磁盘装置及头滑动器的制作方法

专利名称：磁盘装置及头滑动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于通过在旋转磁盘上悬浮的磁头来对磁盘轨道上的数据 进行读取/写入操作的磁盘装置及头滑动器，具体涉及用于使由非连续介质 形成的磁盘的悬浮量稳定的磁盘装置及头滑动器。
背景技术：
近些年来，为了提高磁盘的记录密度，发展出了形成在磁盘表面上的 用于分隔轨道的物理不平坦部分的非连续介质。图11示出了非连续介质的平面图。图12示出了常规头滑动器的说明 视图。此外，图13示出了常规头滑动器的空气承载表面的说明视图。如图1〗所示，具有非连续轨道的介质IO混同地包括用于记录并复制 普通信息的数据区12以及具有预记先录的头定位用伺服信息的伺服区11寺。因为功能上的差异，区别性地在介质10的表面上形成两个区的表面 形状(诸如槽状)。数据区12具有沿周向方向加工的各个槽12a，以用于 分隔各个轨道12b。伺服区11具有宽度B，并包括伺服信息记录区域 llb，每个伺服信息记录区域lib均被沿介质的径向形成的各个槽lla分 隔。伺服信息包含记录在由槽lla分隔的各个伺服信息记录区域ilb中的 格雷(Gray)码(表示轨道号)、时机控制用前同步码(preamble)等、 以及位置信息。对于沿介质10的周向形成的每个轨道，当在介质的径向 方向上观察时，伺服信息均形成在相同位置。因此，在伺服区11中，槽 lla形成在径向方向上，以防止干扰伺服信息。由此，因为对于两个区域ll与12，介质10的表面结构不同，故各个 区域11与12的介质10的表面上的流体阻力也不同。因此，当头滑动器在伺服区11上悬浮时与当头滑动器在数据区12上悬浮吋，悬浮的头滑动器 (其安装有用于信息记录/复制的头)的悬浮量会产生变化。如图12所示，头滑动器20面对介质IO的表面，并利用介质10运动 产生的流体空气压力而悬浮。随着近些年来对记录密度的提高，悬浮量为 10纳米量级。在头滑动器20的侧面上，设置电磁转换器件(读取/写入器 件)24。在图12中，头滑动器20的左端是流体空气流入端，而其右端是 流出端。头滑动器20不仅使电磁转换器件24在介质10上悬浮，还对其悬浮姿 态进行控制。为此，如图13所示，在流入端一侧设置具有相对较大面积 的前垫21，并在流出端一侧设置具有与电磁转换器件24的宽度W相同尺 寸的后垫23。因为前垫21与后垫23的面积差异，使得头滑动器20以流出端一侧 (电磁转换器件24—侧)比流入端一侧更加接近介质IO的方式悬浮。换 言之，在较远的流出端边缘E处悬浮间隙变为最小。在前垫21与后垫23 之间，在承载表面的上端及下端两者附近设置一对中部垫22，以对头滑动 器20在轨道横向方向上的姿态进行控制。图12示出了图13所示后垫23的剖视图。在滑动器基体20上设置由 双层膜形成的后垫23。在图12中，所示出的其层结构是台阶式的。图14示出了当头滑动器20在具有图11及12所示的非平坦表面槽结 构的介质10上悬浮时对悬浮量的示意性测量结果。在此，形成在介质10 的表面上的槽的深度统一为15nm (纳米)。在图14中，横轴表示时间 (运动位置)，而纵轴表示浮动量。如图14所示，头滑动器20初始约 10nm的悬浮量突然改变了约5nm。当头滑动器20的较远流出端部上的垫23经过伺服区11时，因为在伺 服区11的表面上产生的流体阻力的变化造成压力的变化而导致了上述现 象。当悬浮量产生上述较大的变化时，电磁转换器件24的复制信号的信 号电平就会发生改变，由此导致诸如不能复制信息或不能精确记录信息的 不便。为了防止上述现象，在现有技术中，提出通过使头滑动器20的长度L比伺服区11的宽度B更长来防止在伺服区11中悬浮量的改变(例如，参 见专利文献l)。此外，在其他现有技术中，已经提出通过对头滑动器20的总垫面积 与介质10位于垫正下方的凸出部分的总面积的比率进行优化来防止悬浮 量的改变(例如，参见专利文献2)。