二维机械光扫描器的制作方法

文档序号:12190193阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种二维机械光扫描器,其特征在于:它包括外部同步信号接口,锁相电路,电动机伺服电路,电动机,多面镜,外部同步信号接口的输出端与锁相电路的输入端连接,锁相电路的输出端与电动机伺服电路的输出端连接,电动机伺服电路的输出端与电动机的输入端连接,电动机的输出端与多面镜的输入端连接,外部同步信号接口接收光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号,通过锁相电路转换成与光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号同相位的脉冲信号,再通过电动机伺服电路实现电动机的旋转运动,从而带动多面镜转动实现二维高速扫描;

所述的外部同步信号接口用于将光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号输入锁相电路;

所述的锁相电路为基于商用锁相环芯片的信号处理电路,用于产生与外部同步信号接口提供的光学扫描显微镜中X轴的行驱动信号同相位的脉冲信号;

所述的电动机伺服电路为基于商用数字电动机驱动芯片的伺服电路,用于放大锁相电路产生的脉冲信号,并提供驱动电流为0.001A至1000A;

所述的电动机为商用伺服电动机,电动机转子转速受电动机伺服电路的输出信号控制;

所述的多面镜为轴对称多面体,中心开有用于电动机转子的定位孔,多面镜周边安装有多片反射镜。

2.如权利要求1所述的一种二维机械光扫描器,其特征在于:所述的锁相电路为数字锁相电路。

3.如权利要求1所述的一种二维机械光扫描器,其特征在于:所述的电动机伺服电路为数字伺服电路。

4.如权利要求1所述的一种二维机械光扫描器,其特征在于:所述的多面镜的形状为旋转对称形状。

5.如权利要求1所述的一种二维机械光扫描器,其特征在于:所述的电动机的转速为100rpm至1000000rpm。

6.如权利要求1所述的一种二维机械光扫描器,其特征在于:所述的电动机与

多面镜之间采用金属夹具固定。

7.如权利要求1所述的一种二维机械光扫描器,其特征在于:所述的电动机与

多面镜之间采用金属夹具固定。

8.如权利要求1所述的一种二维机械光扫描器,其特征在于:所述的多面镜上相邻两片反射镜之间的轴向夹角为0度至90度。

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