专利名称：矩形闸阀的制作方法
技术领域：
本发明大体上涉及矩形真空闸阀，更具体地说，涉及一种具有改进 的驱动动作的矩形真空闸阀，其中，第一引导槽精确地引导阀的向上和 向下的运动，而上端弯曲的倒7'形的第二引导槽精确地引导阀的向前和向后的运动，这样，可靠地实现了主轴的L形两级驱动动作。
背景技术：
在由本发明的申请人提交的韩国专利申请No. 10-2003-0071906 (发 明名称间缝阔(slitvalve))中提出了一种间缝阀，该间缝阀构造成 使得围绕晶片移动通道布置的密封件的结构得以改进，从而防止可打开 地关闭晶片移动通道的密封件损坏，并且可以利用设置在阀驱动单元中 的指示器观察阀操作时的状态。图1是表示传统缝隙阀的剖视图。参照图1， No. 10-2003-0071906 的缝隙阀包括密封件100，该密封件100打开或关闭晶片移动通道；壳 体支架200，该壳体支架200与密封件100分开地设置；主轴400，该主 轴400在密封件100和壳体支架200之间延伸预定长度；以及阀驱动单 元300，该阀驱动单元300设置在壳体支架200中。该阀驱动单元300包 括气缸310，该气缸310通过气压操作；活塞320，该活塞320设置在 相应的气缸310中；活塞杆330，该活塞杆330接合至相应的活塞320; 活动单元340，该活动单元340接合至活塞杆330;以及连杆350，该连 杆350连接在活动单元340和主轴400之间。在具有上述结构的传统缝隙阀中，设置在壳体支架200中的气缸310 的活塞320根据供应至气缸310中的压縮空气的压力变化而向上或向下 运动。此时，活动单元340与活塞320 —起运动。同时，通过连杆350 接合至活动单元340的主轴400也向上或向下运动。由此，密封件100打开或关闭晶片移动通道。另外，如图2所示，缝隙阀的阀驱动单元300进行使主轴400向上 或向下运动的第一驱动步骤和使主轴400向前或向后运动的第二驱动步 骤，以利用密封件100打开或关闭晶片移动通道，也就是说，进行L形 驱动动作。为了实现L形驱动动作，在阀驱动单元300中形成具有L形 的引导槽。然而，因为在引导槽具有直角的L形，即具有线性移动轨迹的情况 下，连杆350在结构上形成弯曲运动路径，因此存在难以精确且平滑地 引导阀驱动单元300的L形驱动运动的问题。另外，如图2所示，在由具有直角的L形的引导槽351引导连杆350 的情况下，由于反复摩擦而在连杆和引导槽的角部引起应力集中。此外， 当插入在引导槽中的连杆围绕引导槽的角部转动时，会出现不期望的微 小间隙，如图2所示。因此，存在不能精确地控制用于打开或关闭晶片 移动通道的密封件的运动的问题。发明内容因而，鉴于现有技术中出现的上述问题而作出了本发明，并且本发 明的目的在于提供一种具有改进的驱动动作的矩形真空闸阀，其中，第 一引导槽精确地引导所述阀的向上和向下的运动，并且上端弯曲的倒'J' 形的第二引导槽精确地引导所述阀的向前和向后的运动，这样，可靠地 实现了主轴的L形两级驱动动作。为了实现上述目的，本发明提供了一种矩形真空闸阀，该闸阀包括 用于打开和关闭晶片移动通道的密封件；主轴，该主轴在其上端处接合 至所述密封件，且从该主轴的侧壁伸出有引导件；壳体支架，该壳体支 架中具有第一引导槽，该第一引导槽垂直地形成在所述壳体支架中，并且所述主轴的所述引导件插入该第一引导槽中；设置在所述壳体支架中 的阀驱动单元，该阀驱动单元具有通过空气压力操作的气缸、设置在所 述气缸中的活塞以及接合至所述活塞的活塞杆；接合至所述活塞杆的活 动单元，以及连接在所述活动单元和所述主轴之间的连杆；引导支架，该引导支架具有垂直支架和水平支架，该垂直支架从所述壳体支架的下 表面向下延伸，且在该垂直支架的纵向表面中形成有第二引导槽，该水 平支架接合至所述垂直支架的下端；以及引导连杆，该引导连杆的第一端接合至所述主轴的外周面，并且第二端插入到所述第二引导槽内，该 弓I导连杆沿着所述第二弓I导槽运动以弓I导所述主轴的运动。 