专利名称：纵向记录用集成传感器-悬浮装置的制作方法
转让给本发明的受让人的，并于1986年11月25日颁布的Hinkel等人的美国专利4624048公开了本发明使用的磁头基片的制造方法。
转让给本发明的受让人的并于1974年11月19日颂布的Cuzner等人的美国专利3849800公开了本发明中使用的驱动装置中的旋转执行机构。
转让给本发明的受让人的，并于1981年2月17日颂布的Jacobs的美国专利4251841公开了本发明使用的圆片形基片材料。
本发明涉及可移动磁存储器及其记录元件，特别涉及适于批量生产的传感器-悬浮装置及其制造方法，可移动磁存储器特别是磁盘驱动器很快成为所选择的存储器。因为，它具有可扩充的永久存储器存贮能力和相当低的成本。从这些存储器中精确地检索出所存贮的信息是关键，要求传感器的位置尽可能靠近介质，最好是转换器与介质接触。
磁盘文件是信息存贮装置，它至少使用一个包含数据信息的具有同心数据磁轨的可旋转磁盘。传感器-滑动器-悬浮装置的组合包括一个传感器，用于从各个磁轨上读出数据，或将数据写入各个磁轨;一个滑动器，用于夹持传感器，使其邻近通常以上述介质飞动的磁轨;和一个悬浮装置，用于弹性夹持滑动器和磁轨上的传感器。组合装置上连接一个定位器，将传感器移动到所希望的磁轨上并使传感器在读出或写入时保持在磁轨中心线上。传感器安装在空气支承滑动器上，空气支承滑动器以转动磁盘产生的气垫来支撑传感器靠近磁轨。但是，可以使传感器与磁盘接触。悬浮装置具有高弹力刚度，并且在滑动器与操作杆之间具有尺寸稳定性。要求悬浮装置以尽可能低的载荷力保持传感器和滑动器紧挨在磁盘的数据表面。控制执行机构，根据读出操作所希望的数据，使传感器位于正确的磁轨上，或者在写入操作中，使传感器定位于数据布置的正确磁轨。
通用的磁盘驱动器中，传感器及其滑动器与悬浮装置是分开构成的，然后由操作者控制的精确操作使其相连。部件小，而且相互之间的定位必须精确。传感器必须精确地处于磁轨上，与此相应的是，悬浮装置必须精确地位于滑动器上。悬浮装置必须有弹性，有节矩，并使滑动器在磁盘转动方向滚动，还要防止摆动。悬浮装置在滑动器上的布置上的任何误差都有损于其性能和寿命。即使是悬浮装置与滑动器正确定位，也必须使连接传感器的导线连接到传感器上。导线通常是直接沿着悬浮装置，与位于悬浮装置上的或位于执行机构上的放大器相连。导线在提供良好的电互连的同时，肯定无法增强滑动器的弹性刚度。
通常，导线是由操作者通过焊接来连接的，例如，使其与传感器的输出和放大器两者连接。误差再次会引起整个组合损坏。
传感器/滑动器组合或磁头与介质接触或轻触所引起的特有的问题是，造成介质磨损并有可能使介质破碎。为了减少磨损和“破碎”的可能性，已经知道的是，必须使悬浮系统的体积降到最小。小的体积可以很好地控制对介质上的磁头的“碰撞”，由此减少对介质损坏和磨损的可能性。
为此，公开了许多种机构，这些机构采用“簧片”方式来制作传感器一悬浮装置。在垂直记录场合工作的结构中，簧片装置允许磁头和悬浮装置易于形成(ⅰ)精确的喉部高度控制;(ⅱ)精确的接触记录传感器的布置或通过空气支承的形成来获得规定的飞动高度;(ⅲ)滑动器与悬浮装置连接，和(ⅳ)易于确定导线路径。这些结构，如Hamilton美国专利5041932中所述的，例如包括一个水平传感器，它具有水平第一极片和水平第二极片，第二极片有一个垂直部分，该垂直部分与第一极片形成相互隔开的磁隙。
如上所述，接触记录可获得较高的信号和较大的分辩率，而不受悬浮高度的改变的限制。遗憾的是，由接触记录带来的磨损在文件的寿命期间通常估计为400微英寸，这是不能允许的。另一个主要缺陷是，以前这类磁头只适合于垂直记录而不适合于纵向介质。所有这些，使上述设计的垂直记录磁头不适合于高密度记录。
