一种电子标签的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种电子标签，所述电子标签包含一开关装置，所述开关装置至少包含：固定单元、柱体、弹性单元、第一弹性金属片、第二弹性金属片、第一引线和第二引线；当固定所述电子标签的螺丝出现松动时，所述电子标签一端出现倾斜，此时所述开关装置使得所述电子标签中的电路处于断路状态，所述电子标签中的电路处于断路状态时，不能被存储货架上的电子标签读取器读取相关信息，从而不能进入存储货架而被及时发现，有效地防止了螺丝彻底松动使得电子标签从高空坠落的问题，避免了造成电子标签的损坏以及砸伤人事件的发生。
【专利说明】一种电子标签
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体工艺设备【技术领域】，特别是涉及一种电子标签。
【背景技术】
[0002]电子标签(Smart tag)广泛应用于半导体行业中，主要安装在晶圆盒(Pod)上，用于显示晶圆盒中晶圆以及晶圆盒的清洗数据等相关信息。所述电子标签在通电的状态下，将其置于Stocker (存储货架)上，电子标签读取器会为所述电子标签写入或读取晶圆盒中晶圆以及晶圆盒的清洗数据等相关信息。所述电子标签中的电路连接示意图如图1所示，所述电子标签11包含两个供电装置111、一个第一接线单元112和两个第二接线单元113，所述两个供电装置111均包含一个正极和一个负极，所述两个供电装置111的正极均通过导线114与所述第一接线单元112相连接，所述两个供电装置111的负极分别通过所述导线114与相邻的第二接线单元113相连接。
[0003]如图2所示，目前所使用的电子标签11 一般通过四个螺丝12固定在一个塑料板13上，再由此塑料板13卡紧晶圆盒14表面的支架15的卡槽内。而在使用的过程中，当四个螺丝12有稍许松动时，是不容易被发现的；而所述螺丝12的松动不会对所述电子标签11自身的电路产生任何影响，所述电子标签11仍可放入存储货架并被电子标签读取器读写相关的信息，并会被运送至自动物料运输系统中的OHS (空中往返运输车)上进行运输，而随着所述电子标签11使用次数的增加，所述螺丝12会彻底的松动，所述电子标签11在运输的过程中极易从OHS上掉落，不但造成了所述电子标签11自身的损坏，还存在砸伤人的风险。
[0004]鉴于此，有必要设计一种新的电子标签用以解决上述技术问题。
实用新型内容
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种电子标签，用于解决现有技术中由于由于固定电子标签的螺丝松动不能被及时发现，进而导致电子标签在运输的过程中从空中掉落，造成电子标签自身的损坏，且存在砸伤人的风险的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种电子标签，所述电子标签包含后盖、两个供电装置、第一接线单元和两个第二接线单元，所述供电装置均包含一个正极和一个负极，所述第一接线单元与所述两个供电装置的正极电连接，所述电子标签后盖上设有插孔，所述电子标签还包含一开关装置，所述开关装置至少包含:固定单元、柱体、弹性单元、第一弹性金属片、第二弹性金属片、第一引线和第二引线；其中，所述固定单元包含固定端和接线端，置于所述电子标签内，所述固定端固定于所述插孔四周的后盖内壁上，所述接线端设有引线引出孔；所述柱体一端置于所述固定单元内，另一端穿过所述固定端和插孔置于所述电子标签后盖的外侧；所述弹性单元一端固定于所述固定单元内，另一端与所述柱体相连接；所述第一弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的一侧，另一端指向所述接线端的中部；所述第二弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的另一侧，另一端指向所述接线端的中部；且所述第一弹性金属片和所述第二弹性金属片不接触；所述第一引线一端与所述第一弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述第二接线单元相连接；所述第二引线一端与所述第二弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述两供电装置的负极相连接。
[0007]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述柱体为圆柱体或长方体。
[0008]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述固定单元接线端的距离。
[0009]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述固定单元内还设有定位单元，适于限定所述柱体在所述固定单元内活动的区域，所述定位单元包含第一定位单元、第二定位单元；其中，所述第一定位单元固定于所述固定单元内，为中空结构，且两端设有通孔；所述弹性单元设置于所述第一定位单元内，所述柱体通过所述通孔贯穿所述第一定位单元；所述第二定位单元固定于所述接线端中部。
