专利名称：异种粘性带的张贴方法和使用该方法的接合方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在显示板等衬底上张贴异种各向异性导电带等粘性带的异种粘性带的张贴方法和使用该方法的接合方法及其装置。
背景技术：
作为在显示板等衬底上安装电子部件的方法，已知使用各向异性导电带等粘性带的方法。从张贴在衬底电极上的规定位置的粘性带上对电子部件进行对准并将其装载后，进行规定时间的加压和加热，使粘性带硬化，从而将电子部件固定于衬底，同时还使电子部件的接合用电极与衬底的电极导通。以基带的一个面贴有带状粘性材料的叠层带的形态提供粘性带。通过按规定尺寸切断连续的粘接带，并在衬底的规定位置对该切断的粘性带进行加压和加热，实施粘性带对衬底的张贴。
近年来，便携电话和便携终端PDA(个人数字助理机)等小型设备中，虽然装载液晶板作为显示板，但要求小型且重量轻。因此，在液晶玻璃衬底安装面装型电子部件、LSI(大规模集成电路)和能利用小壳体内的空间的重量轻的FPC(柔性印刷电路)。作为这种用粘性带将不同的安装部件安装到液晶玻璃衬底的装置，已知日本特开2001-358177公报记载的安装装置和安装方法。
专利文献1那样对玻璃衬底安装片状部件和FPC时，玻璃衬底上张贴的粘性带，其张贴方法有将覆盖安装片状部件和FPC的整个区域的单一粘性带一起张贴到玻璃衬底的方法(参考图7的(a))和根据片状部件安装部位和FPC安装部位各自的区域将不同的粘性带张贴到玻璃衬底的方法(参考图7的(b))的方法。图7的(c)示出在玻璃衬底安装片状部件和FPC的状态。
将粘性带张贴成图7的(a)那样覆盖安装电子部件的整个区域时，粘性带的特性相同，所以要按适合各电子部件的接合条件进行安装，则条件的设定极为困难。
这里，接合条件是指通过使粘性带硬化将电子部件固定于衬底，且同时使电子部件的接合用电极与衬底的电极导通用的加压、加热、热压接时间的条件。
而且，为了满足两个构件的接合条件，将能使用的粘性带的种类限定为特殊种类，因此不能使用以往用作片状部件专用或FPC专用的粘性带。尤其在将FPC热压接到玻璃衬底时，考虑对粘性带加热时的温度造成的膜伸长等损坏，希望用较低的温度、较长的时间(例如粘性带部温度160℃、10秒左右)使粘性带硬化。另一方面，安装片状部件时，从缩短生产节拍时间考虑，希望进行比FPC加热条件高温且时间短的加热(例如粘性带部温度210℃、5秒)，使粘性带硬化。
因此，能用同样的粘性带热压接片状部件和FPC两者而质量没有问题的条件极难设定。又，一起张贴覆盖整个区域的粘性带时，由于无用的部分粘性带多，材料费高，或由于粘性带未硬化的部分多，发生腐蚀的可能性高，存在质量上的问题。
如图7的(b)那样在每一安装的电子部件的区域张贴异种粘性带时，能使用对各部件最佳的粘性带特性。为了进行这种张贴，可考虑并排配置各1卷图1的(a)所示那样的2种粘性带并移动1个定位台从而依次张贴的方法。然而，图1(a)的装置对每一不同的粘性带依次进行张贴动作为连续动作，所以有生产节拍时间长的问题和定位台的行程长、装置大型化等问题。
也可考虑利用图1的(b)所示的并行配置2卷一种粘性带的第1粘性带张贴单元1和并行配置2卷另一种粘性带的第2粘性带张贴单元2同时张贴2种不同粘性带的方法。然而，虽然生产节拍时间能缩短，但有设备费用高的问题和装置大型化等问题。
又，为了提高粘性带张贴位置精度，通常在张贴粘性带前进行衬底位置对准，但这时的动作连续，所以存在生产节拍时间长的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能生产节拍时间短而且高精度地对玻璃衬底将片状部件用和FPC用这2种粘性带张贴在各自的区域，并同时能消除装置大型化且设备费用低廉的异种粘性带的张贴方法和使用该方法的键合方法及其装置。
为了到达此目的，本发明采用如下组成。
一种异种粘性带的张贴方法，利用包含从第1移载单元接收玻璃衬底的位置、对接收的玻璃衬底张贴粘性带的位置、具有在将张贴粘性带的玻璃衬底转交给第2移载单元的位置上移动自如的1组的第1和第2吸附台的第1活动台、以及具有将供给的第1粘性带和第2粘性带以热压接方式贴在玻璃衬底的第1头和第2头的粘性带张贴单元的异种粘性带张贴装置将所述不同的第1和第2粘性带张贴在玻璃衬底，其中，所述方法包含下列过程由所述第1移载单元将玻璃衬底移载到所述第1活动台的第1吸附台的步骤；将玻璃衬底移载到所述第1吸附台后，将所述第1活动台移动到第1粘性带的张贴位置的步骤；在处于所述张贴位置的玻璃衬底上用第1头张贴第1粘性带的步骤；将张贴所述第1粘性带的玻璃衬底从第1吸附台对准位置地移载到第1吸附台，且同时将处于接收玻璃衬底的位置的下一玻璃衬底从所述第1移载单元移载到第1吸附台的步骤；移动所述第1活动台，以便使两块玻璃衬底位于所述第1和第2粘性带的张贴位置的步骤；对所述各玻璃衬底同时进行用第1头的第1粘性带的张贴和用第2头的第2粘性带的张贴的步骤；将两块张贴粘性带的玻璃衬底从所述第2吸附台移载到第2移载单元的步骤。