本发明是一种纵向记录用的悬浮装置与传感器磁头的组合装置，它可以用于接触记录或在介质上飞动。传感器包括水平第一极片和截面呈水平部分和垂直部分的第二极片。在第一极片与第二极片的垂直部分之间形成磁隙。极片的形状应能避免磁饱和并有窄的极头。悬浮装置主要由两层构成，第一层是一绝缘层，它将第一水平极片与第二极片的水平部分分开。第二层是一绝缘层，它复盖并保护传感器层。
传感器-悬浮装置的组合结构的制造方法中，是在基片上形成行和列结构的许多布图光刻胶的接触凸点。然后在基片上淀积一层分离层。在每个接触凸点上布图形成与其部分接触的第一极片。在每个第一极片上淀积一层厚的磁性材料后气隙层。在耐磨层之后淀积一层厚的电绝缘和磁绝缘材料。这一层是组合结构中悬浮部件的主要部分。该悬浮层被研磨平，并在每个极片用的悬浮薄膜上形成一层初级线圈层。在绝缘层上与每个第一极片对应地淀积磁性材料层的第二极片并至少部分覆盖初级线圈层。第二极片层上覆盖一绝缘层，但允许与初级线圈接触。然后在该绝缘层上沿着连结到线圈电路的导线上构成线圈电路。导线和随后淀积的导电栓用于与每个传感器的驱动电路(未画出)的连接。然后淀积第二层厚的电绝缘和磁绝缘材料，形成组合结构的悬浮部分的第二个和最后的主要部分，该层顶部被磨去，使其与早已形成的导电栓电接触。由于组合件是以行列形式淀积在圆形基片上的，然后把每个组件均分割或许多组件的行。
将部分行组件的端部磨光并淀积一层磁隙层。然后在磁隙层中形成接触通道，露出第二极片层。在每行上布图淀积磁性材料的第三极片，以形成第二极片的垂直部分。然后，在制成的悬浮和传感器组件的行上淀积保护涂层。然后将组件行分成许多单个的组合结构。紧接着，通过对分离进行溶解或腐蚀，除去基片，留下部分制成的组合结构。除去气隙部分，第三极片和延伸到原始接点下面的最终保护层，完成组合结构。最好是采用淀积氧化铝(Al2O3)层来形成悬浮装置。切割氧化铝层然后将构成的悬浮装置从基片表面分离，构成所希望的悬浮结构。基片的去除最好采用分离层来完成。
由于本发明在接触凸点表面上提供了一个磁极之间的窄气隙，因此，有可能进行纵向记录。这就大大提高了本发明的适用性，使其应用范围明显地超出现有技术。此外，本发明基本上是平面淀积结构，使其组件的主要处理工艺可以直接在圆形基片表面上进行。这就大大提高了本发明的实用性，并使其组合能批量生产。
本发明是另一优点是在磁头结构上使用了耐磨材料，从而使磁头的极头区得到保护。
本发明的目的是，提供一个增强型的移动式磁存储器，它具有一个包含增强型悬浮-传感器组合的磁头结构。
本发明的另一目的是，提供一个增强型悬浮-传感器组合磁头结构。
本发明的又一目的是，制成一个适合于纵向记录的传感器-悬浮结构。
本发明的进一步的目的是，制造一种耐磨并且接触凸点外形变化的纵向磁头。
下面将结合本发明的优选实施例，参考附图对本发明前述目的及其它目的，本发明的特征和优点作详细说明。其中，
图1是一个磁记录机构的顶视图，它使用本发明的悬挂组件，在与磁盘文件的磁盘表面之间的传感关系中由旋转执行机构定位;
图2是按本发明制成的传感器-悬浮装置组件的透视图，该组件与图1的磁盘驱动器配合使用;
图3是一个基片的透视图，在该基片上制成以行和列形式排列的用以构成图2所示组合件的许多结构;
图4是沿图3中4-4线的剖面图;
图5是取自图3所示基片上的一行结构的透视图，并安装用以进一步的处理;
图6A和6B是按本发明的传感器的实施例剖面图;和图7是无绝缘层和导体层的本发明的传感器透视图。
