本实用新型涉及MOCVD设备远程监控的技术领域，尤其是指一种MOCVD设备远程监控系统。
背景技术：
由于之前中国地方政府对MOCVD设备采购提供了较高补贴，中国外延芯片制造商采购了较多的MOCVD设备，很多厂家具有多台MOCVD。由于产能、订单需求、设备维护、场地分配等原因，很多MOCVD设备分开独立运行和监控。还有部分设备停机待命，但其中共用的资源管路，例如氢气，水管路等仍然处于工作状态，但设备无人看护。这可能会出现各种问题，如水、气压不足、危险气体泄漏、温度异常等问题。为了保证这些设备区域的安全，MOCVD设备的正常工作，需要工作人员时时刻刻对设备的运行及周边情况进行观察，工作人员的劳动强度大，易疲劳，易出现错漏。
远程监控技术已经日趋成熟，设备成本较低，维护容易。现场工控设备可以进行互联网连接实现多种设备之间的互锁和监控。许多企业都要求实现设备的远程监控功能，以便于设备的管理和数据的采集分析。
MOCVD设备使用的原料很多都是有毒有害物质或易燃易爆气体，例如氨气、氢气等。发生上述气体泄漏情况时，人员不宜直接进入现场处理，需要穿戴防腐装备才能进入，延误处理时间，容易造成损失扩大。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足与缺点，提供一种安全可靠的MOCVD设备远程监控系统，能实现对MOCVD设备的远程实时监控。
为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案为：一种MOCVD设备远程监控系统，主要由现场设备、环境检测系统、集中监控系统三者组成；所述现场设备和环境检测系统分别与集中控制系统通过以太网网络连接，能够通过互联网远程访问集中监控系统；所述现场设备主要由现场侧PLC、现场工控机以及网络交换机组成，所述现场侧PLC装有通信模块，其与现场工控机通过网线连接到网络交换机；所述环境检测系统主要由PLC、平板电脑、路由器、门禁、监控摄像头、温度探头、可燃气体检测器、氨气检测器、复合式火灾探测器、漏水探测器组成，所述PLC、平板电脑、路由器装在同一箱体中，所述PLC上装有通信模块，其与平板电脑通过网线连接到路由器，所述PLC通过屏蔽电缆分别与温度探头、可燃气体检测器、氨气检测器、复合式火灾探测器、漏水探测器连接，所述平板电脑通过网线分别连接门禁及监控摄像头；所述集中控制系统主要由工控电脑、无线装置以及交换机组成，所述交换机通过网线分别与工控电脑、无线装置连接，并且连接到互联网，能够通过互联网与远程电脑或手机通信，所述无线装置配有SIM卡；所述网络交换机、路由器、交换机三者通过网线互联，实现相互间的数据信号传输。
所述现场设备的现场侧PLC型号为CJ1G-CPU44H欧姆龙，其通信模块型号为CJ1W-ETN21。
所述环境检测系统的PLC型号为CP1H-XA40DT-D欧姆龙，其通信模块型号为CP1W-CIF41。
本实用新型与现有技术相比，具有如下优点与有益效果：
1、保证了集中控制室对现场设备运行状况和环境状况进行安全、可靠、准确无误的监控，从而实现综合自动化，建立网络数据库，实现远程监控功能，并且具有通信速率高、抗干扰能力强、扩展方便、通信费用低，多终端互联监控等优点。
2、本实用新型的远程监控系统还具有火灾、水浸、超温、气体泄漏检测等报警功能，并有门禁和远程监控录像等视频功能，能够及时处理突发情况，极大地降低生产事故率，提高设备安全系数，便于数据采集和报警故障分析。
附图说明
图1为本实用新型的MOCVD设备远程监控系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，本实施例所述的MOCVD设备远程监控系统，主要由现场设备、环境检测系统、集中监控系统三者组成；所述现场设备和环境检测系统分别与集中控制系统通过以太网网络连接，能够通过互联网远程访问集中监控系统；所述现场设备主要由现场侧PLC4、现场工控机3以及网络交换机2组成，所述现场侧PLC4型号为CJ1G-CPU44H欧姆龙，装有CJ1W-ETN21通信模块，其与现场工控机3通过网线连接到网络交换机2；所述环境检测系统主要由PLC11、平板电脑12、路由器10、门禁13、监控摄像头14、温度探头5、可燃气体检测器6、氨气检测器7、复合式火灾探测器8、漏水探测器9组成，所述PLC11、平板电脑12、路由器10装在同一箱体中，所述PLC11型号为CP1H-XA40DT-D欧姆龙，装有CP1W-CIF41通信模块，其与平板电脑12通过网线连接到路由器10，所述PLC11通过屏蔽电缆分别与温度探头5、可燃气体检测器6、氨气检测器7、复合式火灾探测器8、漏水探测器9连接，所述平板电脑12通过网线分别连接门禁13及监控摄像头14；所述集中控制系统主要由工控电脑17、无线装置15以及交换机16组成，所述交换机16通过网线分别与工控电脑17、无线装置15连接，并且连接到互联网18，能够通过互联网18与远程电脑19或手机1通信，所述无线装置配有SIM卡，可以给预设的手机号码发送信息和接受预设指令以及4G联网；所述网络交换机2、路由器10、交换机16三者也通过网线互联；上述设备都设置在同一IP地址段，能够实现相互间的数据信号传输，相互监控。
MOCVD的控制系统比较复杂，很多精密电子元件参与控制。现场温度过高会对电子元件造成损害，当温度探头5检测到超温，PLC11将发出停机信号给现场侧PLC4，平板电脑12将报警信息记录并发送到指定设备。当发生气体泄漏或检测到火灾烟雾等情况时，可燃气体检测器6、氨气检测器7、复合式火灾探测器8等传感器将检测到的信号发给PLC11进行判断，PLC11将发出停机信号给现场设备立即停机，监控摄像头14摄像记录，平板电脑12将信息发送到远程电脑19和手机1上，进行紧急情况相关处理。当发生暴雨水浸或设备用水管道破裂时，漏水探测器9将检测到的信号反馈给PLC11，也会对MOCVD设备及时的进行停机操作，并发送给远程端，通知维护人员及时进行维修处理。通过门禁13和监控摄像头14可以有效记录操作人员的考勤情况，防止设备应无人查看而发生事故，并能增强设备及周边防盗能力。发生异常时远程电脑19和手机1可以立刻得到信息。本实用新型的远程监控系统还能够提供给MOCVD制造商的技术人员进行远程维护和故障排除，随时提供技术支持，以便于生产效率的良好保证和减少设备故障时间和机率。此外，本实用新型的远程监控系统能够实现多人同时监控，减少操作失误和故障损失。各种突发状况和运行参数被记录于工控电脑17和远程电脑19中，以便于日后分析处理，实现大数据的采集。
以上所述之实施例子只为本实用新型之较佳实施例，并非以此限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型之形状、原理所作的变化，均应涵盖在本实用新型的保护范围内。