一种剥离液再生工艺段的压力控制系统的制作方法

本实用新型涉及剥离液再生工艺，尤其与一种剥离液再生工艺段的压力控制系统有关。

背景技术：

剥离液在微电子行业大量使用，应用于印刷电路板、液晶显示器、半导体集成电路等工艺制造中。对于使用后的剥离液废液，含有可再利用的组分以及可再利用的剥离液，若是能合理的实现再生利用，将极大降低成本。温度和压力是剥离液再生工艺中的重要参数，尤其是涉及脱水、蒸发、精馏工序等，需要良好的进行控制，以确保再生成品质量。

技术实现要素：

本实用新型提一种剥离液再生工艺段的压力控制系统，应用于剥离液再生系统，实现对关键压力参数的自动监测和自动控制，确保再生成品质量。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：

一种剥离液再生工艺段的压力控制系统，其特征在于，安装于剥离液再生系统上，包括PLC控制器，以及与PLC控制器连接的脱水塔压力控制模块、薄膜蒸发器压力控制模块、精馏塔压力控制模块、液晶显示器；

所述剥离液再生系统包括脱水塔、预热器、脱水循环泵、薄膜蒸发器、精馏塔、精馏循环泵、回流罐、回流泵、混合器；

所述脱水塔压力控制模块包括安装于脱水塔上的脱水塔塔顶压力表、脱水塔塔顶安全阀，以及与脱水塔连接的脱水塔再沸器；

所述薄膜蒸发器压力控制模块包括安装于薄膜蒸发器加热腔的薄膜蒸发器加热腔压力表、薄膜蒸发器加热腔蒸汽进气阀、薄膜蒸发器加热腔蒸汽泄压阀；

所述精馏塔压力控制模块包括安装于精馏塔上的精馏塔塔顶压力表、精馏塔塔顶排气阀，以及与精馏塔连接的精馏塔再沸器。

进一步，所述脱水塔顶部连接一冷凝器，底部连接脱水循环泵，脱水循环泵连接预热器和脱水塔再沸器，脱水塔再沸器连接脱水塔，预热器连接脱水塔、薄膜蒸发器和进料端。

进一步，所述薄膜蒸发器进料口连接预热器和精馏循环泵，顶部蒸汽出口连接精馏塔，底部设有残渣出口。

进一步，所述精馏塔进料端连接薄膜蒸发器的顶部蒸汽出口，精馏塔底部连接精馏循环泵，精馏循环泵连接薄膜蒸发器和精馏塔再沸器，精馏塔再沸器连接精馏塔，精馏塔顶部出口通过一冷凝器连接回流罐，回流罐连接回流泵，回流泵连接混合器和精馏塔。

进一步，所述脱水塔压力控制模块，用于检测脱水塔的压力参数反馈给PLC控制器，并响应PLC控制器的控制命令对压力进行调整。

进一步，所述薄膜蒸发器压力控制模块，用于检测薄膜蒸发器加热腔的压力参数反馈给PLC控制器，并响应PLC控制器的控制命令对压力进行调整。

进一步，所述精馏塔压力控制模块，用于检测精馏塔的压力参数反馈给PLC控制器，并响应PLC控制器的控制命令对压力进行调整。

本实用新型的有益效果：

通过脱水塔塔顶压力表、薄膜蒸发器加热腔压力表、精馏塔塔顶压力表采集脱水塔、薄膜蒸发器加热腔、精馏塔的压力数值，并由PLC控制器收集，在液晶显示器上予以显示；同时PLC控制器内部设置压力控制参数，将收集的数值与控制参数对比，根据需要增压或检减压的结果，PLC控制器反馈调节命令给脱水塔压力控制模块、薄膜蒸发器压力控制模块、精馏塔压力控制模块，由脱水塔再沸器、薄膜蒸发器加热腔蒸汽进气阀、精馏塔再沸器分别实现对脱水塔、薄膜蒸发器加热腔、精馏塔的加压，或由脱水塔塔顶安全阀、薄膜蒸发器加热腔蒸汽泄压阀、精馏塔塔顶排气阀实现对脱水塔、薄膜蒸发器加热腔、精馏塔的减压，以使得整个剥离液再生系统的压力参数处于理想的范围，确保成品质量。

