专利名称：磁复制装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种磁复制装置，是一种从载持有信息的主载体把其所载持的信息以磁方式复制到从属媒体上的磁复制装置。
作为这种磁复制方法，已在例如特开昭63-183623号公报、特开平10-40544号公报、特开平10-269566号公报等上公开。
然而，在使用上述的磁复制方法进行磁复制时，由于反复地使用主载体，使主载体的表面附着灰尘，造成表面污染。附着在该主载体上的灰尘例如有因周围环境所产生的灰尘及因主载体与从属媒体的接触而产生的主载体及从属媒体的磨损渣等。
当在主载体上附着有这些灰尘的状态下进行磁复制时，在以灰尘附着部为中心到所殃及到的周围的范围内，不能确保主载体与从属媒体的紧密接触，不能进行规定的信号电平的图形复制，从而导致磁复制质量的下降。在记录的信号是伺服信号的情况下，由于不能获得充分的寻迹功能，导致了可靠性的下降。
上述的附着灰尘在主载体与从属媒体的反复紧密接触的作用下进一步增强了在主载体表面上的附着力，造成对以后进行磁复制的所有从属媒体都发生同样的或更严重的图形复制不良，由此将导致出现大量的不良品。并且，这些附着物将会使主载体表面发生变形，丧失正常的功能。
另外，鉴于上述的问题，特开2000-285637公报提出了一种关于把设置在旋转的清洗盘上的清洗衬垫压在主载体的表面来除去附着的灰尘的清洗技术。另外，也可以考虑通过清洗来除去附着物。
另外，在从属媒体是硬盘或高密度软盘那样的圆盘状媒体的情况下，并在把圆盘状的主载体紧密接触这种从属媒体的一面或两面的状态下，是在其单面侧或两面侧配置由电磁铁装置、永久磁铁装置构成的施加磁场装置，来施加复制用的磁场。但为了提高该磁场复制的复制质量，如何使从属媒体与主载体形成无间隙的紧密接触是致关重要的问题。即，如果不能形成紧密接触，则会出现磁复制遗漏的区域，此磁复制的遗漏将会导致被复制到从属媒体上的磁信息的信号丢失，使信号质量下降，如果所记录的信号是伺服信号，则将导致不能充分获得寻迹功能，使可靠性下降的问题。
对于磁记录媒体，一般在需要增加信息量的同时还希望有可记录大量信息的大容量且价格便宜的记录媒体，并且更希望有一种可在短时间内从必要的部位读出信息的即所谓的高访问速度的媒体。作为其中的一例人们知道有硬盘和高密度软盘，为了实现其大容量，一种使磁头对很窄的磁道进行准确的寻迹，并以高S/N比进行信号再生的所谓寻迹伺服技术起着决定性的作用。在磁盘的1周内，以一定的间隔记录寻迹用的伺服信号、地址信息信号、再生时钟信号等，即所谓的预格式化。
设定磁头通过读取这样的预格式化信号，并根据该信号修正自身的位置，来实现在磁道上的正确行进。现在的预格式化是通过使用磁盘专用的伺服信号写入装置逐盘或逐磁道地记录伺服信号来实现。
但是，伺服信号写入装置价格昂贵，而且作成预格式化耗费时间，该工序占有制造成本的很大比重，因此，人们希望降低其成本。
另一方面，出现了使用磁复制方法而不用逐磁道进行写入来实现预格式化的方案。这个磁复制的方法已在例如特开昭63-183623号公报、特开平10-40544号公报、特开平10-269566号公报等中公开。这种磁复制是在主载体与从属媒体紧密接触的状态下，通过施加复制用磁场，来进行对应主载体载持的信息(例如伺服信号)的磁化图形的复制，由于可进行主载体与从属媒体的相对位置不发生变化的静止状态下的记录，所以能够进行正确的预格式化，并且只需极短的记录时间。
另外，在从属媒体为硬盘或高密度软盘这样的圆盘状磁记录媒体的情况下，在以该从属媒体的单面或两面与圆盘状的主载体紧密接触的状态下，通过在其单面侧或其两面侧配置的由电磁铁装置、永久磁铁装置构成的磁场形成装置来施加复制用的磁场。这时，为了在从属媒体的磁道方向施加磁场，使从属媒体与主载体紧密接触，或相对地旋转磁场，把磁化图形复制到圆盘状的从属媒体的磁道全周上。
在进行这样的磁复制时的重要问题之一是，需要对主载体和从属媒体进行精确的定位。尤其是，对于硬盘等的从属媒体，其在磁复制后被装入驱动装置内时的旋转中心必须与复制记录的磁化图形的中心保持严格的一致。然而在制造主载体时，很难做到使复制信息的图形形成中心与主载体的形状中心形成精确的一致，例如即使在中央部形成定位孔，也会出现加工精度不够的情况。
鉴于上述的问题，如特开平11-175973号公报提出的那样，在使主载体与从属媒体紧密接触时，利用图象装置进行两者的定位。具体是，首先，把从属媒体放置在轮盘上，然后在其上面对应图形载置具有在透明部分上形成的标记的主载体，然后进行主载体的位置调整，直到图象装置观察到标记与从属媒体的位置形成一致后，再使两者紧密接触。
这里，在对主载体进行清洗时，必须把该主载体从磁复制装置上取下，在通过各种方法除去附着物之后，再安装到装置中，所以存在着主载体的定位操作复杂，复制运行率低的问题。
尤其是，在主载体上形成的伺服图形等的复制图形，相对记录容量的增大变得越来越小，由于如果图形的中心位置与从属媒体的旋转中心未达到高精度的一致，则不能确保规定的功能，又由于单纯的定位达不到精度，因此例如必须使用测定显微镜等观察复制图形，进行相对复制装置的位置调整那样的复杂的操作。由于这样的装取主载体的操作耗费时间，所以导致了生产效率低的问题。
另外，在对清洗后的主载体进行运输或安装时，会附着空气中漂浮的灰尘，或因用手或器具来保持主载体，而使附着在手或器具上的灰尘又附着在清洗后的主载体上，因此可能产生复制不良的现象。
本发明的目的是解决上述的问题，其目的在于提供一种容易更换主载体的提高了复制运转效率和生产效率的磁复制装置。
另外，在以往的磁复制装置中，为了提高从属媒体与主载体的紧密接触性，通过按压机构施加按压力，把从属媒体压向主载体，并且通过吸出两者接触面上的空气来减少残留在接触面上的空气。
这时，可考虑配置固定主载体的下侧仓和把从属媒体压向主载体的上侧仓，使下侧仓的上面和上侧仓的下面通过O环等的密封部件形成接触，构成两仓之间的密封。但这样的结构，当提高其内部真空度时，密封部件会被损坏，同时也提高了按压力，因此对真空度和接触压力不能进行相互独立地控制。因此，不能获得最佳的真空度和接触压力，将会造成紧密接触的不良、缩短主载体的使用寿命等。
即，当增大从属媒体对主载体的按压力时，在主载体上的对应复制信息而形成的微细的凹凸图形容易发生损伤，造成耐久性不良的问题。另外，当降低真空度时则在接触面上容易残留空气。
鉴于上述的问题，本发明的另一目的是提供一种通过在从属媒体与主载体的接触状态下保持最佳的接触压力和真空度，提高紧密接触性，从而可进行良好的磁复制的磁复制装置。
另外，在特开平7-78337号公报中提出了一种通过用由弹性体构成的压合机构对主载体的全体背面施加均匀的压力，来提高从属媒体与主载体的紧密接触性的技术，但是这种解决方案，由于是用弹性体压在从属媒体的全体面上，所以作为整体加大了紧密接触所需的按压力，因此存在着使装置大型化等的问题。
例如，为了保持从属媒体与主载体之间的紧密接触所需要的压力为1～50N/cm2(0.1～5.0kg/cm2)，在从属媒体为3.5时磁盘时，为了获得这个压力，则在全体上必须要有70～3540N(7～354kg)的压力。为了承受这个压力，则必须对磁复制装置进行强度的设计，因此形成装置的大型化。另外，例如使用由环型头电磁铁构成的磁场形成装置施加复制用磁场的情况下，由于所述的使从属媒体与主载体压力接触的接触装置的厚度增大，使得施加复制用磁场的磁极难于设置在接近从属媒体与主载体的接触面的部位，因此，增大了漏磁磁场强度，不能施加具有规定的磁场强度分布的磁场，因此导致不良的复制。
另外，即使均匀地把从属媒体全体面按压在主载体上，但由于在实际中的各种变形及残留的空气等，也难于使全面形成均匀的紧密接触，从而发生局部的接触不良，导致不良的复制。尤其是复制信息不是均匀地形成在主载体的全面上，而是如后述的图3(B)所示的那样，例如在伺服图形P的情况下，是大致放射状地形成在各个局部，由此可见，只要确保在复制图形部分的紧密接触性，便可进行良好的复制。
为了解决这样的问题，本发明的目的又一是提供一种不会施加过大按压力、确保在磁复制中的从属媒体与主载体的接触压力、提高紧密接触性及提高复制信号质量的磁复制用弹性按压部件。
另外，在进行所述的磁复制时，重要的问题是需要进行主载体与从属媒体的精确定位。尤其是对于硬盘等的从属媒体，必须要使其在磁复制后被安装在驱动装置内时的旋转中心与复制记录的磁化图形中心保持精确的一致，如果发生大的偏移，在复制记录的信号为伺服信号的情况下，则不能充分获得寻迹的功能。
在进行主载体与从属媒体的定位时，一种通过把主载体的中心孔及从属媒体的中心孔嵌装在设置在保持部件的中心销上，来进行定位的构造，从结构方面讲是理想的。
在进行上述的定位时，如果主载体与从属媒体的中心位置发生偏移，则除了造成上述的问题以外，还有在把两者收容在保持部件中使其形成紧密接触时，从属媒体或主载体的中心孔与中心销形成偏心的接触，因此将会导致该主载体或从属媒体的损坏。另外，如果主载体与从属媒体的中心位置发生偏移，则在使两者紧密接触时，有可能形成不均匀的接触力，所以难于实现在全周上的均匀接触。并且，由于形成偏移的边缘部在接触力的作用下被压在对方的端部上，会形成滑痕，因此存在着使用寿命短等问题。
本发明的另一目的是解决这样的问题，提供一种使主载体与从属媒体形成紧密接触，可进行良好的磁复制的磁复制装置。
另外，在进行上述的主载体的位置调整中，在每次更换从属媒体进行磁复制时，由于使用图象装置来进行主载体与从属媒体的定位，所以存在着该定位动作占用的大量的时间致使磁复制效率低的问题。
在通常的情况下，是由一片主载体对多片从属媒体依次地进行磁复制，为了提高复制效率，理想的是预先将主载体置于磁复制装置内，然后把从属媒体送到与该主载体紧密接触的位置上，使两者紧密接触，然后施加复制用磁场。这时，由于在像硬盘那样的从属媒体中设置有用于安装到驱动器旋转轴上的中心孔，并且其中心位置与旋转中心一致，通过由从属保持轴(定位轴)保持住上述中心孔，可确保定位的精度。
本发明的又一目的是解决上述的问题，提供一种使主载体与从属媒体紧密接触，改善进行磁复制时的定位精度，进行高生产效率的磁复制的磁复制方法。
另外，在施加所述复制用磁场时，可考虑使磁场施加装置固定，而使紧密接触的主载体和从属媒体旋转的第1种方法和把紧密接触的主载体和从属媒体固定，使磁场施加装置旋转的第2种方法。
第2种方法在磁场施加装置为电磁铁装置的情况下等，除了磁场生成装置还要设置旋转驱动机构，因此，增大了装置的体积，无论从设备的角度看还是从成本的角度看都是不理想的。对此，在第1种方法中则不存在上述第2种方法的问题，但在主载体与从属媒体的紧密接触的状态下，在对主载体和从属媒体可分别更换地进行固定并使其与紧密接触的机构进行一体旋转时，必须使各个旋转轴的旋转中心保持精确的一致。
