专利名称：调节在记录载体上悬浮的滑块的悬浮表面的形状的方法
技术领域：
本发明一般涉及读写头及其制造方法，特别涉及控制悬浮在盘表面上方的读写头的悬浮量。本发明例如是用于制造在硬盘驱动器(“HDD”)中的磁盘上悬浮的滑块的方法。
背景技术：
随着最近在互联网方面的技术发展，可获得的电子信息内容爆炸式地增长。相应地，日益需要以HDD作为代表的更小和更大容量的磁盘驱动器来存储这样大量的信息。增加每单位长度的数据道数目(或者TPI每英寸宽的记录道数目)，即较窄的记录道宽度是实现较小和较大容量HDD的根本。另外，也需要改善对悬浮量和安装有读写头的滑块高度的控制，用于把数据写入到窄记录道以及从窄记录道读出数据。在本申请中，在没有其它特别说明的情况下，术语“悬浮量”是指在悬浮过程中的悬浮量和高度。具体来说，随着最近已经减小滑块的悬浮量，需要稳定的记录/再现操作来对该稳定的悬浮量进行控制。当悬浮量过大时，由于用来记录和再现的磁场与距离的平方成比例地减小，因此该记录头不能够实现记录和再现。太小的悬浮量会导致碰撞(即，损坏磁盘)。
该滑块具有一个空气垫表面(“ABS”)，其构成在面对磁盘的表面上的悬浮表面，众所周知ABS的形状或图案将使该悬浮量保持稳定。但是，由于在处理滑块的后表面和ABS时所产生的剩余应力以及当滑块接合到一个悬架上时所产生的后表面的表面应力，该ABS会弯曲成椭圆面、抛物面或双曲面，偏离所需形状。因此，ABS的形状将被测量，然后当确定形状不良时，对该ABS进行纠正或精细调节。
作为ABS形状调节方法的一个推荐方法，把激光照射到ABS的后表面，以产生热应力并且使该后表面产生微小的变形，从而调节ABS的形状，例如在日本专利公开No.6-84312中所述，该调节方法照射激光，以对隆起(crown)或翘曲(camber)提供预定的变形量，从而该ABS具有所需的平面形状。在此，该隆起是在滑块的纵向方向上的凸起高度，而翘曲(或者通常被称为“十字碹(cross-crown)”)是在滑块的横向方向的凸起高度。
但是，上述参考文献没有公开在估计ABS的形状之后，即当测量表明隆起和/或翘曲在许可范围之外时，设置激光照射条件和激光振荡条件(这两者在本申请中统一称为“激光照射条件”)以使得ABS形状平坦的具体方法。因此，形状纠正处理需要一定的技术，使纠正变得困难，并且增加纠正时间。具体来说，该隆起和翘曲互为相关。例如，当该隆起在许可范围之内，而翘曲在许可范围之外时，用于纠正翘曲的任意激光照射条件有可能使该隆起在许可范围之外。因此，该纠正处理应当考虑它们之间的关系，并且这使得纠正更加困难，并且纠正时间变长。
发明内容
相应地，本发明的一个目的是提供一种用于制造滑块的方法，其根据形状估计结果对ABS的形状提供简便和快速的纠正处理。
为了实现上述目的，根据本发明一个方面的一种用于制造滑块的方法，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在该记录载体上方的一个悬浮表面，其包括如下步骤设置一个直角坐标系，其具有作为该悬浮表面的中心的原点；以及通过使用激光扫描悬浮表面的后表面来调节该悬浮表面的形状，从而由直角坐标系所设置的多个位置中的每一个位置可以具有在许可范围内的平直度。该方法控制激光扫描由直角坐标系所确定的有限数目的位置处的平直度。本发明需要在悬浮表面的有限位置处的平直度，而不是要求整个悬浮表面的平直度，并且简化形状调节。由于这种直角坐标系能够使激光扫描角度容易设置，因此它是优选的。
调节步骤可以避免把激光照射在以原点为中心具有预定半径的圆形内。本发明人通过实验确认激光在该范围中的照射不会影响悬浮表面的形状调节。该预定半径是通过实验计算的，例如对于在悬浮表面的后表面上的方形激光照射范围，该半径为直角坐标的长度的50％或更小。
根据本发明另一方面的一种用于制造滑块的方法，其中该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在该记录载体上方的一个悬浮表面，其包括如下步骤当检测结果表明至少一个参数偏离许可范围，则根据上述参数的检量结果从参数中确定一个纠正目标，该参数包括表示悬浮表面在纵向方向上的形变的隆起、表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变的翘曲、以及表示该悬浮表面在对角方向上的形变的扭曲；设置激光照射条件，以纠正至少一个参数；以及根据由设置步骤所设置的激光照射条件，通过把激光照射到悬浮表面的后表面而调节该悬浮表面的形状。该方法设置激光照射条件，以对隆起、翘曲和扭曲中的至少一个参数，例如具有偏离许可范围的最大误差的参数，设置激光照射条件，从而纠正悬浮表面的形状。
