号输出端子1312、和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，在影像信号输出端子1312上连接有影像监视器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且，形成了如下的结构，即，通过预定的操作，从而使存储于存储器1308中的摄像信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。
[0224]在这种数码照相机1300中，内置有作为角速度检测单元而发挥功能的物理量传感器I。
[0225]并且，具备本发明的物理量传感器的电子设备除了能够应用于图12的个人计算机(便携式个人计算机)、图13的移动电话、图14的数码照相机中之外，还能够应用于如下装置中，例如，喷墨式喷出装置(例如，喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、各种导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括带有通信功能的产品)、电子词典、台式电子计算器、电子游戏设备、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS (point of sale:销售点)终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量设备类(例如，车辆、飞机、船舶的计量设备类)、飞行模拟器等。
[0226]3.移动体
[0227]接下来，利用图15，对应用了本发明的物理量传感器的移动体进行详细说明。
[0228]图15为表示应用了具备本发明的物理量传感器的移动体的汽车的结构的立体图。在汽车1500中，内置了作为角速度检测单元而发挥功能的物理量传感器1，能够通过物理量传感器I而对车身1501的姿态进行检测。来自物理量传感器I的信号被供给至车身姿态控制装置1502，车身姿态控制装置1502根据该信号，对车身1501的姿态进行检测，根据检测结果，能够对悬架的软硬进行控制，或者，对各个车轮1503的制动器进行控制。此夕卜，这样的姿态控制可以利用于双脚行走机器人或遥控直升飞机。如上所示，当实现各种移动体的姿态控制时，装入物理量传感器I。
[0229]以上，关于图示的实施方式，对本发明的物理量传感器进行了说明，但是，本发明并不限定于此，构成物理量传感器的各部能够置换为可发挥同样的功能的任意结构。另外，也可以附加任意的结构物。
[0230]另外，本发明的物理量传感器、电子设备以及移动体也可以对所述各实施方式中的任意的两个实施方式以上的结构(特征)进行组合。
[0231]另外，在所述各实施方式中，盖基板以对主面为含有硅的(100)面的单晶硅基板进行加工的方式形成，但是，在本发明中，并不限定于此，例如，也可以以对主面含有硅
(110)面的单结晶基板的基料进行加工的方式形成。
[0232]符号说明
[0233]1......物理量传感器；
[0234]I’……物理量传感器；
[0235]IA......物理量传感器；
[0236]IB……物理量传感器；
[0237]2......支承基板；
[0238]2B......支承基板；
[0239]21......空穴部;
[0240]22......凹部；
[0241]222……间隙；
[0242]23......凹部；
[0243]24......凹部；
[0244]24A......凹部?’
[0245]24B......凹部；
[0246]3......元件片；
[0247]31……固定部；
[0248]32......固定部；
[0249]33……可动部；
[0250]34......连结部；
[0251]341......梁；
[0252]342......梁；
[0253]35……连结部；
[0254]351……梁；
[0255]352......梁；
[0256]36......可动电极部；
[0257]361......可动电极指;
[0258]362......可动电极指；
[0259]363......可动电极指;
[0260]364......可动电极指;
[0261]365……可动电极指；
[0262]37……可动电极部；
[0263]371……可动电极指；
[0264]372……可动电极指；
[0265]373……可动电极指；
[0266]374……可动电极指；
[0267]375……可动电极指；
[0268]38......固定电极部；
[0269]381……固定电极指；
[0270]382……固定电极指；
[0271]383……固定电极指;
[0272]384……固定电极指；
[0273]385……固定电极指；
[0274]386……固定电极指；
[0275]387……固定电极指;
[0276]388......固定电极指；
[0277]39……固定电极部；
[0278]391......固定电极指；
[0279]392......固定电极指；
[0280]393……固定电极指；
[0281]394......固定电极指；
[0282]395……固定电极指；
[0283]396……固定电极指；
[0284]397……固定电极指；
[0285]398......固定电极指；
[0286]4......导体图案；
[0287]41......配线；
[0288]42......配线；
[0289]43......配线；
[0290]44......电极；
[0291]45......电极；
[0292]46......电极；
[0293]471......突起；
[0294]472......突起；
[0295]481......突起；
[0296]482......突起；
[0297]5......盖基板；
[0298]5A......盖基板；
[0299]50……突起；
[0300]51……凹部；
[0301]52......贯通孔;
[0302]54......侧面；
[0303]6......绝缘膜;
[0304]7......密封材料；
[0305]7a......密封材料；
[0306]7b......密封材料；
[0307]7......密封材料?’
