物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质与流程

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术：

现有技术中，对于物料的装卸载过程需要人为进行控制。此外，物料在载具上的位置以及物料来源位置等信息一般通过手工的方式进行记录，这种处理方式效率低下，且容易出错。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本发明提供一种物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质。

具体地，本发明提供了以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种物料自动装卸载控制方法，包括：

确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；

根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片；

创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

进一步地，将所述载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时，所述方法还包括：创建第二物料信息表，所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

进一步地，所述方法还包括：

创建可视化视图信息表，将所述第一物料信息表和/或所述第二物料信息表中包括的信息在所述可视化视图信息表中显示。

进一步地，在所述确定载具模板之前，所述方法还包括：创建载具模板；

其中，所述创建载具模板，包括：

确定载具模板包括的行数和列数，所述载具模板的行数和列数与所述载具的行数和列数相对应，所述载具模板上的一个行索引和列索引组成的索引对与载具中的一个晶片放置位置相对应；

根据所述载具的质量验证区域和工艺需求，确定载具模板中晶片的放置位置和晶片类型；

根据载具模板包括的行数和列数，以及，载具模板中晶片的放置位置和晶片类型，创建所述载具模板。

进一步地，所述方法还包括：

将创建的载具模板添加到载具模板库中。

进一步地，所述确定载具模板，包括：

根据所述载具的尺寸、质量验证区域和工艺需求，判断所述载具模板库中是否存在匹配的载具模板，若存在，则从所述载具模板库中选择匹配的载具模板，否则，创建载具模板。

第二方面，本发明还提供了一种物料自动装卸载控制装置，包括：

确定模块，用于确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；

装载模块，用于根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片；

第一创建模块，用于创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

进一步地，所述装置还包括：

第二创建模块，用于在将所述载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时，创建第二物料信息表，所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

第三方面，本发明还提供了一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如第一方面所述物料自动装卸载控制方法的步骤。

第四方面，本发明还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如第一方面所述物料自动装卸载控制方法的步骤。

由上面技术方案可知，本发明提供了一种物料自动装卸载控制方法，包括：确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片；创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。本发明提供的物料自动装卸载控制方法，能够根据载具模板自动完成物料装载控制，同时能够自动记录物料来源位置与物料在载具上位置的对应关系，从而便于后期对物料进行追溯管理。

附图说明

为了更清楚地说明本实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一实施例提供的物料自动装卸载控制方法的流程图；

图2是本发明一个实施例提供的载具模板的示意图；

图3是本发明一个实施例提供的根据载具模板进行装载控制的示意图；

图4是本发明一实施例提供的物料信息表的示意图；

图5是本发明一个实施例提供的卸载控制的示意图；

图6是本发明一实施例提供的包括4个载具模板的载具模板库的示意图；

图7是本发明另一实施例提供的物料自动装卸载控制装置的结构示意图；

图8是本发明又一个实施例提供的电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在介绍本发明内容之前，先对本发明的应用背景进行简单阐述。在砷化镓薄膜太阳能电池制造设备领域，砷化镓薄膜太阳能电池制造设备一般采用金属有机化合物化学气相沉淀(metal-organicchemicalvapordeposition，mocvd)技术路线制备砷化镓太阳能电池，在整个生产过程中，共会涉及两类工艺，一类是mocvd生长工艺，另一类是腔室清洗工艺，这两类工艺都以载具(carrier)为单位进行。对于mocvd生长工艺而言，使用一种称为processcarrier的载具，上面通常放置多片生长晶片(wafer)，对于腔室清洗工艺而言，使用称为dummycarrier的载具，表面涂有抗cl2腐蚀的材料，通常不再放置wafer。

每次mocvd生长工艺开始前，砷化镓薄膜太阳能电池制造设备的装载模块需要将wafer从cassette中取出放置到carrier上，生长工艺完成后，卸载模块需要将生长出砷化镓外延层的wafer从carrier取出放回cassette。

由于砷化镓太阳能电池mocvd工艺的复杂性，通常需要多次试验以获取反应腔室不同区域下的产品质量与生产过程控制的关系，以及腔室清洗工艺对产品质量的影响情况。为了节省试验成本，经常是在mocvd工艺中将wafer放置到carrier的不同位置进行反复试验，mocvd工艺间穿插腔室清洗工艺。整个试验过程需要记录wafer在cassette和carrier上的位置，以及carrier的使用次数等情况，以便进行物料追溯。