例如，使保持有主载体的按压基盘进行相对于保持有从属媒体的旋转基盘进行接触分离移动，使主载体与从属媒体形成紧密接触，在使按压基盘进行与旋转基盘一体的旋转时，如果发生了两者的旋转中心的偏移，则在主载体与从属媒体之间发生微小的滑动，从而不能实现高精度的磁复制。另外，在从属媒体与主载体的接触力强，在进行旋转时没有发生从属媒体与主载体的滑动的情况下，虽然可维持复制的精度，但旋转中心的偏移会导致装置中的轴及轴承等的反复的机械变形，导致驱动阻抗的增大，零部件的磨损、疲劳所致的强度降低等，随着使用次数的增加将会造成对装置的耐久性不良影响。
并且，在磁复制中，必须在从属媒体和磁复制用主载体两者的旋转中心位置被确定在正确的位置的状态下，使从属媒体的一面或两面的记录面与主载体的复制信息载持面紧密接触，因此，人们希望这种操作简而易行。
本发明鉴于上述的各点，目的在于提供一种可实现从属媒体和主载体的紧密接触动作及旋转动作而不形成在两者之间的滑动及装置中的部件位置偏移的磁复制方法。
所述贴靠装置具有在复制位置上按压从属媒体，使其与被保持在主固定台座上的主载体形成紧密接触的按压部件。
另外，理想的是，具有多个所述的主固定台座，并且具有依次地把其移动到复制位置的移送台。此时，在各个主固定台座上预先定位保持好主载体，然后装载到移送台上，对每个固定台座来更换主载体。
最好还具有用于除去被保持在所述主固定台座上的主载体的附着物的清洗装置。此时，也可以通过主载体的清洗装置本身或另外设置的清洗装置，进行从属媒体的清洗。清洗装置使用超声波清洗头可达到良好的效果，另外也可以使用超声波振荡气体的吹风，离子风(除电气体)、清洁气体的吹风等。在马上要进行复制之前清洗主载体及从属媒体，必要时，在复制后立即进行主载体的清洗。
也可以设置把从所述移送台上取下的主固定台座与主载体一同清洗的清洗装置。作为这样的清洗装置，可进行由超声波清洗头施加了兆级声波(megasonic)振动的液体清洗、在由超声波振荡头施加振荡的清洗槽中的液体清洗或在气体中的超声波振荡清洗、利用施加超声波振荡的气体吹风、用滑动头进行的滑动清洗、在滑动清洗后的超声波清洗、受激准分子激光照射的烧去清洗及等离子清洗等。
另外，也可以用保持部件保持住从属媒体，在进行磁复制之前的工序中把从属媒体与保持部件一同进行清洗。
另外，理想的是，本发明的磁复制装置，包括使具有接受复制的磁记录部的从属媒体与载持有信息信号的主载体形成密闭状态接触的贴靠装置、施加把从属媒体压在所述主载体上的按压力的按压装置、对所述贴靠装置的密闭空间进行减压，使其形成一定真空度的减压装置及施加复制用磁场的磁场施加装置，其特征在于在进行复制时，分别独立地控制由所述按压装置的按压力形成的主载体与从属媒体间的接触压力和由所述减压装置所形成的真空度。
此时，最好是在先控制好真空度的状态下，再进行按压力的控制。例如，根据空气排出量控制真空度，利用上下仓的位置控制按压力。
另外，在使主载体与从属媒体紧密接触时，最好把周围的真空度控制在50～100kPa、把贴靠压力控制在0.01～49N/cm2(1～5000gf/cm2)。
另外，理想的是，本发明的磁复制装置，包括使具有接受复制的磁记录部的从属媒体与载持有信息信号的主载体形成密闭状态接触的贴靠装置、施加把从属媒体压在所述主载体上的按压力的按压装置、对所述贴靠装置的密闭空间进行减压，使其形成一定真空度的减压装置及施加复制用磁场的磁场施加装置，其特征在于所述贴靠装置具有下侧仓、相对该下侧仓可进行接触分离移动的上侧仓、与平行于两仓接触分离移动方向的面相滑动接触，密封上侧仓与下侧仓的内部空间的密封部件。
另外，理想的是，本发明的磁复制用弹性按压部件，是在通过使在各个部分上形成对应复制信息的复制图形的主载体的信息载持面与接受复制的从属媒体的一面紧密接触，施加复制用磁场，来进行磁复制时，用于按压所述从属媒体的背面的按压部件，其特征在于与所述从属媒体的背面接触的按压面，被形成为主要按压在与所述主载体的复制图形相接触部分上的凹凸形状。
此时，理想的是，所述弹性按压部件，在与所述从属媒体的背面接触的按压凸部上构成位于内周的内环部、位于外周的外环部、连接该内环部和外环部的与主载体的伺服信号图形相对应的多个放射部。
另外，作为磁复制方法，是用所述弹性按压部件上具有的凹凸形状的按压面，把基板上部分具有对应于复制信息的复制图形的主载体与具有接受复制的磁记录部的从属媒体从背面对复制图形的部分主要进行按压、使其紧密接触并施加复制用磁场，把对应于主载体复制图形的磁化图形复制在从属媒体上。
最好在进行磁复制时，对于从属媒体的磁化，如果是面内记录方式，则向面内磁道方向，如果是垂直记录方式则向垂直方向预先进行初始直流磁化，然后使其与主载体紧密接触，向与其初始直流磁化方向大致相反的磁道方向或垂直方向施加复制用磁场，进行磁复制。
另外，本发明的磁复制装置，是使形成有对应复制信息的图形的圆盘状主载体与接受复制的圆盘状的从属媒体的记录面形成对峙接触并收容在保持体内，然后施加复制用磁场，进行磁复制的磁复制装置，其特征在于对所述主载体和从属媒体，根据设置在保持体上的中心销进行中心位置的定位，使所述主载体与从属媒体的中心位置的偏心量小于100μm。
此时，理想的是，主载体的图形中心位置与从属媒体的中心位置的偏心量应小于50μm。
另外，本发明的磁复制方法，是一种使形成有对应复制信息图形的圆盘状主载体的信息载持面与接受复制的圆盘状磁记录媒体的从属媒体形成紧密接触，施加复制用磁场，进行磁复制的磁复制方法，其特征在于在定位保持所述从属媒体的中心孔的从属保持轴的外周部上，可调整位置地配置所述从属媒体，把该主载体的图形中心位置定位在所述从属保持轴的中心位置上，并固定该主载体，然后把从属媒体供给到所述从属保持轴上，并进行主载体与从属媒体的定位。
此时，使用测定显微镜来观测所述主载体的图形，理想的是该图形的中心位置与所述从属保持轴的中心位置重合。另外，也可以在所述主载体上在形成所述图形的同时设置定位用的标记，通过用测定显微镜观测该标记来进行所述图形中心位置与所述从属保持轴的中心位置的定位。
另外，实施本发明的磁复制方法的磁复制装置，是基于一种使形成有对应复制信息的图形的、圆盘状的主载体的信息载持面，与接受复制的圆盘状的磁记录媒体的从属媒体紧密接触，通过施加复制用磁场来进行磁复制的的磁复制装置；具有主载体侧的第1基盘、从属媒体侧的第2基盘、被设置在第1基盘的中心位置上的并且定位保持从属媒体中心孔的从属保持轴、及被设置在所述从属保持轴外周部的第1基盘上并可进行XY方向上的位置调整的主保持部件；理想的是把所述主保持部件以所保持的主载体的图形中心位置与所述从属保持轴的中心位置形成一致的状态进行固定。
也可以设置可自由拆装的所述第1基盘，把该第1基盘从复制位置取下来，进行所述主载体的定位。此时，最好在用测定显微镜对所述主载体的图形或所述标记的观测下，进行图形中心位置与所述从属保持轴中心位置的调整。
所述测定显微镜，可使用例如具有可向XY方向移动的平台，当在观察观察部并绘制有多个点时，可画出近似圆并可求出中心位置的显微镜。把所述第1基盘放置在所述平台上，在该主保持部件上保持主载体，然后求出从属保持轴的中心位置，然后同样地根据主载体的图形或标记求出图形的中心位置，通过在XY方向调整主载体相对从属保持轴的位置使两者达到一致。
并且，所述磁复制装置，还具有按压如上所述地进行了位置调整的主载体和从属媒体，并使其形成紧密接触的加压装置、及对紧密接触的从属媒体及主载体施加复制用磁场的磁场施加装置。也可以通过吸引固定等将主载体固定在主保持部件上。
磁场施加装置可使用电磁铁装置或永磁铁装置，向主载体与从属媒体紧密接触的部分的一侧或两侧施加复制用磁场，使形成紧密接触的主载体和从属媒体旋转或使复制用磁场旋转，来进行磁复制。
另外，作为本发明的理想的磁复制方法，是基于使载持有信息信号的主载体与作为接受复制的从属媒体的磁记录媒体形成紧密接触，在使其进行旋转的同时施加复制用磁场，进行磁复制的磁复制方法，其特征在于在通过加压装置的按压使所述主载体与从属媒体形成紧密接触、通过旋转装置的旋转驱动使述主载体与从属媒体进行一体的旋转时，所述加压装置不阻碍旋转方向上的旋转力。
此时，加压装置是用于使从属媒体或主载体在相互接触或分离的方向上移动，使两者形成紧密接触，理想的是从属媒体及主载体分别被保持在承受按压力的基盘上。另外，旋转装置用于使从属媒体与主载体在相互紧密接触的状态下进行一体的旋转，理想的是通过两者的接触力来传导旋转力或通过动力传导机构来传导旋转力。
另外，用于实施本发明的磁复制方法的理想的磁复制装置，是在使载持有信息信号的主载体与作为接受复制的从属媒体的磁记录媒体形成紧密接触、通过在使其旋转的同时施加复制用磁场来进行磁复制的磁复制装置；包括保持所述从属媒体或主载体并被驱动旋转的旋转基盘、把主载体或从属媒体按压在所述从属媒体或主载体上的按压基盘、保持所述按压基盘并可相对所述旋转基盘进行接触分离移动的加压主体、及不阻碍所述按压基盘与加压主体之间的旋转方向的旋转力的按压力传导机构。
按压力传导机构，由通过轴承滚珠等形成压力接触的推力轴承构造，或由喷出加压空气的空气间隙构造构成。在这种情况下，理想的是，按压基盘通过接触力或旋转力传导机构进行与旋转基盘一体的旋转，而加压主体则在旋转方向上固定。旋转力传导机构也可以兼用于旋转基盘与按压基盘的定位。设置驱动旋转基盘的旋转轴旋转的机构，并通过旋转基盘使按压基盘旋转。
此时，也可以在旋转基盘上定位保持从属媒体或主载体，在按压基盘上定位保持主载体或从属媒体，在旋转基盘与按压基盘之间设置两者的定位机构，由此来进行从属媒体与主载体的定位。
另外，本发明磁复制装置，理想的是，在定位保持所述从属媒体的旋转基盘或按压基盘上，设置定位销或者定位孔，而在被保持在按压基盘或旋转基盘上的主载体上设置定位孔或者定位销，设置由此构成的定位机构。
这时，设置大于从属媒体的主载体，在与从属媒体接触的部分以外的部分上，可以配置保持有从属媒体的旋转基盘或按压基盘与主载体的定位机构。另外，在中心部上也可以配置保持有从属媒体的旋转基盘或按压基盘与主载体的定位机构。定位机构在一侧为定位销，在另一侧为定位孔，最好在定位销的前端形成圆锥形状。理想的是在外周部设置多个定位销或在中心部设置1个定位销。
作为所述施加复制用磁场的磁场施加装置，虽然可使用电磁铁装置或永磁铁装置，考虑到对磁场强度等的条件的设定调整，最好是使用电磁铁装置。磁场施加装置，在沿从属媒体的半径方向延伸的范围内生成与磁道方向平行的磁场，旋转使从属媒体与主载体紧密接触的机构，对圆盘状的从属媒体的全体面进行磁化图形的复制。