[专利文献1]日本未审查专利公开号Hei-5-81808[专利文献2]日本未审查专利公开号2005-50482但是，根据第一种现有技术，当允许较大的悬浮量时，该方法可有效 地减小相对于较大悬浮量的变化宽度，然而，当悬浮量较小时，相对变化 宽度变大，由此难以抑制悬浮量的改变。此外，根据第二种现有技术，如专利文献1的图5所示，当悬浮量相 对较大时(例如，20nm)，该方法可有效地相对减小变化宽度，然而，当 悬浮量较小时(例如，10nm)，相对变化宽度变大，由此难以抑制悬浮量 的改变。发明内容因此，本发明的目的在于提供一种用于抑制在经过非连续介质的伺服 区时悬浮量改变的磁盘装置及头滑动器。本发明的另一目的在于提供一种通过抑制在经过非连续介质的伺服区 时悬浮量改变来实现精确的记录/复制的磁盘装置及头滑动器。本发明的另一目的在于提供一种通过即使在悬浮量较小时也对非连续 介质的悬浮量的改变进行抑制以实现高密度记录/复制的磁盘装置及头滑动 器。本发明的另一目的在于提供一种通过抑制悬浮量的改变以实现用于高 密度垂直磁性记录的最佳悬浮量的磁盘装置及头滑动器。为了实现上述目的，根据本发明的磁盘装置包括磁盘，其包括数据 区及伺服区，并在表面上具有槽；主轴电动机，其用于使所述磁盘旋转； 致动器，其用于在所述磁盘的径向方向上对臂进行驱动；以及头滑动器， 其具有磁头，设置在所述臂的末端。所述头滑动器包括磁头，其设置在流出端一侧；以及承载表面，其具有多个垫。此外，在所述多个垫屮，设 置在所述流出端部上的垫的形状形成为具有朝向流出端縮窄的宽度的楔 形。此外，根据本发明的一种头滑动器(其在具有数据区和伺服区并在表 面上具有槽的磁盘上悬浮)包括磁头，其设置在流出端一侧；以及承载 表面，其具有多个垫。此外，在所述多个垫中，设置在所述流出端部分上 的垫形状被形成为具有朝向所述流出端縮窄的宽度的楔形。此外，根据本发明，优选地，设置在所述流出端部上的所述垫楔形的 长度比所述磁盘的所述伺服区的最大宽度更长。此外，根据本发明，优选地，设置在所述流出端部上的所述垫楔形的 顶角不大于90度。此外，根据本发明，优选地，设置在所述流出端部上的所述垫至少由 两层形成，并且所述两层中的表面层形成为楔形。此外，根据本发明，优选地，设置在所述流出端部上的所述垫包括 形成为楔形的表面层；以及设置在所述表面层下方以形成所述磁头的头形 成层。此外，根据本发明，优选地，所述头形成层具有用于在所述流出端上 形成所述磁头的宽度，并且所述流出端之外的其他部分形成为所述表面层 的形状。此外，根据本发明，优选地，设置在所述流出端部上的所述垫楔形具 有顶点。此外，根据本发明，优选地，设置在所述流出端部上的所述垫楔形在 所述流出端处具有笔直部分。此外，根据本发明，优选地，所述磁盘包括所述数据区，其具有沿 所述磁盘的周向方向的被槽分隔的多个轨道；以及所述伺服区，其被其他 槽分隔，并设置在所述磁盘的径向方向上。此外，根据本发明，优选地，所述头滑动器包括前垫，其设置在所 述流入端上；以及后垫，其设置在所述流出端上。通过参考附图以及以下对实施例的描述，将更清楚地理解本发明的其他范围及特征。


图1示出了根据本发明的磁盘装置的一个实施例的结构视图。 图2示出了图1所示头滑动器的承载表面的说明性视图。图3示出了图2所示后垫的剖视图。图4示出了常规头滑动器的压力分布视图。图5示出了图2所示后垫的放大视图。图6示出了图2所示头滑动器的悬浮量的变化的特性图。图7示出了图2所示头滑动器的压力分布视图。图8示出了图2所示后垫的顶角与悬浮量的变化之间的关系图。图9示出了根据本发明的第二实施例的头滑动器的结构视图。图10示出了在本发明的第二实施例中头滑动器的改变示例的结构视图。图ll示出了非连续介质的结构视图。图]2示出了常规头滑动器的说明性视图。图13示出了常规头滑动器的承载表面的说明性视图。图14示出了常规头滑动器的悬浮量的特性图。