优选的是，所述第二引导槽可具有上端弯曲的倒'J'形。 另外，所述矩形闸阀还可包括传感器，该传感器设置在所述活动单 元的外周面上以检测所述活动单元的位置。
结合附图从以下的详细描述中将更清楚地理解本发明的上述及其它 目的、特征和优点。图1是表示传统缝隙阀的结构的剖视图； 图2是表示传统缝隙阀的连杆运动的视图；图3是表示根据本发明优选实施方式的矩形真空闸阀在该阀的晶片 移动通道打开时的操作的视图；图4是表示根据本发明优选实施方式的矩形真空闸阀在晶片移动通 道关闭时的操作的视图；以及图5至图7是表示根据本发明优选实施方式的矩形真空闸阀的操作 的侧剖视图。
具体实施方式
下面将参照附图详细描述本发明的优选实施方式。现在参照附图， 其中在不同的附图中使用相同的附图标记表示相同或相似的部件。图3和图4是表示根据本发明优选实施方式的矩形真空闸阀的操作 视图。图5至图7是表示根据本发明优选实施方式的矩形真空闸阀的操 作的侧剖视图。本发明的矩形真空闸阀包括密封件100、壳体支架200、 阀驱动单元300、主轴400、引导支架500以及引导连杆600。该矩形真 空闸阀具有第一引导槽210、气缸310、活塞320、活塞杆330、活动单元340，连杆350、压縮空气入口 360、传感器370、引导件410、垂直支 架510、水平支架520以及第二引导槽530。密封件100接合至主轴400 (稍后予以介绍)的上端，从而密封件 100根据主轴400沿着L形运动轨迹的运动而打开或关闭晶片移动通道 (未示出)，主轴400在向上和向下方向以及向前和向后方向上沿着该L 形运动轨迹运动。壳体支架200与密封件100分开地设置，并在其中具有阀驱动单元 300 (稍后将对其进行详细描述)。此外，引导支架500 (稍后将对其进行 详细描述)设置在壳体支架200的下表面之下。同时，第一引导槽210垂直地形成在壳体支架200中。主轴400的 引导件410插入在相应的第一引导槽210中。第一引导槽210因而用于 引导主轴400的垂直运动。阀驱动单元300包括气缸310、活塞320、活塞杆330、活动单元340、 连杆350、压縮空气入口 360以及传感器370。各活塞320和各活塞杆330 一起设置在相应的气缸310中，活塞320通过被吸入相应压縮空气入口 360内的空气的压力而操作，活塞杆330接合至相应的活塞320并沿着平 行于壳体支架200的纵向的方向垂直地往复运动。另外，活动单元340接合至活塞杆330,因而沿着与活塞杆330相 同的方向，即垂直方向往复运动。传感器370设置在活动单元340的外 周面上。传感器370构造成其可以检测活动单元340的垂直运动。例如， 优选的是构造成可以利用磁体(未示出)，也就是说利用由磁体限定的磁 场来检测活动单元340的位置。连杆350的第一端接合至活动单元340，而第二端接合至主轴400 (稍后将在这里迸行描述)。这样，连杆350根据气缸310中的压力变化 而引导主轴400的垂直往复运动。密封件100接合至主轴400的上端。动力通过连杆350从阀驱动单 元300的活动单元340传输到主轴400的下端。