专利名称：磁场发生装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于半导体集成电路的测试装置，特别是涉及一种适 用于线性霍尔传感器芯片测试的磁场发生装置。
背景技术：
为了评价线性霍尔传感器芯片的性能，不仅需要将线性霍尔传感器芯
片置于不同磁场强度下测试其输出电压，即BV特性，还需要知道线性霍 尔传感器芯片在不同温度下的BV特性。但是现有的磁场发生装置都不能 进行全温度范围内(-80°C 225°C)的测试，仅能进行局部温度范围不同 磁场强度下的测试；而现有的温度控制装置又不具有产生磁场的功能，这 样就无法满足霍尔传感器性能测试的要求。
如果专门为此设计制造一种适用于全温度范围的磁场发生装置，不仅 需要进行复杂的技术设计，而且需要半导体集成电路制造商付出昂贵的费 用成本。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种磁场发生装置，它能够产生全温 度范围内测试所需的高分辨率磁场，对线性霍尔传感器芯片进行评价。 为解决上述技术问题，本发明的磁场发生装置，包括 一磁场发生器基座；
一对磁极，相对设置，固定安装在所述磁场发生器基座上端面的两端侧；
一工作平台，设置在所述一对磁极的中间位置；
一耐温隔板，设置在所述工作平台上端面，所述耐温隔板的中间位
置设有一测试插座，该测试插座的测试电缆从工作平台底部引出；
一耐温导气管，可拆卸地罩设所述测试插座，位于该耐温导气管的 顶部可与热量发生系统的端口连接，热量发生系统的端口、耐温导气管和 耐温隔板组成一个可以改变温度的腔体，耐温导气管的外壁与磁极的两极
面不接触。
由于采用本发明的磁场发生装置， 一对磁极可以得到高精度的磁场， 耐温导气管一头连接热量发生系统的端口 ，另一头安装在垫有耐温隔板的 工作平台上，并将测试插座完全罩住，形成了一个由热量发生系统的端口、 耐温导气管和耐温隔板组成的，可以改变温度的腔体。由此产生全温度范 围内测试所需的高分辨率磁场，实现对线性霍尔传感器芯片进行不同温 度、不同磁场强度下的性能测试。完全能够满足对线性霍尔传感器芯片性 能评价的需要。
本发明的磁场发生装置结构非常简单、制造容易，而且成本不高，能 够使集成电路制造商降低生产的成本。
下面结合附图与具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明 图1是本发明的磁场发生装置的主视图； 图2是图1的侧视图。
具体实施方式
参见图1、 2所示，本发明的磁场发生装置包括一磁场发生器基座2，
一对磁极4相对设置，固定安装在磁场发生器基座2上端面的两端侧，用 于产生磁场。
还包括一工作平台1。该工作平台1为倒置的凹字形，设置在一对磁 极4的中间位置，通过螺钉5将工作平台1固定在磁场发生器基座2上。 工作平台1采用铝型材料制造，或者采用其他非磁性、可承重的材料制造。
一耐温隔板3设置在工作平台1上端面，所述耐温隔板3的中间位 置设有一测试插座6。工作平台1及位于其上端面的耐温隔板3中间位置 设有一通孔，测试插座6上的测试电缆7穿过该通孔从工作平台1底部引 出。所述耐温隔板3采用硅胶板材质制作。
所述磁极4由一磁场发生器极柱8，设置在磁场发生器极柱8上的磁 场发生器线圈9组成。磁极4由非磁性材料制造的支撑座10支撑固定在 磁场发生器基座2上。磁场发生器线圈9的供电电源采用高分辨率电源， 由此得到高精度磁场。所述支撑座10与磁场发生器基座2可以加工成一 体，也可以通过连接件固定安装在一起。
