一种间距可调的蓝宝石长晶提拉平台的制作方法

文档序号:11147550阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种间距可调的提拉平台,包括粗调导轨(1),粗调电机(2),微调平台(3)三个组成部分,其中,粗调节滑轨(1)由两条平行的金属导轨组成,粗调间距10厘米,导轨为工字型结构,导轨上设置卡槽(5)用于连接。粗调电机(2)用丝杆(5)与粗调导轨(1)链接,沿粗调导轨(1)自动调节设备水平位置。微调平台(3)可在10毫米内微调提拉平台与炉口的间距,在粗调电机(2)上设定距离后,沿粗调导轨(1)完成粗调,然后调节微调平台(3),保证籽晶杆中心与炉口中心同心,满足不同设备的要求。该调提拉平台调节范围超过10厘米,可以和任意间距的泡生法蓝宝石生长设备相匹配,自动化程度高,籽晶中心便于调节,容易保证晶体生长的一致性。

技术研发人员:承刚;闫焓;张瑾;李旭东;章永新;张义
受保护的技术使用者:深圳市晶格材料科技有限公司;四川大学;深圳浩源兴自动化设备有限公司
文档号码:201610960719
技术研发日:2016.10.28
技术公布日:2017.05.10

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