一种机械手测试平台的制作方法
【专利摘要】一种机械手测试平台，主要解决现有机械手在运行过程中重复性和可靠性低的问题。本实用新型提供一种机械手测试平台，包括平台、平台支架、滑轨、滑动轮、移动支架、竖支架、滑轮、机械手安装孔、机械手、移动支架上滑轨及竖支架滑轮。本实用新型结构紧凑合理，操作简单，并且保证了机械手安装、运行稳定，精度可以重复。
【专利说明】
一种机械手测试平台
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种机械手测试平台，属于半导体设备制造领域。【背景技术】
[0002]机械手是半导体设备上非常关键的部件，它的精度会决定传片的重复性和可靠性。半导体设备在装调时，经常发现机械手在运行过程中重复性和可靠性有问题，因此在安装机械手之前必须对机械手精度进行测试(X、Y、Z方向)，以保证机械手安装、运行稳定，精度可以重复。【实用新型内容】
[0003]针对上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种机械手测试平台，该测试平台操作简单，并且保证了机械手安装、运行稳定，精度可以重复。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0005]—种机械手测试平台，包括平台、平台支架、滑轨、滑动轮、移动支架、竖支架、滑轮、机械手安装孔、机械手、移动支架上滑轨及竖支架滑轮;所述平台底端安装平台支架，平台支架各脚部设有滑动轮，所述平台两侧设有滑轨，与所述移动支架两侧设置的滑轮相匹配安装，所述移动支架上还设有移动支架上滑轨，所述竖支架底端设有竖支架滑轮，竖支架滑轮与移动支架上滑轨匹配安装，竖支架通过所述竖支架滑轮在所述移动支架上水平移动或固定，所述平台上设有机械手安装孔，机械手安装在机械手安装孔内。
[0006]进一步地，所述机械手数量为两个。
[0007]进一步地，所述滑动轮为万向轮。
[0008]进一步地，所述竖支架可在竖直方向上伸缩。
[0009]本实用新型的有益效果
[0010]本实用新型结构紧凑合理，操作简单，保证了机械手安装、运行稳定，精度可以重复。【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的结构示意图。【具体实施方式】
[0012]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0013]如图1所示:一种机械手测试平台，包括平台1、平台支架2、滑轨3、滑动轮4、移动支架5、竖支架6、滑轮7、机械手安装孔8、机械手9、移动支架上滑轨10及竖支架滑轮11;平台1底端安装平台支架2，平台支架2各脚部设有滑动轮4，平台1两侧设有滑轨3，与所述移动支架5两侧设置的滑轮7相匹配安装，移动支架5上还设有移动支架上滑轨10,竖支架6底端设有竖支架滑轮11，竖支架6通过所述竖支架滑轮11在所述移动支架5上水平移动或固定，竖支架滑轮11与移动支架上滑轨10匹配安装，所述平台1上还设有机械手安装孔8，机械手9安装在机械手安装孔8内。[〇〇14]所述机械手9数量为两个。
[0015]所述滑动轮4为万向轮。
[0016]所述竖支架6可在竖直方向上伸缩。
[0017]使用时，将两个机械手9分别通过机械手安装孔8安装在平台1上，测试装置安装在竖支架6上方。当需要测试机械手9时可以将移动支架5通过滑轮7在平台1上移动到正确位置通过测试装置进行测试，通过移动竖支架6在移动支架5的水平位置以及竖支架6竖直方向的高度来调节测试装置的合适位置，以满足使用要求，另外，可通过滑动轮4移动整个测试平台的位置，灵活性强。
【主权项】
1.一种机械手测试平台，其特征在于，该测试平台包括平台、平台支架、滑轨、滑动轮、移动支架、竖支架、滑轮、机械手安装孔、机械手、移动支架上滑轨及竖支架滑轮;所述平台底端安装平台支架，平台支架各脚部设有滑动轮，所述平台两侧设有滑轨，与所述移动支架两侧设置的滑轮相匹配安装，所述移动支架上还设有移动支架上滑轨，所述竖支架底端设有竖支架滑轮，竖支架滑轮与移动支架上滑轨匹配安装，竖支架通过所述竖支架滑轮在所述移动支架上水平移动或固定，所述平台上设有机械手安装孔，机械手安装在机械手安装孔内。2.如权利要求1所述的一种机械手测试平台，其特征在于，所述机械手数量为两个。3.如权利要求1所述的一种机械手测试平台，其特征在于，所述滑动轮为万向轮。4.如权利要求1所述的一种机械手测试平台，其特征在于，所述竖支架可在竖直方向上伸缩。
【文档编号】G01M99/00GK205607668SQ201620396190
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月5日
【发明人】续震
【申请人】沈阳拓荆科技有限公司