该方法可以进一步包括判断除了该纠正目标之外的其它参数是否受到激光照射的影响，以及当判断步骤表明除了纠正目标之外的其它参数受到激光照射的影响时，把当前照射条件改变为具有类似效果的另一个照射条件。由于隆起、翘曲和扭曲是互相关的，因此该方法避免为了纠正其中一个参数而导致其它参数在许可范围之外。
本方法可以进一步包括判断除了纠正目标之外的其它参数是否受到激光照射的影响的步骤；当判断步骤表明除了纠正目标之外的其它参数受到激光照射的影响，则确定是否有其它照射条件具有类似于该激光照射的效果；以及当确定步骤表明没有其它照射条件具有类似的效果，则通过增加预定偏移量和从该激光照射条件减去预定偏移量，而选择对除了纠正目标之外的其它参数具有最小影响的一个照射条件。由于隆起、翘曲和扭曲互为相关，则该方法防止对其中一个参数的纠正而导致其它参数处于许可范围之内。
该激光照射条件可以是用于扫描激光的角度和长度、激光点之间的间隔、脉冲数目、脉冲能量和激光的聚焦。另外，该激光照射条件可以是位置以及激光多次照射的该位置的照射次数、角度、移动量以及次数，该激光照射条件是角度、移动量以及次数，其中激光以该角度并保持该角度恒定进行扫描，然后把激光在与激光扫描方向相垂直的方向上移动该移动量的距离，并且该激光扫描重复多次；以及角度和移动量，其中激光以该角度并保持该角度恒定进行扫描，然后把激光在与激光扫描方向相垂直的方向上移动该移动量的距离，并且该移动量是可变的。另外，该激光照射条件可以是多个角度，其中该多个角度被设置以及每个角度用于扫描激光；角度和扫描长度，其中多个扫描长度对每个角度设置用于扫描激光；以及激光的激光点之间的间隔和次数，其中多个间隔被设置并且该激光以不同的间隔多次扫描。
根据本发明另一个方面的一种用于制造滑块的方法，其中，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在该记录载体上方的一个悬浮表面，其包括如下步骤当激光以预定的照射条件照射到该悬浮表面的后表面上时，获得隆起、翘曲和扭曲之间的关系，该隆起表示悬浮表面在纵向方向上的形变、该翘曲表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变、以及该扭曲表示该悬浮表面在对角方向上的形变，以及当隆起、翘曲和扭曲中的至少一个参数偏离许可范围，则使用该关系调节以前已经处理的悬浮表面的形状。该方法还表现出与上述方法相类似的效果。
其中包括用上述方法制造的滑块并且驱动记录载体的一种用于执行上述方法的计算机执行程序和驱动器构成本发明的一个方面。
从下文参照附图的详细描述中本发明的其它目的和特点将变得更加清楚。
图1为示出作为本发明一个例子的硬盘驱动器的内部结构的平面示图。
图2为图1中所示的硬盘驱动器的滑块的放大透视图。
图3为用于说明制造图1中所示的滑块的整体方法的流程图。
图4为用于说明使用已经设置在图2中所示的滑块的悬浮表面的后表面的中央的直角坐标系统设置激光照射条件的方法的平面示图。
图5为当以可变的角度扫描图4中所示的激光而进行激光照射时对于隆起、翘曲和扭曲的形状变化的曲线图。
图6为用于说明图3中所示的步骤1500的一个实施例的流程图。
图7为示出限制图4中所示的激光照射范围的一个实施例的平面示图。
图8为用可变的激光脉冲能量照射激光时对于隆起和扭曲的形状变化的曲线图。
图9为在偏移图4中所示的扫描角的正常方向之后在相同条件下重复进行激光扫描的一个实施例的平面示图。
图10为在图9中所示的实施例中从激光扫描获得的形状变化的曲线图。
图11示出组合一些激光照射条件的一个实施例的平面示图。
图12为示出组合一些激光照射条件的另一个实施例的平面示图。
图13为示出组合一些激光照射条件的另一个实施例的平面示图。
具体实施例方式
现在参见附图，给出作为根据本发明一个实施例的HDD 11的描述。该HDD 11在图1中所示的容器12中包括作为记录载体的多个磁盘13、主轴电机14、以及磁头部分。在此，图1为示出HDD 11的内部结构的平面示图。
壳体12例如由铝模铸造或不锈钢所制成，并且具有矩形形状，其连接到一个盖子(未示出)以密封其内部空间。在本实施例中的每个磁盘13具有高记录密度，例如100Gb/in2或更高，并且安装在主轴电机14的主轴上。
该主轴电机14以高速度旋转该磁盘13，例如7200转每分和10000转每分，并且包括一个无刷直流电机(未示出)和作为转子部分的主轴。例如，当使用两个磁盘13时，按次序在该主轴上叠放磁盘、衬片、磁盘和夹具，并且通过与该主轴相啮合的螺栓固定。与本实施例不同，该磁盘13可以是具有轴枢，并且该主轴通过该轴枢旋转该磁盘。