具体实施方式
以下以磁盘装置、磁头滑动器的第一实施例、磁头滑动器的第二实施 例、以及其他实施例的顺序来描述本发明的优选实施例。但是，应当注 意，本发明的范围并不限于下述实施例。磁盘装置图1示出了根据本发明的磁盘装置的一个实施例的结构视图，说明了 垂直记录型磁盘装置。如图l所示，作为垂直磁记录介质的磁盘102设置 在主轴电动机的转轴104上。主轴电动机使转轴104旋转，由此使磁盘 102旋转。臂108通过VCM (音圈电动机)106绕转轴110旋转。悬架 116安装在臂108的末端。在悬架116的末端，设置有其上安装有磁头(读取器件及写入器件)的头滑动器112。此外，还设置有用于使磁头从磁盘102收回以进行收纳 的斜坡加载机构114。上述机构容纳在装置壳体100中。在图11及12中已说明，上述磁盘102由不连续介质形成。此外，在 磁盘装置中，由VCM 106使臂108沿磁盘102的径向转动，由此将包括磁 头的头滑动器112定位在磁盘102的期望轨道处。如图11及12所示，被槽分隔的多个轨道形成在同心环上。当磁盘 102旋转时，磁头在轨道环的任意区域中执行数据读取及写入。磁头包括读取器件及写入(垂直记录)器件。具体而言，磁头由叠置 在头滑动器上的包括磁阻(MR)器件的读取器件以及叠置在读取器件上 的包括写线圈的写入器件形成。头滑动器的第一实施例图2示出了说明根据本发明的第一实施例的头滑动器的承载表面的形 状的视图；图3示出了其剖视图；而图4示出了常规头滑动器的压力分布 图。如图2所示，头滑动器112在流入端一侧设置有具有相对较大面积的 前垫30，并在流出端一侧设置有具有与电磁转换器件(磁头)40的宽度 Wh相同尺寸的后垫34。如图3所示，因为前垫30与后垫34在面积上的 差异，头滑动器112悬浮，使得流出端一侧(电磁转换器件40—侧)比 流入端一侧更接近介质102。换言之，悬浮间隙在较远的流出端边缘P处 变为最小。在本示例中，在前垫30与后垫34之间，在承载表面的上端及两端两 者附近设置成对中部垫32，由此以对头滑动器112在轨道横向方向上的姿 态进行控制。如图2及图3所示，作为较远流出端垫的后垫34包括头形成层37以 及设置在头形成层37上的表面层36。表面层36呈朝向流出端宽度逐渐縮 窄的楔形。由0来表示楔形的顶角。如图3所示的较远流出端垫34的沿着滑动器中心线CC'所取的剖面形 状所示，用于形成头的层37设置有距离较远流出端垫的阶梯差ds=2nm。该层37还具有朝向流出端縮窄的结构。但是，在头形成层37的较远流出端部上，确保用于形成头的宽度 Wh。因此，通过将较远流出端垫34的表面层36形成为楔形，在本实施例 中，悬浮间隙在楔形部分的顶角P处变为最小。与图13所示的常规示例 相比而言，悬浮间隙在具有线性形状的较远流出端边缘E处变为最小。此外，将部分38 (其形成表面层36的楔形)的长度Lw设定为大于 在介质102上的伺服区11的宽度B的最大值。以下描述在后垫34上形成楔形部分的原因。图4示出了对沿图13所 示的常规头滑动器的中心线CC，的压力分布的计算结果。横轴表示距离作 为标准的滑动器流入端的位置(距离)y，而纵轴表示压力。在图4中，细线表示当图13所示的头滑动器20在数据区上悬浮时的 压力分布，而粗线表示当较远流出端边缘E位于伺服区上方的位置时的压 力分布。此外，在图中，所示作为伺服区范围的部分对应于伺服区。在两种情况下，通常，在头滑动器20的较远流出端垫部23上产生较 大的压力。此外，在相比较远流出端边缘E更上游一侧(流入端一侧)， 空气被压縮，由此压力上升。然而，在下游(流出端) 一侧，间隙变大， 且空气急剧膨胀，由此压力下降。因此，压力在较远流出端边缘E上达到 峰值。此外，当较远流出端边缘E位于伺服区11上方的位置时，相较于当 较远流出端边缘E位于数据区12上方时的情况，会产生更大的压力。