有把主载体紧密接触所述从属媒体的一面，逐次地进行单面复制和把主载体分别紧密接触在从属媒体的两面上、对两面同时进行复制的两种情况。在单面逐次复制的情况下，在旋转基盘上保持从属媒体(或主载体)，在按压基盘上保持主载体(或从属媒体)。在两面同时复制的情况下，在旋转基盘上保持第1主载体，在按压基盘上保持第2主载体，将从属媒体夹持在两者之间。由此，使从属媒体的一面或两面与主载体形成紧密接触，在其一侧或两侧配置磁场施加装置，进行复制用磁场的施加。
另外，作为所述的磁复制方法，理想的是，首先对从属媒体进行向磁道方向的直流磁化的初始磁化，使该从属媒体与在对应复制信息的微细凹凸图形上形成磁性层的主载体紧密接触，通过向与从属媒体面的初始直流磁化方向大致相反的方向施加复制用磁场，来进行磁复制。所述信息可以是伺服信号。
依照如上所述的本发明，具有定位保持主载体的主固定台座和使从属媒体与主载体紧密接触的贴靠装置，并通过每个主固定台座来更换主载体，省略了在只更换主载体时的对贴靠装置的定位，由于缩短了主载体的更换操作时间，所以可提高复制运转效率，并提高生产效率。
另外，在具有多个主固定台座，并且具备依次把其移动到复制位置上的移送台的情况下，可进一步提高更换主载体时的工作效率，可提高磁复制的运转效率。
并且，如果进一步具备用于除去被保持在主固定台座上的主载体的附着物的清洗装置，并在进行复制之前对主载体进行清洗，则可除去在更换主固定台座时或搬运过程中附着在主载体表面上的灰尘，可尽量减少在复制时的灰尘附着，可防止不良的复制，并可进行质量稳定的磁复制及提高复制的可靠性。
另一方面，如果进一步具备把从移送台上取下的主固定台座与主载体一同进行清洗的清洗装置，则在通过如上所述地除去附着物，防止复制不良的同时，在更换时及清洗时不需要进行主载体的拆装，所以同样地提高了工作效率。
另外，在本发明中，在通过贴靠装置使主载体与从属媒体形成密封状态下的紧密接触，通过按压装置施加把从属媒体按压在主载体上的按压力，通过减压装置对密封空间进行减压来获得一定的真空度时，如果对由按压装置的按压力构成的主载体与从属媒体之间的接触压力和通过减压装置形成的真空度进行独立的控制，则可获得最佳的接触条件，可确保主载体与从属媒体在全体面上的紧密接触，可防止因紧密接触状态不良而导致的信号丢失，可实现均匀性良好的复制，并且，即使在真空度上升时也不会使按压力过度增大，从而可防止主载体耐久性的下降，并可通过提高真空度来除去残留在接触面上的空气。
尤其是在通过从密封空间排出空气，先进行真空度控制的状态下，再控制接触压力使主载体与从属媒体紧密接触时，在两者的接触面上不会残留空气，并可提高紧密接触性，可提高复制等级。
另外，贴靠装置如果具有与在平行于可进行相互接触分离移动的下侧仓和上侧仓的接触分离移动方向的面形成滑动接触、密封两仓的内部空间的密封部件，则可通过简单的构造容易地进行接触压力与真空度的独立控制。
并且，即使在改变了主载体、从属媒体及根据需要所配置的按压从属媒体的弹性部件的厚度的情况下，贴靠装置也可不需改变上下仓等的状态而与其相适应，从而可对磁复制时的真空度和压力进行独立的控制。
另外，在本发明中，在把按压在与主载体紧密接触的从属媒体背面上的弹性按压部件的按压面，形成为主要按压在与主载体的复制图形紧密接触部分上的凹凸形状的情况下，作为全体来说降低了按压力，而又确保了必要的接触部分的压力，而且，由于相当于弹性按压部件的凹部部分的压力低，所以形成空气的逸出通路，从而可进一步提高紧密接触性，可防止因接触不良而导致的信号丢失，并可提高复制信号的等级以及提高可靠性。
也就是说，在复制信号为例如伺服信号的情况下，并且在形成在主载体上的复制图形的面积小于全体面积10％、对应该复制图形，形成相当于从属媒体全体面积的10％的弹性按压部件的按压面上凹凸形状的按压面积的情况下，为了使从属媒体与主载体的接触压力达到50N/cm2(5.0kg/cm2)而所需要的全体按压力，当从属媒体为3.5时的软盘时，为354N(35.4kg)，可减少到在全体面按压情况下的1/10，从而可减小确保强度用的各个部件的厚度等，构成装置的小型化。并且，因此可配置磁场施加装置的磁极更接近从属媒体与主载体的接触面，减小了漏磁磁场强度，可通过施加具有规定磁场强度分布的复制用磁场来进行良好的磁复制。
另外，在本发明中，在使圆盘状的从属媒体与主载体对峙接触，进行磁复制时，通过设置在保持体上的中心销来确定两者的中心位置，当把该主载体与从属媒体的中心位置调整到其偏心量小于100μm时，可形成均匀的全体面的紧密接触，可防止因局部接触而造成的损伤，以及端部的损伤，从而可提高耐久性。
尤其是当把主载体的图形中心位置与从属媒体的中心位置的中心位置偏心量调整到小于50μm时，可确保高的复制精度。
另外，在本发明中，在在定位保持从属媒体的中心孔的从属保持轴的外周部上配置位置可调的主载体，当把该主载体固定并把其图形的中心位置定位在从属保持轴的中心位置上之后，把从属媒体供给到从属保持轴上并进行主载体与从属媒体的定位的情况下，成为被装入驱动装置内时从属媒体旋转中心的从属保持轴的中心位置，与形成在主载体上的图形的中心位置可形成高精度的一致，在提高了可靠性的同时，可通过把从属媒体供给从属保持轴来进行与主载体的定位，不需要在每次的供给时进行从属媒体的定位，从而可进行高生产效率的磁复制。
另外，如果在测定显微镜的观测下进行主载体的图形中心位置与从属保持轴的中心位置的定位，则可容易地进行高精度的定位。
如果在主载体上，在形成图形的同时设置定位用的定位标记，则可容易地进行主载体定位的基准设定，可容易地通过测定显微镜进行定位操作。
另外，磁复制装置，通过具备主载体侧的第1基盘、从属媒体侧的第2基盘、定位保持从属媒体的中心孔的从属保持轴、可在从属保持轴外周部上的XY方向上进行位置调整的主保持部件，可容易地进行如上所述的从属媒体与主载体的精确定位，可实现高生产效率的磁复制。
如果把第1基盘设置为可自由拆装，并可从复制位置上拆下来进行主载体的定位，则可利用测定显微镜等容易地进行定位操作。
另外，在本发明中，在使主载体与从属媒体紧密接触、使其旋转的同时施加复制用磁场进行磁复制时，在对主载体与从属媒体的按压不阻碍旋转方向上的旋转力的情况下，不会发生旋转侧与按压侧的中心错位，通过主载体与从属媒体的一体旋转，可实现高精度的磁复制，装置本身也不会发生反复的变形，可延长使用寿命。
另外，如果通过定位机构，对定位保持有从属媒体的基盘与紧密接触该从属媒体的主载体进行定位，则可使两者的中心位置的定位简单化，可效率高地进行高精度的复制。
图2是表示其他实施例的贴靠装置部分的示意图。
图3表示本发明其他实施例的磁复制装置的复制状态的主要部分的立体图。
图4是贴靠装置的剖视图。
图5表示本发明又一其他实施例的磁复制装置的复制状态的主要部分的立体图。
图6是贴靠装置的分解立体图。
图7表示本发明又一其他实施例的弹性按压部件及主载体的俯视图。
图8表示本发明又一其他实施例的磁复制装置的复制状态的主要部分的立体图。
图9是图8中的保持体的分解立体图。
图10是表示中心位置的偏心量的说明图。
图11是表示本发明又一其他实施例的磁复制装置的复制状态的主要部分的立体图。
图12表示在贴靠状态下的磁复制装置的主要部分的剖视图。
图13是用于进行主载体位置调整的测定显微镜的结构示意图。
图14表示主载体的位置调整之前的状态的俯视图。
图15表示主载体的位置调整之后的状态的俯视图。
图16是在贴靠前状态的磁复制装置的主要部分的剖视图。
图17是表示其他实施例的主载体的俯视图。
图18是其他实施例的磁复制装置在贴靠前状态的主要部分的剖视图。
图19是本发明又一其他实施例的实施磁复制方法的磁复制装置的示意剖视图。
图20是图19中的加压主体的俯视图。
图21是其他实施例的具有按压力传导机构的磁复制装置的主要部分的剖视图。
图22是表示其他实施例的具有定位机构的旋转盘及按压盘的视图。
图23是图22中的主载体的俯视图。
图24是表示其他实施例的具有定位机构的旋转盘及按压盘的视图。
图中1、20、40、60、70、100-磁复制装置，2、22、42、62、72、102-从属媒体，3、23、43、63、64、73、103-主载体，5、25、45-贴靠装置，6-移送台，7、8-清洁机构，11-主固定台座，12-按压部件，13-平台，14、152-旋转轴，15-保持部，24-弹性部件，26-按压机构，27-减压机构，28、47、65、75、106-磁场施加装置，31-下侧仓，32-上侧仓，33-密封件，43b-信息载持面，44-弹性按压部件，44a-按压面，46-加压装置，48、49-压合部件，50-内环部，51-外环部，52-放射部，53-凹部，61-保持部件，62a、63a、64a-中心孔，68-下保持部件，68b-中心销，69-上保持部件，72a-中心孔，76-第1基盘，77-第2基盘，80-测定显微镜，83-观察部，84-平台，86-图形，86a-基准点，88-标记，89-电磁铁装置，93-盘座部件，94-付保持轴，95-主保持部件，104-加压机构，105-旋转机构，107～109-定位机构，141-按压基盘，142-加压主体，142a-圆板部，142c-扣锁部，143、144-按压力传导机构，143a-轴承滚珠，144a-喷气孔，151-旋转基盘，171、181、191-定位销，172、182、192-定位孔。
图1所示的磁复制装置1包括具有在中心位置对齐的状态下把在复制位置上的主载体3上的、具有接受复制的磁记录部的从属媒体2压向保持有载持信息信号的主载体3的下侧的主固定台座11、使两者形成紧密接触的上侧的按压部件12的贴靠装置5；具有多个所述主固定台座11，并依次地把其移动到复制位置的移送台6；除去被保持在所述主固定台座11上的主载体3上的附着物的清洗装置7。并且磁复制装置1还具有未在图中表示的对贴靠装置5施加贴靠力的按压装置和在使贴靠装置5进行旋转的同时对其施加复制用磁场的磁场施加装置。
而且，主载体3被预先定位并保持在各个主固定台座11上，把多个该主固定台座11载置在移送台6上，在更换主载体3时，通过移送台6对主固定台座11进行逐个地更换。
移送台6(组合转台)的圆盘状的圆台13的中心部被保持在旋转轴14上，在圆台13上的3个部位上具有所述主固定台座11的保持部15，通过未图示的旋转驱动机构依次地被移动到复制位置、更换位置及清洗位置。另外，对于移送台6上的保持部15的数量不限定为3个。
被设置在上述清洗位置上的清洗装置7具有把被施加超声波振荡的液体或气体喷到主载体3表面的超声波清洗喷头16，对通过移送台6的旋转被移动到复制位置之前的清洗位置上的被保持在主固定台座11上的主载体3进行清洗，除去附着物。另外，作为该清洗装置也可以使用离子风(除电气体)、清洁气体的吹风装置。在清洗为湿洗的情况下，通过使用IPA液体或IPA蒸汽和进行干燥风的吹风等来进行干燥处理。