主轴400通过传输给它 的动力而垂直运动。从而接合至主轴400的上端的密封件100与主轴400 一起沿着垂直方向运动。同时，引导连杆600设置在主轴400的下端的外周面上，以引导密 封件100和主轴400的向上、向下、向前和向后的运动。另外，引导件410从主轴400的侧壁的各相对部分伸出。引导件410 沿着形成在壳体支架200中的第一引导槽210运动。引导支架500包括垂直支架510和水平支架520，并且在其中具有 第二引导槽530。垂直支架510从壳体支架200的下表面的相应的左右部分向下延伸。 第二引导槽530纵向形成在垂直支架510的彼此面对的相应纵向表面中。 此外，将垂直支架510彼此连接的水平支架520接合至垂直支架510的 下端。水平支架520用于防止垂直支架510由于主轴400和阀驱动单元 300的往复运动所产生的振动而向内或向外弯曲，因而保持垂直支架510 的位置不变。同时，各第二引导槽530具有上端弯曲的倒7，形。引导连杆600 插入到垂直支架510的相应的第二引导槽530中，并沿着第二引导槽530 的弯曲形状运动，因此引导主轴400和密封件100的向上、向下、向前 和向后运动。连杆用于将直线运动转变成转动运动。因为在传统缝隙阀的连杆的 情况下，连杆在其运动时在结构上形成弯曲的运动路径，所以难以精确 地引导垂直运动和水平运动，也就是说，难以引导L形的两级运动，如 图2所示。然而，在本发明中，因为引导连杆600的转动运动通过均具 有倒'J'形的第二引导槽530而转换成向前和向后的直线运动，而不会 形成不希望的间隙，所以主轴400和设置在该主轴400上的密封件100 可以精确地向前或向后运动，从而可靠地打开或关闭晶片移动通道。另外，在传统的缝隙阀中，为了引导L形的两级运动，必须在活动 单元340和主轴400之间插设弹簧(未示出)。然而，在这种情况下，因 为弹簧的弹力变化，所以不能精确地控制L形的两级运动。与传统技术 不同，本发明的特征在于，因为连杆的转动运动通过第二引导槽转换成 直线运动，所以不管是否有弹簧，都可以平滑精确地控制其L形的两级 运动。引导连杆600的第一端接合至主轴400的外周面。引导连杆600的 第二端插入到上端弯曲成具有倒'J'形的相应的第二引导槽530中，使 得引导连杆600通过主轴400的垂直运动而沿着第二引导槽530运动。下面在这里参照图5至图7描述具有上述结构的矩形真空闸阀的操 作。必要时将参照图3和图4对矩形真空闸阀的操作进行如下描述。因 为上面已经参照图3和图4描述了部件的详细结构，因此这里省略对其 的描述。首先，将说明密封件关闭晶片移动通道的过程。图5是表示根据本发明优选实施方式的矩形真空闸阀的操作的剖视 图，表示晶片移动通道的打开状态，即闸阀在其操作之前的状态。在图5的状态下，为了关闭晶片移动通道，当压縮空气供应到压縮 空气入口 360中时，矩形真空闸阀进入图6的状态。更详细地说，设置 在相应气缸310中的活塞320通过供应到压縮空气入口 360内的空气的 压力而向上运动。当活塞320向上运动时，接合至各活塞320的活塞杆 330以及接合至活塞杆330的活动单元340同时向上运动。另外，在其第 一端处接合至活动单元340并且在其第二端处接合至主轴400的连杆350 沿着逆时针方向转动。此时，从活动单元340接收动力的主轴400垂直向上运动。当主轴 400向上运动时，引导件410 (其沿着相对的横向从主轴400伸出并且插 入到形成在壳体支架200的内表面中的各第一引导槽210内)沿着第一 引导槽210运动。