因 此，当较远流出端边缘E从数据区移动至伺服区时，悬浮量增大。在图14 中，悬浮量开始急剧改变的时间点tl是头滑动器20的较远流出端边缘E 与数据区12及伺服区11之间的边界(如图3中向下箭头所示)重合的时 间点。此外，较远流出端边缘E需要用于形成头24的一定量的宽度Wh， 如果上述宽度较大，则悬浮量的变化也将变大。艮P，在较远流出端部中的垫对较远流出端边缘E处的压力产生影响。 因此，意在通过在较远流出端部中适当地形成垫34的形状来抑制悬浮量 的改变。图5示出了伺服区11在头滑动器112的较远流出端垫34的表面层36上的楔形部分38下方移动的情况。如图所示，楔形部分38与伺服区11重 叠的区域(图中斜线部分)39为梯形。当较远流出端垫34经过伺服区11时，该部分中的压力上升。当由楔 形部分38形成垫表面层36时，高压空气向楔形部分38的侧面一侧流出的 效果变大。具体而言，随着梯形部分接近楔形部分38的顶角P，上述效果 变大。因此，相较于经过伺服区的影响对较远流出端边缘E产生集中压力 的常规情况，根据本实施例的压力分布得到改进，并被缓解。图7示出了根据本实施例对沿滑动器中心线CC'的压力分布的计算结 果，通过扩大较远流出端垫34的附近区域来进行说明。示出了三种压力 分布类型。在图7中，横轴表示滑动器上的位置(距离)，而纵轴表示压 力。图7示出了与伺服区和滑动器之间的相对位置关系对应的压力分布。 虚线示出了当头滑动器112未经过伺服区时的压力分布。此外，粗实线 ((1)表示)与当伺服区11位于较远流出端垫34的楔形部分38的流入 端一侧时(即，楔形部分38的顶角P位于伺服区11外部)的情况对应， 而细线((2)表示)与当滑动器的楔形部分38的顶角P与伺服区11的 中心重合时的情况对应。当将上述图7与现有先前图4 (常规情况)进行比较时，在图4的情 况下，取决于较远流出端边缘E与伺服区11之间的位置关系，压力值特 别在流出端部处存在较大差异。另一方面，在图7的情况下，没有发现压 力值取决于伺服区11与头滑动器112之间的位置关系存在很大差异。因此，通过将较远流出端垫表面36形成为楔形部分38，可以减小较 远流出端垫34经过伺服区11时的影响。其次，在本实施例中，对在较远流出端垫部分处产生的力进行调节。 如图5所示，当重叠区域39位于距离垫38的流出端更近的部分中时，平 均而言悬浮间隙较小。因此，尽管产生的压力变大，但重叠区域39的宽 度Wr的平均值较小。相反，当重叠区域39位于流入端一侧时，间隙较大，而产生的压力 较小。但是，重叠区域的宽度Wr较大。因此，在重叠区域39位于流入端 一侧时与在重叠区域39位于流出端一侧时在重叠区域39中产生的力[=面积(WrxB (伺服图案宽度)} x压力]并不存在很大的差异。B卩，无论相对位 置关系如何，产生的力之间的相对差异较小。在图13所示的常规头滑动器中，在伺服区ll与较远流出端边缘E重 合的位置之前及之后，产生的力突然发生极大地改变，由此导致悬浮量产 生突然的改变。但是，在根据图2所示本实施例的头滑动器中，即使当伺 服区11在楔形部分38下方经过并接近流出端点P下方时，因为楔形产生 的效果，产生的力也不会极大地改变。因此，不会发生突然的悬浮变化。图6示出了通过计算获得的根据本实施例(图2)以及现有技术(图 13)的头滑动器悬浮量的特性图。粗线表示当本实施例的头滑动器经过介 质102的伺服区11时悬浮量的变化。此外，细线表示当常规头滑动器 (图13)经过伺服图案时悬浮量的变化。如图6所示，在根据本实施例的头滑动器112中，悬浮量(Hs)的正 常值变为约9.2nm，其与图13所示的常规头滑动器情况下的9.4nm略有不 同，部分归因于不同的承载表面形状。但是，应当理解，相较于常规头滑 动器的情况，悬浮量的变化显然变小。