本发明的优选实施例最好是用于大型多个磁盘驱动器，但也可以用于通常为个人微型计算机所使用的单个磁盘驱动器，或其它任何形式的介质驱动器，例如磁带驱动器。图1所示的数据记录磁盘文件包括一个外壳8，外壳中安装一个旋轨执行机构10，一个相关的存贮磁盘12和旋转磁盘12的驱动装置13。旋转执行机构10驱动本发明的组合件在磁盘12上按一弧形路径移动。旋转执行机构10包括一个音圈电机，它包括可在有铁芯16的固定永久磁铁组件的磁场中移动的线圈14。执行臂20固定在可动线圈14上。执行臂20的另一端固定在本发明的并按上述方法制成的传感器-悬浮装置组合件22上。组合件22包括一个传感器-滑动块24和一个悬浮段26。悬浮段26可以在磁盘12表面上把传感器滑动块24支撑在由磁盘12旋转产生的空气支承或空气垫上。最好是悬浮段26支撑传感器-滑动块24与磁盘12的表面相接触。空气支承或空气支承表面指的是传感器与磁盘表面平行并邻接的表面。它包括两种构型，一种是设计成在操作中传感器在磁盘上飞动，一种是设计成在操作中传感器与记录介质、磁盘12接触。执行臂20可以包括多个臂，每个臂支撑其各自的组合件22，每个组合件22与位于数据记录磁盘驱动器组合中的各磁盘的表面对应。因此，例如，磁盘12也可以有安装在执行臂20上的一个组合件22，使其与磁盘12下表面上的记录介质表面相对应。此外，其他组合件也与包括在磁盘驱动器组合中的其他磁盘的顶侧和底侧相对应。磁盘驱动器组合中传感器的存取由执行机构10控制。
传感器-悬浮装置组合件22中的悬浮段26给传感器-滑动块24一个总是垂直于磁盘12表面的负荷。该垂直负荷使传感器-滑动块24保持在磁盘12上或磁盘12的上方。由驱动装置13使磁盘12的旋转过程中，组合件22与磁盘12保持接触，以便读出或写入数据。作为一种替换，组合件22可以设计成利用传感器-滑动块24与磁盘12之间产生的浮力或向上力对抗由悬浮段26加给传感器-滑动块24上的负荷而在磁盘12上面飞动。接触记录是本发明优选的实施例。
操作中，传感器-滑动块24借助于线圈14移动到磁盘12的数据表面上的同心数据磁轨中的所希望的磁轨上，线圈14在磁体组件的磁场中运动。要求传感器-滑动块24迅速地从一个磁轨移向另一个磁轨。必须使滑动块24的传感器在最短的时间里真正定位于所希望的磁轨上。本发明所用的旋转执行机构如美国3849800中所述。应注意的是，图1中所示的执行机构10是一个旋转执行机构，其他类型的传统磁盘文件所用的直线执行机构，在本发明中也能使用。
组合件22的悬浮段26必须有径向刚度，当它夹持滑动块24的传感器处于磁盘12的数据表面上方时在节矩和滚动方向上基本上有弹性。如果需要，组合件22的悬浮段26上也可以制作一个集成电路组件28。参考标号28指示的是一个集成电路放大器。图2中给出了图1所示组合件22的放大结构。
现在参看图2，其中相同的数字表示各个图中相同的特征和结构元件。所示的组合件22位于磁盘12上。磁盘12按箭头36所指方向旋转。传感器-滑动块24的传感器38(所示的垂直极截面)位于邻近磁盘12处，用以在磁盘12上读出或写入磁性转换。本发明的水平传感器-悬浮装置其位置平行于磁盘12，以便于说明本发明，因为多数磁盘驱动器均有水平安装的磁盘。显然，垂直安装的磁盘也被等效覆盖，在那样的组装中，“水平”和“垂直”单元必然要颠倒，但传感器仍然平行于磁盘表面运行。
悬浮段26使传感器38悬浮在磁盘12上面。该实施例中的悬浮段26包括第一绝缘层40和第二绝缘层42。在这两层之间包封一导电电路层(未画出)。由悬浮段构成的支撑主体由第一和第二绝缘层40和42保持。传感器38电气连接到导电电路层上。设置电连接导体凸点48给位于相邻处的放大器提供互连。可以设置集成电路放大器(没画出)用以代替导电凸点。图1中的淀积的集成电路放大器是放大器布置的一种可能的例子。