磁头部分包括滑块19，以及作为用于定位和驱动滑块19的机构的传动器。如图2中所示，该滑块19包括具有由Al2O3-TiC(altic)所制成的矩形形状，以及与滑块体22的空气流出端形成为整体并且由Al2O3(氧化铝)所制成的磁头器件内置膜24，该薄膜24包括一个内置的读/写头23。在此，图2为滑块19的放大透视图。该滑块体22和磁头器件内置膜24确定一个悬浮表面25作为与载体，即磁盘13相对的一个表面，其表面25捕获从旋转磁盘13所产生的气流26。
一对导轨27形成在悬浮表面25上，从空气流入端延伸到空气流出端。一个所谓的ABS28确定在每个导轨27的上表面上。根据气流26的作用在ABS28中产生浮力。嵌入在磁头器件内置膜24中的磁头23暴露在ABS28下。该滑块19的悬浮系统不限于这种形式，而是可以使用已知的动态压力润滑系统、已知的静压力润滑系统、已知的压电控制系统、以及任何其它已知的悬浮系统。与使用在停止时滑块19与磁盘13相接触的接触开始停止系统的本实施例不同，在动态或滑轨装载系统中，滑块19可以在磁盘13停止之前置于磁盘13上方，保持在位于磁盘13外侧的保持部分(有时称为滑轨)上，从而按照不与磁盘13相接触的方式保持该滑块19，并且当磁盘13运转时从该保持部分置于盘13上。
该磁头23包括磁阻/电感复合磁头，其中包括用于使用由导电线圈图案(未示出)所感应的磁场把二进制信息写入到磁盘13的一个感应磁头器件，以及用于读取根据由磁盘13所产生的磁场而改变的电阻作为二进制信息的磁阻(在下文中称为“MR”)磁头器件。MR磁头器件可以使用任何类型，例如包括平面内电流(“CIP”)以及垂直于平面的电流(“CPP”)结构的大磁阻(“GMR”)类型、隧道磁阻类型(“TMR”)、以及各向异性磁阻(“AMR”)类型。
如图2中所示，隆起表示形变或者滑块19在纵向方向L上的凸起。翘曲表示滑块19在与纵向方向L相正交的横向方向S上的形变或凸起。扭曲表示滑块在对角方向D上的凸起。隆起、翘曲和扭曲的示例形变由虚线在每个方向上示出，并且它们可以在相反方向上发生形变。这两个方向可以通过把一个方向设置为正，把另一个相反方向设置为负而区别。本实施例如此使用隆起、翘曲和扭曲来估计ABS28的形状。测量设备可以使用一种高度或形状测量设备，其使用光干涉条纹，例如通常可以从ZYGO的干涉系统、VEECO的WYKO系列等等而获得。
在估计中，当所有隆起等等参数在通常以0为中心的参考值的一个公差(例如，±8纳米)的许可范围内，该滑块被确定为一个合格品，而当一个或多个隆起等等参数在许可范围之外时，该滑块被确定为是一个不合格品。本实施例的形状估计方法以悬浮表面25中心周围作为原点，以方向LD和SD作为X轴和Y轴设置一个直角坐标K(例如，图2中所示的8个点x)。将在下文描述的悬浮表面25的调节方法通常把直角坐标系统RC设置在悬浮表面15的后表面25a上，因为激光被照射到ABS28的后表面上。但是，在形状估计方法中设置的直角坐标系统K可以形成在悬浮表面25和前后表面的两侧。
下面参照图3描述滑块19的制作方法。在此，图3为用于说明制作滑块19的方法的示意图。如图中所示，用于制作滑块19的方法首先在磁头形成步骤中形成上述磁头(步骤1000)。接着，在形成导轨形状的ABS28之前的弯曲步骤中，对滑块19抛光，直到磁头23的磁性具有所需特性为止(步骤1100)。接着，在ABS形状调节步骤中在悬浮表面25上形成导轨27(步骤1200)。然后，使用上述形状估计方法来估计悬浮表面25的形状(步骤1300)。作为形状估计结果，当每个隆起、翘曲和扭曲被保持在预定的许可范围内时完成该滑块(步骤1400)，接着附着到悬架18并且连接到用于磁头23的线路部分。步骤1000-1200可以使用任何本领域中公知的方法，并且省略对它们的描述。
作为形状估计的结果，当一个或多个隆起、翘曲和扭曲在预定许可范围之外时，调节悬浮表面25的形状(步骤1500)。步骤1500可以使用本发明的形状调节方法。在步骤1500之后，该处理返回到悬浮表面25的形状估计步骤(步骤1300)并且重复执行。
下面描述本发明的形状调节方法。在此，图4为用于说明使用已经在悬浮表面25的后表面25a的中央设置的直角坐标系RC设置激光照射条件的方法。
