相连接，所述固定件与高压侧膜片内侧相接触，振弦另一端与低压侧膜片相连接。
[0005]还包括初始张力弹簧片，所述初始张力弹簧片设置在低压侧膜片内，用于保证振弦具有初始张力。
[0006]还包括保护外壳、垫圈、过载保护弹簧，所述保护外壳设置在低压侧膜片外侧，保护外壳内设置有垫圈，所述过载保护弹簧一端设置在垫圈上，另一端与低压侧膜片外侧相接触。
[0007]还包括绝缘衬垫，所述绝缘衬垫分别套接在保护管两端。
[0008]作为优选方案，所述固定件设置为帽状结构。
[0009]作为优选方案，所述高压侧膜片、低压侧膜片的材质均采用铜铍合金。
[0010]有益效果:本发明提供的一种振弦式压力传感器，本设计具有较强的抗干扰能力，零漂小、温度特性好、结构简单、分辨率高、性能稳定。
【附图说明】
[0011]图1为本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本发明作更进一步的说明。
[0013]如图1所示，一种振弦式压力传感器，包括振弦1、基座2、永久磁铁、高压侧膜片3、低压侧膜片4、保护管5、固定件6、传压通道7、硅油8，所述永久磁铁包括N极磁铁9、S极磁铁10，所述基座2两侧分别设置有高压侧膜片3、低压侧膜片4，所述基座2顶部固定有保护管5，所述保护管5上、下两端分别设置有N极磁铁9、S极磁铁10 ;所述高压侧膜片3、低压侧膜片4之间还设置有传压通道7，所述传压通道7内设置有硅油8 ;所述保护管5内设置有振弦1，振弦I 一端与固定件6相连接，所述固定件6与高压侧膜片3内侧相接触，振弦I另一端与低压侧膜片4相连接。
[0014]还包括初始张力弹簧片11，所述初始张力弹簧片11设置在低压侧膜片4内，用于保证振弦具有初始张力。
[0015]还包括保护外壳12、垫圈13、过载保护弹簧14，所述保护外壳12设置在低压侧膜片4外侧，保护外壳12内设置有垫圈13，所述过载保护弹簧14 一端设置在垫圈13上，另一端与低压侧膜片4外侧相接触。
[0016]还包括绝缘衬垫15，所述绝缘衬垫15分别套接在保护管5两端。
[0017]具体使用方式如下:当施加差压时，硅油自传压通道挤向低压膜片，离开低压侧底座增加振弦的张力，提高谐振频率，差压变化使得振弦的振动频率相应改变。传感器具有过载保护装置，过压时垫圈中央的过载保护弹簧压缩产生反作用力，使振弦张力不再增大，高压侧膜片将紧贴于基座上有效地防止过载损坏膜片。
[0018]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种振弦式压力传感器，包括振弦、基座、永久磁铁，其特征在于:还包括:高压侧膜片、低压侧膜片、保护管、固定件、传压通道、硅油，所述永久磁铁包括N极磁铁、S极磁铁，所述基座两侧分别设置有高压侧膜片、低压侧膜片，所述基座顶部固定有保护管，所述保护管上、下两端分别设置有N极磁铁、S极磁铁；所述高压侧膜片、低压侧膜片之间还设置有传压通道，所述传压通道内设置有硅油；所述保护管内设置有振弦，振弦一端与固定件相连接，所述固定件与高压侧膜片内侧相接触，振弦另一端与低压侧膜片相连接。2.根据权利要求1所述的一种振弦式压力传感器，其特征在于:还包括初始张力弹簧片，所述初始张力弹簧片设置在低压侧膜片内，用于保证振弦具有初始张力。3.根据权利要求1所述的一种振弦式压力传感器，其特征在于:还包括保护外壳、垫圈、过载保护弹簧，所述保护外壳设置在低压侧膜片外侧，保护外壳内设置有垫圈，所述过载保护弹簧一端设置在垫圈上，另一端与低压侧膜片外侧相接触。4.根据权利要求1所述的一种振弦式压力传感器，其特征在于:还包括绝缘衬垫，所述绝缘衬垫分别套接在保护管两端。5.根据权利要求1所述的一种振弦式压力传感器，其特征在于:所述固定件设置为帽状结构。6.根据权利要求1所述的一种振弦式压力传感器，其特征在于:所述高压侧膜片、低压侧膜片的材质均采用铜铍合金。
【专利摘要】本发明公开了一种振弦式压力传感器，包括振弦、基座、永久磁铁、高压侧膜片、低压侧膜片、保护管、固定件、传压通道、硅油，所述永久磁铁包括N极磁铁、S极磁铁，所述基座两侧分别设置有高压侧膜片、低压侧膜片，所述基座顶部固定有保护管，所述保护管上、下两端分别设置有N极磁铁、S极磁铁；所述高压侧膜片、低压侧膜片之间还设置有传压通道，所述传压通道内设置有硅油；所述保护管内设置有振弦，振弦一端与固定件相连接，所述固定件与高压侧膜片内侧相接触，振弦另一端与低压侧膜片相连接。本发明提供的一种振弦式压力传感器，具有较强的抗干扰能力，零漂小、温度特性好、结构简单、分辨率高、性能稳定。
【IPC分类】G01L1/10, G01L7/08
【公开号】CN105181214
【申请号】CN201510273238
【发明人】薛文英
【申请人】苏州华徕光电仪器有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年5月26日