[0010]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述第二定位单元的距离。
[0011]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述第一弹性金属片与所述第二弹性金属片的长度之和大于所述固定单元的宽度。
[0012]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型还提供一种电子标签，所述电子标签包含后盖、两个供电装置、第一接线单元和两个第二接线单元，所述供电装置均包含一个正极和一个负极，所述第一接线单元与所述两个供电装置的正极电连接，所述电子标签后盖上设有插孔，所述电子标签还包含一开关装置，所述开关装置至少包含:固定单元、第一定位单元、柱体、弹性单元、第一弹性金属片、第二弹性金属片、第一引线和第二引线；其中，所述固定单元包含固定端和接线端，置于所述电子标签内，所述固定端固定于所述插孔四周的后盖内壁上，所述接线端设有引线引出孔；所述第一定位单元固定于所述固定单元内，为中空结构，且两端设有相对应的通孔；所述柱体一端通过所述通孔贯穿所述第一定位单元，另一端穿过所述固定端和插孔置于所述电子标签后盖的外侧；所述柱体置于所述第一定位单元部分的两侧设有侧翼，所述侧翼与所述柱体形成为一体；所述弹性单元置于所述第一定位单元内，且套置于所述柱体自侧翼至所述第一定位单元靠近所述接线端部分的外围；所述弹性单元的直径大于所述通孔沿平行于所述第一定位单元两端方向上的尺寸，且小于所述侧翼两端的距离；所述第一弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的一侧，另一端指向所述接线端的中部；所述第二弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的另一侧，另一端指向所述接线端的中部；且所述第一弹性金属片和所述第二弹性金属片不接触；所述第一引线一端与所述第一弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述第二接线单元相连接；所述第二引线一端与所述第二弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述两供电装置的负极相连接。
[0013]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述柱体为圆柱体或长方体。
[0014]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述固定单元接线端的距离。
[0015]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述侧翼至所述柱体靠近所述接线端一端的距离大于或等于所述第一定位单元至所述接线端的距离。
[0016]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述固定单元内还设有第二定位单元；所述第二定位单元固定于所述接线端中部。
[0017]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述第二定位单元的距离。
[0018]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述侧翼至所述柱体靠近所述接线端一端的距离大于或等于所述第一定位单元至所述第二定位单元的距离。
[0019]作为本实用新型的电子标签的一种优选方案，所述第一弹性金属片与所述第二弹性金属片的长度之和大于所述固定单元的宽度。
[0020]如上所述，本实用新型的电子标签，具有以下有益效果:所述电子标签新增了一个开关装置，所述开关装置包含可以活动的柱体、受所述柱体控制的弹性单元、两个一端固定的弹性金属片，以及一端与两个弹性金属片相连接、另一端分别于供电装置负极和第二接线单元连接的引线，当所述电子标签被螺丝紧紧地固定在塑料板上时，柱体压缩弹性单元，压紧两个弹性金属片并使二者接触，使得所述电子标签中的电路处于导通状态；当固定所述电子标签的螺丝出现松动时，所述电子标签一端出现倾斜，此时所述柱体在弹性单元弹力的作用下从所述两个弹性金属片处弹开，两个弹性金属片重新分离，使得所述电子标签中的电路处于断路状态，所述电子标签中的电路处于断路状态时，不能被存储货架上的电子标签读取器读取相关信息，从而不能进入存储货架而被及时发现，有效地防止了螺丝彻底松动使得电子标签从高空坠落的问题，避免了造成电子标签的损坏以及砸伤人事件的发生。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1显示为现有技术中电子标签内部连线结构示意图。
[0022]图2显示为现有技术中电子标签固定于晶圆盒上的侧视图。
[0023]图3显示为本实用新型实施例一中提供的开关装置的结构示意图。
[0024]图4显示为本实用新型实施例一中提供的电子标签内部连线结构示意图。
