子束电流轮廓(图2C的被监测束电流IMn)来确定或归一化图2D的与时间无关的离子束轮廓Id，其中抵消了离子束电流在预定时间t内的波动。本公开还涉及归一化的各种其他方法，例如利用函数拟合来自束监测装置142的一系列读数并且将来自束轮廓确定装置128的数据归一化到所拟合的曲线。
[0039]根据本发明的另一方面，图3示出了用于确定离子束的与时间无关的轮廓Id的示例性方法200。应当注意的是，根据本发明，尽管示出了示例性方法并且本文中将示例性方法描述为一系列动作或事件，但是将认识到，本发明不受这些动作或事件的所示出的顺序限制，一些步骤可以按不同顺序发生和/或与除本文中示出并描述的步骤之外的其他步骤同时发生。另外，并非所示出的所有步骤都是实施根据本发明的方法所需的。此外，将认识至IJ，可以与本文中示出并描述的系统相关联地以及与未示出的其他系统相关联地实现所述方法。
[0040]如图3所示，方法200开始于动作202，其中，通过在预定时间t内将束轮廓确定装置平移通过离子束，横跨离子束的宽度来测量被确定轮廓的束电流Ipn，其中限定离子束的与时间和位置相关的轮廓。在动作204中，经由束监测装置，在预定时间t内测量离子束的边缘处的被监测束电流IMn，其中限定与时间相关的离子束电流。在一个示例中，经由束监测装置，在预定时间t内测量离子束的第一边缘处和第二边缘处的被监测束电流Ιλ。在优选实施例中，同步地和/或同时地执行动作202和204。
[0041 ]在动作206中，通过利用被监测束电流ΙΜη对被确定轮廓的束电流Ipn进行归一化(诸如通过将被确定轮廓的束电流Ipn的与时间和位置相关的轮廓除以与时间相关的被监测束电流ΙΜη)来确定与时间无关的离子束轮廓Id，其中抵消了离子束电流在预定时间t内的波动。
[0042]虽然已经参照特定优选实施例示出并描述了本发明，但是显然的是，在阅读和理解本说明书和附图后本领域技术人员将能够进行等同替换和修改。具体地，关于由以上描述的元件(组件、设备、电路等)执行的各种功能，除非另外指示，否则用于描述这些元件的术语(包括对“装置”的引用)意在与执行所描述的元件的指定功能的任何元件相对应(即，功能上等同)，即使结构上与本文中示出的本发明示例性实施例中的执行所述功能的公开结构不等同。另外，虽然可能仅参照多个实施例中的一个实施例来公开本发明的具体特征，但是只要对于任何给定或具体应用而言是想要的和有利的，这种特征可以与其他实施例的一个或多个其他特征组合。
【主权项】
1.一种1?子注入系统，包括: 离子源，被配置为产生离子束，所述离子束具有与其相关联的离子束电流； 质量分析器，被配置为对离子束进行质量分析； 束轮廓确定装置，被配置为在预定时间内沿轮廓确定平面平移通过离子束，其中，束轮廓确定装置还被配置为与所述平移并发地横跨离子束的宽度来测量束电流，其中限定离子束的与时间和位置相关的束电流轮廓； 束电流监测装置，其中，束监测装置被配置为在所述预定时间内测量离子束的离子束电流，其中限定与时间相关的离子束电流;以及 控制器，被配置为在同步时间收集来自束轮廓确定装置和束电流监测装置的束电流数据，并通过将离子束的与时间和位置相关的束电流轮廓除以与时间相关的离子束电流来确定与时间无关的离子束轮廓，其中抵消离子束电流在所述预定时间内的波动。2.根据权利要求1所述的离子注入系统，其中，束轮廓确定装置包括法拉第杯。3.根据权利要求1所述的离子注入系统，其中，法拉第杯包括窄缝，所述窄缝允许离子束的一部分通过以进入。4.根据权利要求1所述的离子注入系统，其中，束电流监测装置包括具有窄缝的法拉第杯，其中，法拉第杯位于离子束的边缘处并被配置为测量所述离子束的边缘处的离子束电流。5.根据权利要求4所述的离子注入系统，其中，束电流监测装置包括分别位于离子束的相对边缘处的一对法拉第杯，其中，所述一对法拉第杯被配置为测量离子束的相应边缘处的离子束电流。6.根据权利要求1所述的离子注入系统，还包括:扫描器，位于质量分析器的下游，并被配置为扫描离子束，其中形成带状扫描的离子束。7.根据权利要求6所述的离子注入系统，其中，束监测装置被配置为测量所述带状扫描的离子束的边缘处的离子束电流。