主固定台座11为圆盘状，并具有大于主载体3外径的圆形的上面11a，通过对主载体3的下面进行吸附等把其保持在该上面11a的中央部上。上侧的按压部件12同样也是圆盘状，具有大于从属媒体2外径的下面12a，该按压部件12相对主固定台座11可在上下方向进行接触分离的移动，用于把从属媒体2压在主载体3上，并使两者形成紧密接触。另外，也可以在按压部件12的下面12a上设置片状的弹性材料，通过该弹性材料来按压从属媒体2。
另外，在主固定台座11的底面及按压部件12的上面设有突出的旋转轴部11b、12b。该主固定台座11及按压部件12在进行磁复制时与未图示的旋转机构构成连结，形成一体的驱动旋转。
未图示的按压装置具有加压汽缸装置，其按压连杆的前端对贴靠装置5的按压部件12施加规定的按压载荷。另外，在按压状态下，贴靠装置5为了进行旋转，对按压部件12的旋转轴部12b施加按压力。
在进行磁复制时，在进行从属媒体2的磁化时，如果是面内记录，则在面内磁道方向，如果是垂直记录，则在垂直方向预先进行初始直流磁化。然后使该从属媒体2与主载体3紧密接触，通过在与初始直流磁化方向大致相反的磁道方向或垂直方向施加复制用磁场，进行磁复制。
作为从属媒体2，可使用在两面或单面上形成磁记录部(磁性层)的硬盘或高密度软盘等的圆盘状磁记录媒体。该磁记录部由涂敷型磁记录层或金属薄膜型磁记录层构成。
主载体3被形成为刚体的圆盘磁盘形状。该主载体3在形成在基板上的微细凹凸图形上覆盖上软磁性体，这个面就是与从属媒体2紧密接触的并形成有复制图形的复制信息载持面。与其相反侧的面被保持在主固定台座11上。
作为主载体3的基板，可以使用镍、硅、石英板、玻璃、铝、合金、陶瓷及合成树脂等。可用打痕法等形成凹凸图形。关于软磁性体的形成是将磁性材料通过真空蒸镀法、喷镀法、离子镀法等的真空成膜方法或电镀法等进行成膜。面内记录和垂直记录使用的是基本相同的主载体3。
在图中未示出的用于施加复制用磁场及初始磁场的磁场施加装置，在面内记录的情况下，例如把环型头电磁铁设置在上下两侧，向上下同方向施加与磁道方向平行生成的复制用磁场。使贴靠装置5旋转，对从属媒体2和主载体3的全体面施加复制用磁场。也可以设成使磁场施加装置旋转移动的构造。磁场施加装置也可以只设置在单侧，也可以把永磁铁装置配置在两侧或一侧。另外，在垂直记录情况下的磁场施加装置，是在贴靠装置5的上下配置不同极性的电磁铁或永久磁铁，生成并施加垂直方向的复制用磁场。由于是部分地施加磁场的装置，所以通过使贴靠装置5移动或使磁场移动来进行全体面的磁复制。
也可以在所述磁复制装置1的复制位置，也就是在贴靠装置5的部分上，如图2所示，设置清洗装置8，对马上要进行复制的主载体3进行清洗。另外，也可以对贴靠后的主载体3进行清洗。
图2中的清洗装置8，在复制位置的附近设有相对贴靠装置5可进退移动的超声波清洗头17。超声波清洗头17是与上述相同地把被超声波加振的液体或气体喷到清洗面上的装置，或是喷出离子风(除电气体).·清洗空气的装置。而且，在上侧的按压部件12放开的状态下移动到被保持在主固定台座11上的主载体3上，对其进行清洗，在完成清洗后移动到退避位置。
并且，也可以清洗与主载体3形成接触之前的从属媒体2。可使用与主载体3的同一个清洗装置8或另外设置的清洗装置进行从属媒体2的清洗。
在所述磁复制装置1中，由同一主载体3对多个从属媒体2进行磁复制，首先，分别把各个主载体3定位并保持在各个主固定台座11上，然后把这些主固定台座11安放在移送台6上。并且在被移动到复制位置之前，由清洗装置7对被保持在主固定台座11上的主载体3进行清洗。然后通过移送台6的旋转把被清洗后的主固定台座11移动到复制位置，在使按压部件12与主固定台座11分离的分离状态下，调整好中心位置地放置预先在面内方向或垂直方向进行了初始磁化的从属媒体2，然后使贴靠装置5的按压部件12移动到接近主固定台座11，通过按压装置以规定的压力按压从属媒体2和主载体3，形成两者的紧密接触。图2所示的具有清洗装置8的装置对在该紧密接触之前的主载体3(及从属媒体2)进行清洗。
然后，使磁场施加装置接近贴靠装置5的上下面，在使贴靠装置5旋转的同时由磁场施加装置施加与初始磁化大致相反方向的复制用磁场，把对应主载体3的复制图形的磁化图形复制到从属媒体2的磁记录部。
在所述磁复制时所施加的复制用磁场被吸收在由主载体3复制图形中的与从属媒体2紧密接触的软磁性体所形成的凸部图形内，在面内记录的情况下，该部分的初始磁化不发生反转，而其他部分的初始磁化发生反转，在垂直记录的情况下，该部分的初始磁化反转而其他部分的初始磁化不反转，从而使对应主载体3的复制图形的磁化图形被复制到从属媒体2上。
而且，在进行了规定次数的磁复制后，在发生了复制后的主载体3或从属媒体2的表面附着了灰尘等的异常时，在发生了复制不良时等，驱动移送台6旋转，把被清洗后的新的主固定台座11移动到复制位置，与上述相同地继续进行下一个的磁复制。另外，也可以在每一次磁复制后转动一次移送台6，进行主载体3的更换。
从复制位置被移动到待机位置的主固定台座11，在其相应的状态下从移送台6上取下，进行更换。在更换时，逐个地取下主固定台座11，然后换上保持有新主载体3的主固定台座11。另外，在直接用清洗装置7清洗后可再次使用的情况下，不需要进行更换。
被取下的主固定台座11也可以通过另外设置的未图示的清洗装置对各个主固定台座11上的主载体3进行清洗。该清洗装置也可以取代上述图1中的清洗装置7进行设置，也可以进行双重设置，使用两者进行清洗。
由该清洗装置例如把呈保持住主载体3状态的主固定台座11浸泡在清洗槽的清洗液中，然后用超声波加振头对清洗液进行超声波加振，以此来清洗除去主载体3表面上的附着物。除此之外，可以使用由超声波清洗头施加机械振动的清洗液体、通过超声波振荡头的气体中的超声波振动清洗、喷射被超声波振荡激励的气体、滑动头的滑动清洗、在滑动清洗后的超声波清洗、用受激准分子激光器照射的烧去清洗及等离子清洗等。
另外，也可以把从属媒体2保持在未图示的保持体上，在磁复制的前一道工序把从属媒体2与保持部件一同进行清洗。
依照本实施例，由于在移送台6上具有多个分别定位保持各个主载体3的主固定台座11，依次地把被清洗装置7、8清洗后的主载体3移动到复制位置进行磁复制，对每个磁复制后的主固定台座11进行主载体3的更换，因此，使得主载体3的更换容易，更换操作效率高，提高了生产效率，并且通过在进行复制之前对主载体3进行清洗，可防止复制的不良，可实现良好的磁复制。并且，即使在把从移送台6上取下的主固定台座11与主载体3一同进行清洗的情况下，由于在更换时及清洗时不需要进行主载体3的取出操作，所以提高了操作效率。
下面，对本发明其他实施例进行详细地说明。图3表示本发明其他实施例的磁复制装置的复制状态的主要部分的立体图。图4是贴靠装置的剖视图。另外，各个图仅是示意图，各个部分的尺寸用与实际尺寸不同的比率表示。
图3所示的磁复制装置20包括，具有下侧仓31和上侧仓32的、在其内部如图4所示的那样配置从属媒体22、主载体23和弹性部件24，并在调整好其中心位置的状态下，使从属媒体22与主载体23紧密接触的贴靠装置25；对贴靠装置25施加压力的按压装置26；将贴靠装置25内的空气排出、使其内部形成减压状态的减压装置27(参照图4)；在使贴靠装置25旋转的同时，施加复制用磁场的磁场施加装置28。并且，分别独立地对由减压装置27进行贴靠装置25内的真空度进行控制和对由按压装置26向从属媒体22与主载体23施加的压力进行控制。
贴靠装置25的下侧仓31为圆盘状，具有大于主载体23外径的圆形的上面31a，通过吸附等把主载体3的下面保持在该上面31a的中央部。上侧仓32为圆盘状，具有大于从属媒体22外径的下面32a，在该下面32a上设置有片状的弹性部件24，从属媒体22被保持在该弹性部件24的下面。上侧仓32相对下侧仓31，可在上下方向上进行接触分离的移动，从而把从属媒体22压在主载体23上形成两者的紧密接触。另外，也可以把从属媒体22载置到主载体23上。
在下侧仓31的外周和上侧仓32的外周分别形成向上方和下方突出的环壁部31b及32b。上侧仓32的环壁部32b的外周面直径小于下侧仓31的环壁部31b的内周面直径，形成能够把上侧仓32的环壁部32b插入在下侧仓31的环壁部31b的内周侧内(也可以是相反的大小关系)。而且在上侧仓32的环壁部32b的外周上装有由O环构成的密封部件33，该密封部件33，在把上侧仓32向下侧仓31一侧移动时，与下侧仓31的环壁部31b的内周面形成滑动的接触，构成在接触分离方向(轴方向)上两平行面之间的密封，从而密封两仓31、32之间形成的内部空间。另外，也可以把密封部件33安装在下侧仓31上。
在由所述的密封部件33使内部空间保持密封的状态下，下侧仓31与上侧仓32能够进行接触分离的移动。另外，通过变化从属媒体22、主载体23、弹性部件24的厚度，即使在从属媒体22与主载体23的接触高度发生变化，也能够确保密封的状态。
在下侧仓31的底面和上侧仓32的上面，设置有突出的旋转轴部31c、32c。该下侧仓31及上侧仓32与未图示的旋转机构连接，形成一体的旋转驱动。
另外，在下侧仓31环壁部31b的内周侧、主载体23外周部的上面31a上形成减压装置27的排气口27a。与该排气口27a连通的空气通路27b形成在下侧仓31内，并通过旋转轴部31c被导向外部，与未图示的真空泵连接。通过由该减压装置27进行空气的排出，把由上侧仓32与下侧仓31形成的密封空间的真空度控制在规定的50～100kPa。
如图3所示，按压装置26具有加压汽缸34，其按压连杆35的前端对贴靠装置25的上侧仓32施加规定的按压载荷。另外，为了在按压状态下使贴靠装置25旋转，配置对上侧仓32的旋转轴部32c施加按压力的承受部件36。与所述真空度控制相对独立地把由该按压装置26生成的按压力控制在最佳值，使从属媒体22与主载体23形成0.01～49N/cm2(1～5000gf/cm2)的接触压力。
在进行磁复制时，对从属媒体22的磁化，如果是面内记录，则在面内磁道方向，如果是垂直记录，则在垂直方向预先进行初始直流磁化。然后使该从属媒体22与主载体23紧密接触，通过在与初始直流磁化方向大致相反的磁道方向或垂直方向施加复制用磁场，进行磁复制。
作为从属媒体22，可以使用在两面或单面上形成磁记录部(磁性层)的硬盘或高密度软盘等的圆盘状磁记录媒体。该磁记录部由涂敷型磁记录层或金属薄膜型磁记录层构成。