此外，当连杆350转动时，插入到引导支架500的相应的第二引导 槽530中的引导连杆600也沿着第二引导槽530向上运动，并且在上端 弯曲的具有倒7'形的各第二引导槽530的上端处沿着顺时针方向转动。 此时，主轴400和密封件100通过引导连杆600的转动而向后运动，因 此，关闭晶片移动通道，如图7所示。接下来，在下面对密封件打开晶片移动通道的过程进行描述。当处于图7的关闭状态下时，为了打开晶片移动通道，在通过压縮 空气入口 360供应到气缸310中的压縮空气通过压缩空气入口 360排出到外部时，气缸310中的压力降低。于是，插入在各第二引导槽530中 的引导连杆600沿着逆时针方向转动。这里，紧接着引导连杆600从第 二引导槽530的弯曲部分运动离开之后，引导连杆600沿着垂直向下方 向运动，并且同时插入在各第一引导槽210中的引导件410沿着垂直向 下方向运动，因而进入图6的状态。同样，当引导连杆600和引导件410向下运动时，活动单元340以 及通过连杆350接合至该活动单元340的主轴400同时沿着垂直向下方 向运动，因而打开晶片移动通道。此时，连杆350沿着顺时针方向转动。如上所述，本发明提供了一种矩形真空闸阀，该闸阀构造成这样， 即，第一引导槽精确地引导该阀的向上和向下的运动，而倒7'形的第 二引导槽精确地引导该阀的向前和向后的运动。这样，本发明具有可以 可靠地进行主轴的L形两级驱动动作的优点。
权利要求
1. 一种矩形闸阀，该矩形闸阀包括密封件，该密封件用于打开和关闭晶片移动通道；主轴，该主轴的上端接合至所述密封件，且从该主轴的侧壁伸出有引导件；壳体支架，该壳体支架中具有第一引导槽，该第一引导槽垂直地形成在所述壳体支架中，并且所述主轴的所述引导件插入该第一引导槽中；设置在所述壳体支架中的阀驱动单元，该阀驱动单元包括通过空气压力进行操作的气缸；设置在所述气缸中的活塞；接合至所述活塞的活塞杆；接合至所述活塞杆的活动单元；以及连接在所述活动单元和所述主轴之间的连杆；引导支架，该引导支架包括垂直支架，该垂直支架从所述壳体支架的下表面向下延伸，且具有形成在该垂直支架的纵向表面中的第二引导槽；以及水平支架，该水平支架接合至所述垂直支架的下端；以及引导连杆，该引导连杆的第一端接合至所述主轴的外周面，并且该引导连杆的第二端插入到所述第二引导槽中，所述引导连杆沿着所述第二引导槽运动以引导所述主轴的运动。
2、 根据权利要求l所述的矩形闸阀，其中，所述第二引导槽具有上 端弯曲的倒'J'形。
3、 根据权利要求l所述的矩形闸阀，该闸阀还包括传感器，该传感器设置在所述活动单元的外周面上以检测所述活动 单元的位置。
全文摘要
本发明提供了一种具有改进的驱动动作的矩形真空闸阀。本发明的矩形闸阀包括打开或关闭晶片移动通道的密封件；接合至密封件并具有引导件的主轴；具有第一引导槽的壳体支架，引导件插入该第一引导槽中。该闸阀还包括设在壳体支架中的阀驱动单元，该阀驱动单元具有气缸、设在气缸中的活塞、接合至活塞的活塞杆、接合至活塞杆的活动单元及连接在活动单元和主轴之间的连杆。该闸阀还包括引导支架，该引导支架具有从壳体支架向下延伸的垂直支架、形成在该垂直支架中的第二引导槽及接合至垂直支架的水平支架。该闸阀还包括引导连杆，该引导连杆的第一端接合至主轴并且其第二端插入第二引导槽，使得引导连杆沿第二引导槽运动以引导主轴的运动。
文档编号H01L21/02GK101276729SQ20071011265
公开日2008年10月1日 申请日期2007年6月26日 优先权日2007年3月29日
发明者金培镇 申请人:株式会社Sts