[0308]100......腔室；
[0309]1100......个人计算机；
[0310]1102......键盘;
[0311]1104......主体部；
[0312]1106......显示单元；
[0313]1108......显示部；
[0314]1200......移动电话；
[0315]1202......操作按钮；
[0316]1204......听筒；
[0317]1206......话筒；
[0318]1208......显示部；
[0319]1300......数码照相机；
[0320]1302......壳体；
[0321]1304......受光单元；
[0322]1306.......决门按钮;
[0323]1308......存储器；
[0324]1310......显示部；
[0325]1312......影像信号输出端子；
[0326]1314......输入输出端子；
[0327]1430......影像监视器；
[0328]1440......个人计算机；
[0329]1500......汽车；
[0330]1501......车身；
[0331]1502......车身姿态控制装置；
[0332]1503......车轮；
[0333]K……边界部；
[0334]T2……熔点(软化点)；
[0335]T5……熔点(软化点)；
[0336]T7……熔点(软化点)；
[0337]Wl......宽度；
[0338]W2......宽度；
[0339]Θ……倾斜角度。
【主权项】
1.一种物理量传感器，其特征在于，具备: 传感器元件； 支承基板，其一个面上配置有所述传感器元件，且所述支承基板具有设置于所述一个面上的槽； 配线，其设置于所述槽中，并与所述传感器元件电连接； 盖基板，其与所述一个面接合，并对所述传感器元件进行收纳； 密封材料，其在所述槽中的、所述盖基板与所述支承基板间的边界部对所述槽进行密封，且所述密封材料熔点低于所述支承基板以及所述盖基板的熔点或者软化点。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中， 在所述盖基板上，形成有贯通孔，所述贯通孔在厚度方向上贯通，并与所述槽连通，在由所述贯通孔形成的所述边界部处，通过所述密封材料而对所述槽进行密封。3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中， 所述密封材料对所述贯通孔以及所述槽总括在一起进行密封。4.如权利要求2所述的物理量传感器，其中， 所述槽被设置有多个， 所述贯通孔在所述盖基板的俯视观察时分别与多个所述槽交叉。5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中， 所述密封材料被配置于所述盖基板的所述边界部、且为边缘部的位置。6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中， 所述密封材料包含金属材料或者低熔点玻璃材料。7.如权利要求1所述的物理量传感器，其中， 具有对所述配线的表面进行覆盖的绝缘层。8.一种电子设备，其特征在于， 具备权利要求1至7中的任一项所述的物理量传感器。9.一种移动体，其特征在于， 具备权利要求1至7中的任一项所述的物理量传感器。
【专利摘要】本发明提供物理量传感器、电子设备以及移动体。所述物理量传感器能够容易地对传感器元件进行气密密封。本发明的物理量传感器(1)的特征在于，具备：元件片(3)；支承基板(2)，其一个面上配置有元件片(3)，且具有设置于所述一个面上的槽(24)；配线(43)，其被设置于槽中，并与元件片(3)电连接；盖基板(5)，其与一个面接合，并对元件片(3)进行收纳；密封材料(7)，其在槽(24)中的、盖基板(5)与支承基板(2)间的边界部(K)对槽(24)进行密封，且熔点低于支承基板(3)以及盖基板(5)的熔点或者软化点。
【IPC分类】G01P3/44, G01P15/125
【公开号】CN105628975
【申请号】CN201510808287
【发明人】纸透真一
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2015年11月19日
【公告号】US20160146851