[0025]图5显示为本实用新型实施例一中提供的电子标签固定与晶圆盒上螺丝未松动时的侧视图。
[0026]图6显示为图5中A区域的放大图。
[0027]图7显示为本实用新型实施例一中提供的电子标签固定与晶圆盒上螺丝松动时的侧视图。
[0028]图8显示为图7中B区域的放大图。
[0029]图9显示为本实用新型实施例二中提供的开关装置的结构示意图。
[0030]元件标号说明
[0031]11电子标签
[0032]111供电装置
[0033]112第一接线单元
[0034]113第二接线单元
[0035]114导线
[0036]12螺丝
[0037]13塑料板
[0038]14晶圆盒
[0039]15支架
[0040]2电子标签
[0041]21供电装置
[0042]22第一接线单元
[0043]23第二接线单元
[0044]24导线
[0045]25开关装置
[0046]251固定单元
[0047]251a固定端
[0048]251b接线端
[0049]252柱体
[0050]252a侧翼
[0051]253弹性单元
[0052]254第一弹性金属片
[0053]255第二弹性金属片
[0054]256第一引线
[0055]257第二引线
[0056]258定位单元
[0057]258a第一定位单元
[0058]258b第二定位单元
[0059]259后盖
[0060]3螺丝
[0061]4塑料板
[0062]5晶圆盒
[0063]6支架
【具体实施方式】
[0064]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0065]请参阅图3至图9。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0066]实施例一
[0067]请参阅图3至图4，所述电子标签2包含两个供电装置21、第一接线单元22和两个第二接线单元23，所述供电装置21均包含一个正极和一个负极，所述第一接线单元22与所述两个供电装置21的正极电连接，所述电子标签2后盖上设有插孔，所述电子标签2还包含一开关装置25，所述开关装，25至少包含:固定单元251、柱体252、弹性单元253、第一弹性金属片254、第二弹性金属片255、第一引线256和第二引线257 ;其中，所述固定单元251包含固定端251a和接线端251b，置于所述电子标签2内，所述接线端251b设有引线引出孔；所述柱体252 —端置于所述固定单元251内，另一端穿过所述固定端251a和插孔置于所述电子标签2后盖的外侧；所述弹性单元253—端固定于所述固定单元251内，另一端与所述柱体252相连接；所述第一弹性金属片254置于所述固定单元251内，一端固定于所述固定单元251的接线端251b的一侧，另一端指向所述接线端251b的中部；所述第二弹性金属片255置于所述固定单兀251内，一端固定于所述固定单兀251的接线端251b的另一侦牝另一端指向所述接线端251b的中部；且所述第一弹性金属片254和所述第二弹性金属片255不接触；所述第一引线256 —端与所述第一弹性金属片254相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述第二接线单元23相连接；所述第二引线257—端与所述第二弹性金属片255相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述两供电装置21的负极相连接。
[0068]具体的，请参阅图3，所述固定单元251内还设有定位单元258，适于限定所述柱体252在所述固定单元251内活动的区域，所述定位单元258包含第一定位单元258a、第二定位单元258b ;其中，所述第一定位单元258a固定于所述固定单元251内，为中空结构，且两端设有通孔；所述弹性单元253设置于所述第一定位单元258a内，所述柱体252通过所述通孔贯穿所述第一定位单元258a ;所述第二定位单元258b固定于所述接线端251b中部。
[0069]由于所述柱体252的尺寸与所述固定单元251的长度、以及所述电子标签2的后盖的厚度精确匹配，在所述固定单元251内设置定位单元258，可以有效地保证所述柱体252始终沿直线运动，防止柱体252发生倾斜而被卡在所述固定单元251内，使所述开关装置25出现故障。
[0070]具体的，所述柱体252可以为圆柱体，也可以为长方体。
[0071]请参阅图5至图6，当所述电子标签2被所述螺丝3旋紧固定于所述塑料板4上时，所述柱体252被完全压至所述电子标签2内部，所述柱体252压紧所述弹性单元253，且所述柱体252压紧所述第一弹性金属片254和所述第二弹性金属片255，使得二者彼此接触，此时，通过所述第一弹性金属片254与所述第二弹性金属片255的接触，使得所述电子标签2中的电路连通，所述电子标签2可以在生产过程中正常使用。
[0072]需要说明的是，在所述开关装置25内没有设置第二定位装置258b时，所述柱体252的长度应等于所述后盖259的外壁至所述固定单元251接线端251b的距离；当所述开关装置25内设置有所述第二定位装置258bc时，所述柱体252的长度应等于所述后盖259的外壁至所述第二定位装置258b的距离。