在采用本发明前，整个生产过程由人工控制，整个生产过程中的物料相关信息由人为记录，使得物料位置、物料在载具间的信息映射不直观，且人为记录方式容易出错。

为解决上述问题，本发明提供了一种物料自动装卸载控制方法，本发明能够根据载具模板自动完成物料装载控制，同时能够自动记录物料来源位置与物料在载具上位置的对应关系，从而便于后期对物料进行追溯管理。下面将通过具体实施例对本发明提供的物料自动装卸载控制方法进行详细说明。

图1示出了本发明一个实施例提供的物料自动装卸载控制方法的流程图。如图1所示，本实施例提供的物料自动装卸载控制方法，包括如下步骤：

步骤101：创建载具模板。

在本步骤中，在使用载具模板进行物料自动装卸载之前，需要先创建载具模板。其中，创建载具模板的过程包括：

a、确定载具模板包括的行数和列数，所述载具模板的行数和列数与需要进行mocvd生长工艺的载具的行数和列数相对应，假设需要进行mocvd生长工艺的载具的行数和列数为6行和6列，则载具模板包括的行数和列数也应该为6行和6列，如图2所示。其中，所述载具模板上的一个行索引和列索引组成的索引对与需要进行mocvd生长工艺的载具中的一个晶片放置位置相对应。例如，对于图2所示的6行和6列的载具模板来说，共有6*6个可以放置晶片的位置：a1-a6，b1-b6，c1-c6，d1-d6，e1-e6，f1-f6。

b、根据需要进行mocvd生长工艺的载具的质量验证区域和工艺需求，确定载具模板中晶片的放置位置和晶片类型。

在本步骤中，根据需要进行mocvd生长工艺的载具的质量验证区域和工艺需求，确定载具模板中晶片的放置位置和晶片类型，假设需要进行mocvd生长工艺的载具的质量验证区域为四角区域和中心区域，需要进行mocvd生长工艺的载具的工艺需求为在未进行过mocvd生长工艺的晶片上进行mocvd生长，那么就可以确定载具模板中晶片的放置位置为图2中的a1、a6、f1、f6、c3、c4、d3和d4，这八个位置的晶片的类型均为未处理过的晶片，也即未进行过mocvd生长工艺的晶片。

c、根据载具模板包括的行数和列数，以及，载具模板中晶片的放置位置和晶片类型，创建载具模板。

在本步骤中，由于载具模板包括的行数和列数已确定，为6行和6列，载具模板中晶片的放置位置和晶片类型也均已确定，故可以创建如图2所示的载具模板。

在本步骤中，在创建载具模板时，对于指定位置放置的晶片类型可以采用不同的颜色或不同的图形样式进行标注。假设晶片类型包括未使用、使用过和废弃三种类型，则可以在载具模板的指定放置位置用白色表示该位置用于放置未使用unprocessed类型的晶片，以红色表示该位置用于放置使用过processed类型的晶片，以黄色表示该位置用于放置processedaborted类型的晶片。

步骤102：将创建的载具模板添加到载具模板库中。

在本步骤中，将创建的载具模板添加到载具模板库中，以备后续重复需要时使用。例如可以通过上述步骤101创建如图6所示的4个载具模板，以备后续重复需要时使用。

步骤103：选择载具模板。

在本步骤中，根据当前需要进行mocvd生长工艺的载具的尺寸、质量验证区域和工艺需求，判断所述载具模板库中是否存在匹配的载具模板，若存在，则从所述载具模板库中选择匹配的载具模板，否则，创建载具模板，并将创建好的载具模板保存至载具模板库中，以备后续重复使用。

例如，假设当前需要进行mocvd生长工艺的载具的尺寸为6*6，且当前需要进行mocvd生长工艺的载具的质量验证区域为四角和中心区域、当前需要进行mocvd生长工艺的载具的工艺需求为初次进行mocvd生长工艺，则应从所述载具模板库中选择第一个载具模板作为匹配的载具模板。又如，假设当前需要进行mocvd生长工艺的载具的尺寸为6*6，且当前需要进行mocvd生长工艺的载具的质量验证区域为四角和中心区域、当前需要进行mocvd生长工艺的载具的工艺需求为二次进行mocvd生长工艺，则应从所述载具模板库中选择第二个载具模板作为匹配的载具模板，因为第二个载具模板中的晶片类型为processed类型。

步骤104：根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片。

在本步骤中，在选择完载具模板后，由于载具模板中带有晶片的放置位置和晶片类型信息，因此可以根据选择的载具模板进行物料的自动装载控制，如根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片。这里的第一栏具指用于保存晶片的cassette。

