技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于多阶段ICA‑SVDD的间歇过程故障监测方法。用于工艺机理复杂并存在多个操作阶段的间歇过程。针对一些间歇过程具有的多阶段性和数据分布非高斯性问题，采用一种改进的阶段划分和故障监测方法。首先根据各个时间片的相似度和K均值算法进行阶段划分，然后对各阶段分别利用独立成分分析方法提取出非高斯的特征信息，最后引入支持向量数据描述算法对独立成分和剩余的高斯残差空间分别建立统计分析模型，实现对整个过程的故障监测。应用于一个实际的半导体蚀刻过程的故障监测，结果表明该方法对多阶段间歇过程具有更佳的监测效果。
技术研发人员：熊伟丽;郑皓;陈树
受保护的技术使用者：江南大学
技术研发日：2017.07.21
技术公布日：2017.10.20