根据本发明的异种粘性带的张贴方法，第1移载单元将玻璃衬底移载到第1活动台的第1吸附台，在玻璃衬底张贴第1粘性带后，将玻璃衬底从第1活动台的第1吸附台移载到第2吸附台。这时，对准移载位置(使其偏置)。与此分别或同时将下一玻璃衬底从第1移载单元移载到第1活动台的第1吸附台。因而，能缩短张贴不同种类的粘性带的生产节拍时间。又，通过使第2吸附台的玻璃衬底的位置偏离第1吸附台地进行移载，能同时张贴张贴位置不同的第1粘性带和第2粘性带，所以能以最小空间和最低费用大幅度缩短生产节拍时间，提高生产效率。
此组成在仅张贴1种粘性带的情况下，原样用作为普通进行的张贴方法的从衬底供给单元同时移载2块玻璃衬底并同时张贴2块粘性带的方法的装置组成，仅改变软件就能应对。因而，通过对动作模式选择数据，哪一种都能应对。
此方法中，最好包含在将玻璃衬底移载到所述吸附台的步骤前，从玻璃衬底输送用的托盘取出玻璃衬底并往暂置台输送的期间识别玻璃衬底上带有的对准标记的位置的步骤；根据所述对准标记的位置的识别结果，校正玻璃衬底的位置并将玻璃衬底转交给所述暂置台的步骤；以及由所述第1移载单元，将移载到所述暂置台的玻璃衬底输送到转交给所述粘性带张贴单元的位置的步骤。
根据此方法，从托盘送来的玻璃衬底在移载到暂置台之前进行对位。即，能在第1粘性带和第2粘性带的张贴前不进行玻璃衬底对准地实施张贴作业，所以能缩短生产节拍时间。
又，为了达到上述目的，本发明采用如下的组成。
一种键合方法，是利用上述异种粘性带的张贴方法在玻璃衬底上安装LSI和柔性印刷电路的键合方法，所述方法包含下列过程在张贴在玻璃衬底的第1和第2粘性带的一方安装LSI，并且在另一方安装柔性印刷电路的步骤；压接安装在所述玻璃衬底上的LSI和柔性印刷电路的步骤。
根据此方法，能缩短安装材料和形状不同的LSI和柔性印刷电路(下文适当称为“FPC”)的生产节拍时间。
又，为了达到上述目的，本发明采用如下的组成。
一种粘性带张贴装置，包含从第1移载单元接收玻璃衬底的位置、对接收的玻璃衬底张贴粘性带的位置、具有在将张贴粘性带的玻璃衬底转交给第2移载单元的位置上移动自如的1组的第1和第2吸附台的第1活动台、以及具有将供给的第1粘性带和第2粘性带以热压接方式贴在玻璃衬底的第1头和第2头的粘性带张贴单元，将不同的第1和第2粘性带张贴到玻璃衬底，其中，所述装置组成如下由所述第1移载单元将玻璃衬底移载到所述第1活动台的第1吸附台后，将所述第1活动台移动到第1粘性带的张贴位置；用第1头在处于所述张贴位置的玻璃衬底上张贴第1粘性带；将张贴所述第1粘性带的玻璃衬底对准位置地从第1吸附台移载到第2吸附台，同时还将处于接收玻璃衬底的位置的下一玻璃衬底从所述第1移载单元移载到第1吸附台；使所述第1活动台移动，以便两块玻璃衬底位于所述第1和第2粘性带的张贴位置；对所述各玻璃衬底同时进行用第1头的第1粘性带的张贴和用第2头的第2粘性带的张贴；将两块张贴粘性带的玻璃衬底从所述第2吸附台移动到第2移载单元。
此组成中，还包含从玻璃衬底输送用的托盘取出玻璃衬底并输送到暂置台的输送单元、以及检测出设置在所述玻璃衬底的对准标记的位置检测单元，其中构成将玻璃衬底移载到所述第1吸附台之前，一面用所述输送单元从托盘将玻璃衬底输送到暂置台，一面用所述位置检测单元检测出该玻璃衬底带有的对准标记的位置，根据其结果校正玻璃衬底的位置，并将玻璃衬底转交给所述暂置台后，由所述第1移载单元将移载到所述暂置台的玻璃衬底输送到转交给所述粘性带张贴单元的位置。
根据此组成，能较佳实现第1和第2方法的发明。
又，为了达到上述目的，本发明采用如下的组成。
一种键合装置，是包含上述发明并且在玻璃衬底上安装LSI和柔性印刷电路的键合装置，所述装置包含在玻璃衬底上张贴的第1和第2粘性带的一方安装LSI，并且在另一方安装柔性印刷电路的安装单元、以及压接安装在所述玻璃衬底的LSI和柔性印刷电路的压接单元。
根据此组成，能较佳实现第3方法的发明。
又，为了达到上述目的，本发明采用如下的组成。
一种异种粘性带张贴装置，将不同种类的粘性带张贴到玻璃衬底，其中该装置包含下列组成单元衬底供给单元，该衬底供给单元具有将玻璃衬底从托盘输送到暂置台的输送单元、以及检测出设置在玻璃衬底的对准标记的位置检测单元；第1活动台，该第1活动台包含在活动台和该可旋转连接该活动台的纵向旋转轴的臂的两端具有吸附台、并构成以根据所述位置检测单元的检测结果进行对位的方式保持玻璃衬底、而且使两个吸附台穿过送入送出位置和粘性带张贴位置移动，以便在张贴位置将不同种类的粘性带张贴到玻璃衬底的粘性带张贴单元；将玻璃衬底从所述暂置台移载到第1活动台的第1移载单元；对每一所述粘性带张贴部分压接不同的安装构件的压接单元；根据所述位置检测单元的检测结果，进行玻璃衬底校准且同时穿过送入送出位置和压接单元的压接位置移动的第2活动台；将第1活动台上已张贴粘性带的玻璃衬底移载到第2活动台的第2移载单元；将压接安装构件的玻璃衬底输送到下一工序的第3移载单元，其中构成重复进行上述各处理将所述第1移载单元输送的未处理玻璃衬底在转交位置移载到一吸附台进行对位，并使第1活动台移动到粘性带张贴位置，在玻璃衬底的规定位置张贴粘性带；