[0073]需要进一步说明的是，所述第一弹性金属片254与所述第二弹性金属片255的长度之和应大于所述固定单元251的宽度，以确保所述柱体252压紧所述第一弹性金属片254和所述第二弹性金属片255时,所述第一弹性金属片254与所述第二弹性金属片255能够彼此接触。
[0074]请参阅图7至图8，当固定所述电子标签2的螺丝3出现松动时，所述电子标签2在重力的作用下会发生倾斜，此时，所述开关装置25内的柱体252不受外界的压力，其在所述弹性单元253的弹力作用下会有一部分被弹出所述电子标签2，此时，所述柱体252不对所述第一弹性金属片254和所述第二弹性金属片255施加压力，所述第一弹性金属片254和所述第二弹性金属片255在自身弹力的作用下被弹开，此时，所述电子标签2中的电路断开，使得所述电子标签2被放置存储货架上以后，存储货架的电子标签读取器不能读取所述电子标签2的相关信息，所述电子标签2则不能进入存储货架，更不会被运送至空中往返运输车上，有效地防止了所述电子标签2从高空坠落的问题，避免了造成所述电子标签2的损坏以及砸伤人事件的发生。
[0075]实施例二
[0076]本实施例中还提供一种电子标签，所述电子标签的结构与实施例一中的电子标签大致相同，且所述电子标签内部连线结构与实施例一完全相同，请结合图4，参阅图9，本实施例中所述电子标签同样包含一开关装置25,不同之处在于:本实施例与实施例一所述开关装置25至少包含:固定单元251、第一定位单元258a、柱体252、弹性单元253、第一弹性金属片254、第二弹性金属片255、第一引线256和第二引线257 ;其中，所述固定单元251包含固定端251a和接线端251b，置于所述电子标签内，所述固定端251a固定于所述插孔四周的后盖内壁上，所述接线端251b设有引线253引出孔；所述第一定位单元258a固定于所述固定单元251内，为中空结构，且两端设有相对应的通孔；所述柱体252 —端通过所述通孔贯穿所述第一定位单元258a，另一端穿过所述固定端251a和插孔置于所述电子标签后盖的外侧；所述柱体252置于所述第一定位单元258a部分的两侧设有侧翼252a，所述侧翼252a与所述柱体252形成为一体；所述弹性单元253置于所述第一定位单元258a内，且套置于所述柱体252自侧翼252a至所述第一定位单元258a靠近所述接线端251b部分的外围；所述弹性单元253的直径大于所述通孔沿平行于所述第一定位单元258a两端方向上的尺寸，且小于所述侧翼252a两端的距离；所述第一弹性金属片254置于所述固定单元251内，一端固定于所述固定单元251的接线端251b的一侧，另一端指向所述接线端251b的中部；所述第二弹性金属片255置于所述固定单元251内，一端固定于所述固定单元251的接线端251b的另一侧，另一端指向所述接线端251b的中部；且所述第一弹性金属片254和所述第二弹性金属片255不接触；所述第一引线256 —端与所述第一弹性金属片254相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述第二接线单元23相连接；所述第二引线257 —端与所述第二弹性金属片255相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述两供电装置21的负极相连接。
[0077]本实施例中所述电子标签的工作原理与实施例一中相同，具体的可参阅实施例一及图5至图8，这里不再累述。
[0078]综上所述，本实用新型提供一种电子标签，所述电子标签新增了一个开关装置，所述开关装置包含可以活动的柱体、受所述柱体控制的弹性单元、两个一端固定的弹性金属片，以及一端与两个弹性金属片相连接、另一端分别于供电装置负极和第二接线单元连接的引线，当所述电子标签被螺丝紧紧地固定在塑料板上时，柱体压缩弹性单元，压紧两个弹性金属片并使二者接触，使得所述电子标签中的电路处于导通状态；当固定所述电子标签的螺丝出现松动时，所述电子标签一端出现倾斜，此时所述柱体在弹性单元弹力的作用下从所述两个弹性金属片处弹开，两个弹性金属片重新分离，使得所述电子标签中的电路处于断路状态，所述电子标签中的电路处于断路状态时，不能被存储货架上的电子标签读取器读取相关信息，从而不能进入存储货架而被及时发现，有效地防止了螺丝彻底松动使得电子标签从高空坠落的问题，避免了造成电子标签的损坏以及砸伤人事件的发生。
