仿真方法以及仿真系统的制作方法
【专利摘要】本发明揭示了一种仿真方法，用于对实时派货系统的派货规则进行仿真，所述仿真方法包括：设定待仿真的派货规则的派货信息；对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果。本发明还揭示了一种应用该方法的仿真系统。本发明的仿真方法能够预测实时派货系统的派货规则上线后结果的好坏，避免派货规则的跑货风险。
【专利说明】仿真方法以及仿真系统
【技术领域】
[0001] 本发明涉及半导体工厂自动化【技术领域】，特别是涉及一种仿真方法以及仿真系 统。
【背景技术】
[0002] 半导体制造业是一个高科技行业，也是一个高投资的行业。半导体制造工厂为了 实现其运营目标，提高生产力，其生产控制活动的自动化程度越来越高。其中，在半导体制 造过程中，由于生产工艺和过程及其复杂，不同机台或者机台组可以处理（process)多种 不同属性的批次（lot)，针对个别机台，往往会有大量不同属性，并且不同优先级的lot同 时到达，这时的人为派货负担就会越来越重。因此，在整个半导体制造工厂的自动化系统 中，对派货的自动化控制尤其重要。
[0003] 世界上最先进的晶圆厂（Fab)都必须且已经采用了实时派货系统（RTD)来负责线 上的派货。RTD可以通过内置的算法针对线上的lot作出合理的派货结果，制造部门（MA) 仅需要依据RTD推荐的lot顺序（即派货规则，又称RTDRule)跑货（又称run货）即可。 这样，Fab内总体的run货效率便会大大提高，可以说RTD系统对先进的晶圆厂的生产至关 重要。RTD的核心派货规则是由制造部门的监管（supervisor)设计的，该派货规则的好坏， 直接影响到线上生产派货的最终结果。但往往supervisor在设计派货规则的时候，并不能 通盘考虑到所有的情况，提出的RTD算法直接上线跑的话，随时会带来不可预知的风险。
[0004] 因此，如何提供一种仿真方法以及仿真系统，能够预测RTD Rule上线后结果的好 坏，已成为本领域技术人员需要解决的问题。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的在于，提供一种仿真方法以及仿真系统，能够预测实时派货系统的 派货规则上线后结果的好坏，避免派货规则的跑货风险。
[0006] 为解决上述技术问题，本发明提供一种仿真方法，用于对实时派货系统的派货规 则进行仿真，包括：
[0007] 设定待仿真的派货规则的派货信息；
[0008] 对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品 表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；
[0009] 根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得 到一虚拟派货结果。
[0010] 进一步的，在所述仿真方法中，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行 所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果的步骤包括：根据所述虚拟派货结果，对所 述仿真站点的批次进行虚拟预约。
[0011] 进一步的，在所述仿真方法中，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行 所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果的步骤包括：根据所述虚拟派货结果，更新 所述虚拟的排列在制品表。
[0012] 进一步的，在所述仿真方法中，根据所述虚拟派货结果，更新所述虚拟的排列在制 品表的步骤包括：
[0013] 将在前一仿真站点虚拟预约后进入所述仿真站点的批次，加入所述虚拟的排列在 制品表；
[0014] 将进行虚拟预约的所述仿真站点的批次，移除所述虚拟的排列在制品表。
[0015] 进一步的，在所述仿真方法中，所述仿真方法还包括：将所述虚拟派货结果进行储 存。
[0016] 进一步的，在所述仿真方法中，所述仿真方法还包括：根据所述虚拟派货结果，对 所述待仿真的派货规则的可行性进行判断。
[0017] 进一步的，在所述仿真方法中，所述派货信息包括各机台的仿真顺序以及仿真时 预约批次的个数。
[0018] 根据本发明的另一面，本发明还提供一种仿真系统，包括：
[0019] 仿真信息设置模块，用于设定待仿真的派货规则的派货信息；
[0020] 对应关系生成模块，对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述 虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；
[0021] 派货规则仿真模块，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿 真的派货规则，并得到一虚拟派货结果。
[0022] 进一步的，在所述仿真系统中，所述派货规则仿真模块根据所述虚拟派货结果，对 所述仿真站点的批次进行虚拟预约。
[0023] 进一步的，在所述仿真系统中，所述派货规则仿真模块根据所述虚拟派货结果，更 新所述虚拟的排列在制品表。
[0024] 进一步的，在所述仿真系统中，所述派货规则仿真模块将在前一仿真站点虚拟预 约后进入所述仿真站点的批次，加入所述虚拟的排列在制品表；并将进行虚拟预约的所述 仿真站点的批次，移除所述虚拟的排列在制品表。
[0025] 进一步的，在所述仿真系统中，所述仿真系统还包括一仿真结果模块，所述仿真结 果模块用于将所述虚拟派货结果进行储存。
[0026] 进一步的，在所述仿真系统中，所述派货信息包括各机台的仿真顺序以及仿真时 预约批次的个数。
[0027] 在本发明提供的仿真方法以及仿真系统中，所述仿真方法包括以下步骤：首先，设 定待仿真的派货规则的派货信息；然后，对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表， 并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关 系；接着，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得 到一虚拟派货结果，与现有技术相比，所述仿真方法可以根据待仿真的派货规则、仿真站点 的批次以及批次与机台的对应关系，预测实时派货系统的派货规则上线后结果的好坏，从 而在实时派货系统的派货规则上线之前，预先验证其可行性，为后续上线解决生产排程问 题提供有力参考，避免派货规则的跑货风险。
【专利附图】
【附图说明】
[0028] 图1为本发明一实施例中仿真方法的流程图；
[0029] 图2为本发明一实施例中仿真系统的示意图。
【具体实施方式】
[0030] 下面将结合示意图对本发明的仿真方法以及仿真系统进行更详细的描述，其中表 示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然 实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而 并不作为对本发明的限制。