张贴结束后，使臂旋转，将该玻璃衬底移动到不同的粘性带的张贴位置，同时还将第1移载单元送来的未处理玻璃衬底移载到另一吸附嘴进行对位后，使两个吸附嘴移动到粘性带张贴位置；利用粘性带张贴单元在两块玻璃衬底上张贴粘性带；张贴完后，使臂旋转，用第2移载单元将张贴2种粘性带的玻璃衬底移载到第2活动台；又使臂旋转，将第1移载单元送来的未处理玻璃衬底移载到送出玻璃衬底的吸附台进行对准，同时还进行张贴1种粘性带的玻璃衬底的对准后，将两个吸附台移动到粘性带张贴位置，由粘性带张贴单元在两块玻璃衬底上张贴粘性带。
根据此组成，能一面使第1活动台上的臂围绕纵向旋转轴旋转，一面对玻璃衬底的粘性带张贴部分依次张贴规定的粘性带。而且，能用第2移载单元使张贴2种粘性带的玻璃衬底移载到第2活动台，同时还将未处理的玻璃衬底移载到移动后释放的吸附台，使已张贴1种粘性带的玻璃衬底和未处理的玻璃衬底各自同时移动到粘性带张贴位置。因此，与上述第1发明装置相比，能减少玻璃衬底的转交次数，所以可谋求提高作业效率。
此组成最好又能将吸附台沿臂的纵向移动，同时还能以可围绕对臂垂直的纵轴旋转的方式将其保持，又，吸附台构成能沿对臂水平正交的轴前后移动。根据此组成，能在水平平面上前后左右移动吸附台，所以能高精度进行对准粘性带张贴位置的微调。
又，为了达到上述目的，本发明采用如下的组成。
一种键合装置，在包含上述方法的发明的玻璃衬底上安装LSI和柔性印刷电路，其中，所述装置包含在所述玻璃衬底上张贴的第1和第2粘性带的一方安装LSI，并且在另一方安装柔性印刷电路的安装单元、以及压接安装在所述玻璃衬底的LSI和柔性印刷电路的压接单元。
根据此组成，能缩短安装材料和形状不同的LSI和FPC的生产节拍时间。
为了说明发明，附图示出当前认为较佳的若干方式，但要理解本发明不受图中所示组成和方法的限定。
图1是说明已有装置的粘性带张贴动作的图。
图2是一本发明实施方式的安装装置的立体图。
图3是示出衬底供给单元的动作的流程图。
图4是示出第1移载单元6的动作的流程图。
图5是示出第1活动台17A的动作的流程图。
图6是示出第2移载单元21的动作的流程图。
图7是示出粘性带张贴位置的动作的说明图。
图8是说明第1移载单元6的停止位置A、第1活动台17A的停止位置H和第2移载单元21的调整位置E的图。
图9是说明第1移载单元6的调整位置B和第1活动台17A的调整位置F的图。
图10是说明第1移载单元6的调整位置C和第1活动台17A的调整位置F的图。
图11是说明第1移载单元6的调整位置C和第1活动台17A的调整位置G的图。
图12是说明第2移载单元21的调整位置D和第1活动台17A的调整位置I的图。
图13～图22是说明变换例装置的粘性带张贴动作的图。
具体实施例方式
下面，参照
一本发明实施例。
接着，参照
本发明实施方式。
图2是内含一本发明实施方式的粘性带张贴单元3的键合装置(下文适当称为“安装装置”)的立体图。
图2的Y方向前侧具有移载玻璃衬底9(下文简称为“衬底”)的第1～第4移载单元6、21、33、34。
用第1移载单元6进行衬底9从衬底供给单元2到粘性带张贴单元3的移载、以及衬底9从第1活动台17A的第1吸附台17a到第2吸附台17b的移载和对位(下文适当称为“偏置移载”)。用第2移载单元21进行衬底9从粘性带张贴单元3到暂置台4的移载。
衬底供给单元2包含按一定间隔排列配置安装作为安装构件的片状部件7和FPC8前的多块衬底9的托盘10、将托盘10上的衬底9输送到暂置台11输送单元12、以及识别用于将衬底9准直载置在暂置台11的衬底9对准标记位置的摄像机13。输送单元12构成在水平2轴(X、Y)方向、上下(Z)方向和旋转(θ)方向移动自如。暂置台11具有吸附并保持衬底9的第1吸附部11a和第2吸附部11b。摄像机13相当于本发明的位置检测单元。
第1移载单元6具有配置在装置基座1的纵向导轨14A、沿该导轨14A运行的第1移载手15A和15B、以及升降自如地安装在该第1移载手15A和15B而且吸附并保持衬底9的保持板16a、16b，在从衬底供给单元2的暂置台11接收衬底9的位置与粘性带张贴单元3的第1活动台17A的衬底9转交位置之间移动自如。
第2移载单元21具有配置在装置基座1的纵向的导轨14b、以及沿该导轨14b运行的第2移载手15C和15D，在粘性带张贴单元3的第1活动台17A的衬底9转交位置与定位压接单元4的第2活动台17B的衬底9转交位置之间移动自如。第1活动台17A包含第1吸附台17a和第2吸附台17b。第2活动台17B包含吸附台17c。
