调整悬臂探针卡针迹的方法与流程

本发明涉及一种测试调整方法，特别涉及一种调整悬臂探针卡针迹的方法。

背景技术：

晶圆测试是使用测试设备测试在晶圆上的待测芯片。探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口。悬臂探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口，用于固定带探针的环氧树脂环，探针尾部焊接到探针卡的固定焊盘上。在晶圆测试中，对于悬臂探针卡针迹的控制是非常严格的，首先对于针迹的面积需要控制在芯片总面积的1/4以内，其次距离芯片四周要有5um的间距，避免针尖的偏移或探针台的偏移导致针迹扎到芯片边缘或芯片外，一旦针迹出现问题，会影响后续的封装和成测测试，严重的导致这颗芯片报废。

在测试厂内悬臂探针卡的针迹由专业人员进行手动调整，误差较大。在测试过程中，悬臂探针卡如遇到铝屑、沾污等异物可能就会使针尖的位置发生变化，影响针迹指标，也可能影响测试结果，这时需要请针卡公司来协助改善针迹的问题，针卡公司人员在测试厂内通过放大镜手动进行调整，会存在一定的误差，需要不断的验证和调整。悬臂探针卡可以在针卡公司内通过精密仪器进行调整，成本高并且周期长。在测试厂内针卡公司人员只能进行手动的简单调整，如果将针卡送回针卡公司可以通过精密的仪器进行调整，但是调整针迹的成本就会变高，并且来回运送针卡的时间会变长，从而影响测试厂的测试效率。

技术实现要素：

本发明是针对晶圆测试所用悬臂探针卡在使用过程中调整针迹困难的问题，提出了一种调整悬臂探针卡针迹的方法，，在原有悬臂探针卡的环氧树脂固定部分使用新型的固定结构，使悬臂探针卡的针尖能够精确的前后左右移动，保证针迹在允许范围内。

本发明的技术方案为：一种调整悬臂探针卡针迹的方法，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，探针卡板焊点和测试机的通道资源相连，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，绝缘网格固定装置与探针卡板固定，针臂上有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中的网格中，以此来固定探针；当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，调整到位后，再将针臂上矩形切入到调整后的网格里，重新盖上盖板，完成调整。

所述网格固定装置中网格数量和大小根据测试芯片的尺寸来决定。

所述针臂上凸出为三角形或菱形，对应的网格固定装置中的各个网格形状与其对应，达到固定作用。

本发明的有益效果在于：本发明调整悬臂探针卡针迹的方法，网格固定装置来替换悬臂探针卡的环氧树脂部分，来达到精确调整针迹的目的，降低了操作的难度性，节省了时间和成本，提高了效率。

附图说明

图1为现有悬臂探针卡使用示意图；

图2为本发明改造后的悬臂探针卡使用示意图；

图3为本发明悬臂探针卡固定仰视图；

图4为本发明悬臂探针卡固定立体示意图。

具体实施方式

如图1为现有悬臂探针卡使用示意图，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，此焊点和测试机的通道资源相连，从而达到测试设备资源和晶圆芯片管脚互通，中间针臂部分用环氧树脂与探针卡板pcb固定住。现在的悬臂探针卡针臂部分是固定在环氧树脂里的，无调整功能。

如图2所示本发明改造后的悬臂探针卡使用示意图，在悬臂探针卡设计制作时，对针臂进行一定的改造，如图3所示悬臂探针卡固定仰视图，用绝缘网格固定装置替换环氧树脂，网格固定装置与pcb板固定，针臂部分有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中的任意一个网格中，以此来固定探针，该网格固定装置类似9宫格，根据芯片的尺寸来决定相应的格数和大小，该网格固定装置里的网格可以上下移动，往针尖方向移动时可以调整针的位置，往针尾方向移动用以固定针臂，左右也可移动。调整时借以放大镜的辅助，通过原有的格子位置和调整后的格子位置即可知道调整的幅度，能够精确的调整到理想位置。

通过简单的格子位置变化达到调整针臂和针尖的位置，大大降低了调针的难度，并且能够一次性精确的调整到想要的位置，节省了大量维修的时间。

在悬臂探针卡制作时采用本发明的结构，将每根针采用独立的网格固定装置，并且针臂中间一段改造成矩形用于固定在网格固定装置的网格中，当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断前后左右如何调整，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，使得针臂上矩形所处网格位置调整到相应的移动网格里，重新盖上盖板。即做到了不需要专业人员来调整，节省了大量时间，也大大提高了调整针迹的精确度。

针臂上凸出矩形也可以设计成三角形或菱形，只要对应的网格固定装置中的各个网格形状与其对应，达到固定作用即可。

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种调整悬臂探针卡针迹的方法，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，焊点和测试机的通道资源相连，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，绝缘网格固定装置与探针卡板固定，针臂上有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中网格中，以此来固定探针；当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，再将针臂上矩形切入到调整后的网格里，重新盖上盖板，完成调整。网格固定装置来替换悬臂探针卡的环氧树脂部分，来达到精确调整针迹的目的，降低了操作的难度性，节省了时间和成本，提高了效率。

技术研发人员：王玉龙;叶建明;凌俭波;熊忠应;王锦
受保护的技术使用者：上海华岭集成电路技术股份有限公司
技术研发日：2017.06.26
技术公布日：2017.11.21