主载体23被形成为刚体的圆盘状的磁盘。该主载体23在形成在基板上的微细凹凸图形上覆盖一层软磁性体，这个面就是形成与从属媒体22紧密接触的复制图形的复制信息载持面。与其相反一侧的面被真空吸附地保持在下侧仓31中。
作为主载体23的基板，可以使用镍、硅、石英板、玻璃、铝、合金、陶瓷及合成树脂等。可用打痕法等形成凹凸图形。关于软磁性体的形成是将磁性材料通过真空蒸镀法、喷镀法、离子镀法等的真空成膜方法或电镀法等进行成膜。面内记录和垂直记录使用的是基本相同的主载体23。
弹性部件24用于接触并按压在从属媒体22的背面(上面)，由具有弹性的材料构成，具有圆盘形状，并被保持在上侧仓32内。作为具有弹性的材料，可以使用硅橡胶、聚氨酯橡胶、氟化乙烯橡胶、丁二烯橡胶、特氟纶(注册商标)橡胶、氟化橡胶等普通的橡胶或海绵橡胶等的发泡树脂等。
施加复制用磁场及初始磁场的磁场施加装置28，在面内记录的情况下，例如在上下两侧配置在具有在从属媒体22的半径方向上延伸的缝隙37的铁心38上卷有线圈39的环型头电磁铁，在上下相同的方向施加与磁道方向平行发生的复制用磁场。然后使贴靠装置25旋转，对从属媒体22和主载体23的全体面施加复制用磁场。也可以构成使磁场施加装置28旋转的构造。磁场施加装置28也可以只配置在一侧，也可以在两侧或一侧配置永久磁铁装置。
另外，在垂直记录情况下的磁场施加装置28是在贴靠装置25的上下位置上配置不同极性的电磁铁或永久磁铁，在垂直方向上生成并施加复制用磁场。由于磁场只能施加在一部分上，所以或是移动贴靠装置25、或是移动磁场进行全面的磁复制。
在所述磁复制装置20中，由于由同一主载体23对多个从属媒体22进行磁复制，所以首先把主载体23及弹性部件24保持在下侧仓31及上侧仓32中并调整好位置关系。然后，在上侧仓32与下侧仓31分离的状态下，把预先以面内方向或垂直方向的一方被初始磁化的从属媒体22放入并调整好其中心位置后，驱动按压装置26使上侧仓32向接近下侧仓31方向移动。
然后，上侧仓32的密封部件33与下侧仓31的环壁部31b的内周面形成滑动接触，使收容从属媒体22及主载体23的两个仓31、32的内部空间形成密封。在从属媒体22与主载体23形成按压状态之前，由减压装置27排除密封空间内的空气进行减压，在内部达到规定的真空度之后，使上侧仓32进一步向下移动。由按压装置26施加按压力，按压力通过弹性部件24作用于从属媒体22的背面，使从属媒体22与主载体23形成具有规定接触压力的紧密接触。
然后，使磁场施加装置28接近贴靠装置25的上下面，在使贴靠装置25旋转的同时由磁场施加装置28施加与初始磁化大致相反方向的复制用磁场，把对应主载体23的复制图形的磁化图形复制到从属媒体22的磁记录部。
在所述磁复制时所施加的复制用磁场，被吸收在由主载体23复制图形中的与从属媒体22紧密接触的软磁性体所形成的凸部图形内，在面内记录的情况下，该部分的初始磁化不反转，而其他部分的初始磁化反转，在垂直记录的情况下，该部分的初始磁化反转而其他部分的初始磁化不反转，从而使对应主载体23的复制图形的磁化图形被复制到从属媒体22上。
依照本实施例，由于在使两个仓31、32内形成密封状态、并对内部进行减压、使其达到规定的真空度、排出残留在密封面上的空气之后，以规定的压力进行独立的加压，使主载体23与从属媒体22形成紧密接触，所以可实现在最佳真空度和压力下的紧密接触，从而可提高紧密接触性，并可防止因接触性不良而导致的复制效果不良，从而可进行效果良好的复制。
下面对本发明又一其他实施例进行详细的说明。图5表示本发明又一其他实施例的磁复制装置的复制状态的主要部分的立体图。图6是贴靠装置的分解立体图，图7表示又一其他实施例的弹性按压部件及主载体的俯视图。另外，各个图只是示意图，其中的厚度等的尺寸用与实际尺寸不同的比例表示。
图5所示的磁复制装置40包括具有下侧压合部件48和上侧压合部件49的、在其内部如图6所示地配置从属媒体42、主载体43、弹性按压部件44、并在被定位在中心位置的状态下形成紧密接触的贴靠装置45；对贴靠装置45加压的加压装置46；在使贴靠装置45进行旋转的同时施加复制用磁场的磁场施加装置47。
在进行磁复制时，对从属媒体42的磁化，如果是面内记录，则在面内磁道方向，如果是垂直记录，则在垂直方向预先进行初始直流磁化。然后使该从属媒体42与主载体43紧密接触，通过在与初始直流磁化方向大致相反的磁道方向或垂直方向施加复制用磁场，进行磁复制。
作为从属媒体42，可以使用形成有中心孔42a的、在两面或单面上形成磁记录部(磁性层)的硬盘或高密度软盘等的圆盘状磁记录媒体。该磁记录部由涂敷型磁记录层或金属薄膜型磁记录层构成。
主载体43被形成为由具有中心孔43a的刚性体的圆环状磁盘。该主载体43在形成在基板上的微细凹凸图形上覆盖一层软磁性体，这个面就是形成与从属媒体42紧密接触的复制图形的复制信息载持面43b。与其相反一侧的面被真空吸附在下侧压合部件48上。
作为主载体43的基板，可以使用镍、硅、石英板、玻璃、铝、合金、陶瓷及合成树脂等。可用打痕法等形成凹凸图形。关于软磁性体的形成是将磁性材料通过真空蒸镀法、喷镀法、离子镀法等的真空成膜方法或电镀法等进行成膜。面内记录和垂直记录使用的是基本相同的主载体43。
在复制信息为伺服信号时，如图7(B)所示，在主载体43的信息载持面43b上，在从中心部等间隔地向放射方向(图中表示的情况有稍微的弯曲)延伸的窄幅区域内部分地形成伺服图形P(复制图形)。该伺服图形P的部分即是要求与从属媒体42紧密接触的部分，通过磁复制把对应伺服图形P的磁化图形复制到从属媒体42上。
弹性按压部件44用于从背面(上面)接触并按压从属媒体42，由具有弹性的材料构成圆盘状，被保持在上侧压合部件49上。该弹性压合部件44的与从属媒体42背面接触的按压面44a的形状，如图7(A)所示，为对应主载体43的所述伺服图形P，主要按压该图形P所在部分的凹凸形状。
在所述按压面44a上，由位于内周侧的内环部50、位于外周侧的外环部51及连接内环部50和外环部51的与主载体43上的伺服图形P相对应的多个放射部52，构成用于与从属媒体42接触的按压凸部。其他部分形成凹部53(也可以贯通至背面)，不与从属媒体42接触。
弹性按压部件44的材料，具有在施加压力时其按压面积不会过度增大的弹力特性。作为具体的材料，有硅橡胶、聚氨酯橡胶、氟化乙烯橡胶、丁二烯橡胶、特氟纶(注册商标)橡胶、氟化橡胶等普通的橡胶或海绵橡胶等的发泡树脂等。
贴靠装置45的下侧压合部件48具有对应主载体43尺寸大小的圆形的吸附面48a，并构成平整的该表面。在该吸附面48a上，形成大致分布均匀的吸气孔(也可以是多孔材质面)。虽未在图中表示，但该吸气孔经过从内部到下侧压合部件48外部的吸气通路连接到真空泵，通过真空泵的吸引，对与吸附面48a紧密接触的主载体43的底面进行真空吸附，理想的是沿着吸附面48a来矫正主载体43的平坦性。在上侧压合部件49的下面设置保持弹性按压部件44的支撑面49a。
下侧压合部件48及上侧压合部件49具有圆盘状的外形，上侧压合部件49可在轴方向上移动，在通过加压装置46进行接触或分离的移动的同时，形成在规定压力下的相互压合。在外周上具有环壁部48b、49b在闭合动作时，上下压合部件48、49的环壁部48b、49b相互对接，由此来保持内部的密封状态。在下侧压合部件48的中心部形成有可嵌入主载体43及从属媒体42的中心孔43a、42a内的定位销48c。在上侧压合部件49的支撑面49a上保持有弹性按压部件44，并通过未图示的定位机构对其进行相对主载体43的伺服图形P的位置和放射部52的位置的调整。另外，下侧压合部件48和上侧压合部件49与未图示的旋转驱动机构连接构成一体的驱动旋转。
如图5所示，加压装置46具有加压筒装置54，其按压杆55的前端对贴靠装置45的上侧压合部件49施加规定的按压载荷。根据接触面积设定该按压力，使在从属媒体42与主载体43上的伺服图形P附近的接触压力在各部分达到1～50N/cm2(0.1～5.0/cm2)的适当值。另外，为了在按压状态下使贴靠装置45旋转，配置对上侧压合部件49的中心轴部49c施加按压力的承受部件56。
施加复制用磁场及初始磁场的磁场施加装置47，在面内记录的情况下，例如，在上下两侧配置在具有从属媒体42的半径方向延伸的缝隙57的铁心58上卷有线圈59的环型头电磁铁，在上下向相同的方向施加与磁道方向平行发生的复制用磁场。然后使贴靠装置45旋转，对从属媒体42和主载体43的全体面施加复制用磁场。也可以构成使磁场施加装置47旋转的构造。磁场施加装置47也可以只配置在一侧，也可以在两侧或一侧配置永久磁铁装置。
另外，在垂直记录情况下的磁场施加装置47，是在贴靠装置45的上下位置上配置不同极性的电磁铁或永久磁铁，在垂直方向上生成并施加复制用磁场。对于部分地施加磁场的装置，是通过移动贴靠装置45或移动磁场进行全体面的磁复制。
所述磁复制装置40，是由同一主载体43对多个从属媒体42进行磁复制的装置，首先在下侧压合部件48及上侧压合部件49上保持住被调整好各自中心位置和各自图形位置的主载体43及弹性部件44。然后，在上侧压合部件49与下侧压合部件48分离的状态下，把预先以面内方向或垂直方向的一方被初始磁化的从属媒体42放入并调整好其中心位置后，驱动按压装置46使上侧压合部件49向接近下侧压合部件48方向作闭合动作，使从属媒体42的背面接触弹性按压部件44，使在该按压面44a的凸部主要按压在伺服图形P的附近，与主载体43形成紧密接触。然后，使上下的磁场施加装置47接近贴靠装置45的上下面，在使贴靠装置45旋转的同时，由磁场施加装置47施加与初始磁化大致相反的复制用磁场，从而把对应主载体43复制图形的磁化图形复制记录到从属媒体43的磁记录部。
在所述的磁复制时施加的复制用磁场，被吸收在由主载体43的复制图形中的与从属媒体42紧密接触的软磁性体所形成的凸部图形内，在面内记录的情况下，该部分的初始磁化不反转，而其他部分的初始磁化反转，而在垂直记录的情况下，该部分的初始磁化反转而其他部分的初始磁化不反转，从而把对应主载体43的复制图形的磁化图形复制到从属媒体42上。
依照本实施例，由于在使从属媒体42与主载体43紧密接触时，由具有凹凸形状的按压面44a的弹性按压部件44主要按压在从属媒体42背面的复制图形部分上，因此，提高了在需要该紧密接触的复制图形部分的紧密接触性，可防止因接触状态的不良而导致的复制效果不良，可进行效果良好的复制，并且，可降低全体的按压力，可实现装置的小型化。
下面，对本发明的又一其他实施例进行详细的说明。图8表示本发明又一其他实施例的磁复制装置的复制状态的主要部分的立体图。图9是图8中的保持体的分解立体图。
