技术总结
本发明一种DRAM晶圆测试中精确捕获失效地址的方法，包括如下步骤，步骤1，针对DRAM晶圆测试流程中的任意功能测试项，给每个功能测试项分配一个变量，变量与功能测试项一一对应；步骤2，根据测试需求，对变量在晶圆测试开始后一次性赋值，控制是否捕获对应测试项的失效地址；步骤3，在执行功能测试项并通过地址失效寄存器AFM记录对应的失效地址后，根据当前测试项以及当前测试项的前一个测试项的变量赋值状况，控制是否读取地址失效寄存器AFM中的累积失效信息，并生成临时文件；步骤4，通过对生成的临时文件之间失效地址信息的比对，剔除掉重复的信息，最终生成当前测试项的失效地址文件。
技术研发人员：王帆;黄华
受保护的技术使用者：西安紫光国芯半导体有限公司
文档号码：201610532504
技术研发日：2016.07.06
技术公布日：2016.11.30