绝缘层40和42使导电层与传感器38的可能导电的磁性部分之间绝缘。两层绝缘层40和42提供了在磁盘32的磁轨上定位夹持传感器38的悬浮支承。
图3给出了形成图2所示结构的组合件22的工艺步骤。组合件22的成批制造是用一个非磁性的圆形基片50完成的。基片50的厚度T应足以支撑制造中的结构。在基片50上以行和列的形式淀积多个组合件22。图示为5行的每行52和图示为4列的每列54说明了构成多行的组件结构，然后每行组件可再分成单个单元。在一个单片基片50上可以制出比图3所示的行52和列54所示数量多或少的组合件，所能制出的组件数取决于所用基片的大小和单个组件的尺寸大小。
仍旧参看图3，一行52A是用锯56从基片50上切割开的。行52A在端面59处有传感器部分38。行52A经过图5和6所示的方法再处理，然后用锯58或其他切割方法将其分割成单个单元，如图3所示。图4给出的是作为组合件22的第一部分的淀积在基片50上的淀积层的剖面图。
现在参看图4，组合件22包括构成传感器-滑动块24和悬浮段26的许多层。截面图中，本发明所考虑的水平传感器构成图1和2所示传感器-滑动块24的全部或至少其一部分。传感器包括水平放置的第一极片62，即平行于磁盘(未画出)的接触平面。第一极片62形成有倾斜的接触区63，倾斜接触区63可以通过模压原始基片50的表面制成，如图4所示。圆形基片50的表面在淀积制造极片62的材料之前涂复一层分离层60。在后面的工艺中溶去分离层62使圆形基片50与极片62分开。淀积与极片62连接的磁性元件64。磁性元件64形成之后，圆形基片50的整个分离层60表面涂复一层耐磨材料65和一层绝缘层66。耐磨层65复盖传感器部分24与磁盘12之间的接触面的大部分(见图2)。耐磨层65和绝缘层66淀积之后被磨平给随后的淀积层提供一光滑表面，并暴露出元件64的顶表面。然后在绝缘层66上形成传感器线圈用的第一组导体带68，并涂复一层电绝缘材料的线圈绝缘层70。然后在绝缘层70上形成第二极片的水平部分72。第二极片水平部分72与磁性元件64接触构成传感器的后气隙。在圆形基片的全部表面上淀积一层线圈绝缘层74的附加层。在线圈绝缘层74上淀积第二组线圈导体带76。第二组线圈导体带76与第一组线圈导体带互连，围绕传感器部分24的第二极片的水平部分72提供激磁导体线圈。将导体带68和76与淀积在导体线圈绝缘层74上的导体层78电气连接以构成线圈。该线圈与传感器的磁性元件构成一体，使传感器在磁盘12上进行磁转换的读出和写入。线圈感应的信号通过导体层78的自由端处形成的导体栓80由导体层输入电路系统(未画出)。在导体线圈带76和导体层78上淀积第二电绝缘层82。该第二绝缘层82和第一绝缘层66是悬浮段26的支撑结构。导体凸点48(见图2)然后形成在第二绝缘层82上，并与导体栓80相连接。导体凸点48可能通过如图1所示的集成电路28与相应的磁盘驱动器的电路系统互连。
图4所示的淀积工艺完成之后，将圆形基片50切割成行，如图3所示。图3中，行52A是用锯56从圆形基片50上分割下来的。然后用粘接剂将行52A固定在例如运送工具90上，见图5，而将行52A的端面59露出。然后将行52A的端面59研磨平。对传感器进一步处理使之成为图6A所示的一个实施例。
现在参看图6A，行52A的端面59被研磨平，并形成了一层磁隙层92。第二极片的水平部分的端面露出并淀积一个垂直部分94。参考数96表示的第二极片包括它的水平部分72和它的垂直部分94。这样，传感器部分24包括与磁隙92构成一体的第二极片96，见图4，第一极片层62和磁性元件64。垂直部分94制成后，淀积保护层98。现在就制成了行52A的结构，并准备将其分割成磁盘12用的单个组合件22，见图2。如图3所示，锯58将包含多个制成的传感器的行52A分割成很多单个单元。第二极片96用的垂直部分的第二种类型如图6B所示。
