一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体行业测量籽晶晶向偏离度辅助设备领域，具体涉及一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置。
【背景技术】
[0002]籽晶是直拉法硅单晶生产技术中必不可少的原材料，是生长晶体的种子。用籽晶引出单晶，就是在一定温度的熔体中加入单晶核，然后在单晶核上继续长单晶。因此籽晶的晶向偏离度就决定了硅单晶棒的晶向偏离度。而一旦籽晶的晶向偏离度超出要求，那么生长出来的硅单晶棒的晶向偏离度也会超出要求，导致硅单晶棒报废。因此在籽晶使用前需要用X光机对籽晶的晶向偏离度进行测量，只有符合要求的籽晶才可以使用。目前常见的X光机是用来测量晶锭参考面晶向偏离度，没有专门测量籽晶晶向偏离度的X光机，但由于籽晶直径比较小，直径一般在12.5mm-17.5mm，而晶锭的直径一般彡100mm，所以用测量单晶锭参考面晶向偏离度的X光机测量籽晶晶向偏离度时，会受到载物台与测量点高度的限制，难以将籽晶进行水平放置，并牢牢固定，尤其是锥形籽晶，操作难度更大。通常的测量方法是在X光机载物台上加垫块，将需要测量的籽晶放在载物台上，再用橡皮筋将籽晶和载物台固定在一起。这种测量方法存在的缺点是:(I)籽晶很难放找到与测量台垂直的位置，会导致测量结果偏差；(2)用橡皮筋固定籽晶，测量精度差，操作难度大；(3)工作效率低下，反复调整增加籽晶碰伤的可能性。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置，该装置能够很好的固定籽晶的位置，便于调整，且操作简单，测量精准。
[0004]本实用新型所采用的技术方案是:一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置，包括与测量台相接且平齐设置的支架，支架由水平支臂和竖直支臂构成，且水平支臂的一端与竖直支臂的顶端对接使支架呈Γ型结构；所述水平支臂的顶端沿其长度方向依次设有开口向上的前U型槽、V型槽和后U型槽，且前U型槽、V型槽和后U型槽的水平中心线相重合，并与水平支臂平行，所述的竖直支臂上设有用于嵌设永磁体的固定槽。
[0005]进一步优化，所述V型槽的长度分别大于前U型槽和后U型槽的长度。
[0006]进一步优化，所述前U型槽、V型槽和后U型槽的开口宽度一致。
[0007]与现有技术相比，本实用新型至少具有下述优点及有益效果:
[0008]本实用新型提供的不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置通过U型槽和V型槽能很好的固定籽晶的位置，同时能够保证籽晶与测量台始终保持垂直，并且便于籽晶位置的调整；永磁体很好的将Γ型支架和测量台固定，操作简单，测量精准。本实用新型操作简便，安全可靠，有效的解决了现有检测方法所存在的测量精度差、操作难度大、工作效率低下等不足。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图；
[0010]图2为本实用新型的工作状态示意图；
[0011]附图标记:1、水平支臂，2、竖直支臂，3、前U型槽，4、V型槽，5、后U型槽，6、固定槽，7、测量台，8、锥形籽晶。
【具体实施方式】
[0012]为使本实用新型的内容更明显易懂，以下结合具体实施例，对本实用新型进行详细描述。
[0013]如图所示，一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置，包括与测量台相接且相平齐设置的支架，支架由水平支臂I和竖直支臂2构成，且水平支臂I的一端与竖直支臂2的顶端对接使支架呈Γ型结构；所述水平支臂I的顶端沿其长度方向依次设有开口向上的前U型槽3、V型槽4和后U型槽5，且前U型槽3、V型槽4和后U型槽5的水平中心线相重合，并与水平支臂I平行，所述的竖直支臂2上设有用于嵌设永磁体的固定槽6。
[0014]为了使本实用新型具有更好的使用效果，所述V型槽4的长度分别大于前U型槽3和后U型槽5的长度，前U型槽3、V型槽4和后U型槽5的开口宽度一致。
[0015]本技术方案中，竖直支臂2上设有固定槽6，将永磁体嵌设进去，可以实现支架与测量台固定。本实用新型在使用时，将Γ型支架与测量台7放平齐，将永磁体放置到固定槽6内，即能将Γ型支架与测量台7固定；再将锥形籽晶8的有锥度位置放置到前U型槽3内，将锥形籽晶8的等径部分放置到V型槽4内，即可开始锥形籽晶8晶向偏离度的测量。
[0016]本实用新型所列举的技术方案和实施方式并非是限制，与本实用新型所列举的技术方案和实施方式等同或者效果相同方案都在本实用新型所保护的范围内。
【主权项】
1.一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置，其特征在于:包括与测量台相接且平齐设置的支架，支架由水平支臂(I)和竖直支臂(2)构成，且水平支臂(I)的一端与竖直支臂(2)的顶端对接使支架呈“ Γ ”形结构，所述水平支臂(I)的顶端沿其长度方向依次设有开口向上的前U型槽(3)、V型槽(4)和后U型槽(5)，且前U型槽(3)、V型槽(4)和后U型槽(5)的水平中心线相重合，并与水平支臂(I)平行，所述的竖直支臂(2)上设有用于嵌设永磁体的固定槽(6 )。2.如权利要求1所述的一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置，其特征在于:所述V型槽(4)的长度分别大于前U型槽(3)和后U型槽(5)的长度。3.如权利要求1所述的一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置，其特征在于:所述前U型槽(3)、V型槽(4)和后U型槽(5)的开口宽度一致。
【专利摘要】本实用新型公开一种不等径籽晶的晶向偏离度测量支撑装置，包括与测量台相接且相平齐设置的支架，支架由水平支臂和竖直支臂构成，且水平支臂的一端与竖直支臂的顶端对接使支架呈Γ型结构；所述水平支臂的顶端沿其长度方向依次设有开口向上的前U型槽、V型槽和后U型槽，且前U型槽、V型槽和后U型槽的水平中心线相重合，并与水平支臂平行，所述的竖直支臂上设有用于嵌设永磁体的固定槽。本实用新型能够很好的固定籽晶的位置，便于调整，且操作简单，测量精准。
【IPC分类】C30B15/36, G01N23/00
【公开号】CN204694648
【申请号】CN201520360700
【发明人】方丽霞, 焦二强, 王新, 田素霞, 崔小换
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年5月30日