专利名称：扫描电子显微镜用的样品夹的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及检测半导体器件样品用的样品夹，特别涉及扫描电子显微镜用的样品夹。
背景技术：
半导体器件制造过程中，经常要用扫描电子显微镜检测半导体器件的加工工件，用扫描电子显微镜检测经过某个工艺步骤加工后的工件样品，根据对工件样品的检测结果确定合适的工艺条件。
因此，要求用扫描电子显微镜又快又好地检测半导体器件样品，而且，不能损坏被检测的半导体器件样品，缩短检测时间保证不损坏被检测的半导体器件样品对提高产品合格率缩短生产周期很重要。因此，要求扫描电子显微镜用的样品夹使用方便和安全，而且要求样品夹的使用寿命长。
图1显示出现有的扫描电子显微镜用的样品夹，每个样品夹上可以夹八个样品，每个样品都要用对应的六角螺丝分别固定，因此，很费时间，操作麻烦，使用寿命短，样品表面容易出现充电现象。
发明内容
为了克服现有的扫描电子显微镜用的样品夹存在的上述缺点，提出本发明。
本发明的目的是，提出一种扫描电子显微镜用的样品夹。
图2是按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹设置样品前的俯视图，本发明的扫描电子显微镜用的样品夹包括一个底座1，底座上开有按一定间隔的多个样品放置槽2，样品放置槽2的尺寸根据要放置的样品尺寸确定；固定片3，设置在样品放置槽2的一个侧壁上；弹簧片4，设置在固定片3面向样品放置槽2的侧壁上；和固定螺杆5，按垂直于样品放置槽2的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆5穿过样品放置槽2的侧壁和固定片3中心的螺孔，将样品放置槽2和固定片3平均分割成两部分。固定片3上设置的多个弹簧片4具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片4对应一个待检测的样品。弹簧片4焊接在固定片3上。
图3是按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹设置样品后的俯视图，如图3显示的，当样品放在样品放置槽2中后，旋转调节固定螺杆5，使与固定螺杆5用螺纹连接的固定片3向相对一侧推进，固定片3上设置的弹簧片4与样品接触时，弹簧片4变形，因而弹簧片4弹性压紧样品。要取下样品时，只需要松开固定螺杆5，使固定片3返回到原始位置，弹簧片4恢复原来的形状即可取出样品。
按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹，底座1上所开的样品放置槽2的数量可以根据需要确定，底座1可以用例如铝的金属板构成；固定片3、弹簧片4和固定螺杆5用例如不锈钢的合金材料构成。
用按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹，不需要分别固定每个样品，使用方便，节省时间，样品夹的使用寿命长。
通过结合附图进行的以下描述可以更好地理解本发明目的和本发明的优点，附图是说明书的一个组成部分，附图与说明书的文字部分一起说明本发明的原理和特征，附图中显示出代表本发明原理和特征的实施例。全部附图中相同的部分用相同的参考数字指示。附图中图1是现有的扫描电子显微镜用的样品夹的俯视图；图2是按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹装样品前的俯视图；和图3是按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹装样品后的俯视图。
附图中参考数字指示的另部件说明1-底座；2-样品放置槽；3-固定片；4-弹簧片；5-固定螺杆；6-长螺；7-样品。
具体实施例方式
以下通过实施例详细说明按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹的结构及其使用。