现在参看图6B，在行52A的端表面59上也是首先淀积磁隙层92。再对磁隙层92进行研磨使其与垂直方向成夹角X，露出第二极片的水平部分72的端部。淀积磁性材料层构成垂直部分99。参考数96所表示的第二极片包括水平部分72和垂直部分99。因此，传感器部分24包括与磁隙92构成一体的第二极片96，第一极片层62和磁性元件64。垂直部分99制成后，如上述的，淀积保护层98，与对图6A和图3的说明相同，现在已制成行52A，该行准备分割成单个组件22。
再看图4，包括传感器部分24和悬浮部分26的制成组合件22，通过溶去分离层60而使其与基片50公开。分离层60可以是镀铜。另一种分离层材料可以是钨。例如采用过硫酸铵可以容易地除去铜分离层，而不会对传感器制造过程中通常使用的氧化铝基片造成腐蚀。一旦制成了组合件，就很容易将其应用于硬磁盘读出系统，这对本领域的技术人员是显而易见的。
圆形基片50可以是已有技术中任何适用的材料。不要求基片50必须是氧化铝-钛-碳化物或硅。分离层60，例如可以是导电材料，它作为随后的淀积层例如传感器的第一极片层62的籽晶或电镀基层。导电材料最好是铜镀层，但也可以是金或其他合适的导体。导线78沿悬浮段26布线至导体栓80。导线应由两根扁平的薄导线构成带状线，因为悬浮段26是薄的，并且所要求的应力对称与带状线设计相适应。最好通过淀积氧化铝作为第一和第二绝缘层66和62来制造悬浮段26。如已有技术那样，导电栓80和导电凸点48用标准的导电栓和导电凸点制造技术制造，以制成薄膜传感器-悬浮装置组合件。可以用厚的淀积氧化铝包封带包护层98的传感器。例如氧化铝薄层可以构成磁隙92，例如坡莫合金可以用作磁性材料，形成传感器的极片部分。传感器极片件的形状如图7所示。为了显示本发明传感器的磁性部分的优选形状，图部设画出线圈和传感器。
现在参看图7，本发明的优选实施例包括一个传感器，该传感器兼有Jones，Jr等人的美国专利4190872的优点，该专利于1980年2月26日颁布并转让给本发明的受让人。传感器包括的第一极片层62，通过磁性元件64在后气隙100处磁性地与第二极片的水平部分72连接。第二极片的垂直部分94磁性地与其水平部分72连接，并由磁隙92与第一极片62分开。第一极片在其后气隙100处的宽度大于在其极头部102的宽度。同样，第二极片的水平部分在后气隙100处的宽度大于与垂直部分94连接的端部104处的宽度。垂直部分94在与极片72的端部104连接的端部宽度大于它的极头106的宽度，传感器的优选形状如图7所示，它有窄的极头结构，但避免了磁力线沿极片的饱和。
尽管对本发明已详细地示出并参照优选的实施例做了详细说明，但应该了解，在不脱离本发明的实质和范围的情况下，本领域的技术人员可以按美国专利4190872的实施例所述的形式在基片上制作传感器，在不超出本发明的范围的情况下，也可以使用其他结构。基片可以用Jacobs等人的美国专利4251841的主题所述的材料制成，其题目为“磁头滑动装置”，并转让给本发明的受让人。按优选实施例的悬浮部分可以是聚酰亚胺材料和淀积其上的金属层构成的双层材料，使其具有悬浮件所需的足够弹性和刚度。必须注意，假若单层材料具有适合的厚度和强度。也可以用单层材料制造悬浮件。还应该懂得的是，有许多导电材料能用做导电电路和传感器引线。铜和金较好，但如已有技术所熟知的，许多其他材料也适用。尽管这里说明了空气支承悬浮，但本发明也包括接触记录，悬浮装置使传感器与记录介质接触。下面的权利要求记载了发明要求保护的范围。