本实施例使用已经在悬浮表面25的后表面25a的中央设置的直角坐标系RC。如上文所述，直角坐标系K用于测量包括隆起、翘曲和扭曲在内的参数。直角坐标系的设置和有限数目的测量位置将简化要被调节的形状，并且促进在短时间内设置对于许可范围之外的参数对悬浮表面25的形状调节所需的激光照射位置和角度。
例如，在步骤1300中的形状估计测量在图2中的8个点x处的隆起、翘曲和扭曲，并且当在这些点处的隆起、翘曲和扭曲在许可范围之内时，即使在这些点之间有例如起伏这样的不均匀性，也认为该滑块19是一个合格品。类似的，在步骤1500中的纠正之后，当在这些点处的隆起、翘曲和扭曲在许可范围之内时，即使在这些点之间有例如起伏这样的不均匀性，也认为该滑块19是一个合格品。
另一方面，当调节形状而不设置直角坐标系并且把由直角坐标系所确定的多个位置的每个位置处的平直度保持在许可范围内时，步骤1300需要更长的时间来确定该滑块是否为一个合格品，这例如是因为需要分析整个悬浮表面25的平直度。这不容易设置调节形状所需的激光照射条件；悬浮表面25的这种纠正处理需要一定技能因此变得困难。特别地，由于隆起、翘曲和扭曲互相关，它们之间的关系使得该处理更加困难。另外，长时间的处理降低了滑块19的生产率。
相反，本实施例在由直角坐标系统所确定的有些数目的位置测量悬浮表面25的平直度，并且当在这些点处的隆起、翘曲和扭曲在许可范围内时，认为整个悬浮表面25是平整的，从而简化该估计(步骤1300)和形状调节(步骤1500)。因此，在本实施例中直角坐标系的设置将有助于节约测量时间、统一形状调节的处理、从而节约处理时间。如下文中所述，激光扫描角对于本实施例的形状调节方法是重要的，并且直角坐标系是优选的，因为这可以容易地设置扫描角。
如图4中所示，后表面25a具有激光可以照射的范围IR，其由网点和虚线所示。由于悬浮表面25需要保持光滑，并且由于激光照射所造成的灰尘可能会导致碰撞，本实施例把激光照射到后表面25a，而不是照射到悬浮表面25。
本实施例采用红外和近红外激光，例如具有1064纳米的波长的YAG激光。由于需要激光加热后表面25a并且使其热膨胀，考虑到需要较短的处理时间，因此这种激光是优选的，而不采用具有较小的输出的可见光和紫外光范围的激光。最好选择不会破坏或切削该后表面25a这样的激光。
激光照射条件包括激光振荡条件，因此包括用于扫描激光的角度(例如，在图4中的θ1)；用于扫描激光的长度(例如图4中的L1)、在激光点之间的间隔LS(例如图4中的P1)；脉冲的数目；脉冲能量；聚焦；位置以及激光多次照射该位置的次数；角度、移动量和次数，其中激光以固定角度扫描，然后激光在与激光的扫描方向相垂直的方向上移动该移动量的距离，并且该激光扫描多次重复；角度和移动量，其中该激光以固定角度扫描，然后该激光在与激光的扫描方向相垂直的方向上移动该移动量的距离，该移动量是可变的；用于扫描激光的角度，其中设置多个角度；用于扫描激光的角度和扫描长度。其中对每个角度设置多个扫描长度；以及激光的激光点之间的间隔和次数，其中设置多个间隔以及该激光在不同的间隔上多次扫描。
下面参照图5和6描述通过改变扫描角θ1而纠正悬浮表面25的实施例。其特征是，该实施例把在激光照射条件中的用于扫描激光的角度看的很重要，并且确定照射位置。悬浮表面25包括作为一对导轨27和它们之间的凹槽的ABS28，但是形状调节的目标是ABS28。在此，图5为通过改变如图4中所示用于扫描激光的角度当把激光照射在激光照射范围IR上时，对于隆起、翘曲和扭曲的形状变化曲线。图6为用于说明图3中所示的步骤1500的一个例子的流程图。
当在预定条件下(在本实施例为激光照射角)把激光照射到悬浮表面25的后表面25a时，本实施例最初获得隆起、翘曲和扭曲之间的关系，即图5中所示的数据(步骤1501)。图5中所示的数据根据滑块19的材料和形状等等而变化。图5中所示的图表针对于该滑块，其作为具有预定材料的形状等等的估计对象，以及通过保持激光脉冲能量、脉冲宽度等等为恒定并且仅仅改变用于扫描激光的角度，而通过经验由隆起、翘曲和扭曲获得。获得该图表的方法构成本发明的一个方面。
然后，在隆起、翘曲和扭曲中确定一个纠正目标参数(步骤1502)。尽管该实施例仅仅选择一个纠正目标参数，并且在形状估计中通常选择已经被确定为在许可范围之外的参数作为该目标参数。当两个或多个参数被确定为在该许可范围之外时，偏离该许可范围更大的参数被选择为该纠正目标参数。本发明不把纠正参数的数目限制为一个，但是一个纠正目标参数将具有加速形状调节处理的效果。