[0031] 为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能 和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开 发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的 限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费 时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0032] 在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要 求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非 精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0033] 本发明的核心思想在于，提供一种仿真方法，包括以下步骤：：
[0034] 步骤SI 1，设定待仿真的派货规则的派货信息；
[0035] 步骤S12,对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排 列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；
[0036] 步骤S13,根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规 贝1J，并得到一虚拟派货结果。
[0037] 进一步，结合上述仿真方法，本发明还提供了一种仿真系统，包括：仿真信息设置 模块，用于设定待仿真的派货规则的派货信息；对应关系生成模块，对仿真站点的批次，建 立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建 立一虚拟机台批次对应关系；派货规则仿真模块，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应 关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果。
[0038] 以下结合核心思想，详细说明本发明所述仿真方法以及仿真系统。
[0039] 以下结合图1和图2具体说明本实施例中的仿真方法以及仿真系统。其中，图1 为本发明一实施例中仿真方法的流程图，图2为本发明一实施例中仿真系统的示意图。
[0040] 首先，进行步骤S11，设定待仿真的派货规则的派货信息，如图1所示。
[0041] 本实施例的仿真系统包括仿真信息设置模块101，如图2所示，所述仿真信息设置 模块101用于设定待仿真的派货规则的派货信息。其中，所述派货信息包括各机台的仿真 顺序以及仿真时预约批次的个数，但是，所述派货信息并不限于为各机台的仿真顺序以及 仿真时预约批次的个数，具体由所述待仿真的派货规则决定。本实施例中，所述派货信息如 表1所示。在表1中，仿真站点一共具有5个机台：机台1、机台2、机台3、机台4、机台5 ; 如果该5个机台均空闲，贝U lot的预约（reserve)顺序依次为：机台1、机台2、机台3、机台 4、机台5 ;机台1、机台2、机台3、机台4、机台5上每次可以reserve的lot数量分别为：3、 3、4、5、5〇
[0042] 表 I
[0043]
【权利要求】
1. 一种仿真方法，用于对实时派货系统的派货规则进行仿真，所述仿真方法包括： 设定待仿真的派货规则的派货信息； 对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和 批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系； 根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一 虚拟派货结果。
2. 如权利要求1所述的仿真方法，其特征在于，根据所述派货信息和虚拟机台批次对 应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果的步骤包括：根据所述虚拟派 货结果，对所述仿真站点的批次进行虚拟预约。
3. 如权利要求2所述的仿真方法，其特征在于，根据所述派货信息和虚拟机台批次对 应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果的步骤包括：根据所述虚拟派 货结果，更新所述虚拟的排列在制品表。
4. 如权利要求3所述的仿真方法，其特征在于，根据所述虚拟派货结果，更新所述虚拟 的排列在制品表的步骤包括： 将在前一仿真站点虚拟预约后进入所述仿真站点的批次，加入所述虚拟的排列在制品 表； 将进行虚拟预约的所述仿真站点的批次，移除所述虚拟的排列在制品表。
5. 如权利要求1-4中任意一项所述的仿真方法，其特征在于，所述仿真方法还包括；将 所述虚拟派货结果进行储存。
6. 如权利要求5所述的仿真方法，其特征在于，所述仿真方法还包括：根据所述虚拟派 货结果，对所述待仿真的派货规则的可行性进行判断。
7. 如权利要求1所述的仿真方法，其特征在于，所述派货信息包括各机台的仿真顺序 W及仿真时预约批次的个数。
8. -种仿真系统，包括： 仿真信息设置模块，用于设定待仿真的派货规则的派货信息； 对应关系生成模块，对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟 的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系； 派货规则仿真模块，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的 派货规则，并得到一虚拟派货结果。
9. 如权利要求8所述的仿真系统，其特征在于，所述派货规则仿真模块根据所述虚拟 派货结果，对所述仿真站点的批次进行虚拟预约。
10. 如权利要求9所述的仿真系统，其特征在于，所述派货规则仿真模块根据所述虚拟 派货结果，更新所述虚拟的排列在制品表。
11. 如权利要求10所述的仿真方法，其特征在于，所述派货规则仿真模块将在前一仿 真站点虚拟预约后进入所述仿真站点的批次，加入所述虚拟的排列在制品表；并将进行虚 拟预约的所述仿真站点的批次，移除所述虚拟的排列在制品表。
12. 如权利要求8-11中任意一项所述的仿真系统，其特征在于，所述仿真系统还包括 一仿真结果模块，所述仿真结果模块用于将所述虚拟派货结果进行储存。
13. 如权利要求8所述的仿真系统，其特征在于，所述派货信息包括各机台的仿真顺序 w及仿真时预约批次的个数。
【文档编号】G05B17/02GK104460334SQ201310438680
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年9月23日 优先权日:2013年9月23日
【发明者】赵晨, 谭小兵, 于婷婷 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司