根据本实施例，类似于常规情况，从当伺服区ll与数据区12之间的 边界到达较远流出端垫34的表面层36上的楔形部分38的较远流出端点P 的时间点tl开始，悬浮量趋于增大。相较于常规AH，其变化宽度显著变小。因此，在本实施例中，如上所述，能够在经过伺服区时抑制悬浮量改 变的主要因素是通过侧面改善的压力分布以及在较远流出端垫部处产生的 调节后压力两者的效果。如图6所示，从比当较远流出端点P与数据区12及伺服区11之间的 边界重合时的时间点tl更早的时间点t2开始，悬浮量逐渐增大。因为楔 形的效果而产生上述现象，即，当伺服区11位于更靠近楔形部分38的流 入端一侧时，在楔形部分38与伺服区11之间的重叠区域39中产生相对较 大的力。因此，悬浮量发生变化。因此，根据本实施例所示的头滑动器，当伺服区11经过较远流出端 垫部36下方时产生的悬浮量的改变被均分，由此能够抑制悬浮变化的峰值。通过以上描述，很明显通过使楔形部分38的长度Lw比最大伺服区宽 度B更长，提高了由较远流出端垫34的表面层36的形状所获得的上述效 果。此外，为了充分展现上述效果，优选地使楔形部分38的顶角0 (参见 图2)为锐角。图8是相对于楔形部分的顶角0，对经过伺服区时悬浮量 变化峰值AH (最大悬浮量与图6所示普通悬浮量之间的差异)的计算结 果。参见图8，在根据本实施例的头滑动器中，当将顶角0设定为78度 时，可以理解悬浮量变化峰值AH被抑制为充分小的值，变为lnm。此 外，当顶角0超过9O度时，可以理解悬浮量变化峰值AH会急剧增大。因 此，优选地，楔形部分38的顶角为90度或更小。此外，在本实施例中，对于层37 (其用于形成头)而言，如图2所 示，在尽可能的程度上连续应用相同楔形作为垫表面层36是有效的。事 实上，形成头的层37与垫表面层36之间的台阶差为2nm级，并且如果层 37也由类似楔形的形状来形成，则可以展现更大的效果。磁头滑动器的第二实施例图9及图10示出了根据本发明的第二实施例的磁头滑动器的说明 图。在这些视图中，仅示出了较远流出端部的垫表面层36的各个形状。 在图2所示的第一实施例中，已经示出了相对于头滑动器112的中心线对 称的楔形部分38。但是，如图9所示，取决于设计条件，即使由非对称楔形部分38A来 形成部分38，也不会丧失上述效果。此外，类似的，可以如图10所示形 成在流出端一侧具有短边的梯形楔形38B。在这里，尽管不可否认相较于 楔形的情况图10所示的情况中效果降低，但相较于现有技术，还是可以 极大地抑制悬浮量的改变。其他实施例根据上述实施例，已经通过说明垂直型磁盘装置来描述磁盘装置。但 是，还可将本发明应用于其他类型盘装置，例如水平磁记录装置以及光学辅助垂直磁盘装置。此外，如上所述，当后垫由梯形形成时，可以由单一 层来形成后垫。此外，非连续介质并不限于图11所示的结构，本发明可 应用于具有其他结构的非连续介质。此外，本发明可应用于没有任何中部 垫的结构。总而言之，根据本发明，因为由具有朝向流出端縮窄的宽度的楔形来 形成多个头滑动器垫中流出端部上的垫形状，故可以改善压力分布，并可 以均分流体空气造成的压力。因此，可以抑制因非连续介质槽而引起的悬 浮量改变，由此实现稳定悬浮。此外，因为可以实现具有较小悬浮量的稳 定悬浮，故可以准确实现高密度记录/复制。在以上描述中，通过本发明的实施例描述了本发明。但是，在本发明 的效果内，可以进行各种不同改变，并且以上描述并不意在从本发明的范 围排除上述改变。本申请基于并主张2007年3月15日递交的在先日本专利申请第 2007-066252号的优先权，通过引用将其全部内容包含于本说明书中。
权利要求
1.一种磁盘装置，包括磁盘，其包括数据区及伺服区，并在表面上具有槽；主轴电动机，其用于使所述磁盘旋转；致动器，其用于在所述磁盘的径向方向上对臂进行驱动；以及头滑动器，其包括磁头，设置在所述臂的末端，其中，所述头滑动器包括磁头，其设置在流出端一侧；以及承载表面，其具有多个垫，所述多个垫包括设置在所述流出端部上的垫，其中所述垫的形状形成为具有朝向流出端缩窄的宽度的楔形。