然后，本实施例选择一个扫描角作为照射条件(步骤1504)。例如，当扭曲在许可范围之外，并且隆起和翘曲在许可范围之内，则扭曲被选择作为该纠正目标。例如，在图5中扭曲的测量结果为-5个标度，照射激光，使得该扭曲可以产生+5个标度的形变。例如，点A被选择用于把扭曲+5个标度，并且对应于点A的扫描角(在图5中大约为315度)被选择。另一个实施例选择一个或多个照射条件。例如，把照射次数和扫描角相互结合的另一个实施例把照射次数设置为5次，并且照射激光在每次把该扭曲改变+1标度。
然后确定扫描角对其它参数是否有负面影响(步骤1506)。例如，当选择对应于点A的大约315度的扫描角时，扭曲的纠正将把隆起改变大约+3.3个标度，以及把翘曲改变+0.7个标度。步骤1506确定这种改变是否仍然能够把隆起和翘曲保持在它们的许可范围内。
当步骤1506确定没有存在影响，也就是说，当本实施例确定扭曲的纠正仍然能够把隆起和翘曲保持在许可范围内，则在图4中把θ1设置为大约315度(步骤1508)，进行激光扫描。
在本实施例中的步骤1508设置激光照射条件，例如图4中所示的激光扫描的长度L1、在激光点之间的间距P1以及激光聚焦。预先设置激光振荡条件，例如激光脉冲能量、脉冲宽度和波形控制。
当步骤1506确定存在有影响时，然后确定是否可以改变而获得类似的效果(步骤1510)。例如，该步骤确定扭曲的纠正使得隆起变为在许可范围之外，则步骤1518确定对应于点B的角(在图5中大约为225度)是否可以选择，其对扭曲提供+5的标度的改变而对隆起没有太大影响。当步骤1510确定点B的选择将使隆起在许可范围内，则扫描角度从大约315度变为大约225度(步骤1512)，并且激光类似地进行扫描(步骤1508)。
另一方面，当步骤1510确定不可能改变角度而获得类似的效果，则在通过加和减预定偏移量而获得的数值中选择对其它参数影响最小的一个数值(步骤1514)。例如，当该步骤确定即使选择对应于点B的大约225度的条件仍然会使隆起保持在许可范围之外，或者使隆起保持在许可范围之内但是翘曲在许可范围之外，步骤1510确定不可以选择点B。在这种情况中，步骤1514通过对点A加和减预定的偏移量(例如，±10度)而获得的点C和D中选择点C。这是因为点C比点D具有较小的隆起值，并且对隆起具有较小的影响。根据滑块19的材料和其它条件设置偏移量或角度。点C大约为+5.2，但是如果它远低于所需的纠正值(在此为+5)，则重复多次激光扫描(步骤1508)。
另一个实施例在步骤1502中而不是在步骤1514中改变该纠正目标参数。另外，本实施例可以在步骤1504中改变照射条件。
如图7中所示，步骤1508不一定要把激光照射在具有预定半径的圆形范围内。由于导轨27与中心分离，经验表明激光照射在该范围内不会有效地调节ABS28的形状。该预定半径可以用经验获得。例如，当照射范围IR具有与坐标系RC中的原点相距距离r的方形轮廓时，“具有预定半径的圆形”将被定义为具有r/2或更小的半径的圆形。图7示出这种圆形。
下面将给出使用其它照射条件的形状调节方法的描述。
图8为当通过改变激光脉冲能量并且保持其它激光振动和照射条件时的形状变化的曲线图。图8中省略了翘曲。本发明人已经确认除了激光脉冲能量的改变之外激光聚焦的改变也表现出与激光能量改变相类似的变形效果。在改变激光脉冲能量和激光聚焦中，在步骤1504、1510和1512中的角度被激光脉冲能量和激光聚焦所代替。在图6中的步骤1501测量当仅仅改变脉冲能量时对于隆起、翘曲和扭曲所产生的形状变化。
图9为当在相同条件下通过在图4中所示的扫描角θ1的正常方向上移动一个偏移量M重复激光扫描时的平面示图，而图10为示出作为激光扫描结果的形状变化的曲线图。图9和10也省略了翘曲。在该重复处理中，在步骤1504、1510和1512中的角度被替换为角度、偏移量M、扫描长度L和重复次数n。形状的变化与重复次数n成正比。
图11-13为示出在上述变形条件中结合包括激光扫描角θ、激光照射间隔P、激光扫描长度L和偏移量M等等相同条件的示例激光扫描的平面示图。
如参照图7所述，图11不把激光照射到具有直径P2的中央部分中并且使用激光扫描角θ1、激光扫描长度L1和激光点间距P1。
在图12中，通过直角坐标系RC的原点的激光扫描使用激光扫描角θ1、激光扫描长度L1和激光点间距P1。另外，在扫描角θ1的正常方向中(在上左方向中)移动偏移量M1的激光扫描不把激光照射在具有长度P2的中部中，并且使用与通过直角坐标系RC的原点的激光扫描相同的条件。另外，已经在扫描角θ1的正常方向中(在下右方向中)移动偏移量M2的激光扫描不把激光照射在直角坐标系RC中的纵向轴之外，并且使用与通过直角坐标系RC的原点的激光扫描相同的条件。