[0079]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种电子标签，包含后盖、两个供电装置、第一接线单元和两个第二接线单元，所述供电装置均包含一个正极和一个负极，所述第一接线单元与所述两个供电装置的正极电连接，其特征在于，所述电子标签后盖上设有插孔，所述电子标签还包含一开关装置，所述开关装置至少包含:固定单元、柱体、弹性单元、第一弹性金属片、第二弹性金属片、第一引线和第二引线； 其中，所述固定单元包含固定端和接线端，置于所述电子标签内，所述固定端固定于所述插孔四周的后盖内壁上，所述接线端设有引线引出孔； 所述柱体一端置于所述固定单元内，另一端穿过所述固定端和插孔置于所述电子标签后盖的外侧； 所述弹性单元一端固定于所述固定单元内，另一端与所述柱体相连接； 所述第一弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的一侦U，另一端指向所述接线端的中部；所述第二弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的另一侧，另一端指向所述接线端的中部；且所述第一弹性金属片和所述第二弹性金属片不接触； 所述第一引线一端与所述第一弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述第二接线单元相连接；所述第二引线一端与所述第二弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述两供电装置的负极相连接。
2.根据权利要求1所述的电子标签，其特征在于:所述柱体为圆柱体或长方体。
3.根据权利要求1所述的电子标签，其特征在于:所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述固定单元接线端的距离。
4.根据权利要求1所述的电子标签，其特征在于:所述固定单元内还设有定位单元，适于限定所述柱体在所述固定单元内活动的区域，所述定位单元包含第一定位单元、第二定位单元； 其中，所述第一定位单元固定于所述固定单元内，为中空结构，且两端设有通孔；所述弹性单元设置于所述第一定位单元内，所述柱体通过所述通孔贯穿所述第一定位单元；所述第二定位单元固定于所述接线端中部。
5.根据权利要求4所述的电子标签，其特征在于:所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述第二定位单元的距离。
6.根据权利要求1所述的电子标签，其特征在于:所述第一弹性金属片与所述第二弹性金属片的长度之和大于所述固定单元的宽度。
7.一种电子标签，包含后盖、两个供电装置、第一接线单元和两个第二接线单元，所述供电装置均包含一个正极和一个负极，所述第一接线单元与所述两个供电装置的正极电连接，其特征在于，所述电子标签后盖上设有插孔，所述电子标签还包含一开关装置，所述开关装置至少包含:固定单元、第一定位单元、柱体、弹性单元、第一弹性金属片、第二弹性金属片、第一引线和第二引线； 其中，所述固定单元包含固定端和接线端，置于所述电子标签内，所述固定端固定于所述插孔四周的后盖内壁上，所述接线端设有引线引出孔； 所述第一定位单元固定于所述固定单元内，为中空结构，且两端设有相对应的通孔； 所述柱体一端通过所述通孔贯穿所述第一定位单元，另一端穿过所述固定端和插孔置于所述电子标签后盖的外侧；所述柱体置于所述第一定位单元部分的两侧设有侧翼，所述侧翼与所述柱体形成为一体； 所述弹性单元置于所述第一定位单元内，且套置于所述柱体自侧翼至所述第一定位单元靠近所述接线端部分的外围；所述弹性单元的直径大于所述通孔沿平行于所述第一定位单元两端方向上的尺寸，且小于所述侧翼两端的距离； 所述第一弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的一侦U，另一端指向所述接线端的中部；所述第二弹性金属片置于所述固定单元内，一端固定于所述固定单元的接线端的另一侧，另一端指向所述接线端的中部；且所述第一弹性金属片和所述第二弹性金属片不接触； 所述第一引线一端与所述第一弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述第二接线单元相连接；所述第二引线一端与所述第二弹性金属片相连接，另一端穿过所述引线引出孔与所述两供电装置的负极相连接。
8.根据权利要求7所述的电子标签，其特征在于:所述柱体为圆柱体或长方体。
9.根据权利要求7所述的电子标签，其特征在于:所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述固定单元接线端的距离。
10.根据权利要求7所述的电子标签，其特征在于:所述侧翼至所述柱体靠近所述接线端一端的距离大于或等于所述第一定位单元至所述接线端的距离。
11.根据权利要求7所述的电子标签，其特征在于:所述固定单元内还设有第二定位单元；所述第二定位单元固定于所述接线端中部。
12.根据权利要求11所述的电子标签，其特征在于:所述柱体的长度等于所述后盖的外壁至所述第二定位单元的距离。
13.根据权利要求11所述的电子标签，其特征在于:所述侧翼至所述柱体靠近所述接线端一端的距离大于或等于所述第一定位单元至所述第二定位单元的距离。
14.根据权利要求7所述的电子标签，其特征在于:所述第一弹性金属片与所述第二弹性金属片的长度之和大于所述固定单元的宽度。
【文档编号】G06K19/077GK204009989SQ201420478074
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年8月22日 优先权日:2014年8月22日
【发明者】刘彬, 丁可, 范敏军 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司