2. 根据权利要求1所述的磁盘装置，其中，设置在所述流出端部上的所述垫的所述楔形的长度比所述磁盘 的所述伺服区的最大宽度更长。
3. 根据权利要求1所述的磁盘装置，其中，设置在所述流出端部上的所述垫的所述楔形的顶角不大于90度。
4. 根据权利要求1所述的磁盘装置，其中，设置在所述流出端部上的所述垫至少由两层形成，并且所述两 层中的表面层形成为楔形。
5. 根据权利要求1所述的磁盘装置，其中，设置在所述流出端部上的所述垫包括 形成为楔形的表面层；以及设置在所述表面层下方以形成所述磁头的头形成层。
6. 根据权利要求5所述的磁盘装置，其中，所述头形成层具有用于在所述流出端上形成所述磁头的宽度， 并且所述流出端之外的其他部分形成为所述表面层的形状。
7. 根据权利要求1所述的磁盘装置，其中，设置在所述流出端部上的所述垫的所述楔形具有顶点。
8. 根据权利要求1所述的磁盘装置，其中，设置在所述流出端部上的所述垫的所述楔形在所述流出端处具 有笔直部分。
9. 根据权利要求1所述的磁盘装置， 其中，所述磁盘包括所述数据区，其具有沿所述磁盘的周向方向的被槽分隔的多个轨道；以及所述伺服区，其被其他槽分隔，并设置在所述磁盘的径向方向上。
10. 根据权利要求1所述的磁盘装置， 其中，所述头滑动器包括前垫，其设置在所述流入端上；以及 后垫，其设置在所述流出端上。
11. 一种头滑动器，其在具有数据区和伺服区并在表面上具有槽的磁 盘上悬浮，所述头滑动器包括磁头，其设置在流出端一侧；以及 承载表面，其具有多个垫，其中，在所述多个垫中，设置在所述流出端部分上的垫的形状被形成 为具有朝向所述流出端縮窄的宽度的楔形。
12. 根据权利要求11所述的头滑动器，其中，设置在所述流出端部上的所述垫的所述楔形的长度比所述磁盘 的所述伺服区的最大宽度更长。
13. 根据权利要求11所述的头滑动器，其中，设置在所述流出端部上的所述垫的所述楔形的顶角不大于90度。
14. 根据权利要求11所述的头滑动器，其中，设置在所述流出端部上的所述垫至少由两层形成，并且所述两 层中的表面层形成为楔形。
15. 根据权利要求11所述的头滑动器，其中，设置在所述流出端部上的所述垫包括设置在所述表面层下方以形成所述磁头的头形成层。
16. 根据权利要求15所述的头滑动器，其中，所述头形成层具有用于在所述流出端上形成所述磁头的宽度， 并且所述流出端之外的其他部分形成为所述表面层的形状。
17. 根据权利要求11所述的头滑动器，其中，设置在所述流出端部上的所述垫楔形具有顶点。
18. 根据权利要求11所述的头滑动器，其中，设置在所述流出端部上的所述垫楔形在所述流出端处具有笔直 部分。
19.根据权利要求11所述的头滑动器，其中，所述磁盘包括所述数据区，其具有沿所述磁盘的周向方向的被槽分隔的多个轨道；以及所述伺服区，其被其他槽分隔，并设置在所述磁盘的径向方向上。
20.根据权利要求11所述的头滑动器，其中，所述头滑动器包括前垫，其设置在所述流入端上；以及 后垫，其设置在所述流出端上。
全文摘要
本发明公开了磁盘装置和头滑动器，其即使在悬浮于不连续介质上的头滑动器的悬浮量较小时也可抑制悬浮量的改变。在头滑动器的多个垫中，设置在流出端部上的垫的形状形成为具有朝向空气流出端缩窄的宽度的楔形。因此，可以改善压力分布，并可以均分空气压力。因此，能够抑制因不连续介质槽导致的悬浮量的改变，并能够实现稳定悬浮。此外，因为可以实现具有较小悬浮量的稳定悬浮，所以能以高精度实现高密度记录/复制。
文档编号G11B21/21GK101266801SQ20081008509
公开日2008年9月17日 申请日期2008年3月17日 优先权日2007年3月15日
发明者市原顺一 申请人:富士通株式会社