在图13中，通过直角坐标系RC的原点的两个激光扫描之一以激光扫描角θ1、激光扫描长度L1和激光点间距P1的条件扫描激光，而另一个以激光扫描角θ1、激光扫描长度L2和激光点间距P2的条件扫描激光。
返回到图1，传动器21包括音圈电机(未在图1中示出)、支杆15和滑架16。
音圈电机可以使用任何现有技术，并且省略对它的描述。例如，该音圈电机包括固定到固定于壳体12中的铁板上的永磁体，以及固定到滑架16上的可变磁体。支杆15插入到滑架16中的圆筒状空洞中，并且被设置为在壳体12中垂直于图1的纸面的方向上延伸。
滑架16包括可以绕着支杆15旋转或摆动的刚性臂17，以及附着到臂17的未端并且从臂17向前延伸的悬架18。悬架18例如是由不锈钢所制成的Watlas型悬架，其使用万向簧片(未示出)来悬挂该滑块19。悬架18支承通过引线等等连接到滑块19的线路部分。由于该线路部分太小，从而它在图1中省略。感应电流、读入数据、读出数据、在读写头23和线路部分之间通过这种引线而提供和输出。悬架18把弹力提供到滑块19，以压在磁盘13的表面上。
HDD 11包括作为控制系统(未示出)的控制部分、接口、硬盘控制器(在下文中称为“HDC”)、写入调制部分、读出解调部分和读写头IC。控制部分包括无论其名称如何的任何处理器，例如CPU和MPU，并且控制在控制系统中的每个部分。该接口把HDD连接到外部装置，例如作为主机的个人计算机(在下文中称为“PC”)。HDC把已经被读取解调部分所解调的数据发送到控制部分，把数据发送到写入调制部分。控制部分或HDC实现对主轴电机14和传动器21(中的电机)的伺服控制。写入调制部分调制数据并且把数据提供到读写头IC，该数据被从主机通过接口提供，并且被感应头写入到盘13中。读取解调部分通过对由MR磁头设备从盘13读取的数据采样和把数据解调为原始信号。该写入调制部分和读取解调部分可以被认为是一个信号处理部分。该读写头IC作为前置放大器。
在HDD 11的操作中，控制部分驱动主轴电机14并且旋转盘13。与盘13的旋转相关的气流被导入在盘13和滑块19之间，形成小的气模，从而产生使滑块19悬浮在盘表面上的浮力。悬架把弹性压力在与滑块19的浮力相反的方向上施加在滑块19上。浮力与弹力之间的平衡使滑块19与盘13相距固定的距离。如上文所述，由于本发明的方法已经处理滑块19的悬浮表面25(特别是ABS28)的形状，并且对其提供所需的平直度，因此滑块19可以保持稳定的悬浮量。
然后，控制部分控制滑架16绕着支杆15旋转，使得读写头23在盘13上寻找记录道。本实施例如此使用一个摆臂类型，其中滑块19绕着支杆15划圆弧轨迹，但是本发明可应用于一种直线类型，其中滑块19划直线轨迹。如上文所述，滑块19具有固定的悬浮量因此实现稳定而快速地寻道。
在写入时，控制部分通过接口接收来自例如PC这样的主机的数据，选择感应头器件，以及把数据通过HDC发送到写入调制部分。相应地，该写入调制部分调制数据，并且把所调制的数据发送到读写头IC。读写头IC放大该调制的数据，然后把该数据作为写入电流提供到感应头器件。从而，该感应头器件把数据写入到目标磁道。
在读取时，控制部分选择MR头器件，并且把预定的读出电流通过HDC提供到MR头器件。根据随着信号磁场变化的MR头器件的电阻，该数据被该读写头IC所放大，然后提供到读取解调部分，以解调原始信号。该解调信号被通过HDC、控制器和接口发送到主机(未示出)。
本实施例稳定滑块19的悬浮量，以及随后的记录和再现操作，避免错误的读取和写入。
如上文所述，本实施例的处理方法可以对滑块提供小的形变，以获得适应的形状，并且可以提供具有稳定悬浮量的滑块。
另外，本发明不限于这些优选实施例，可以在本发明中作出各种改变和变化而不脱离其精神和范围。例如，照射条件的组合不限于上述实施例。另外，尽管本实施例是针对HDD描述的，但是本发明可以应用于其它类型的盘驱动器(例如光盘驱动器)。
根据本发明的一种用于制造滑块的方法可以提供具有相距记录载体的所需悬浮量的滑块。本发明使用直角坐标器或隆起、翘曲和扭曲的测量结果来通过统一的处理在相对短的时间内调节滑块的形状。
权利要求
1.一种用于制造滑块的方法，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在该记录载体上方的一个悬浮表面，所述方法包括如下步骤设置一个直角坐标系，其具有作为该悬浮表面的中心的原点；以及通过使用激光扫描悬浮表面的后表面来调节该悬浮表面的形状，从而由直角坐标系所设置的多个位置中的每一个位置可以具有在许可范围内的平直度。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述调节步骤避免把激光照射在以原点为中心具有预定半径的圆形内。