第1移载手15A、15B转交衬底9的带来的在导轨14a上的停止位置包含如图7所示那样第1移载手15A、15B的保持板16a、16b从衬底供给单元2的暂置台11接收衬底9的位置A、图9和图10所示的第1移载手15A、15B的保持板16a、16b将衬底9转交给第1活动台17A的第1吸附台17a、第2吸附台17b的位置C、以及图8所示的第1移载手15B的保持板16b从第1活动台17A的第1吸附台17a接收衬底9的位置B。
第2移载手15C、15D在导轨14B上停止的位置包含图11所示的第2移载手15C从第1活动台17A的第2吸附台17b接收衬底9的位置D、以及图8所示的将衬底9转交给第2移载手15C将定位压接单元4的第2活动台17B的吸附台17c的位置E。
此装置组成在张贴1种粘性带时，添加下列2个位置。一个是第2移载手15C、15D从第1活动台17A的第1吸附台17a和第2吸附台17b同时接收衬底9的位置，另一个是第2移载手15D将衬底9转交给定位压接单元4的第2活动台17B的吸附台17c的位置。
第1活动台17A构成在水平2轴(X、Y)方向和旋转(θ)方向移动自如。而且，第1活动台17A的第1吸附台17a和第2吸附台17b构成分别在上下(Z)方向移动自如。
第2活动台17B的吸附台17c构成在水平2轴(X、Y)方向、旋转(θ)方向和上下(Z)方向移动自如。将第活动台17A的第1吸附台17a与第2吸附台17b的X方向的间隔设定成与第1移载手15A和15B的保持板16a与16b的间隔或粘性带张贴单元3的第1头19a与第2头b的间隔相同。
第1活动台17a的停止位置包含图8和图9所示的从第1移载手15A、15B的保持板16a、16b接收衬底9的位置F、图10所示的偏置第1粘性带18a的张贴位置与第2粘性带18b的张贴位置的差额的位置G、图8所示的粘性带张贴单元3张贴第1粘性带18a和第2粘性带18b的位置H、以及图17所示的将衬底9转交给第1移载手15C的位置I。图9的位置F和图10的位置G为图7的(b)所示的移动X1、Y1的位置。此移动能在将衬底9从第1移载手15B的保持板16b转交给第1活动台A时，由粘性带张贴单元3对通过控制而连接的第1活动台17A的第2吸附台17a和第2吸附台17b分别吸附并保持的衬底9同时将第1粘性带18a和第2粘性带18b张贴在规定的位置。
粘性带张贴单元3包含在衬底9上张贴片状部件7用的第1粘性带18a的第1头19a和张贴FPC8用的第2粘性带18b的第2头19b、以及供给第1粘性带18a的第1粘性带供给机构20a和供给第2粘性带18b的第2粘性带供给机构20b。图7的(b)示出张贴第1粘性带18a的张贴部位22a和张贴第2粘性带18b的张贴部位22b。
第1粘性带18a和第2粘性带18b在基带的一个面带状张贴接合电子部件用的粘接剂。
在第1头19a和第2头19b的下方固定设置张贴并加压粘接剂带时支撑衬底9用的垫板23。
吸附并保持衬底9，使得片状部件7用的第1粘性带18a的张贴部位22a从第1活动台17A的第1吸附台17a延伸到前方(Y方向)。同样，吸附并保持衬底9，使得FPC8用的第2粘性带18b的张贴部位22b从第1活动台17A的第2吸附台17b延伸到前方(Y方向)。
定位压接单元4具有以水平姿态吸附并保持粘性带张贴单元3送来的衬底9的第2活动台17B的吸附台17c、将片状部件7和FPC8定位压接在衬底9上的定位压接头25、以及在定位压接时进行衬底9与片状部件7和FPC8的对位的上下2个方向具有识别视场的2视场摄像机31。
第2吸附台17B构成分别在水平2轴(X、Y)方向、上下(Z)方向和旋转(θ)方向移动自如。定位压接头25升降自如，并且在其下端设置吸附并保持片状部件8的吸附孔，通过未图示的吸气管与真空源连通。
用片状滑块27进行对定位压接头25供给片状部件7和FPC8。输送单元32从按一定间隔排列配置多个片状部件7的芯片托盘28逐个依次取出片状部件7。将取出的片状部件7移载到片状滑块27。输送单元32还从按一定间隔排列配置多个FPC8的FPC托盘29逐个依次取出FPC8，将取出的GPC8移载到片状滑块27。片状滑块27将这些片状部件7和FPC8沿从定位压接单元4延伸的导轨30输送到定位压接头25。
第3移载单元33将由定位压接单元4定位压接片状部件7和FPC8的衬底9移载到最终压接单元5的第3活动台17D。移载到第3活动台17D的衬底9往水平2轴(X、Y)方向和上下(Z)方向移动，并且第3头19c和第4头19d降落，对其进行加热和加压。进行规定时间的加热和加压时，第3头19c和第4头19d上升，并且第3活动台17D移动到对第4移载单元34转交衬底9的位置。第3活动台17D到达转交衬底9的位置时，由第4移载单元34将衬底9移载到送出台35。
接着，用图3至图6的动作流程图说明衬底供给单元2、第1移载单元6、第2移载单元21和第1活动台17A的动作。图3是衬底供给单元2的动作流程图。