图8及图9所示的磁复制装置60是以面内记录方式同时对两面进行复制的装置，在使把圆盘状的主载体63、64对峙地紧密接触在圆盘状的从属媒体62的上下面上的保持装置61进行旋转的同时，通过被配置在该保持装置61上下侧的磁场施加装置65(电磁铁装置)施加复制用磁场，把载持在主载体63、64上的信息同时向从属媒体62的两面进行磁记录复制。
保持装置61具有汽缸构造的下保持体68和上保持体69，在内部空间内收容了可更换的接受复制的从属媒体62、向从属媒体62的下侧记录面复制伺服信号等的信息的下侧主载体63、向从属媒体62的上侧记录面复制伺服信号等的信息的上侧主载体64。下保持体68具有用于吸附保持下侧主载体63、矫正其平坦性的下侧吸附部件66，上保持体69具有用于吸附保持上侧主载体64，矫正其平坦性的上侧吸附部件67(与下侧吸附部件66的构造相同)。从属媒体62的两面与下侧主载体63和上侧主载体64在中心位置重合的状态下压合，形成对峙的贴靠。这里所说的对峙贴靠是指由以微小间隙对峙的双方中的任意一方形成的紧密接触。
下保持体68及上保持体69中的一方或双方能够在轴方向上移动，通过未图示的开闭机构的驱动进行开闭动作。另外，所述保持体61具有未图示的抽真空装置，通过该抽真空装置对由滑动接触的下保持体68与上保持体69形成的内部空间进行空气的抽真空，形成内部减压状态，从而形成所述从属媒体62与上下主载体63、64的紧密接合力。
图示的从属媒体62是在中心部形成用于嵌套在驱动装置的旋转轴上的中心孔62a的硬盘，在圆盘状的基盘的两面上具有形成磁性层的记录面。
另外，在下保持体68的中心部上，立向设置以从属媒体62的中心孔62a为基准的定位用的中心销68b。该中心销68b同时也对下侧的主载体63进行定位，在下侧主载体63的中心部上形成嵌装在该中心销68b上的定位用的中心孔63a。
在上保持体69的中心部上设置与所述中心销68b相同的未图示的中心销，并把其嵌装在上侧主载体64的中心孔64a内，进行上侧主载体64在上保持体69中的定位。并且，设置通过下保持体68和上保持体69的定位来调整下侧主载体63和上侧主载体64的中心位置的定位机构。
对于如上所述的通过设置在下保持体68上的中心销68b进行定位的情况，如图10所示的那样，设定下侧主载体63的中心位置63c与从属媒体62的中心位置62c的偏心量d小于100μm。对于上侧主载体64与从属媒体62的中心位置的偏心量同样也设定为小于100μm。
另外，理想的是把在主载体63、64上所形成的图形的中心位置与从属媒体62的旋转中心位置的偏心量设定为小于50μm。
所述从属媒体62在进行磁复制时，如果是面内记录，则向面内磁道方向，如果是垂直记录，则向垂直方向预先进行初始直流磁化。在进行该从属媒体62与主载体63、64紧密接触的的磁复制时，向与初始直流磁化方向大致相反的磁道方向或垂直方向施加复制用磁场。
所述下侧主载体63及上侧主载体64被形成为所述那样的圆盘状磁盘，在其一侧面上具有由与所述从属媒体62的记录面紧密接触的磁性体图形构成的复制信息载持面，其背面被真空吸附地保持在下侧吸附部件66及上侧吸附部件67上。
主载体63、64通过在形成在基板上的微细凹凸图形上附着软性磁性体来形成复制图形。作为主载体63、64的基板，可以使用镍、硅、石英板、玻璃、铝、合金、陶瓷及合成树脂等。可用打痕法等形成凹凸图形。关于软磁性体的形成是将磁性材料通过真空蒸镀法、喷镀法、离子镀法等的真空成膜方法或电镀法等进行成膜。面内记录和垂直记录使用的是基本相同的主载体。
把下侧吸附部件66(上侧吸附部件也一样)设置成与主载体63的大小相对应的圆盘状，其表面通过以中心线平均表面粗糙度Ra为0.01～0.1μm左右的平面度加工，形成平坦的吸附面66a。在该吸附面66a上均匀地形成约25～100个直径约为2mm以下的吸引孔66b。虽未图示，但实际上该吸引孔66b经过从吸附部件66的内部被导出到下保持体68外部的吸引通路与真空泵构成连接，形成吸引，以此对与吸引面66a紧密接触的主载体63的背面进行真空吸引，使该主载体63的平坦性沿着吸引面66a得到矫正。
下保持体68及上保持体69为圆盘状，分别在下保持体68的外周上形成向上方突出的环壁部68a及在上保持体69的外周上形成向下方突出的环壁部69a。虽然在图中为做详细的表示，但实际上上保持体69的环壁部69a的外周面直径小于下保持体68的环壁部68a的内周面直径，并且上保持体69的环壁部69a可插入在下保持体68的环壁部68a的内周侧内(也可以构成相反的大小关系)。而且，在上保持体69的环壁部69a的外周上设置有由O环等构成的未图示的密封部件，该密封部件在使上保持体69在下保持体68侧移动时，与下保持体68的环壁部68a的内周面滑动接触，构成平行于接触分离移动方向(轴方向)的两滑动面之间的密封，从而在两保持体68、69之间形成密封的内部空间。另外，也可以把密封部件设置在下保持体68上。
保持体61构成在所述内部空间的密封状态下，下保持体68与上保持体69能够进行接触分离移动的汽缸构造，从而即使在从属媒体62、主载体63、64的厚度发生变化，使从属媒体62与主载体63、64的接触高度改变时，也可以确保其密封的状态。该下保持体68及上保持体69与未图示的的旋转机构连接，构成一体的驱动旋转。
另外，在保持体61的内面上，具有向内部空间开口的真空吸引装置的吸引口。与该吸引口连通的空气通路形成在下保持体68或上保持体69内，并被导出到外部与真空泵连接。通过该真空吸引装置进行的空气真空吸引，把保持体61内的内部空间控制在规定的真空度。
在进行磁复制时，在随所述真空吸引而产生的压力作用下，使上保持体69和下保持体68向相互接近的方向移动，使上下主载体63、64的信息载持面与从属媒体62的磁记录面形成对峙贴靠，在该主载体63、64与从属媒体62的贴靠状态下，通过由磁场施加装置65施加复制用磁场，进行伺服信号等信息的磁复制记录。另外，关于贴靠力的施加方式，也可以采用结合所述的真空吸引方式或取代该方式的从外部施加机械压力的方式。
施加复制用磁场及初始磁场的磁场施加装置65，在面内记录的情况下，例如，在上下两侧配置在具有向从属媒体62的半径方向延伸的缝隙的铁心上卷有线圈的环型头电磁铁，在上下向相同的方向上施加与磁道方向平行发生的复制用磁场。然后使保持体61旋转，对从属媒体62和主载体63的全体面施加复制用磁场。也可以构成使磁场施加装置65旋转的构造。磁场施加装置65也可以只配置在一侧，也可以在两侧或一侧配置永磁铁装置。
另外，在垂直记录情况下的磁场施加装置，是在保持体61的上下位置上配置不同极性的电磁铁或永久磁铁，在垂直方向上生成并施加复制用磁场。对于部分地施加磁场的装置，是通过移动保持体61或移动磁场来进行全体面的磁复制。
下面，对由所述的磁复制装置60进行的磁复制工序进行说明。该磁复制装置60可通过同一主载体63、64对多个从属媒体62进行反复的磁复制，首先在调整好各自的中心位置的状态下通过真空吸引分别把下侧主载体63及上侧主载体64保持在保持体61的下保持体68及上保持体69的下侧吸引部件66及上侧吸引部件67上。
然后，在上保持体69与下保持体68分离的打开的状态下，在把预先在面内方向或垂直方向进行了初始磁化的从属媒体62置入并调整好中心位置之后，使上保持体69进行向接近下保持体68方向移动的闭合动作，通过两保持体68、69的环壁部68a、69a的嵌合的滑动接触，形成密封的保持体61内部空间。通过真空吸引装置抽取内部空间中的空气，实施减压，到达规定的真空度。从而使上保持体69以对应真空度的外力(大气压)所形成的压力对下保持体68施加贴靠力，把从属媒体62夹在上下主载体63、64之间，以规定的贴靠压力均匀地贴靠。
然后，使磁场施加装置65接近保持体61的上下面，在使保持体61旋转的同时，由磁场施加装置65施加与初始磁化大致相反方向的复制用磁场。该被施加的复制用磁场被由在主载体63、64的复制图形中的与从属媒体62紧密接触的软磁性体构成的凸部图形吸收，在面内记录的情况下，该部分的初始磁化不反转而其他部分的初始磁化反转，在垂直记录的情况下，该部分的初始磁化反转而其他部分的初始磁化不反转，这样的结果，可在从属媒体62上复制记录出对应主载体63、64的复制图形的磁化图形。
依照本实施例，保持体61使上下主载体63、64与从属媒体62的两面形成对峙的紧密接触，在这样构成的紧密接触构造中，通过使从属媒体62的中心位置与主载体63、64的中心位置的偏心量小于100μm，可实现在主载体63、64与从属媒体62的接触区域的均匀接触力的全面接触，可防止对局部施加接触力，并且防止了因边缘不完全接触而导致的损伤。并且，通过主载体63、64的图形中心与从属媒体62的高精度的位置调整，可记录具有所需性能的图形复制信号。
下面，对本发明又一其他实施例进行详细地说明。图11是表示本发明又一其他实施例的实施磁复制方法的磁复制装置的复制状态的主要部分立体图。图12是表示在紧密接触状态下的主要部分的剖视图，图13是用测定显微镜进行主载体位置调整的结构示意图，图14及图15是表示主载体的位置调整过程的俯视示意图，图16是在紧密接触前状态下主要部分的剖视图。另外，各个视图为示意图，对其中厚度等用与实际尺寸不同的比例表示。
图11所示的磁复制装置70，在第1基盘76(旋转台)与第2基盘77(按压部件)之间，如图12所示地通过未图示的加压装置(Press机构)按压由接受复制的圆盘状的磁记录媒体构成的从属媒体72和形成对应伺服信号等的复制信息图形的圆盘状主载体73的信息载持面，使其形成紧密接触，在通过上下配置的磁场施加装置75施加复制用磁场。主载体73被配置在位于下侧的第1基盘76的上部，从属媒体72被配置在位于主载体73上侧的第2基盘77的下部。
位于下侧的第1基盘76，在盘座部件93上部的中心位置上具有用于决定从属媒体72中心孔72a位置的从属媒体保持轴94，并且在该从属保持轴94的外周部上具有保持主载体73的主载体保持部件95。主载体保持部件95相对从属保持轴94可在XY方向上进行位置调整。
而且，预先把保持有主载体73的主载体保持部件95如后述那样进行位置调整并且固定，使形成在主载体73上的图形86(参照图14)的中心位置与从属保持轴94的中心位置形成一致，把供给到该主载体73上的从属媒体72通过使其中心孔72a与从属保持轴94的嵌合来确定位置，这样地进行主载体73与从属媒体72的定位。
从属媒体72是在两面形成磁记录层的硬盘等的圆盘状磁记录媒体。保持该从属媒体72的从属保持轴94被形成为突起的形状，其外径与从属媒体72的中心孔72a的直径基本相同，通过对其的定位，使从属媒体72的中心位置与从属保持轴94的中心基准位置形成一致。可以使从属保持轴94的主载体73上面的突出量小于从属媒体72的厚度(在第2基盘77的中心部上形成凹部的情况下可以大于从属媒体72的厚度)。