3.一种用于制造滑块的方法，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在该记录载体上方的一个悬浮表面，所述方法包括如下步骤当检测结果表明至少一个参数偏离许可范围，则根据上述参数的检量结果从参数中确定一个纠正目标，该参数包括表示悬浮表面在纵向方向上的形变的隆起、表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变的翘曲、以及表示该悬浮表面在对角方向上的形变的扭曲；设置激光照射条件，以纠正至少一个参数；以及根据由所述设置步骤所设置的激光照射条件，通过把激光照射到悬浮表面的后表面而调节该悬浮表面的形状。
4.根据权利要求3所述的方法，其中进一步包括如下步骤判断除了该纠正目标之外的其它参数是否受到激光照射的影响；以及当所述判断步骤表明除了纠正目标之外的其它参数受到激光照射的影响时，把当前照射条件改变为具有类似效果的另一个照射条件。
5.根据权利要求3所述的方法，其中进一步包括判断除了纠正目标之外的其它参数是否受到激光照射的影响的步骤；当判断步骤表明除了纠正目标之外的其它参数受到激光照射的影响，则确定是否有其它照射条件具有类似于该激光照射的效果；以及当确定步骤表明没有其它照射条件具有类似的效果，则通过对该激光照射条件增加预定偏移量和从该激光照射条件减去预定偏移量，而选择对除了纠正目标之外的其它参数具有最小影响的一个照射条件。
6.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是用于扫描激光的角度。
7.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是用于扫描激光的长度。
8.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是激光的激光点之间的间隔。
9.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是激光的脉冲数目。
10.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是激光的脉冲能量。
11.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是激光的聚焦。
12.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是位置以及激光多次照射的该位置的照射次数。
13.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是角度、移动量以及次数，其中激光以该角度并保持该角度恒定进行扫描，然后把激光在与激光扫描方向相垂直的方向上移动该移动量的距离，并且该激光扫描重复多次。
14.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是角度和移动量，其中激光以该角度并保持该角度恒定进行扫描，然后把激光在与激光扫描方向相垂直的方向上移动该移动量的距离，并且该移动量是可变的。
15.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是用于扫描激光的一个角度，其中该多个角度被设置。
16.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是一个角度和一个扫描长度，其中多个扫描长度对每个角度设置用于扫描激光。
17.根据权利要求3所述的方法，其中该激光照射条件是激光的激光点之间的间隔和次数，其中多个间隔被设置并且该激光以不同的间隔多次扫描。
18.一种用于制造滑块的方法，其中该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在该记录载体上方的一个悬浮表面，所述方法包括如下步骤当激光以预定的照射条件照射到该悬浮表面的后表面上时，获得隆起、翘曲和扭曲之间的关系，该隆起表示悬浮表面在纵向方向上的形变、该翘曲表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变、以及该扭曲表示该悬浮表面在对角方向上的形变；以及当隆起、翘曲和扭曲中的至少一个参数偏离许可范围时，则使用该关系调节悬浮表面的形状。