8.根据权利要求6所述的离子注入系统，其中，束电流监测装置包括位于带状离子束的第一横向边缘处的第一法拉第杯以及位于带状离子束的第二横向边缘处的第二法拉第杯。9.根据权利要求1所述的离子注入系统，其中，控制器被配置为接收来自第一法拉第杯的第一离子束电流测量、来自第二法拉第杯的第二离子束电流测量，并根据第一离子束电流测量和第二离子束电流测量来计算平均离子束电流，其中，通过将离子束的与时间和位置相关的束电流轮廓除以所述平均离子束电流来实现与时间无关的离子束轮廓的确定。10.根据权利要求1所述的离子注入系统，其中，束电流监测装置位于束轮廓确定装置的上游。11.一种用于确定离子束的与时间无关的轮廓的方法，所述方法包括: 通过在预定时间内将束轮廓确定装置平移通过离子束，横跨离子束的宽度来测量离子束电流，其中限定离子束的与时间和位置相关的轮廓； 经由束电流监测装置，测量所述预定时间内在离子束的边缘处的离子束电流，其中限定与时间相关的离子束电流;以及 通过将离子束电流的与时间和位置相关的轮廓除以与时间相关的离子束电流来计算与时间无关的离子束轮廓，其中，抵消离子束电流在所述预定时间内的波动。12.根据权利要求11所述的方法，其中，束电流监测装置位于束轮廓确定装置的上游。13.根据权利要求11所述的方法，其中，测量离子束的边缘处的离子束电流包括:经由束电流监测装置测量所述预定时间内在离子束的第一边缘处和第二边缘处的离子束电流，其中，通过对在离子束的第一边缘处和第二边缘处测量的离子束电流求平均来限定所述与时间相关的离子束电流。14.根据权利要求11所述的方法，其中，束电流监测装置包括具有在其中限定了窄缝的一个或多个法拉第杯，其中，所述一个或多个法拉第杯被配置为测量离子束的一个或多个边缘处的离子束电流。15.根据权利要求11所述的方法，还包括:静电地扫描离子束，其中限定带状束。16.一种在离子注入系统中执行剂量控制的方法，所述方法包括: 产生离子束； 对离子束进行质量分析； 扫描经质量分析的离子束以形成带状离子束； 通过在预定时间内将束轮廓确定装置平移通过离子束，横跨所述带状离子束的宽度来测量尚子束电流，其中限定尚子束的与时间和位置相关的轮廓； 在所述预定时间内测量所述带状离子束的边缘处的离子束电流，其中限定与时间相关的离子束电流;以及 通过将离子束电流的与时间和位置相关的轮廓除以与时间相关的离子束电流来计算与时间无关的离子束轮廓，其中，抵消离子束电流在所述预定时间内的波动。17.根据权利要求16所述的方法，其中，横跨所述带状离子束的宽度来测量离子束电流包括:将法拉第杯从所述带状离子束的第一横向边缘处平移到所述带状离子束的第二横向边缘处，并经由法拉第杯测量束电流。18.根据权利要求17所述的方法，其中，测量所述带状离子束的边缘处的离子束电流还包括:将第一法拉第杯置于所述带状离子束的第一横向边缘处，将第二法拉第杯置于所述带状离子束的与第一横向边缘相对的第二横向边缘处，并分别测量第一横向边缘处和第二横向边缘处的第一束电流和第二束电流，其中，与时间相关的离子束电流还被限定为第一束电流和第二束电流的平均值。
【专利摘要】提供了一种离子注入系统和方法，其中，离子源产生离子，质量分析器对离子束进行质量分析。束轮廓确定装置在预定时间内沿轮廓确定平面平移通过离子束，其中，束轮廓确定装置与所述平移并发地横跨离子束的宽度来测量束电流，其中限定离子束的与时间和位置相关的束电流轮廓。束监测装置被配置为测量所述预定时间内在离子束的边缘处的离子束电流，其中限定与时间相关的离子束电流，以及控制器通过将离子束的与时间和位置相关的束电流轮廓除以与时间相关的离子束电流来确定与时间无关的离子束轮廓，其中抵消离子束电流在所述预定时间内的波动。
【IPC分类】G01T1/34
【公开号】CN105723247
【申请号】CN201480062577
【发明人】佐藤秀
【申请人】艾克塞利斯科技公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2014年11月20日
【公告号】US8933424, WO2015077400A1