另一方面，主载体73被形成为具有直径大于从属保持轴94外径的内孔73a的圆环磁盘状，虽未详细地表示，但在其一面(图中的上面)上具有由磁性层构成的微细凹凸图形86对应圆环状磁道形成的同心圆状的复制信息载持面，其背面(图中的下面)被保持在主载体保持部件95的上面。
所述第1基盘76的盘座部件93被形成为圆盘状，在其上面中心部上，立向设置上下贯通主保持部件95中央的从属保持轴94，在从属保持轴94外周部的盘座部件93上配置主保持部件95，并且通过例如由设置在垂直交叉的2方向上的导轨96形成重叠的X方向移动部和Y方向移动部，使其能够在XY方向上移动，通过未图示的调整机构可调整其在各个方向上的移动量，并且能够固定在调整后的不能移动的位置上。在该主保持部件95的上面通过空气吸引等保持主载体73。例如在主保持部件95的上面形成多个吸引孔，通过空气吸引力来吸引固定住所载置的主载体73。
第1基盘76能够从磁复制位置上取下，放置在图13所示的测定显微镜80下进行位置调整，使保持在主保持部件95上的主载体73的图形86中心位置与从属保持轴94的中心位置形成一致。另外，第1基盘76通过未图示的旋转驱动装置被驱动旋转。
第2基盘77形成与第1基盘76相同的圆盘状，该第2基盘77构成加压装置，能够在未图示的升降机构的驱动下上下移动，通过未图示的机构施加由汽缸装置等所生成的按压力。
图13所示的测定显微镜80，在其底座81的上面垂直设置支柱82，在该支柱82上设置可上下移动的由光学系统构成的观察部83。在底座81的上面设有可在XY方向上移动的平台84，通过操作手柄85，可进行X方向及Y方向的移动操作。图中虽未表示出，但在平台84上设有移动量检测装置，根据其检测信号，用运算部(个人计算机)进行各种运算，并在显示部上进行坐标形式的显示。
在所述平台84上载置所述的第1基盘76，在通过观察部83的观测下进行平台84的移动操作，当在视野的基点上标有主载体73的图形86的多个基准点86a(参照图14)或标记88(参照图17)时，画出近似圆，计算出中心位置，并把其位置坐标显示在显示部。另外，用同样的方法测定出从属保持轴94的中心位置，并把其坐标显示在显示部。另外，理想的是，可显示两者的坐标偏移量的装置也可进行位置调整。
下面结合图14及图15对通过测定显微镜80的主载体73的位置确定进行说明。首先，如图14所示的那样，通过手动操作等把主载体73放置在主保持部件95的上面，此时的主载体73的图形86的中心位置与从属保持轴94的中心位置为错开的(在图14中是向左下方错开)的偏心状态。然后把第1基盘76放置在测定显微镜80的平台84上，通过观察部83的观察和对平台84的操作，求出从属保持轴94的中心位置，同样地，把主载体73的图形86中的例如在外周磁道上的多个扇区的起点信号作为基准点86a进行标记，求出图形86的中心位置，对主保持部件95进行X方向及Y方向(图中是向右上方向)的位置调整，使两者形成一致，通过反复进行这个操作，在如图15所示的那样两者的中心位置形成一致的状态下固定在主保持部件95上。
另外，也可以取代把所述图形86的一部分作为基准点86a的观测，而如图17所示地在主载体73上形成图形86的同时，还设置定位标记88，通过用测定显微镜80观测该标记88来求出图形86的中心位置。标记88例如是形成在图形86外部上的同心圆上的多个点。
图11的磁场施加装置75，在上下两侧配置在具有向从属媒体72及主载体73的半径方向延伸的缝隙90的铁心91上卷有线圈92的电磁铁装置89、89，在上下侧向相同的方向施加与磁道方向平行的复制用磁场。另外，作为磁场施加装置75也可以取代电磁铁装置而由永磁铁装置构成，也可以只配置在一侧。
在施加磁场时，使从属媒体72与主载体73进行一体旋转，同时通过磁场施加装置75施加复制用磁场，从而把主载体73的复制信息复制记录在从属媒体72的磁道全周上。也可以构成使复制用磁场旋转的构造。另外，磁场施加装置75中的电磁铁装置89可进行退避的移动，从而形成容许第1基盘76与第2基盘77的开闭动作的空间。
下面，对所述的磁复制装置70的动作，即磁复制方法进行说明。首先，如图16所示的那样，在第2基盘77上升移动后的接触之前的状态下，如上述的那样，预先在第1基盘76的主保持部件95上对主载体73进行其图形86中心与从属保持轴94中心的位置调整，然后，在该主载体73上放置从属媒体72，使其中心孔72a嵌合在从属保持轴94上。通过该从属保持轴94的定位，形成了从属媒体72的旋转中心与主载体73的图形86的中心位置的高精度的定位。
然后，加压装置使第2基盘77下降，使第2基盘77的按压面与从属媒体72的上面接触，通过对该从属媒体72的按压，使其下面(磁记录面)以规定的压力与主载体73的上面(信息载持面)接触。然后，向接近的方向移动两侧的电磁铁装置89、89，在使第1基盘76及第2基盘77一体旋转的同时，通过电磁铁装置89、89施加复制用磁场，从而把对应主载体73的复制信息的磁化图形记录到从属媒体72的记录面上。
在完成磁复制之后，使第2基盘77进行分离动作，解除按压力，从主载体73上揭下并取出完成复制后的从属媒体72并进行运送。然后，通过其他工序将从属媒体72反转，再次放置到从属保持轴94上，使主载体73与从属媒体72的背面接触，进行同样的磁复制。
另外，也可以如图18所示那样地对两面同时进行复制。位于下侧的第1基盘76与上述同样，具有把从属媒体72的中心孔72a定位在盘座部件93上部的中心位置上的从属保持轴94，并且在该从属保持轴94的外周部上具有保持下侧的主载体73的主保持部件95，使图形的中心位置与从属保持轴94的中心位置重合并固定。在从属保持轴94的中心部设置有定位孔94a。
另一方面，上侧的第2基盘77在盘座部件97下部的中心位置上具有用于通过插入到所述从属保持轴94的定位孔94a中，来进行定位的定位销98，并且具有把上侧的主载体74保持在该定位销98外周部上的主保持部件99，使其图形的中心位置与定位销98的中心位置重合并固定。
然后，在进行磁复制时，将从属媒体72移动到被保持在第1基盘76的主保持部件95上的下侧的主载体73上，并通过把其中心孔72a嵌合在从属保持轴94上进行装载，从而完成了从属媒体72的旋转中心与下侧的主载体73的定位。然后，使第2基盘77下降，使其定位销98嵌合在从属保持轴94的定位孔94a内，从而完成了被保持在第2基盘77的主保持部件99上的上侧的主载体74与从属媒体72的旋转中心的定位。然后，使位于从属媒体72的下面及上面的上下主载体73、74的信息载持面分别以规定的压力接触从属媒体72的上下面，施加复制用磁场，从而把对应主载体73、74的复制信息的磁化图形同时记录到从属媒体72的两面上。
对所述从属媒体72预先进行初始磁化。该初始磁化是，使其磁场强度分布至少在1处以上的磁道方向位置上具有大于从属媒体72矫顽力的磁场强度部分的磁场、理想的是，使其磁场强度分布在磁道方向位置上只有在一个方向上的大于从属媒体72矫顽力的磁场强度部分，其反方向的磁场强度在任意磁道方向位置上都小于从属媒体72的矫顽力的磁场，在磁道方向上的一部分上生成，通过使从属媒体72或磁场向磁道方向旋转，来进行对全磁道的初始磁化(直流消磁)。
另外，复制用磁场是施加在与所述初始磁化的磁道方向相反的磁道方向，在磁道方向的任意位置都不存在超过最佳复制磁场强度范围(从属媒体72的矫顽力的0.6～1.3倍)最大值的磁场强度，在1个磁道方向上至少有1处以上的磁场强度是在最佳复制磁场强度范围内的部分。并且，与此相反的磁道方向的磁场强度在从属媒体72的记录面全体区域内，在任意磁道方向位置上都小于最佳复制磁场强度范围。
依照本实施例，在进行磁复制时，通过预先把主载体73保持在其图形86的中心位置与从属保持轴94的中心位置形成一致，把从属媒体72移动到其上面，并定位保持在从属保持轴94上，然后使其与主载体73紧密接触地进行两者的定位，这样，可形成从属媒体72的中心位置与被复制的磁化图形86的中心位置的高精度的重合，可提高在把磁复制后的从属媒体72装入驱动装置时的与旋转中心的位置精度。对于一次定位固定的主载体73可在确保定位精度的同时高效地进行多个从属媒体72的供给，可高效地连续进行质量良好的磁复制，从而可提高生产效率。
另外，在所述实施例中，主保持部件95能够在XY方向上移动，但在固定式主保持部件的情况下，也可以通过直接移动主载体73来进行定位。
下面，对本发明又一其他实施例进行详细的说明。图19是本发明又一其他实施例的实施磁复制方法的磁复制装置的示意剖视图。图20是加压主体的俯视图。另外，各个图为示意图，对各个部分的尺寸以与实际尺寸不同的比例表示。
图19的进行单面逐次复制的磁复制装置100在进行复制时，使进行了后述的初始磁化后的从属媒体102(磁记录媒体)的从属面(磁记录面)与主载体103的信息载持面接触，通过加压装置104形成规定按压力的紧密接触。在该从属媒体102与主载体103紧密接触的状态下，由旋转装置105使从属媒体102及主载体103进行旋转，同时通过磁场施加装置106施加复制用磁场，把伺服信号等的磁化图形复制记录到从属媒体102上。在该磁复制过程中，在通过旋转装置105的旋转驱动使主载体103和从属媒体102在紧密接触的状态下进行旋转时，加压装置104在对旋转方向的旋转力不形成阻碍的状态下施加按压力。
从属媒体102是在两面形成磁记录层的硬盘、软盘等的圆盘状的磁记录媒体。对从属媒体102预先进行初始磁化。该初始磁化使，其磁场强度分布至少在1处以上的磁道方向位置上具有大于从属媒体102矫顽力Hcs的磁场强度部分，理想的是，其磁场强度分布在磁道方向位置上只有在一个方向上具有大于从属媒体102矫顽力Hcs的磁场强度部分，而其反方向的磁场强度在任意磁道方向位置上都小于从属媒体102的矫顽力的磁场，在磁道方向上的一部分上生成；通过使从属媒体102或磁场向磁道方向旋转，来进行对全磁道的初始磁化(直流消磁)。
图19中的下侧的从属媒体102，被保持在旋转装置105中的圆盘状的旋转基盘151的上面。旋转基盘151在底面中心部上设有旋转轴152，旋转轴152被支撑在轴承部件153上，并可自由旋转。在该旋转轴152上，驱动马达的旋转驱动力通过同步皮带、链条等的传导部件被传导至未图示的链轮，或通过使用齿条/小齿轮机构等传导旋转力，或通过直接输出旋转力的马达、旋转作动缸(气压、油压)等传导旋转力，由此使旋转基盘151在磁复制时以规定的速度进行大致一周的旋转。