步骤105：创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

在本步骤中，所述晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息具体指：晶片从第一栏具中的什么位置取出后放置到载具中的什么位置。如图3所示，假设第一栏具c001内有25个plot，每个plot用于存放一个晶片。当根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置后，就可以知道载具p001上哪个位置的wafer来自于c001的哪个slot，如右侧mappingdata区域展示了p001processcarrier上的8个wafer来自于c001cassette的哪些slot，例如p001carrier上a1位置的wafer来自c001cassette的c25slot，从而创建得到第一物料信息表。其中图4也给出物料信息表的一种示例。

需要说明的是，这里的载具信息指载具标识如p001、载具的大小6*6等信息。这里的晶片信息指晶片的标识如g19021025、晶片的类型unprocessed等信息。

需要说明的是，本步骤105可以在步骤104之后执行，也可以在步骤104的执行过程中执行，也即边装载边创建第一物料信息表，本发明对此不做限定。

步骤106：创建可视化视图信息表，将所述第一物料信息表中包括的信息在所述可视化视图信息表中显示。

在本步骤中，在创建所述第一物料信息表的同时，或在创建所述第一物料信息表之后还可以进一步创建可视化视图信息表，用于将所述第一物料信息表中包括的信息在所述可视化视图信息表中显示，以便更直观地看到物料映射信息。如图3所示，例如p001carriera1位置上的wafer来自c001cassette的c25slot。此外，在所述可视化视图信息表中可以以不同的颜色表示不同位置放置的晶片类型，以便直观展示晶片的类型信息。

需要说明的是，本步骤106可以在步骤104或105之后执行，也可以在步骤104或105的执行过程中执行，本发明对此不做限定。

步骤107：将所述载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时，所述方法还包括：创建第二物料信息表，所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

在本步骤中，当位于载具上的晶片完成相应生长工艺后，应将晶片取出放回至相应的栏具中进行保存，以便后续使用。参见图5，在将载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时，创建第二物料信息表，所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。例如，p001carriera1位置上的wafer放到了c002cassette的c25slot位置。需要说明的是，这里的载具信息指载具标识如p001、载具的大小6*6等信息。这里的晶片信息指晶片的标识如f18051111000001、晶片的类型processed等信息。可见，根据所述第一物料信息表和第二物料信息表可以实现对物料在生产过程中的追溯。

需要说明的是，所述第二栏具和所述第一栏具可以为同一栏具，也可以为不同栏具。

需要说明的是，在创建所述第二物料信息表的同时，或在创建所述第二物料信息表之后还可以将第二物料信息表中包括的信息展示在上面所述的可视化视图信息表中。

需要说明的是，本实施例在进行物料自动装卸载控制方法描述时，虽然以砷化镓太阳能电池mocvd生长工艺为例进行物料自动装卸载控制过程的说明，但是需要强调的是本发明提供的物料自动装卸载控制方法并不限于砷化镓太阳能电池mocvd生长工艺，还可以是其他涉及载具和晶片之间装卸载控制的处理工艺。

由上面技术方案可知，本实施例提供了一种物料自动装卸载控制方法，包括：确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片；创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。本实施例提供的物料自动装卸载控制方法，能够根据载具模板自动完成物料装载控制，同时能够自动记录物料来源位置与物料在载具上位置的对应关系，从而便于后期对物料进行追溯管理。

基于相同的发明构思，本发明另一实施例提供了一种物料自动装卸载控制装置，参见图7，包括：

确定模块21，用于确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；

装载模块22，用于根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片；

第一创建模块23，用于创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

在一种可选实施方式中，所述装置还包括：

第二创建模块，用于在将所述载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时，创建第二物料信息表，所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

需要说明的是，本实施例提供的物料自动装卸载控制装置可以用于执行上面实施例所述的物料自动装卸载控制方法，其工作原理和技术效果类似，具体可参见上述实施例的描述，此处不再详述。

基于相同的发明构思，本发明又一实施例提供了一种电子设备，参见图8，所述电子设备具体包括如下内容：处理器701、存储器702、通信接口703和总线704；

其中，所述处理器701、存储器702和通信接口703通过所述总线704完成相互间的通信；所述通信接口703用于实现各建模软件及智能制造装备模块库等相关设备之间的信息传输；

所述处理器701用于调用所述存储器702中的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述实施例一中的全部步骤，例如，所述处理器执行所述计算机程序时实现下述步骤：

步骤101：确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；

步骤102：根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片；

步骤103：创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

基于相同的发明构思，本发明又一实施例提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述实施例一的全部步骤，例如，所述处理器执行所述计算机程序时实现下述步骤：

步骤101：确定载具模板，所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息；

步骤102：根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置，所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片；

步骤103：创建第一物料信息表，所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上实施例仅用于说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。