一种固晶机取晶固晶的机械结构的制作方法

文档序号:6882983阅读:414来源:国知局
专利名称:一种固晶机取晶固晶的机械结构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种固晶机取晶、固晶的机械结构。
技术背景固晶机是生产发光二极管过程中必不可少的设备,固晶的目的在于利用粘 接剂将晶粒(芯片)黏着于LED支架碗杯底面,使其固着于基座上,利于焊线及压模。.传统的取晶固晶的方法是人工拾取或使用取晶臂拾取,效率低,并且容易 漏掉晶圆,降低质量。 实用新型内容有鉴于此,本实用新型的目的在于解决上述问题,提供一种取晶、放晶的 机械结构,尤其是用于固晶机上的取晶固晶的机械结构。本实用新型的技术方案是 一种固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于 包括取晶臂、取晶臂转轴、吸嘴、取晶固晶装置、移晶装置,取晶臂一端固定 连接吸嘴,吸嘴内部中空,取晶臂另一端与取晶臂转轴底端紧配合,取晶臂转 轴顶端固定连接取晶臂升降装置和移晶装置,吸嘴连接取晶固晶装置。所述固晶机取晶固晶的机械结构进一步包括漏晶检测系统。所述漏晶检测系统是光纤感应器,光纤传感器发射端发出光的光亮轨迹与 取晶臂的摆臂轨迹相交,光纤传感器接收端安装于吸嘴上方。所述取晶固晶装置是真空发生器。所述真空发生器包括真空管,真空管一端连接吸嘴,真空管另一端连接真 空发生器,真空发生器内设置一个阀。 所述阀是电磁阀。
所述移晶装置包括移晶动力装置、移晶传动臂、移晶皮带,移晶皮带两端 分别连接移晶马达和移晶传动臂,移晶传动臂的另一端与取晶臂转轴的一端紧 固连接,取晶臂转轴的另一端连接取晶臂,取晶臂是以取晶臂转轴为圆心、取 晶臂臂长为半径作圆弧运动的装置。 '所述移晶动力装置是移晶马达。所述固晶机取晶固晶的机械结构增加取晶臂升降装置。所述取晶臂升降装置包括升降动力装置、升降皮带,偏心凸轮,取晶臂转 轴顶部固定连接取晶臂转轴顶盘,取晶臂转轴与取晶臂转轴顶盘所在平面相垂 直,升降皮带两端分别连接升降马达和偏心凸轮,偏心凸轮的另一端紧密接触 取晶臂转轴顶盘。所述升降动力装置是升降马达。所述真空发生器的压力为4个大气压。 所述圆弧运动的角度在0至180度之间。 所述圓弧运动的角度是90度。 所述偏心凸轮的偏离高度为lmm。本实用新型的有益效果是本机械结构较之现有技术,大大提高了取晶固 晶的效率,设置适当的参数,可获得很高的精度。本机械结构提供了一种漏晶 检测系统,可大大减少漏晶的几率,提高固晶质量。

.图l是本实用新型取晶固晶装置及漏晶检测系统结构示意图; 图2是本实用新型移晶装置结构示意图; 图3是本实用新型取晶臂升降装置结构示意图。图中,1:取晶臂;2:吸嘴;3:取晶臂转轴;101:光纤传感器发射端;102:光纤传感器接收端;103:真空发生器;104:真空管;105:电磁阀;201: 移晶马达;202:移晶传动臂;203:移晶皮带;301:升降马达;302:升降皮带;303:偏心凸轮;304:取晶臂转轴顶盘。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步描述。请参考图1,本机械结构的取晶固晶装置的描述如下。真空发生器103位 于机器台内部,真空管104的始端连接真空发生器103,真空管104的终端位 于吸嘴2上方,吸嘴2及吸嘴2上方均为中空。真空发生器103内部设有电磁 阀105。当阀门打开时,真空发生器103工作,吸嘴2上方及吸嘴2中部净皮抽真空。 晶圓位于吸嘴2下方。吸嘴2下方由于气压差产生空气吸力,将晶圆吸在真空 嘴下方。取晶臂1通过移晶装置将晶圆移动到LED支架碗杯上空。电磁阀105 关闭,真空发生器103停止工作,吸嘴2内外气压流动,气压差为零,晶圓落 在碗杯中。取晶固晶装置通过真空发生器103的工作,利用气压差,实现了晶 圆的拿取、固放。.图1中,增加了漏晶检测装置光纤传感器。光纤传感器发射端101固定 在机器台架上,光纤传感器发射端101发出光的光亮轨迹与取晶臂1的摆臂轨 迹相交。光纤传感器接收端102安装于吸嘴2上方。取晶臂l移动晶圓时,光 纤传感器发射端IOI发出的光照射到晶圆。若吸嘴2下方没有吸到晶圆,即晶 圆掉落时,光纤传感器接收端102会收到光纤传感器发射端101发出的红外光 接收端102导通。光纤传感器发出信号,通知工作人员。请参考图2,本机械结构的移晶装置的描述如下。移晶传动臂202之间用 螺丝连接,并在末端通过螺丝固定在取晶臂转轴3上。取晶臂转轴3位于垂直 面土,并且取晶臂转轴3和移晶传动臂202为保持稳定,穿插固定在机器台架 上。移晶皮带203套在移晶传动臂202的另一末端和移晶马达201上。当移晶马达201开启,移晶马达201转动时,移晶皮带203传动,带动移晶传动臂202 转动。由于移晶传动臂202末端通过螺丝固定在取晶臂转轴3上,取晶臂转轴 3与取晶臂1紧配合,因此移晶传动臂202带动取晶臂转轴3和取晶臂1旋转。 取晶臂1在水平面上以取晶臂转轴3为圓心、取晶臂1臂长为半径作圆弧运动。 取晶臂1通过圆弧运动实现了晶圆的移动。请参考图3,为便于移动晶圓,并且不碰伤其他晶圓,本机械结构增加取 晶臂升降装置。取晶臂转轴3顶端设置取晶臂转轴顶盘304,取晶臂转轴顶盘 304与取晶臂转轴3连为一体。偏心凸轮303穿插在机器台架上,偏心凸轮303 的终端位于取晶臂转轴顶盘304的下方。升降皮带302套在偏心凸轮303的另 一端和升降马达301上。当升降马达301开启,升降马达301转动时,偏心凸 轮303转动。偏心凸轮303的转动轨迹为椭圆形,因此偏心凸轮303的转动将 取晶臂转轴顶盘304顶起。马达关闭停止转动,取晶臂转轴顶盘304由于被抬 起而升高。由于取晶臂转轴顶盘304与取晶臂转轴3连为一体,取晶臂转轴3 及取晶臂l升高。