上侧的主载体103被形成为磁盘状，在其一面上具有由磁性层构成的微细凹凸图形而形成复制信息载持面，并使该信息载持面与从属媒体102紧密接触。与此相反的背面被保持在加压装置104中的圆盘状的按压基盘141的下面，该按压基盘141使主载体103对从属媒体102进行按压。
在按压基盘141的上部设置加压主体142，该加压主体142保持按压基盘141，并且能够在上下方向上进行与所述旋转基盘151接触或分离的移动。而且，设置有不阻碍加压主体142与按压基盘141之间的旋转方向上的旋转力的按压力传导机构143。
加压主体142，在圆板部142a的外周上设有向下侧延伸的周壁142b，在该周壁142b的下端部上形成有向内侧突出的扣锁部142c。在加压主体142的上部安装连杆142d，与未图示的升降机构连接，可上下移动。在该加压主体142的底面上，埋入设置有构成按压力传导机构143的多个轴承滚珠143a。在加压主体142的142a的底面侧，把按压基盘141设置在扣锁部142c的上部，在加压主体142向上移动时，按压基盘141被扣锁部142c保持，形成一体的移动，在下降后的紧密接触时轴承滚珠143a压在按压基盘141的上面，作为推进轴承传导按压力。
所述加压主体142在旋转方向上固定，通过轴承滚珠143a的旋转，容许按压基盘141与旋转基盘151构成一体的旋转。为了在加压时，扣锁部142c可与按压基盘141分离，设置按压基盘141可在加压主体142内可进行若干的上下移动。
如图20所示，在加压主体142的上面形成可插入磁场施加装置106的磁头部的凹部142e，使其接近主载体103与从属媒体102的接触面，并施加磁场。最好在对应凹部142e的底面部上不设置所述的轴承滚珠143a。理想的是，使轴承滚珠143a具有弹簧，通过出没的移动，使轴承滚珠143a全部接触到按压基盘141的上面，形成均匀的按压。
另外，旋转基盘151与按压基盘141通过配置在从属媒体102及主载体103的外侧部分上的定位机构107来进行中心位置的定位。在如图所示的情况下，在旋转基盘151上立向设置多个定位销171，在按压基盘141上形成定位孔172，通过使两者的相互嵌合来进行从属媒体102与主载体103的中心位置的定位。另外，旋转基盘151的旋转力通过该定位机构107被传导至按压基盘141。旋转力还通过从属媒体102与主载体103的紧密接触被传导。定位销171的前端形成圆锥形状，从而可被顺利地导入定位孔172内形成嵌合。
施加复制用磁场的磁场施加装置106在一侧或上下两侧配置了在具有在被紧密接触地保持在旋转基盘151和按压基盘141之间的从属媒体102及主载体103的半径方向上延伸的磁头部的铁心上卷有线圈的电磁铁装置或永磁铁装置，向平行于磁道方向的与所述初始磁场大致相反的方向施加复制用磁场。另外，磁场施加装置106在加压主体142进行升降移动时，可退避到不形成干涉的位置。
复制用磁场在磁道方向的任意位置都不存在超过最佳复制磁场强度范围(从属媒体102的矫顽力Hcs的0.6～1.3倍)的最大值的磁场强度，在1个磁道方向上至少有1处以上的部分其磁场强度在最佳复制磁场强度范围内。并且，与此相反的磁道方向的磁场强度在从属媒体102的记录面全体区域内，在任意磁道方向位置上都小于上述强度范围的最小值。
通过所述磁复制装置100的磁复制，首先，使预先定位固定有主载体103的按压基盘141与加压主体142一起上升，在其与旋转基盘151之间形成了装卸从属媒体102的操作空间的状态下，在确定好从属媒体102的中心位置的状态下载置在旋转基盘151的上面。然后使加压主体142下降，通过定位机构107进行按压基盘141与旋转基盘151的定位，同时通过按压力传导机构143把主载体103的复制信息载持面以规定的按压力紧密接触在从属媒体102的记录面上。然后启动驱动马达驱动旋转轴152旋转，使通过定位机构107连接的按压基盘141与旋转基盘151一同形成一体的旋转驱动。与此同时，由磁场施加装置106施加复制用磁场，从而把在主载体103的复制信息载持面上所形成的伺服信号等的复制信息以磁形式复制记录到从属媒体102的记录面上。
依照本实施例，在施加复制用磁场时的旋转时，由于加压装置104中的按压基盘141是通过由轴承滚珠143a构成的按压力传导机构143的作用对旋转方向的旋转力不产生阻力成分，所以可以使按压基盘141在施加按压力的同时，进行独立于加压主体142的以旋转基盘151的旋转中心为中心的旋转。由此，因旋转所致的驱动负荷不会施加到加压主体142侧，另外，可使从属媒体102与主载体103进行一体的旋转而不会发生两者之间的滑动，可进行高精度的磁复制。
图21是其他实施例的具有按压力传导机构144的磁复制装置100的主要部分剖视图。
在本实施例中，按压力传导机构144由空气间隙构成。按压基盘141具有与上述相同的构造，并被保持在加压主体142的圆板部142a与扣锁部142c之间。在加压主体142的圆板部142a的底面上形成多个空气喷出孔144a。在圆板部142a的内部形成与空气喷出孔144a连通的空气通路144b，该空气通路144b被导向外部，与未图示的加压源连接，供给压缩空气。
在按压基盘141进行下降加压时，从加压主体142的空气喷出孔144a向按压基盘141的上面喷出加压空气，阻止两者之间的接触，在加压主体142与按压基盘141之间形成空气间隙的状态下传导按压力。相对在旋转方向上被固定的加压主体142，由于有中间存在空气间隙的非接触滑动，所以容许按压基盘141与旋转基盘151进行一体的旋转。其他的构造与图19相同，进行能够同样的磁复制。
在本实施例中同样是，在施加磁复制磁场时的旋转时，加压装置104中的按压基盘141在通过喷出加压空气而形成空气间隙的按压力传导机构144的作用下，旋转方向上的旋转力不受加压主体142的阻碍，使按压基盘141在施加按压力的同时，独立于加压主体142进行以旋转基盘151的旋转中心为中心的旋转。由此，因旋转所致的驱动负荷不会施加到加压主体142侧，另外，可使从属媒体102与主载体103进行一体的旋转而不会发生两者之间的滑动，可进行高精度的磁复制。
下面，图22是表示其他实施例的具有从属媒体102与主载体103的定位机构108的旋转基盘151及按压基盘141的视图，图23是主载体103的俯视图。
本实施例的旋转基盘151及按压基盘141的基本构造与图19相同。被保持在按压基盘141上的主载体103大于被保持在旋转基盘151上的从属媒体102的外径，在与从属媒体102紧密接触部分的外侧部分上配置对旋转基盘151与主载体103进行定位的定位机构108。
在定位保持从属媒体102的旋转基盘151上立向设置4根定位销181，在主载体103上形成4个定位孔82(参照图23)，由此构成了定位机构108。定位销181的前端形成圆锥状，从而可引导插入定位孔182内。
依照本实施例，由于在接触动作时，旋转基盘151的定位销181插入到主载体103的定位孔182内，从而构成了旋转基盘151即从属媒体102与主载体103的定位。因此，与图19所示的定位机构107相比，不需要进行按压基盘141与主载体103的精密定位，简化了设置精度要求高的部分。
图24是表示其他实施例的具有定位机构109的旋转基盘151及按压基盘141的视图。
本实施例的旋转基盘151及按压基盘141的基本构造与图19的构造相同。在旋转基盘151的中心部上配置对旋转基盘151与主载体103进行定位的定位机构109。在旋转基盘151的中心部上立向设置大直径的定位销191，在主载体103的中心部上形成定位孔192，由此构成了定位机构109。定位销191贯通从属媒体102的中心孔并向上突出。定位销191的前端形成圆锥形状，从而可引导插入定位孔192内。另外，也可以通过使旋转基盘151的定位销191插通从属媒体102的中心孔，来进行从属媒体102的定位。
依照本实施例，在加压动作时，旋转基盘151的中心定位销191插到主载体103的定位孔192内，构成旋转基盘151即从属媒体102与主载体103的定位。从而，与图22同样地不需要进行按压基盘141与主载体103的精密的定位，简化了设置精度要求高的部分。并且，如果根据定位销191对从属媒体102进行定位，则可进一步简化构造。
另外，也可以与所述各个实施例相反地把主载体103保持在旋转基盘151上，而把从属媒体102保持在按压基盘141上。通过空气吸引的吸附固定等进行在这些基盘151、141上的从属媒体102及主载体103的固定，并为此形成吸引通路。另外，最好使主载体103在复制图形以外的部分上形成小孔，用来吸引与从属媒体102紧密接触部分的空气，使接触表面之间没有残留的空气。
另外，如所述的各个实施例那样，有使主载体103紧密接触从属媒体102的一面，逐片地进行单面复制和使主载体103分别接触从属媒体102的两面，对两面同时进行复制的情况。在单面逐次复制的情况下，在旋转基盘151上保持从属媒体102(或主载体103)，在按压基盘141上保持主载体103(或从属媒体102)并使其相互形成紧密接触，然后施加复制用磁场。在完成一面的复制后，使从属媒体102的背面紧密接触具有背面用的图形的主载体103，然后施加复制用磁场。另外，在对两面同时进行复制的情况下，分别由旋转基盘151保持第1主载体103，由按压基盘141保持第2主载体103，在两主载体103、103之间夹持从属媒体102，并紧密接触在两面上，然后施加复制用磁场。
本发明的磁复制，基本是通过对从属媒体102向磁道方向的一方向施加初始磁场，来进行预先初始磁化(直流消磁)。然后，使该从属媒体102的从属面(磁记录面)与主载体103的由附着在基板上的微细凹凸图形上的磁性层构成的信息载持面紧密接触，通过在从属媒体102的磁道方向上施加与所述初始磁场相反方向施加复制用磁场来进行磁复制。其结果可把对应主载体103的信息载持面的磁性层上的由形成紧密接触的凸部和凹部空间所形成的图形的磁化图形复制记录到从属媒体102的从属面(磁道)上。
权利要求
1.一种磁复制装置，其特征在于包括定位并保持载持有信息信号的主载体的主固定台座和使接受复制的从属媒体与所述主载体形成紧密接触的贴靠装置；由每个所述主固定台座更换所述主载体。
全文摘要
一种磁复制装置,包括定位并保持载持有信息信号的主载体(3)的主固定台座(11)和使接受复制的从属媒体(2)与主载体(3)形成紧密接触的贴靠装置(5),由每个主固定台座(11)更换主载体(3)。理想的是还具有清洗装置(7)。这种磁复制装置,通过构成简便化的主载体更换,来提高工作效率和复制效率,从而可提高生产效率。
文档编号G11B23/50GK1381835SQ0210574
公开日2002年11月27日 申请日期2002年4月16日 优先权日2001年4月16日
发明者镰谷彰人, 乾恒雄, 青木理史, 西川正一 申请人:富士胶片株式会社