19.一种用于实现制造滑块的方法的计算机执行程序，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在记录载体上方的悬浮表面，所述方法包括如下步骤设置一个直角坐标系，其具有作为该悬浮表面的中心的原点；以及通过使用激光扫描悬浮表面的后表面来调节该悬浮表面的形状，从而由直角坐标系所设置的多个位置中的每一个位置可以具有在许可范围内的平直度。
20..一种用于实现制造滑块的方法的计算机执行程序，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在记录载体上方的悬浮表面，所述方法包括如下步骤当检测结果表明至少一个参数偏离许可范围，则根据上述参数的检量结果从参数中确定一个纠正目标，该参数包括表示悬浮表面在纵向方向上的形变的隆起、表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变的翘曲、以及表示该悬浮表面在对角方向上的形变的扭曲；设置激光照射条件，以纠正至少一个参数；以及根据由设置步骤所设置的激光照射条件，通过把激光照射到悬浮表面的后表面而调节该悬浮表面的形状。
21.一种用于实现制造滑块的方法的计算机执行程序，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在记录载体上方的悬浮表面，所述方法包括如下步骤当激光以预定的照射条件照射到该悬浮表面的后表面上时，获得隆起、翘曲和扭曲之间的关系，该隆起表示悬浮表面在纵向方向上的形变、该翘曲表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变、以及该扭曲表示该悬浮表面在对角方向上的形变；以及当隆起、翘曲和扭曲中的至少一个参数偏离许可范围时，则使用该关系调节悬浮表面的形状。
22.一种驱动记录载体的驱动器，所述驱动器包括读写头，用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据；以及安装有所述读写头的滑块，其包括悬浮在记录载体上方的悬浮表面，所述滑块通过一种方法来制造，该方法包括如下步骤设置一个直角坐标系，其具有作为该悬浮表面的中心的原点；以及通过使用激光扫描悬浮表面的后表面来调节该悬浮表面的形状，从而由直角坐标系所设置的多个位置中的每一个位置可以具有在许可范围内的平直度。
23.一种驱动记录载体的驱动器，所述驱动器包括读写头，用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据；以及安装有所述读写头的滑块，其包括悬浮在记录载体上方的悬浮表面，所述滑块通过一种方法来制造，该方法包括如下步骤当检测结果表明至少一个参数偏离许可范围，则根据上述参数的检量结果从参数中确定一个纠正目标，该参数包括表示悬浮表面在纵向方向上的形变的隆起、表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变的翘曲、以及表示该悬浮表面在对角方向上的形变的扭曲；设置激光照射条件，以纠正至少一个参数；以及根据由设置步骤所设置的激光照射条件，通过把激光照射到悬浮表面的后表面而调节该悬浮表面的形状。
24.一种驱动记录载体的驱动器，所述驱动器包括读写头，用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据；以及安装有所述读写头的滑块，其包括悬浮在记录载体上方的悬浮表面，所述滑块通过一种方法来制造，该方法包括如下步骤当激光以预定的照射条件照射到该悬浮表面的后表面上时，获得隆起、翘曲和扭曲之间的关系，该隆起表示悬浮表面在纵向方向上的形变、该翘曲表示该悬浮表面在与纵向方向相正交的横向方向上的形变、以及该扭曲表示该悬浮表面在对角方向上的形变；以及当隆起、翘曲和扭曲中的至少一个参数偏离许可范围时，则使用该关系调节悬浮表面的形状。
全文摘要
一种用于制造滑块的方法，该滑块包括用于把数据记录到记录载体以及从记录载体再现数据的读写头，以及悬浮在该记录载体上方的一个悬浮表面，所述方法包括如下步骤设置一个直角坐标系，其具有作为该悬浮表面的中心的原点；以及通过使用激光扫描悬浮表面的后表面来调节该悬浮表面的形状，从而由直角坐标系所设置的多个位置中的每一个位置可以具有在许可范围内的平直度。
文档编号G11B21/21GK1435818SQ0212977
公开日2003年8月13日 申请日期2002年8月13日 优先权日2002年1月31日
发明者十仓史彦 申请人:富士通株式会社