半导体存储装置的制作方法

文档序号:22681791发布日期:2020-10-28 12:43阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体存储装置,具备:

存储器芯片,包含第1及第2存储单元、与所述第1及第2存储单元分别电连接的第1及第2位线、以及与所述第1及第2位线分别电连接的第1及第2接合金属;以及

电路芯片,与所述存储器芯片接合,且包含衬底、设置在所述衬底的第1及第2感测放大器、以及与所述第1及第2感测放大器分别电连接且与所述第1及第2接合金属分别对向的第3及第4接合金属;

所述第1及第2接合金属分别与所述第3及第4接合金属电连接,

所述第1感测放大器包含第1工作区域、及与所述第1工作区域不同的第2工作区域,在所述第1工作区域,设置电连接于所述第3接合金属与所述第2工作区域之间的第1晶体管,

所述第2感测放大器包含在第1方向上与所述第1工作区域相邻的第3工作区域、及在与所述第1方向交叉的第2方向上与所述第2工作区域相邻且与所述第3工作区域不同的第4工作区域,在所述第3工作区域,设置电连接于所述第4接合金属与所述第4工作区域之间的第2晶体管,

在俯视时,所述第3及第4接合金属分别与所述第1及第3工作区域重叠。

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

在俯视时,所述第3接合金属与所述第4接合金属分别与所述第2工作区域及所述第4工作区域的两者不重叠。

3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

所述第1工作区域与所述第3工作区域连续地设置,

在所述第1工作区域及所述第3工作区域,还设置串联连接于所述第1晶体管与所述第2晶体管之间的第3晶体管及第4晶体管,所述第1晶体管与所述第3晶体管之间的节点与所述第3接合金属电连接,所述第2晶体管与所述第4晶体管之间的节点与所述第4接合金属电连接。

4.根据权利要求3所述的半导体存储装置,还具备:

字线,所连接于述第1及第2存储单元的各栅极;以及

控制器,执行删除动作;

在所述删除动作中,所述控制器对所述字线施加第1电压,对所述第3晶体管与所述第4晶体管之间的节点施加高于所述第1电压的删除电压,对所述第3晶体管与所述第4晶体管的各栅极施加高于所述删除电压的第2电压。

5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

所述第1工作区域与所述第3工作区域之间绝缘。

6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

所述存储器芯片包含相互分离地积层的多个第1导电体层、分别贯通所述多个导电体层的第1及第2柱、以及与所述第1及第2柱分别连接的第2及第3导电体层,

所述第1柱与所述第1导电体层的交叉部分作为存储单元发挥功能,所述第2及第3导电体层分别用作所述第1及第2位线。

7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中

所述第1接合金属、所述第2接合金属、所述第3接合金属、以及所述第4接合金属分别包含铜。


技术总结
实施方式提供一种能够缩小芯片面积的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置包含存储器芯片及电路芯片。存储器芯片包含与第1及第2位线分别电连接的第1及第2接合金属。电路芯片与存储器芯片接合,且包含与第1及第2感测放大器分别电连接且与第1及第2接合金属分别对向的第3及第4接合金属BP。第1感测放大器包含第1工作区域AA(HV)与第2工作区域AA(LV)。在第1工作区域设置第1晶体管30。第2感测放大器包含第3工作区域AA(HV)与第4工作区域AA(LV)。在第3工作区域设置第2晶体管30。在俯视时,第3及第4接合金属分别与第1及第3工作区域重叠。

技术研发人员:両角直人;前嶋洋
受保护的技术使用者:铠侠股份有限公司
技术研发日:2020.01.09
技术公布日:2020.10.27
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