首先，由输送单元12从托盘10取出按一定间隔排列配置在托盘10的衬底9(步骤S01)。输送单元12将衬底9吸附保持并输送到暂置台11的第1吸附部11a。输送时通过摄像机13的上部，进行摄像机13的衬底对准标记识别(步骤S02)。衬底9到达暂置台11的第1吸附部11a上时，输送单元12进行X、Y、θ方向的对准后，将衬底9移载到暂置台11的第1吸附部11a(步骤S03)。
接着，将衬底9的在位信号TX1送到第1移载单元6(步骤S04)，并等待第1移载单元6的到达信号TX2(步骤S05)。第1移载单元6到达时，第1移载手15A的保持板16a降落，吸附并保持暂置台11的第1吸附部11a上的衬底9，从而完成转交(步骤S06)。完成衬底9的转交时，返回步骤S01。
图4是第1移载单元6的动作流程图。
首先，导轨14A上的第1移载单元6移动到衬底9的接收位置，即移动到衬底供给单元2的暂置台11上的位置A(步骤S11)。到达位置A时，对衬底供给单元2发送到达信号TX2(步骤S12)。确认衬底9的在位信号TX1(步骤S13)后，第1移载手15A的保持板16a降落，吸附并保持衬底9(步骤S14)。
接着，使第1移载手15A的保持板16a上升后，第1移载单元6移动到第1活动台17A的第1吸附台17a与第1移载手15A的转交位置，即位置C(步骤S15)。到达位置C时，对第1活动台17A发送衬底转交准备完成信号TX3(步骤S16)。第1活动台17A到达衬底9的接收位置(即位置F)时(步骤S17)，第1活动台17A的第1吸附台17a上升，将第1移载手15A吸附并保持的衬底9移载到第1活动台17A的第1吸附台17a(步骤S18)。
接着，第1活动台17A的第1吸附台17a降落后，第1移载单元6移动到作为衬底9的接收位置的衬底供给单元2的暂置台11上的位置A(步骤S19)。到达位置A时，对衬底供给单元2发送到达信号TX2(步骤S20)。确认衬底9的在位信号TX1(步骤S21)后，第1移载手15A的保持板16a降落，吸附并保持衬底9a(衬底9a表示接着输送来的衬底9)(步骤S22)。
接着，使第1移载手15A的保持板16a的上升后，第1移载单元6移动到第1活动台17A的第1吸附台17a与第1移载手15B的转交位置，即位置B(步骤S23)。到达位置B时对第1活动台17A发送衬底转交准备完成信号TX5(步骤S24)。第1活动台17A到达衬底9的接收位置，即位置F时(步骤S25)，第1活动台17A的第1吸附台17a上升，将第1吸附台17a上吸附并保持的张贴第1粘性带18a的衬底9吸附并保持在保持板16b，从而得到接收(步骤S26)。
接着，第1活动台17A的第1吸附台17a降落后，第1移载单元6移动到第1活动台17A的第1吸附台17a与第1移载手15A的转交位置(即位置C)(步骤S27)。
接着，第1活动台17A的第1吸附台17a上升，将下一衬底9a从第1移载手15A移载到第1活动台17A的第1吸附台17a(步骤S28)。接着，第1活动台17A的第1吸附台17a降落后，对第1活动台17A发送移台信号TX6(步骤S29)。
接着，第1活动台17A移动到位置G，即移动到偏置作为第1粘性带18a的张贴基准位置与第2粘性带18b的张贴基准位置在X、Y方向之差的X1、Y1份额的位置(步骤S30)。完成移动到位置G后，第1活动台17A的第2吸附台17b上升，将张贴第1粘性带18a的衬底9从第1移载手15B移载到第1活动台17A的第2吸附台17b(步骤S31)。
接着，第1活动台17A的第2吸附台17b降落后，第1移载单元6移动到位置A，继续进行从步骤S19开始的动作。
图5是说明第1活动台17A的动作的流程图。
首先，第1活动台17A移动到位置F，即从第1移载手15A接收衬底9的位置(步骤S31)。到达位置F时，对第1移载手15A发送第1活动台17A的到达信号TX8(步骤S32)。确认第1移载手15A的到达信号TX3时(步骤S33)，第1活动台17A的第1吸附台17a上升，将衬底9从第1一致时15A转交给第1活动台17A的第1吸附台17a(步骤S34)。
接着，第1吸附台17a降落后，第1活动台17A移动到位置H，即粘性带张贴单元3的第1粘性带张贴位置(步骤S35)。第1活动台17A到达位置H时，第1吸附台17a上保持的衬底9已在衬底供给单元2进行X、Y、θ方向的对准，所以不进行衬底9的对准动作，并且第1吸附台17a降落，使衬底2保持在垫板23后，使第1头19a降落，将第1粘性带18a张贴在衬底9的规定的张贴部位22a(步骤S36)。张贴时间依据第1粘性带18a的特性进行规定的时间。
衬底9上完成第1粘性带18a的张贴时，第1活动台17A移动到位置F，即把张贴第1粘性带18a的衬底9从第1吸附台17a转交给第1移载手15B的位置(步骤S37)。第1活动台17A到达位置F时，对第1移载手15A发送第1活动台17A的到达信号TX8(步骤S38)。确认第1移载单元6的到达信号TX5时(步骤S39)，第1吸附台17a上升，从第1吸附台17a将衬底9转交给第1移载手15B(步骤S40)。
