一种半导体流程菜单的自动生成装置及方法与流程

本发明属于半导体工艺技术领域，具体涉及一种半导体流程菜单的自动生成装置及方法。

背景技术：

目前在半导体工艺同类型的不同产品都有类似的工序和工步，其工艺流程步骤完全相同，生产参数相似，即主体相同，仅仅存在菜单不一样的时候，其工艺流程包括了相同工艺流程部分，且所有工艺流程都要重新编辑和审批。

上述方法在通过审批后的菜单需要更换或者更新菜单时，必须重设整个工艺流程再通过审批认证，导致工作量大，且对于比较复杂的工艺流程重新编辑时易出错，大大降低了流程设定的效率。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本发明提供了一种半导体流程菜单自动生成装置及方法，该方法减少工艺流程设置工作量，提高了更新或者更换菜单的效率。

第一方面，本发明提供一种半导体流程菜单的自动生成方法，包括：

接收用户选择的半导体产品的工艺流程的指令；

根据所述指令向用户发送输入所述工艺流程预设参数的对话框；

接收用户在对话框中输入的预设参数，生成并保存与所述预设参数相对应的工艺流程。

可选的，所述方法还包括：

接收用户对所述生成的工艺流程命名的指令。

可选的，所述工艺流程中的预设参数包括：

产品生产ID、产品配方ID、产品工艺流程ID、产品预设规范值。

可选的，所述接收用户在对话框中输入的预设参数包括：产品生产ID和产品工艺流程ID。

可选的，所述方法还包括：

更新所述工艺流程。

第二方面，本发明还提供了一种半导体流程菜单的自动生成装置，包括：

第一接收模块，用于接收用户选择的半导体产品的工艺流程的指令；

发送模块，用于根据所述指令向用户发送输入所述工艺流程预设参数的对话框；

生成模块，用于接收用户在对话框中输入的预设参数，生成并保存与所述预设参数相对应的工艺流程。

可选的，所述装置还包括：

第二接收模块，用于接收用户对所述生成的工艺流程命名的指令。

可选的，所述工艺流程中的预设参数包括：

产品生产ID、产品配方ID、产品工艺流程ID、产品预设规范值。

可选的，所述接收用户在对话框中输入的预设参数包括：产品生产ID和产品工艺流程ID。

可选的，所述装置还包括：

更新模块，用于更新所述工艺流程。

由上述技术方案可知，本发明提供的一种半导体流程菜单的自动生成装置及方法，该方法通过接收用户选择的工艺流程指令，根据该指令向用户发送输入工艺流程预设参数的对话框，接收用户在对话框 中输入端预设参数，生成并保存工艺流程，该方法减少工艺流程设置工作量，提高了更新或者更换菜单的效率，具有实时性高，操作简便，实用性强等特点。

附图说明

图1为本发明一实施例提供的一种半导体流程菜单的自动生成方法的流程示意图；

图2A至图2J为本发明一实施例提供的菜单设置的页面示意图；

图3为本发明一实施例提供的一种半导体流程菜单的自动生成装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

图1示出了本发明实施例提供的一种半导体流程菜单的自动生成方法的流程示意图，如图1所示，该方法包括如下步骤：

101、接收用户选择的半导体产品的工艺流程的指令；

102、根据所述指令向用户发送输入所述工艺流程预设参数的对话框；

可理解的是，所述工艺流程中的预设参数包括：

产品生产ID、产品配方ID、产品工艺流程ID、产品预设规范值，或者其他一些产品工艺流程中的其他参数。

其中，预设参数中，可以接收用户未输入产品配方ID和产品预设规范值的指令。

103、接收用户在对话框中输入的预设参数，生成并保存与所述预设参数相对应的工艺流程。

该方法通过接收用户选择的工艺流程指令，根据该指令向用户发送输入工艺流程预设参数的对话框，接收用户在对话框中输入端预设参数，生成并保存工艺流程，该方法减少工艺流程设置工作量，提高了更新或者更换菜单的效率，具有实时性高，操作简便，实用性强等特点。

上述方法还包括图1中未示出的步骤104：

104、接收用户对所述生成的工艺流程命名的指令。

上述方法还包括图1中未示出的步骤105：

105、更新所述工艺流程。

下面对上述预设参数以及工艺菜单的生成过程进行详细说明：

如图2A所示，其中主工艺菜单可以理解为EQM Module、WIP View Module、PRP Module等。

子工艺菜单可以为Step Setup、Layer Setup、Process Setup等。

如图2B所示，为菜单设置详解示意图。

上述菜单设置原则

(1)相同Step Name，Stage Name程序只允许唯一一变量名称存在(为与挂Recipe功能上兼容)。

(2)相同产品、Stage Name、Process Id、Step Name只允许唯一一Recipe Id值。

(3)含’NW’、’PW’、’VT’Step Name在同一个Recipe下可以存在多个衬底阻值、并且要求手输入值的格式为类似”2.0-2.7”即中间为”-”，原则上不允许其它符号存在(为MFG Create Lot时选取精确Spec值作保证)。

(4)上图选择条件中Recipe Id和Spec Value可以单项为空值。

如图2C所示，影响系统及功能体现部分的示意图，请注意此图示与上图示Spec值的关系。该值是在创建批次时(代表Wafer物料的尺寸)为‘NW,TV,PW’三个Step而用选取之后该三个Step将使用同一个Spec 值，一但选择则此Lot将不可更改此参数即为一定值。

如图2D所示，创建批次选择阻值的示意图，批次创建之后，变量中设定的信息跟随此批次将不再改变直到Fab Out清空。

如图2E所示，Create Job页面；如图2F所示，Job In页面；如图2G所示，Job Out页面；如图2H所示，FMB模块查看页面示意图。

版本控制部分:继承现在MES系统里版本升级的模式不变、即Change Part、Multi Skip、Bank Out等异常动作将重新取最新值；Split Lot如果子批不跟母批在同一个流程则取新值、否则取母批所在流程的Recipe、Spec属性值、母批属性值、Future Hold、Hold、Scrap、Unscrap等异常逻辑不变。

如图2I所示，Recipe挂入流程部分，图中表示处为变量名称，将不可以更改。以此“常量”存在于流程通用母板中，而具体值则存在另外一个”容器”中的思想，来达到”当频繁变更其中一项值而不需要升级整个流程”的目的，即”By Technology建立流程的基本观点。

如图2J所示，流程比对审批部分，在此比对视图中，将变量中的值完全展开，并且当是”NW,PW,VT”Step时允许多个阻值同时存在。这也同变量设置部分的原则描述一样。

图3示出了本发明一实施例提供的一种半导体流程菜单的设置装置的结构示意图，如图3所示，该结构包括：第一接收模块31、发送模块32、生成模块33。

第一接收模块，用于接收用户选择的半导体产品的工艺流程的指令；

发送模块，用于根据所述指令向用户发送输入所述工艺流程预设参数的对话框；

生成模块，用于接收用户在对话框中输入的预设参数，生成并保存与所述预设参数相对应的工艺流程。

所述装置还包括图3中未示出的：

第二接收模块34，用于接收用户对所述生成的工艺流程命名的指令。

更新模块35，用于更新所述工艺流程。

所述工艺流程中的预设参数包括：

产品生产ID、产品配方ID、产品工艺流程ID、产品预设规范值。

所述接收用户在对话框中输入的预设参数包括：产品生产ID和产品工艺流程ID。

本发明的装置与上述方法一一对应，上述方法的实施例同样适用于该装置，本实施例不对此装置进行详细表述。

本发明的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。