一耐温导气管11可拆卸地罩设所述测试插座6，位于该耐温导气管 11的顶部可与热量发生系统的端口 12连接。热量发生系统的端口 12、耐 温导气管11和耐温隔板3组成了一个可以改变温度的腔体。耐温导气管 11的外壁与磁极4的两极面不接触。耐温导气管11和热量发生系统的端 口 12可以拆卸地设置，在不需要温度测试时可以不安装耐温导气管11 和热量发生系统的端口 12。耐温导气管11可拆卸地设置，还便于更换测 试芯片。耐温导气管ll采用耐温塑料制成，还可以采用其他非磁性耐温材料制造。
对线性霍尔传感器芯片13进行测试时，首先根据测试的磁场范围调
整好磁极4之间的间距。然后把待测的线性霍尔传感器芯片13插到测试 插座6上，通过改变磁极4的磁场发生器线圈9激励电流来改变磁场强度， 可以测试不同磁场强度下的线性霍尔传感器芯片的输出端电压。这样可以 测试线性霍尔传感器芯片13在室温环境下的BV特性。调节螺钉5可以使 被测的线性霍尔传感器芯片13正好处于磁场正中。
接着安装好耐温导气管11和热量发生系统的端口 12，通过热量发生 系统来产生设定温度的气体，该气体从热量发生系统的端口进入耐温导气 管11，再从耐温导气管底部排出，气流温度传导给待测芯片。比如设置 热量发生系统产生-4(TC的气体，测试-4CTC时线性霍尔传感器芯片13的 BV特性。当然，还可以测试-8(TC 225。C范围内任意温度下线性霍尔传 感器芯片13的BV特性，从而实现对待测芯片的全温度范围内不同磁场强 度下的测试。气流温度只改变被测芯片的温度，而不会影响到磁极4的温 度，所以不会对磁场产生影响。
本发明的磁场发生装置中除磁极4外，磁场发生器基座2、工作平台 1、支撑座10既可采用磁性材料、也可采用非磁性材料；其余的零部件均 采用非磁性耐高低温材料制成。非磁性材料是为了不影响磁场的高分辨 率，耐高低温材料是为了保证可以产生-80。C 225'C全温度范围的测试环 境。
本发明用简单的装置实现在原有磁场系统的基础上，增加与温度相关 的测试，并且不影响磁场的分辨率。以上通过具体实施方式
对本发明进行了详细的说明，但是这些并非对 于本发明的限制。本发明的保护范围还应包括那些对于本领域技术人员来 说显而易见的变换、替代及变形。
权利要求
1、一种磁场发生装置，其特征在于，包括一磁场发生器基座；一对磁极，相对设置、固定安装在所述磁场发生器基座上端面的两端侧；一工作平台，设置在所述一对磁极的中间位置；一耐温隔板，设置在所述工作平台上端面，所述耐温隔板的中间位置设有一测试插座，该测试插座的测试电缆从工作平台底部引出；一耐温导气管，可拆卸地罩设所述测试插座，该耐温导气管的顶部可与热量发生系统的端口连接，热量发生系统的端口、耐温导气管和耐温隔板组成一个可以改变温度的腔体，耐温导气管的外壁与磁极的两极面不接触。
2、 如权利要求1所述的磁场发生装置，其特征在于所述工作平台 为倒置的凹字形，通过螺钉固定在磁场发生器基座上。
3、 如权利要求1所述的磁场发生装置，其特征在于所述磁极由一 磁场发生器极柱，设置在磁场发生器极柱上的磁场发生器线圈组成，所述 磁极由支撑座支撑固定在磁场发生器基座上。
全文摘要
本发明公开了一种磁场发生装置，一对磁极相对设置，固定安装在场发生器基座上端面的两端侧；一工作平台，设置在所述极的中间位置；一耐温隔板，设置在所述工作平台上端面，所述耐温隔板的中间位置设有一测试插座；一耐温导气管，可拆卸地罩设所述测试插座，该耐温导气管的顶部可与热量发生系统的端口连接，热量发生系统的端口、耐温导气管和耐温隔板组成一个可以改变温度的腔体，耐温导气管的外壁与磁极的两极面不接触。本发明能够产生全温度范围内测试所需的高分辨率磁场，适用于对线性霍尔传感器芯片进行测试。
文档编号H01F7/00GK101458986SQ20071009444
公开日2009年6月17日 申请日期2007年12月13日 优先权日2007年12月13日
发明者宁 张, 川 洛, 楠 王 申请人:上海华虹Nec电子有限公司