附图说明

图1是本实用新型压力控制系统结构图。

图2是本实用新型应用的剥离液再生系统结构图。

图3是本实用新型脱水塔压力控制模块结构图。

图4是本实用新型薄膜蒸发器压力控制模块结构图。

图5是本实用新型精馏塔压力控制模块结构图。

具体实施方式

如图1~5所示，一种剥离液再生工艺段的压力控制系统，安装于剥离液再生系统上，包括PLC控制器，以及与PLC控制器连接的脱水塔压力控制模块、薄膜蒸发器压力控制模块、精馏塔压力控制模块、液晶显示器。

脱水塔压力控制模块，用于检测脱水塔的压力参数反馈给PLC控制器，并响应PLC控制器的控制命令对压力进行调整；薄膜蒸发器压力控制模块，用于检测薄膜蒸发器加热腔的压力参数反馈给PLC控制器，并响应PLC控制器的控制命令对压力进行调整；精馏塔压力控制模块，用于检测精馏塔的压力参数反馈给PLC控制器，并响应PLC控制器的控制命令对压力进行调整。

所述剥离液再生系统包括脱水塔、预热器、脱水循环泵、薄膜蒸发器、精馏塔、精馏循环泵、回流罐、回流泵、混合器；

所述脱水塔压力控制模块包括安装于脱水塔上的脱水塔塔顶压力表、脱水塔塔顶安全阀，以及与脱水塔连接的脱水塔再沸器；

所述薄膜蒸发器压力控制模块包括安装于薄膜蒸发器加热腔的薄膜蒸发器加热腔压力表、薄膜蒸发器加热腔蒸汽进气阀、薄膜蒸发器加热腔蒸汽泄压阀；

所述精馏塔压力控制模块包括安装于精馏塔上的精馏塔塔顶压力表、精馏塔塔顶排气阀，以及与精馏塔连接的精馏塔再沸器。

具体的，所述脱水塔顶部连接一冷凝器，底部连接脱水循环泵，脱水循环泵连接预热器和脱水塔再沸器，脱水塔再沸器连接脱水塔，预热器连接脱水塔、薄膜蒸发器和进料端。

具体的，所述薄膜蒸发器进料口连接预热器和精馏循环泵，顶部蒸汽出口连接精馏塔，底部设有残渣出口。

具体的，所述精馏塔进料端连接薄膜蒸发器的顶部蒸汽出口，精馏塔底部连接精馏循环泵，精馏循环泵连接薄膜蒸发器和精馏塔再沸器，精馏塔再沸器连接精馏塔，精馏塔顶部出口通过一冷凝器连接回流罐，回流罐连接回流泵，回流泵连接混合器和精馏塔。

废剥离液从进料端进入，通过预热器进入脱水塔，通过脱水循环泵在脱水塔再沸器中循环，并被部分蒸发，气体往上穿过脱水塔，液体在填料内传热传至，达到纯化目的，脱水塔顶部出口连接的冷凝器冷凝形成高纯度水，脱水后的废剥离液进入蒸发单元，通过预热器后，进入薄膜蒸发器，光阻剂和有效成分在薄膜蒸发器中被分离，有效成分汽化，光阻剂等沸点高，无法被蒸发，在重力作用下以残渣形式排出，被蒸发的气态物质进入精馏塔，蒸汽向上穿过填料，和回流的液态物料在填料中传热和传至，达到纯化物料并捕集雾沫的作用，气态物料在冷凝器中冷凝为液体，有回流泵将一部分回流精馏塔，另一部分送出；从蒸发单元进入精馏塔的物料通过精馏循环泵在精馏塔再沸器中循环受热，并部分汽化，再次进入精馏塔，为被汽化的物料送回薄膜蒸发器继续蒸发。

通过脱水塔塔顶压力表、薄膜蒸发器加热腔压力表、精馏塔塔顶压力表采集脱水塔、薄膜蒸发器加热腔、精馏塔的压力数值，并由PLC控制器收集，在液晶显示器上予以显示；同时PLC控制器内部设置压力控制参数，将收集的数值与控制参数对比，根据需要增压或检减压的结果，PLC控制器反馈调节命令给脱水塔压力控制模块、薄膜蒸发器压力控制模块、精馏塔压力控制模块，由脱水塔再沸器、薄膜蒸发器加热腔蒸汽进气阀、精馏塔再沸器分别实现对脱水塔、薄膜蒸发器加热腔、精馏塔的加压，或由脱水塔塔顶安全阀、薄膜蒸发器加热腔蒸汽泄压阀、精馏塔塔顶排气阀实现对脱水塔、薄膜蒸发器加热腔、精馏塔的减压，以使得整个剥离液再生系统的压力参数处于理想的范围，确保成品质量。