一种间距可调的蓝宝石长晶提拉平台的制作方法

本发明涉及蓝宝石晶体制备工艺技术领域，尤其涉及一种间距可调的蓝宝石长晶提拉平台。

背景技术：

蓝宝石又称白宝石，是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，由于具有优良的物理、机械、化学及红外透光性能，一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料，由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点，生长高质量大尺寸蓝宝石的泡生法设备，成为近年国内外研究开发和产业化热点。

对于泡生法蓝宝石设备，提拉平台是其中不可或缺的组成部分。其作用是保持水平的条件下，调节籽晶杆位置至路口中心，使晶体能稳定的沿垂直方向生长。目前使用的泡生法设备由于炉体尺寸的不同，其提拉平台与炉口的间距也就不同，因此，不同设备其提拉平台尽管结构相似但不具有通用性，往往造成设备的浪费。本发明采用的提拉平台间距调节系统，能根据提拉平台与路口的距离大范围的自动调节水平位置，这样就能在任意的设备上使用相同的提拉平台，从而实现了生长设备之间的通用同时减少不同设备保养维护的成本。

技术实现要素：

一种间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台，其特征在于，该提拉平台包括粗调滑轨1，粗调电机2，微调平台3三个组成部分，其中：微调平台3位于粗调滑轨1上方，并通过左右两个卡槽4相连接；粗调电机2位于粗调滑轨1右上方，并与右侧卡槽通过丝杆5相连接。

优选的，所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台，其特征在于，粗调滑轨1由两条平行的金属滑轨组成，粗调间距10厘米。

优选的，所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台，其特征在于，所述粗调滑轨1为工字结构，卡槽4可在滑轨上沿水平方向移动。

优选的，所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台，其特征在于，卡槽4与微调平台3铆接在一起后，微调平台3可通过卡槽4沿粗调滑轨1在10cm范围内移动。

优选的，粗调电机2用丝杆5与粗调滑轨1链接，可根据实际需要，沿粗调滑轨1自动调节提拉机构的水平位置；用于完成粗调设备的自动化，减少人工操作。

优选的，所述的间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台，其特征在于，粗调电机2为匀速直流步进电机，移动精度为1mm。

由于其调节范围超过10厘米，该可调提拉平台，可以和任意路口间距的泡生法蓝宝石晶体生长系统相匹配，结构简单，自动化程度高，籽晶中心便于调节，容易保证晶体生长的一致性。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

下面结合具体的实施例对本发明进一步展开说明，但需要指出的是，本发明所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本发明所要求保护的范围之内。

图1是本发明提供的间距可调的蓝宝石长晶提拉平台的结构示意图。

附图标记说明

1粗调滑轨 2粗调电机

3微调平台 4卡槽

5丝杆。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。需要指出的是，本发明所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。

在该实施方式中，在未作用相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指如图1所示的上下左右。“内、外”是指具体轮廓上的内与外。

如图1所示，图1是本发明提供的一种间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台。该提拉平台包括包括粗调滑轨1，粗调电机2，微调平台3三个组成部分，其中：微调平台3位于粗调滑轨1上方，并通过卡槽4相连接；粗调电机2位于粗调滑轨1右上方，并与右侧卡槽通过丝杆5相连接。

在该实施方式中，在间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台上，粗调滑轨1由两条平行的金属滑轨组成，粗调间距10厘米；用于控制调节的幅度，防止出现受力不均匀的现象。

在该实施方式中，在间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台，粗调滑轨1为工字结构，卡槽4可在滑轨上沿水平方向移动；用于控制方向。

在该实施方式中，在间距可调的蓝宝石晶体生长提拉平台，卡槽4与微调平台3铆接在一起后，微调平台3可通过卡槽4沿粗调滑轨1在10cm范围内移动。

在该实施方式中，粗调电机2用丝杆5与粗调滑轨1链接，可根据实际需要，沿粗调滑轨1自动调节提拉机构的水平位置；用于完成粗调设备的自动化，减少人工操作。

在该实施方式中，所用的粗调电机2为匀速直流步进电机，移动精度为1mm。用于保证调节的精度，防止过快走动，损坏设备。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。