接着，第1吸附台17a降落后，第1移载单元6移动到位置C，即从第1移载手15A将下一衬底9a转交给第1活动台17A的第1吸附台17a的位置(步骤S41)。完成移动到位置C时，第1活动台17A的第1吸附台17a上升，将衬底9从第1移载手15A移载到第1吸附台17a(步骤S42)。
接着，第1吸附台17a降落后，确认来自第1移载单元6的台偏置信号TX6时(步骤S43)，第1活动台17A移动到位置G，即偏置作为第1粘性带18a的张贴基准位置与第2粘性带18b的张贴基准位置在X、Y方向之差的X1、Y1份额的位置，并且对第1移载手15A发送偏置完成信号TX7(步骤S44)。完成移动到位置G时，第1活动台17A的第2吸附台17b上升，从第1移载手15B接收张贴第1粘性带18a的衬底9(步骤S45)。完成转交时，第2吸附台17a降落后，第1活动台17A移动到位置H，即粘性带张贴单元3的第1粘性带张贴位置(步骤S46)。
接着，第1活动台17A到达位置H时，第1吸附台17a和第2吸附台17b降落，使衬底9a和衬底9保持在垫板23后，同时进行第1头19a降落并对衬底9a进行将第1粘性带18a张贴在规定的张贴部位22a的作业和第2头19b降落并对衬底9将第2粘性带18b张贴在规定的张贴部位22b的作业(步骤S47)。第1吸附台17a上保持的下一衬底9a已在衬底供给单元2进行X、Y、θ方向的对准，所以不必在第1吸附台17a上对准衬底9a。而且，第2吸附台17b上保持的张贴第1粘性带的衬底9已偏置作为第1粘性带18a的张贴基准位置与第2粘性带18b的张贴基准位置在X、Y方向之差的X1、Y1份额，所以不必进行衬底9的对准动作。张贴时间依据第1粘性带18a和第2粘性带18b各自的特性，进行规定的时间。
既完成将第1粘性带18a张贴在衬底9a、又完成将第2粘性带18b张贴在衬底9时，第1活动台17A移动到位置I，即从第1活动台17A的第2吸附台17b将衬底9转交给第2移载单元21的第2移载手15C的位置(步骤S48)。第1活动台17A到达位置I时，对2移载单元21发送第1活动台17A的到达信号TX9(步骤S49)。然后，确认第2移载单元21的到达信号TX10时(步骤S50)，第1活动台17A的第2吸附台17b上升，将张贴第1粘性带18a和第2粘性带18b的衬底9转交给第2移载单元21的第2移载手15C(步骤S51)。
接着，第1活动台17A的第2吸附台17b降落后，第1活动台17A移动到位置F，即从第1吸附台17a将张贴第1粘性带18a的衬底9a转交给第1移载手15B的位置(步骤S52)后，继续进行从步骤S38的动作。
图6是说明第2移载单元21的动作的流程图。
首先，第2移载单元21移动到位置D，即第1活动台17A的第2吸附台17b与第2移载单元21的第2移载手15C交接张贴第1粘性带18a和第2粘性带18b的衬底9的位置(步骤S61)。到达位置D时，对第1活动台17A发送第2移载单元21的到达信号TX10(步骤S62)。确认第1活动台17A的到达信号TX9时(步骤S64)，第1活动台17A的第2吸附台17b上升，从第2吸附台17b将张贴第1粘性带18a和第2粘性带18b的衬底9移载到第2移载手15c(步骤S65)。
接着，第1活动台17A的第2吸附台17b降落后，第2移载单元21移动到位置E，即第2移载手15C与定位压接单元4的第2活动台17B的吸附台17c交接衬底9的位置(步骤S66)。到达位置E时，定位压接单元4的第2活动台17B的吸附台17c上升，从第2移载单元21的第2移载手15C接收衬底9(步骤S67)。接着，吸附台17c降落后，第2移载手15C移动到位置D(步骤S61)，准备交接下一衬底9a。定位压接单元4启动对张贴第1粘性带18a和第2粘性带18b的衬底9的片状部件7的对准动作和定位接合以及FPC8的对准动作和定位接合。
这样，第1活动台17A的第2吸附台17b保持的张贴第1粘性带的衬底9已偏置作为第1粘性带18a的张贴基准位置与第2粘性带18b的张贴基准位置在X、Y方向之差的X1、Y1份额，从而可进行2种粘性带的同时并行张贴动作，能以最小空间和最少设备费用大幅度缩短生产节拍时间。
由于不必每次将第1粘性带18a和第2粘性带18b张贴到衬底9都进行粘性带张贴单元3内的衬底9的对准，能缩短生产节拍时间。而且，原样用普通进行的将1种粘性带2块同时张贴到衬底9的装置的组成仅改变软件就能利用选择数据方便地切换已有的张贴方法和本发明的张贴方法。
本发明能变换成下列方式进行实施。
(1)上述实施例中，构成两端设置第1和第2吸附台17a、17b的臂37穿过接收位置/转交位置(送入送出位置)和粘性带张贴位置地移动(图中的XY轴方向)，但也可构成如下。
可构成使两端的两个吸附台17a和17b能围绕设置在第1活动台17A的纵向旋转轴P旋转地连接，同时还能沿臂37的纵向(X方向)和水平正交方向(Y方向)移动，而且能在臂上(图中的XY平面上)往θ方向旋转。