权利要求
1.一种组合薄膜磁头传感器与悬浮系统，其特征是，包括一个有极头的水平薄膜第一极片；一个在所述第一极片的极头处形成的基本上垂直的薄膜磁隙；一个薄膜第二极片，它有一个垂直部分，其极头邻接所述磁隙，和一个水平部分，它与所述第一极片相邻并平行，但与所述第一极片磁绝缘，所述第一和第二极片在后气隙磁性地连接，在极头处由所述磁隙磁绝缘；一个薄膜线圈，它与所述第一和第二极片电绝缘，但激磁于所述第一和第二极片，并环绕所述第二极片的水平部分；所述第一和第二极片的构形是，在其后气隙区有较宽表面，在其极头处有较窄表面；和一个弹性材料的薄膜层的悬浮层，它至少覆盖所述第二极片的水平部分，并与所述第二极片和所述线圈电绝缘和磁绝缘，所述弹性材料延伸超过后气隙区。
2.按权利要求1的组合薄膜磁头传感器和悬浮系统，其特征是，还包括一个连接所述线圈的导电体，所述导电体包含在所述悬浮层中。
3.按权利要求1的组合薄膜磁头传感器和悬浮系统，其特征是，还包括一层耐磨层，它覆盖在所述悬浮层的外部和与它的极头邻近的第一极片上。
4.按权利要求1的组合薄膜磁头传感器和悬浮系统，其特征是，所述第二极片的垂直部分包括在邻接所述磁隙的一端上的基本上垂直的部位和位于偏离垂直方向一定角度的第二端的部位，与所述第二极片的水平部分接触。
5.一种磁盘驱动器组合，包括一个外壳;一个安装在所述外壳中的硬平板，它有将数据贮存在它上面的磁轨中的装置;在所述外壳内用于旋转所述硬平板的装置;安装在所述外壳内的执行臂，其自由端可操作地邻接所述硬平板上的一个磁轨;和定位装置，用于使所述的执行臂邻接所述硬平板上的各个磁轨上;所述磁盘驱动器组合的特征是，包括一个组合薄膜磁头传感器和悬浮系统，安装在所述定位装置的自由端上，并包括一个有极头的水平薄膜第一极片;一个在所述第二极片的极头处形成的基本上垂直的薄膜磁隙;一个薄膜第二极片，它有一个垂直部分，其极头邻接所述磁隙，和一个水平部分，与所述第一极片电绝缘，但与所述第一极片相邻并平行，所述第一和第二极片在后气隙处磁性地连接，在其极头处由所述磁隙磁绝缘;所述第一和第二极片的构形是，在其后气隙区有较宽表面，在其极头处有较窄表面;一个薄膜线圈，它与所述第一和第二极片电绝缘，但激磁于第一和第二极片，并环绕所述第二极片的水平部分;和一弹性材料的薄膜层的悬浮层，它至少覆盖所述第二极片水平部分，并与所述第二极片和所述线圈电绝缘和磁绝缘，所述弹性材料延伸超出后气隙区。
6.一种制造组合薄膜磁头传感器和悬浮系统的方法，其特征是，包括步骤准备一块圆形基片;在所述圆形基片上形成一倾斜的接触区;在所述基片上形成一层分离层;在所形成的分离层和所述布图接触凸点上形成磁性材料的第一极片;在所述已形成的第一极片上布图形成后气隙元件;在所述已形成的第一极片上形成一层耐磨层，并延续一段距离用于悬浮段;在所述已形成的至少覆盖所述第一极片层的所述耐磨层上形成一磁和电的绝缘层，并作为第一悬浮层延伸一定距离用于悬浮段;在所述形成的绝缘层上形成导电材料的薄膜线圈的第一个一半;形成第一电绝缘层，至少覆盖所述已形成的一半薄膜线圈;在所述已形成的绝缘层上形成磁性材料的构成第二极片层图形的水平部位;形成第二电绝缘层，至少覆盖已构成图形的第二极片层;在所述已形成的第二电绝缘层上形成导电材料的薄膜线圈的第二个一半，并使其与所述已制成的线圈的第一个一半电气连接;在所述已形成的薄膜线圈的第二个一半上形成一层磁和电的绝缘层，并作为第二悬浮层延伸一定距离用于悬浮段;在形成步骤所制成的组件的自由端上形成磁绝缘材料的磁隙层，并覆盖所形成的第一极片层的端部，与所述形成的后气隙层相对;在所述已形成的磁隙层上形成磁性材料的已构成图形的第二极片层的垂直部位;形成一层保护层覆盖所述的极片垂直部位;溶去分离层，使所述的已形成的接触凸点层和所述的已形成的第一极片层与基片分离。
