一种压阻式差压传感器的制造方法_2

文档序号:8997461阅读:来源:国知局
膜片12、22的形变的金属挡板13、23,金属挡板13、23上设有可流通填充液的开口 131、231,在隔离膜片12、22波动形变时,填充液从该开口 131、231进出,隔离膜片12传递较高压,隔离膜片22传递较低压。
[0017]金属挡板13、23可以为与隔离膜片12、22相同大小的圆形金属片,其上设有用于硅油在其两面流通的开口 131、231,在外部介质推动隔离膜片12、22后,隔离膜片12、22的形变导致传感器内部硅油流动,硅油出入在金属挡板13、23的开口 131、231间,并向芯体11压去。在外压处于量程范围(正负压端各自的量程范围)内时,隔离膜片12、22形变后可自行复位,当外压超过量程范围时,或者说,当外压超过使隔离膜片12、22弹性形变的力时,隔离膜片12、22会由金属挡板13、23挡住,由金属挡板13、23承受过重的力,因而隔离膜片12、22形变后还可自行复位。
[0018]正压腔体I内的金属挡板13与其内隔离膜片12的距离,一般而言,可以和负压腔体2内的金属挡板23与其内隔离膜片22的距离不同,正压端可以承受更大的压力,正压腔体I内的金属挡板23与其内隔离膜片12的距离由此可以更大些,具体该距离可以根据两端测量量程而定。
[0019]正压腔体I和负压腔体2的结构基本对称,金属挡板13、23和隔离膜片12、22的形状大小在正负压两端均相同,使得结构简单,降低制造成本。
[0020]继续参看图2,流通基座3的一种连通结构构造为,所述流通基座3内具有一流通管道31,所述芯体11位于流通管道31外,固定在正压腔体I内,所述金属挡板13、23分别连接在流通管道31两端,流通管道31两端出口 311、312对应于金属挡板13、23的开口 131、231,出口 311、312和开口 131、231相应对位,两者口径可相同,流通管道31上开设有第一透油孔313,正压腔体I的金属挡板13上开设有第二透油孔132,第一透油孔313和第二透油孔132用于硅油在正压腔体I和负压腔体2内的流通。
[0021 ] 在一个实施例中,所述流通基座3为长方体型,但并不限制于此,也可以是其他易于形成的形状,所述流通基座3与正压腔体I和负压腔体2 —体成型,正压腔体I和负压腔体2分别设于流通基座3两端,增加传感器的牢固性。
[0022]进一步的,图2中,差压传感器还包括补偿组件板4,用来进行温度补偿,减小温度漂移,补偿组件板4设于流通基座3外相对较宽的平面(长方体型的宽平面)上,补偿组件板4的插针通过正压腔体I上的开孔(图中未示出)伸入正压腔体I内,开孔处由密封件密封。
[0023]本实用新型通过在传感器的正负压腔体两端均设置用来抵挡隔离膜片的金属挡板,以限制隔离膜片在一定范围内发生形变,正负压端的隔离膜片为相同材质的弹性部件,金属挡板可以防止隔离膜片形变过大而无法复原,由于相比于负压端而言正压端通常承受更高压力,因而较之负压腔体,设置金属挡板在正压腔体内的位置与其内隔离膜片间的距离更远,该距离约束着隔离膜片的形变程度,正负压端的该距离可以供隔离膜片形变的范围均大于或等于各自压力测量形变范围。
[0024]本实用新型虽然以较佳实施例公开如上,但其并不是用来限定权利要求,任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内,都可以做出可能的变动和修改,因此本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。
【主权项】
1.一种压阻式差压传感器,包括正压腔体、负压腔体以及连通并固接正压腔体和负压腔体的流通基座;正压腔体内设有含敏感芯片的芯体;所述正压腔体和负压腔体的外端面均设有受外压而产生形变的隔离膜片;在俩腔体及流通基座内填充有由隔离膜片形变作用而流动以传递外压至敏感芯片的填充液;其特征在于:在正压腔体和负压腔体内均设分别用于限制各自所述隔离膜片的形变的金属挡板,金属挡板上设有可流通填充液的开口。2.如权利要求1所述的压阻式差压传感器,其特征在于:所述流通基座内具有一流通管道,所述芯体位于流通管道外,所述金属挡板分别连接在流通管道两端,流通管道两端出口对应于金属挡板的开口,流通管道上开设有第一透油孔,正压腔体的金属挡板上开设有第二透油孔。3.如权利要求1所述的压阻式差压传感器,其特征在于:所述流通基座为长方体型,所述流通基座与正压腔体和负压腔体一体成型,正压腔体和负压腔体分别设于流通基座两端。4.如权利要求3所述的压阻式差压传感器,其特征在于:还包括补偿组件板,其设于流通基座外相对较宽的平面上,补偿组件板的插针通过正压腔体上的开孔伸入正压腔体内,开孔处由密封件密封。5.如权利要求1所述的压阻式差压传感器,其特征在于:所述隔离膜片为波纹不锈钢弹性膜片。
【专利摘要】本实用新型公开了一种压阻式差压传感器,包括正压腔体、负压腔体以及连通并固接正压腔体和负压腔体的流通基座;正压腔体内设有含敏感芯片的芯体;所述正压腔体和负压腔体的外端面均设有受外压而产生形变的隔离膜片;在俩腔体及流通基座内填充有由隔离膜片形变作用而流动以传递外压至敏感芯片的填充液;在正压腔体和负压腔体内均设分别用于限制各自所述隔离膜片的形变的金属挡板,金属挡板上设有可流通填充液的开口。本实用新型可以避免其正负压端的隔离膜片因形变过大而无法复原的问题,延长传感器的使用寿命。
【IPC分类】G01L13/06
【公开号】CN204649348
【申请号】CN201520399049
【发明人】刘文清
【申请人】浙江长兴好方向食品有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年6月10日
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