沿图13至图22的动作说明图说明利用这种组成的装置张贴2种粘性带的动作。
首先，如图13所示，使第1移载单元6具有的第1移载手15A或15B的吸附板16a、16b吸附并保持的玻璃衬底9移动到转交给第1活动台17A的位置。
转交玻璃衬底9时，未图示的控制单元根据摄像机13识别的对准标记的位置信息，进行玻璃衬底9的对准。
一对准结束，即如图14所示，使第1活动台17A水平移动，并使玻璃衬底移动到粘性带张贴单元上的粘性带张贴位置。
在该张贴位置将粘性带张贴在玻璃衬底上的片状部件用的粘性带张贴部位22a。张贴结束时，如图15所示，臂37往图中旋转轴的右方旋转。这时，处在臂37的另一端的吸附台17b移动到作为下一处理对象的未处理的玻璃衬底9的接收位置(送入位置)。
吸附台17b如图16所示，在接收位置上往XY方向和θ方向移动，进行接收玻璃衬底9用的对准。完成对准时，将玻璃衬底9转交给吸附台17b后，如图17所示，臂37进行旋转，使臂37对垫板23平行。
臂37形成平行时，如图18所示，使吸附台17a、17b旋转，以便形成玻璃衬底9张贴粘性带的顶边与垫板23对置的位置。这时，使吸附台17a对臂37的水平正交轴前后移动，进行对准，以便FPC用粘性带张贴部位22b处在粘性带张贴位置。
完成两个吸附台17a、17b对准时，如图19所示，将第1活动台17A进一步水平移动，并将两块玻璃衬底9移动到粘性带张贴位置。在该位置对各玻璃衬底9同时张贴不同种类的粘性带。
完成粘性带的张贴时，如图20所示，臂37进行旋转。这时，如图21所示，第1吸附台17a移动到对第2移载单元21具有的第2移载手15C的转交位置(送出位置)。这里，进行玻璃衬底9的对准后，转交给第2移载手15C然后，如图22所示，使臂37旋转，并使第1吸附台17a移动到接收下一未处理的玻璃衬底9的位置，同时还使第2吸附台17b移动到张贴下一FPC用粘性带的单元方。
第1吸附台17a接收未处理的玻璃衬底9时，重复进行图13～图22的处理。
根据此组成，能一面使第1活动台上的臂37围绕旋转轴P旋转，一面在玻璃衬底9的粘性带张贴部分依次张贴规定的粘性带。而且，能使张贴2种粘性带的玻璃衬底9在第2移载单元21移载到第2活动台17B，同时还将未处理的玻璃衬底9移载到移动后的第2吸附台17b，使已张贴一种粘性带的玻璃衬底9和未处理的玻璃衬底9分别同时移动到粘性带张贴位置。因此，与上述实施例的装置相比，能减少玻璃衬底9的转交次数减少，所以能谋求提高作业效率。
(2)上述实施例的装置的粘性带张贴单元3的后续组成单元为以未硬化的状态将粘性带粘接在片状部件7或FPC8等的定位压接单元4，但取为使粘接剂的聚合完成后将片状部件7等完全粘固的最终压接单元也能适用。
本发明能以其它具体方式实施而不脱离其思想或本质，因此表示发明范围时应参照所附权利要求书，而非上述说明。
权利要求
1.一种异种粘性带的张贴方法，利用包含从第1移载单元接收玻璃衬底的位置、对接收的玻璃衬底张贴粘性带的位置、具有在将张贴粘性带的玻璃衬底转交给第2移载单元的位置上移动自如的1组的第1和第2吸附台的第1活动台、以及具有将供给的第1粘性带和第2粘性带以热压接方式贴在玻璃衬底的第1头和第2头的粘性带张贴单元的异种粘性带张贴装置，将所述不同的第1和第2粘性带张贴在玻璃衬底，其特征在于，所述方法包含下列过程由所述第1移载单元将玻璃衬底移载到所述第1活动台的第1吸附台的步骤；将玻璃衬底移载到所述第1吸附台后，将所述第1活动台移动到第1粘性带的张贴位置的步骤；在处于所述张贴位置的玻璃衬底上用第1头张贴第1粘性带的步骤；将张贴所述第1粘性带的玻璃衬底从第1吸附台对准位置地移载到第1吸附台，且同时将处于接收玻璃衬底的位置的下一玻璃衬底从所述第1移载单元移载到第1吸附台的步骤；移动所述第1活动台，以便使两块玻璃衬底位于所述第1和第2粘性带的张贴位置的步骤；对所述各玻璃衬底同时进行用第1头的第1粘性带的张贴和用第2头的第2粘性带的张贴的步骤；将两块张贴粘性带的玻璃衬底从所述第2吸附台移载到第2移载单元的步骤。
2.如权利要求1中所述的异种粘性带的张贴方法，其特征在于，所述方法还包含下列过程在将玻璃衬底移载到所述吸附台的步骤前，从玻璃衬底输送用的托盘取出玻璃衬底并往暂置台输送的期间识别玻璃衬底上带有的对准标记的位置的步骤；根据所述对准标记的位置的识别结果，校正玻璃衬底的位置并将玻璃衬底转交给所述暂置台的步骤；由所述第1移载单元，将移载到所述暂置台的玻璃衬底输送到转交给所述粘性带张贴单元的位置的步骤。
3.一种键合方法，其特征在于，是利用权利要求1所述的异种粘性带的张贴方法在玻璃衬底上安装LSI和柔性印刷电路的键合方法，所述方法包含下列过程在张贴在玻璃衬底的第1和第2粘性带的一方安装LSI，并且在另一方安装柔性印刷电路的步骤；压接安装在所述玻璃衬底上的LSI和柔性印刷电路的步骤。