7.按权利要求6的制造组合薄膜磁头传感器和悬浮系统的方法，其特征是，包括步骤在延续一定距离用作悬浮段的所述已形成的绝缘层上形成导电材料的第一导体层，并与所述已形成的线圈的第一个一半电连接;在延伸一定距离用作悬浮段的所述已形成的第二电绝缘层上形成导电材料的第二导体层，并电连接到所述线圈的已形成的第二半上;和形成所述已形成的第一和第二导体层用的导体凸点，邻接与所形成的第一和第二极片相反的悬浮段的端部。
8.按权利要求6的制造组合薄膜磁头传感器和悬浮系统的方法，其特征是，包括步骤形成磁性材料的第一极片，形成磁性材料的已构成图形的第二极片层的水平部分，和形成磁性材料的已构成图形的第二极片层的垂直部分，所述第一和第二极片的形状构成为在其后气隙区有较宽的表面，在其极头处有较窄的表面。
9.一种适用于纵向记录的组合薄膜磁头传感器和悬浮系统的制造方法，其特征是，包括步骤a)准备一个基片;b)在所准备的基片上用下述步骤构成多行和多列组合系统(1)在所准备的基片上沿着所构成的许多行在每行的一个边缘形成一倾斜的接触区;(2)在所准备的基片上形成一分离层，并覆盖所述已形成的倾斜接触区;(3)在所述的已形成的分离层上和每个已构成图形的接触凸点上形成磁性材料的第一极片;(4)在每个所形成的第一极片上布图形成后气隙元件;(5)在所述的已形成的第一极片上形成耐磨层，并延续一定距离，用于每个所形成的第一极片的悬浮段;(6)在所述已形成的至少覆盖所述第一极片层的耐磨层上形成磁的和电的绝缘层，并延续一定距离用于悬浮段，作为每个已形成的第一极片的第一悬浮层;(7)在所述的已形成的绝缘层上形成每个已形成的第一极片用的导电材料的薄膜线圈的第一个一半;(8)形成第一绝缘层，它至少覆盖每个已形成的一半薄膜线圈;(9)在所说的已形成的每个第一极片用的绝缘层上布图形成磁性材料的第二极片层的水平部分;(10)形成第二电绝缘层，它至少覆盖每个所述已构成图形的第二极片层;(11)在每个所述已形成的薄膜线圈的第一个一半用的所述第二电绝缘层上形成导电材料的薄膜线圈的第二个一半;(12)在每个所形成的薄膜线圈的第二个一半上形成一层磁和电的绝缘层，并延续一定距离，作为第二悬浮层，用于每个悬浮段。c)从形成在所述的已准备好的基片上的多行和多列结构中分离出一行，并含有所述组合系统;d)对每行被切下的组件行在其有倾斜接触区的一边按预定设计研磨;e)在被切下的每行的被研磨后的边缘上形成绝缘材料的磁隙层;f)在被切下的每行的所述的已形成的隙层端形成一层磁材料层，作为第二极片的所述已形成的水平部分的垂直部分;g)形成一层保护层，覆盖切割下的每行的所述第二极片的所形成的垂直部分。
10.按权利要求9的一种适用于纵向记录的组合薄膜磁头传感器和悬浮系统的制造方法，其特征是，包括步骤a)将所切下的每行组件切割成单个组合系统;和b)溶除分离层使基片与每个切下的单个组合系统分离。
全文摘要
一种纵向记录用组合悬浮和传感器磁头，它可以用于接触记录和在记录介质上飞动。传感器包括水平第一极片和水平及垂直分段的第二极片。在第一极片与第二极片的垂直部分之间形成磁隙。悬浮层主要由将第一水平极片与第二极片的水平部分隔开的绝缘层构成，绝缘层覆盖并保护传感器层。
文档编号G11B5/31GK1099895SQ9311881
公开日1995年3月8日 申请日期1993年8月28日 优先权日1993年8月28日
发明者小罗伯特·E·琼斯 申请人:国际商业机器公司