扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，尤其涉及一种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台。
【背景技术】
[0002]装配有电子背散射衍射(EBSD)系统的扫描电子显微镜设备日益广泛应用于各种晶体材料的微观结构分析中，如金属、陶瓷、地质和矿物等，可同时展现晶体材料的微观形貌、结构与取向分布，获得晶粒尺寸、晶界类型、织构、相分布、应变等重要信息。
[0003]根据电子束作用下背散射电子出射的路径，需要将试样表面倾斜70°以增强衍射信号，因此通过样品台将试样精确定位并固定牢固非常关键。目前常用的EBSD样品台为适用于小尺寸EBSD试样的带70°预倾斜面的细圆柱台和手动倾斜圆形平台，主要依靠双面碳导电胶将试样固定在预倾斜或手动倾斜样品台的表面。碳导电胶在人为按压作用下，将试样和样品台粘结一起，之后导电胶将发生微小的形变恢复，另外70°倾斜条件下试样重力作用导致试样与导电胶发生微小的分离，这些细微的形变恢复和重力影响导致扫描电镜视野发生漂移，尤其是在高倍率下，方向不确定；再者，EBSD分析通常需要1-5小时，长时间累积效果下EBSD分析区域不断漂移，晶粒常常发生扭曲、拉伸和压缩等变形，得到的实验数据失去真实可靠性。显然地，这两种样品台不适用于尺寸较大、重力较大、样品形状不规则的试样。
[0004]常规金相实验中，试样需要经过镶嵌、机械研磨/抛光、腐蚀处理等，例如硬质合金材料，用含碳导电树酯金相镶嵌后的试样通常为直径为25mm或30mm的柱状，尺寸较大、试样重力较高，在EBSD实验分析中常常发生图像漂移，导致实验数据有较大的偏差。中国专利CN201120465500.4公开了一种扫描电镜EBSD样品台，通过螺丝固定样品，能有效地夹固样品，但仅适用于小尺寸、形状规则的样品，对于圆形镶嵌样品不能有效固定；中国专利CN200920209791.3公开了一种扫描电镜EBSD插座式预倾斜样品台，通过弹簧卡子和两个挡板固定样品，不适用于镶嵌样品；中国专利CN201020239978.0公开了一种多功能扫描电镜样品台，用于EBSD的倾斜样品台面通过夹具固定样品，但该样品台整体尺寸较大，且没有明确试样夹固的方式，考虑到电镜腔内空间和各探头之间的几何位置，该设计不适用于样品尺寸较大的镶嵌样品；中国专利CN201420542286公开了一种扫描电镜样品台，包含一对预倾斜凹槽20° -40°，主要应用于断口样品多角度的观察，不适用于预倾斜70°的EBSD实验。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、测试试样定位精确、扫描图像稳定的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案:
[0007]—种扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，包括底座，所述底座包括立体部和正立于所述立体部上的梯形部，所述梯形部的底角为65° -70.5°，所述梯形部的其中一倾斜侧面上设有可容纳镶嵌试样的柱状凹槽，通过紧固件固定镶嵌试样，另一倾斜侧面上设有可容纳未镶嵌试样的矩形凹槽，通过压紧件固定未镶嵌试样，所述柱状凹槽和矩形凹槽分别垂直于各自所在的倾斜侧面。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进:
[0009]所述梯形部的底角为70°，偏差在0.5°以内。
[0010]所述矩形凹槽内设有压板，所述压板平行矩形凹槽的侧壁，由两个所述压紧螺钉固定，所述梯形部的其中一竖直面上设有两个压紧螺钉孔。
[0011]所述紧固件为紧固螺钉，所述压紧螺钉孔所在的竖直面上设有紧固螺钉孔。
[0012]所述底座的长度45 mm _55mm，宽度 45 mm-55mm，高度 38 mm -45mm。
[0013]所述柱状凹槽的直径25.5mm-30.5mm，深度8mm-12mm。
[0014]所述矩形凹槽的长度20 mm -30mm，宽度20 mm-30mm，深度10mm-15mm。
[0015]与现有技术相比，本实用新型的优点在于:
[0016](I)本实用新型的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，底座梯形部的底角范围为65°至70.5°，两个倾斜侧面上分别设置有垂直各自倾斜侧面的柱状凹槽和矩形凹槽，这样测试样品预倾斜在65-70.5°范围内的任意角度，不仅增强背散射信号而且可对测试试样精确定位，无需手动倾斜，操作电镜摇杆时大大降低了试样与电子束极靴及其他信号探头之间碰撞的风险；进行EBSD测试分析时，可先对一侧的试样进行测试，完成后通过旋转，对另一侧的试样进行测试，操作简单方便。
[0017](2)本实用新型的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，柱状凹槽适用于重力较大的镶嵌试样，矩形凹槽适用于小尺寸未镶嵌试样，采用紧固件、压紧件或者压板固定试样，取代导电胶粘结方式，大大削弱样品重力对图像的漂移，有效稳定扫描图像。
[0018](3)本实用新型的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台，对于多个小尺寸试样可将其镶嵌在一个镶嵌样品中，标记好序号，放入上述样品台的柱状凹槽内，通过EBSD测试时微量移动电镜操作杆，依次测试数个试样，免去多次换样、抽真空的工作，且无需担忧与电子束极靴及各信号探头发生碰撞。
【附图说明】
[0019]图1是本实用新型的扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台结构示意图。
[0020]图中各标号表不:
[0021]1、底座；11、立体部；12、梯形部；121、压紧螺钉孔；122、紧固螺钉孔；2、柱状凹槽；
3、紧固件；4、矩形凹槽；5、压板；6、压紧件。
【具体实施方式】
[0022]以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
[0023]图1示出了本实用新型扫描电镜电子背散射衍射试样用样品台的一种实施例，该扫描电镜电子背散射衍射试样用样品