一种高精度恒温设备的制作方法

本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种高精度恒温设备。

背景技术：

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。在半导体的使用过程中，必然伴随半导体设备发热，为了保证半导体设备的正常运行，往往需要给半导体设备配备制冷或者恒温装置。目前常用的有加热管、风扇等，传统的恒温设备控制精度低，温差范围大，热稳定性不好，这对于要求控制恒温并且精度要求很高的半导体设备，这样控制方式很难达到要求，为此，我们提出一种高精度恒温设备。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种高精度恒温设备，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种高精度恒温设备，包括外箱体，所述外箱体的内壁上安装有制冷器，所述外箱体的内侧安装有加热器，且所述外箱体的内部底端安装有固定座，所述固定座上活动安装有第一旋转齿轮，且所述外箱体的下端固定有防护框，所述防护框的内部安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端连接有旋转轴，所述旋转轴贯穿外箱体延伸至外箱体的内部，且所述旋转轴的上端固定安装有第二旋转齿轮，所述第二旋转齿轮与第一旋转齿轮相啮合，且所述第一旋转齿轮的上端固定安装有内箱体，所述内箱体的上方侧端固定有滑板，且所述外箱体的侧壁倾斜固定有支撑板，所述支撑板上固定有与滑板相匹配的滑槽，且所述外箱体、内箱体、滑板、支撑板、滑槽形成一个空腔，所述内箱体的外侧安装有第一温度传感器，所述内箱体的内侧安装有第二温度传感器，且所述内箱体的外侧固定有若干个旋转结构，所述旋转结构由固定杆、旋转套、叶片构成，所述固定杆安装在内箱体的外侧壁上，所述旋转套活动安装在固定杆上，所述旋转套上安装有叶片，且所述外箱体的上端通过安装有箱盖。

优选的，所述外箱体的下端固定安装有四个万向轮。

优选的，所述外箱体、箱盖均由外层、保温层、内层构成，且所述外层采用abs塑料材料制成，所诉保温层采用pe泡沫保温材料制成，所述内层采用铝合金材料制成，且所述内箱体采用铝合金材料制成。

优选的，所述滑板、支撑板均为环形结构。

优选的，所述空腔内设有蒸馏水。

优选的，所述第一温度传感器、第二温度传感器的型号均为lc77ay-1。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该种高精度恒温设备，使用时，将工作的半导体设备放入内箱体内，关闭箱盖，通过控制器设定内箱体内的温度，第二温度传感器实时监测内箱体内的温度，内箱体工作时产生热量，内箱体内的温度升高，温度升高第二温度传感器监测到将信息传递到控制器，控制器控制制冷器制冷，同时启动旋转电机，旋转电机旋转通过旋转轴带动第二旋转齿轮旋转，第二旋转齿轮带动第一旋转齿轮旋转，从而带动内箱体旋转，内箱体转动时带动旋转结构转动，旋转结构转动时叶片在固定杆上旋转，带动空腔内的蒸馏水流动，便于蒸馏水均匀制冷，同时便于加快与内箱体进行热量的交换，第一温度传感器实时监测蒸馏水的温度，当蒸馏水的温度低于设定值时，制冷器停止工作，便于维持内箱体内的温度稳定，反之，当内箱体内的温度低于设定值时，启动加热器加热蒸馏水，维持内箱体内的温度稳定，防止蒸馏水的温度和内箱体内的温度温差过大，精确度高，热稳定性好。

附图说明

图1为本实用新型一种高精度恒温设备的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种高精度恒温设备图1中的a部分的侧面放大结构示意图；

图3为本实用新型一种高精度恒温设备的外箱体的平面示意图。

图中：1、外箱体；2、制冷器；3、加热器；4、固定座；5、第一旋转齿轮；6、防护框；7、旋转电机；8、旋转轴；9、第二旋转齿轮；10、内箱体；11、滑板；12、支撑板；13、滑槽；14、空腔；15、第一温度传感器；16、第二温度传感器；17、箱盖；18、万向轮；19、固定杆；20、旋转套；21、叶片；22、外层；23、保温层；24、内层。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-3所示，一种高精度恒温设备，包括外箱体1，所述外箱体1的内壁上安装有制冷器2，所述外箱体1的内侧安装有加热器3，且所述外箱体1的内部底端安装有固定座4，所述固定座4上活动安装有第一旋转齿轮5，且所述外箱体1的下端固定有防护框6，所述防护框6的内部安装有旋转电机7，所述旋转电机7的输出端连接有旋转轴8，所述旋转轴8贯穿外箱体1延伸至外箱体1的内部，且所述旋转轴8的上端固定安装有第二旋转齿轮9，所述第二旋转齿轮9与第一旋转齿轮5相啮合，且所述第一旋转齿轮5的上端固定安装有内箱体10，所述内箱体10的上方侧端固定有滑板11，且所述外箱体1的侧壁倾斜固定有支撑板12，所述支撑板12上固定有与滑板11相匹配的滑槽13，且所述外箱体1、内箱体10、滑板11、支撑板12、滑槽13形成一个空腔14，所述内箱体10的外侧安装有第一温度传感器15，所述内箱体10的内侧安装有第二温度传感器16，且所述内箱体10的外侧固定有若干个旋转结构，所述旋转结构由固定杆19、旋转套20、叶片21构成，所述固定杆19安装在内箱体10的外侧壁上，所述旋转套20活动安装在固定杆19上，所述旋转套20上安装有叶片21，且所述外箱体1的上端通过安装有箱盖17。

本实施例中，优选的，所述外箱体1的下端固定安装有四个万向轮18。

本实施例中，优选的，所述外箱体1、箱盖17均由外层22、保温层23、内层24构成，且所述外层22采用abs塑料材料制成，所诉保温层23采用pe泡沫保温材料制成，所述内层24采用铝合金材料制成，且所述内箱体10采用铝合金材料制成。

本实施例中，优选的，所述滑板11、支撑板12均为环形结构。

本实施例中，优选的，所述空腔14内设有蒸馏水。

本实施例中，优选的，所述第一温度传感器15、第二温度传感器16的型号均为lc77ay-1。

需要说明的是，本实用新型为一种高精度恒温设备，使用时，将工作的半导体设备放入内箱体10内，关闭箱盖17，通过控制器设定内箱体10内的温度，第二温度传感器16实时监测内箱体10内的温度，内箱体10工作时产生热量，内箱体10内的温度升高，温度升高第二温度传感器16监测到将信息传递到控制器，控制器控制制冷器2制冷，同时启动旋转电机7，旋转电机7旋转通过旋转轴8带动第二旋转齿轮9旋转，第二旋转齿轮9带动第一旋转齿轮5旋转，从而带动内箱体10旋转，内箱体10转动时带动旋转结构转动，旋转结构转动时叶片21在固定杆19上旋转，带动空腔14内的蒸馏水流动，便于蒸馏水均匀制冷，同时便于加快与内箱体10进行热量的交换，第一温度传感器15实时监测蒸馏水的温度，当蒸馏水的温度低于设定值时，制冷器2停止工作，便于维持内箱体10内的温度稳定，反之，当内箱体10内的温度低于设定值时，启动加热器3加热蒸馏水，维持内箱体10内的温度稳定，防止蒸馏水的温度和内箱体10内的温度温差过大，精确度高，热稳定性好。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。