4.一种粘性带张贴装置，包含从第1移载单元接收玻璃衬底的位置、对接收的玻璃衬底张贴粘性带的位置、具有在将张贴粘性带的玻璃衬底转交给第2移载单元的位置上移动自如的1组的第1和第2吸附台的第1活动台、以及具有将供给的第1粘性带和第2粘性带以热压接方式贴在玻璃衬底的第1头和第2头的粘性带张贴单元，将不同的第1和第2粘性带张贴到玻璃衬底，其特征在于，所述装置组成如下由所述第1移载单元将玻璃衬底移载到所述第1活动台的第1吸附台后，将所述第1活动台移动到第1粘性带的张贴位置；用第1头在处于所述张贴位置的玻璃衬底上张贴第1粘性带；将张贴所述第1粘性带的玻璃衬底对准位置地从第1吸附台移载到第2吸附台，同时还将处于接收玻璃衬底的位置的下一玻璃衬底从所述第1移载单元移载到第1吸附台；使所述第1活动台移动，以便两块玻璃衬底位于所述第1和第2粘性带的张贴位置；对所述各玻璃衬底同时进行用第1头的第1粘性带的张贴和用第2头的第2粘性带的张贴；将两块张贴粘性带的玻璃衬底从所述第2吸附台移动到第2移载单元。
5.如权利要求4中所述的异种粘性带张贴装置，其特征在于，所述装置还包含下列组成单元从玻璃衬底输送用的托盘取出玻璃衬底并输送到暂置台的输送单元；检测出设置在所述玻璃衬底的对准标记的位置检测单元，其中在构成将玻璃衬底移载到所述第1吸附台之前，一面用所述输送单元从托盘将玻璃衬底输送到暂置台，一面用所述位置检测单元检测出该玻璃衬底带有的对准标记的位置，根据其结果校正玻璃衬底的位置，并将玻璃衬底转交给所述暂置台后，由所述第1移载单元将移载到所述暂置台的玻璃衬底输送到转交给所述粘性带张贴单元的位置。
6.一种键合装置，其特征在于，是包含权利要求4中所述的异种粘性带张贴装置，并且在玻璃衬底上安装LSI和柔性印刷电路的键合装置，所述装置包含下列组成单元在玻璃衬底上张贴的第1和第2粘性带的一方安装LSI，并且在另一方安装柔性印刷电路的安装单元；压接安装在所述玻璃衬底的LSI和柔性印刷电路的压接单元。
7.一种异种粘性带张贴装置，将不同种类的粘性带张贴到玻璃衬底，其特征在于，包含下列组成单元衬底供给单元，该衬底供给单元具有将玻璃衬底从托盘输送到暂置台的输送单元、以及检测出设置在玻璃衬底的对准标记的位置检测单元；具有第1活动台的、在张贴位置将不同种类的粘性带张贴到玻璃衬底的粘性带张贴单元，所述第1活动台包含在活动台和可旋转地连接该活动台的纵向旋转轴的臂的两端具有吸附台、并构成以根据所述位置检测单元的检测结果进行对准的方式保持玻璃衬底、而且使两个吸附台穿过送入送出位置和粘性带张贴位置地移动；将玻璃衬底从所述暂置台移载到第1活动台的第1移载单元；对每一所述粘性带张贴部分压接不同的安装构件的压接单元；根据所述位置检测单元的检测结果，进行玻璃衬底对准且同时穿过送入送出位置和压接单元的压接位置移动的第2活动台；将第1活动台上已张贴粘性带的玻璃衬底移载到第2活动台的第2移载单元；将压接安装构件的玻璃衬底输送到下一工序的第3移载单元，其中构成重复进行下述各处理将所述第1移载单元输送的未处理玻璃衬底在转交位置移载到一吸附台进行对位，并使第1活动台移动到粘性带张贴位置，在玻璃衬底的规定位置张贴粘性带；张贴结束后，使臂旋转，将该玻璃衬底移动到不同的粘性带的张贴位置，同时还将第1移载单元送来的未处理玻璃衬底移载到另一吸附台进行对位后，使两个吸附台移动到粘性带张贴位置；利用粘性带张贴单元在两块玻璃衬底上张贴粘性带；张贴完后，使臂旋转，用第2移载单元将张贴2种粘性带的玻璃衬底移载到第2活动台；又使臂旋转，将第1移载单元送来的未处理玻璃衬底移载到送出玻璃衬底的吸附台，并进行对准，同时还进行张贴1种粘性带的玻璃衬底的对准后，将两个吸附台移动到粘性带张贴位置；由粘性带张贴单元在两块玻璃衬底上张贴粘性带。
8.如权利要求7中所述的异种粘性带张贴装置，其特征在于，所述吸附台构成可沿臂的纵向移动，同时还能以围绕对臂垂直的轴旋转的方式将其保持。
9.如权利要求8中所述的异种粘性带张贴装置，其特征在于，所述吸附台构成可沿对臂水平正交的轴前后移动。
10.一种键合装置，其特征在于，是包含权利要求7中所述的异种粘性带张贴装置，并且在玻璃衬底上安装LSI和柔性印刷电路的键合装置，所述装置包含下列组成单元在所述玻璃衬底上张贴的第1和第2粘性带的一方安装LSI，并且在另一方安装柔性印刷电路的安装单元；压接安装在所述玻璃衬底的LSI和柔性印刷电路的压接单元。
全文摘要
使用包含具有2个移载手的第1移载单元和两个吸附台的第1活动台、将片状部件用的粘性带张贴到玻璃衬底后，将第1活动台的位置仅移动FPC用的粘性带的张贴位置，并将玻璃衬底移载到第1活动台，进行2种粘性带对玻璃衬底同时并行张贴的动作。
文档编号H01L21/00GK101060772SQ20071010132
公开日2007年10月24日 申请日期2007年4月17日 优先权日2006年4月17日
发明者田村泰司, 奈良场聪, 木下义浩, 大林拓治 申请人:东丽工程株式会社