如图2显示的，按本发明实施例1的扫描电子显微镜用的样品夹包括一个底座1；底座1上按一定间隔开的两个样品放置槽2；固定片3，设置在样品放置槽2的一个侧壁上；弹簧片4，设置在固定片3面向样品放置槽2的侧壁上；和固定螺杆5，固定螺杆5按垂直于样品放置槽2的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆5穿过样品放置槽2的侧壁和固定片3中心的螺孔，将样品放置槽2和固定片3平均分割成两部分。固定片3上设置的两个弹簧片4具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片4对应一个待检测的样品。弹簧片4焊接在固定片3上。样品放置槽2的尺寸根据要放置的样品尺寸确定。
如图3显示的，当样品放在样品放置槽2中后，旋转调节固定螺杆5，使与固定螺杆5用螺纹连接的固定片3向相对一侧推进，固定片3上设置的弹簧片4与样品接触时，弹簧片4变形，因而弹簧片4弹性压紧样品。要取下样品时，只需要松开固定螺杆5，使固定片3返回到原始位置，弹簧片4恢复原来的形状即可取出样品。
底座1可以用例如铝的金属板构成；固定片3、弹簧片4和固定螺杆5用例如不锈钢的合金材料构成。
按本发明实施例2的扫描电子显微镜用的样品夹与按本发明实施例1的扫描电子显微镜用的样品夹的结构和各个另部件的构成材料基本相同，只是底座1上所开的样品放置槽2的数量可以根据需要确定。
用按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹，不需要分别固定每个样品，使用方便，节省时间，样品夹的使用寿命长。
以上详细描述了按本发明的扫描电子显微镜用的样品夹。但是本发明不限于本文中的详细描述。本行业的技术人员应了解，本发明能以其他的形式实施。因此，按本发明的全部技术方案，所列举的实施方式只是用于说明本发明而不是限制本发明，并且，本发明不局限于本文中描述的细节。本发明要求保护的范围由所附的权利要求书界定。
权利要求
1.扫描电子显微镜用的样品夹包括一个底座(1)，底座(1)上开有按一定间隔的多个样品放置槽(2)；固定片(3)，设置在样品放置槽(2)的一个侧壁上；弹簧片(4)，设置在固定片(3)面向样品放置槽(2)的侧壁上；其特征是，还包括固定螺杆(5)，固定螺杆(5)按垂直于样品放置槽(2)的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆(5)穿过样品放置槽(2)的侧壁和固定片(3)中心的螺孔，将样品放置槽(2)和固定片(3)平均分割成两部分，固定片(3)上设置的两个弹簧片(4)具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片(4)对应一个待检测的样品，弹簧片(4)焊接在固定片(3)上。
2.按照权利要求1的样品夹，其特征是，底座(1)上开的样品放置槽(2)的数量根据需要可以是多个。
3.按照权利要求1的样品夹，其特征是，固定螺杆(5)用螺纹连接固定片(3)，旋转固定螺杆(5)时，与固定螺杆(5)用螺纹连接的固定片(3)向相对一侧推进，固定片(3)上设置的弹簧片(4)与样品接触时，弹簧片(4)变形，因而弹簧片(4)弹性压紧样品。要取下样品时，只需要松开固定螺杆(5)，使固定片(3)返回到原始位置，弹簧片(4)恢复原来的形状即可取出样品。
4.按照权利要求1的样品夹，其特征是，底座(1)可以用例如铝的金属板构成；固定片(3)、弹簧片(4)和固定螺杆(5)用例如不锈钢的合金材料构成。
5.按照权利要求1的样品夹，其特征是，样品放置槽(2)的尺寸根据要放置的样品尺寸确定。
全文摘要
扫描电子显微镜用的样品夹包括一个底座1，底座1上开有按一定间隔的多个样品放置槽2；固定片3，设置在样品放置槽2的一个侧壁上；弹簧片4，设置在固定片3面向样品放置槽2的侧壁上；其特征是，还包括固定螺杆5，固定螺杆5按垂直于样品放置槽2的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆5穿过样品放置槽2的侧壁和固定片3中心的螺孔，将样品放置槽2和固定片3平均分割成两部分。固定片3上设置的两个弹簧片4具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片4对应一个待检测的样品，弹簧片4焊接在固定片3上。
文档编号H01L21/66GK1797734SQ20041009346
公开日2006年7月5日 申请日期2004年12月22日 优先权日2004年12月22日
发明者陈强, 邹丽君, 秦立勇, 陈险峰 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司