本实用新型涉及一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路，属于控制电路技术领域。
背景技术：
目前，在蚀刻反应器里，除了电极板的设计、晶片摆设、反应气体的输出入、及RF电力的安置以外，终点探测系统也对蚀刻的制程控制有决定性的影响。为了确保蚀刻步骤能彻底的将被刻蚀薄膜加以清除，都在初步的蚀刻终了之后，再加上程度不等的过度蚀刻，以弥补因为薄膜厚度不均，或是其他因素所造成的蚀刻差距。而蚀刻终点及过度蚀刻的程度判断是否精准，则取决于终点探测系统的性能。因此如何提高终点探测系统的性能，从而更好的满足工艺要求就成为了广大电路设计者需要面对的难题。
技术实现要素：
本实用新型提供一种低功耗、低信噪比、信号传输速度快、稳定性高的全波长晶圆蚀刻终点探测控制电路系统，以解决上述背景技术提出的问题 。
一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路，它包括CPLD模块、CCD控制信号驱动模块、电源及过流保护器、电压变换器、CCD传感器、数据存储器、单片机控制模块、A/D转换模块、信号放大电路、以太网/USB通讯模块；其特征在于所述的CPLD模块中的CPLD芯片型号为5M1270Z TQ144；所述的单片机控制模块中的单片机芯片型号为PIC32MZ-144；所述的CCD传感器型号为S11155-2048-01；所述的单片机控制模块分别与数据存储器、电源及过流保护器、以太网/USB通讯模块、电压变换器、A/D转换模块相连；所述的CCD传感器分别与CCD控制信号驱动模块、电压变换器、信号放大电路相连；所述的CPLD模块分别与数据存储器、CCD控制信号驱动模块、电压变换器相连；
还包括所述A/D转换模块包括一AD9826型模/数信号转换芯片；
还包括所述的电压变换电路中包含有一AD5203型数字可调电阻芯片。
与现有技术相比，本实用新型有如下特点和进步：本实用新型提供的一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路，1、系统采用了型号为5M1270Z TQ144的CPLD芯片对CCD驱动控制，可使得系统具有低功耗、低信噪比、信号传输速度快等特点；
2、系统采用了型号为S11155-2048-01的CCD传感器可同时对200-800nm波段的光谱进行检测；
3、通过测试和试验，系统可稳定的保持100ms读取一幅光谱数据。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
如图1所示一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路，它包括CPLD模块、CCD控制信号驱动模块、电源及过流保护器、电压变换器、CCD传感器、数据存储器、单片机控制模块、A/D转换模块、信号放大电路、以太网/USB通讯模块；其特征在于所述的CPLD模块中的CPLD芯片型号为5M1270Z TQ144；所述的单片机控制模块中的单片机芯片型号为PIC32MZ-144；所述的CCD传感器型号为S11155-2048-01；所述的单片机控制模块分别与数据存储器、电源及过流保护器、以太网/USB通讯模块、电压变换器、A/D转换模块相连；所述的CCD传感器分别与CCD控制信号驱动模块、电压变换器、信号放大电路相连；所述的CPLD模块分别与数据存储器、CCD控制信号驱动模块、电压变换器相连；
还包括所述A/D转换模块包括一AD9826型模/数信号转换芯片；
还包括所述的电压变换电路中包含有一AD5203型数字可调电阻芯片。
本实用新型工作原理是： 系统上电后单片机控制模块驱动数据存储器将数据传给CPLD模块，CPLD将控制时序输送给CCD控制信号驱动模块，从而使CCD传感器开始工作。CCD检测到的光信号先经过信号放大电路放大，再经由A/D转换模块转换成数字信号后，传递给单片机控制模块。单片机模块将接收到的光信号处理后通过以太网/USB通讯模块输出。从而实现对半导体设备腔体内光信号的探测。