权利要求1、一种固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于包括取晶臂(1)、取晶臂转轴(3)、吸嘴(2)、取晶固晶装置、移晶装置,取晶臂(1)一端固定连接吸嘴(2),吸嘴(2)内部中空,取晶臂(1)另一端与取晶臂转轴(3)底端紧配合,取晶臂转轴(3)顶端固定连接取晶臂升降装置和移晶装置,吸嘴(2)连接取晶固晶装置。
2、 根据权利要求1所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述机械结构进一步包括漏晶检测系统。
3、根据权利要求2所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述漏晶检测系统是光纤感应器,光纤感应器发射端(101)发出光的光亮轨迹 与取晶臂(1 )的摆臂轨迹相交,光纤感应器接收端(102 )安装于吸嘴(2 ) 上方。
4、 根据权利要求1所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述取晶固晶装置是真空发生器(103)。
5、 根据权利要求4所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述真空发生器(103)包括真空管(104),真空管(104) —端连接吸嘴(2), 另一端连接真空发生器(103),真空发生器(103)内设置一个阀。
6、 根据权利要求5所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述阀是电磁阀(105)。
7、 根据权利要求1所述的固晶才/l4又晶固晶的机械结构,其特征在于所 述移晶装置包括移晶动力装置、移晶传动臂(202 )、移晶皮带(203 ),移晶皮 带(203 )两端分别连接移晶马达(201 )和移晶传动臂(202 ),移晶传动臂(202 )的另一端与取晶臂转轴(3)的一端紧固连接,取晶臂转轴(3)的另一端连接 取晶臂(1 ),取晶臂(1)是以取晶臂转轴(3 )为圆心、取晶臂(1 )臂长为 半径作圆弧运动的装置。
8、根据权利要求7所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述移晶动力装置是移晶马达(201 )。
9、 根据权利要求1所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述固晶机取晶固晶的机械结构进一步包括取晶臂升降装置。
10、 根据权利要求9所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述取晶臂升降装置包括升降动力装置、升降皮带(302 ),偏心凸轮(303 ),取 晶臂转轴(3 )顶部固定连接取晶臂转轴顶盘(304 ),取晶臂转轴(3 )与取晶 臂转轴顶盘(304 )所在平面相垂直,升降皮带(302 )两端分别连接升降马达(301)和偏心凸轮(303 ),偏心凸轮(303 )的另一端紧密接触取晶臂转轴顶 盘(304 )。
11、 根据权利要求10所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于 所述升降动力装置是升降马达(301 )。
12、 根据权利要求4所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述真空发生器(103)的压力为4个大气压。
13、 根据权利要求7所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述圆弧运动的角度在0至180度之间。
14、 根据权利要求7所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所 述圆弧运动的角度是90度。
15、 根据权利要求10所述的固晶机取晶固晶的机械结构,其特征在于所迷偏心凸轮(303 )的偏离高度为lmm。
专利摘要本实用新型涉及一种固晶机取晶固晶的机械结构,包括取晶臂、取晶臂转轴、吸嘴、取晶固晶装置、移晶装置,取晶臂一端固定连接吸嘴,吸嘴内部中空,取晶臂另一端与取晶臂转轴底端紧配合,取晶臂转轴顶端固定连接取晶臂升降装置和移晶装置,吸嘴连接取晶固晶装置。本实用新型机械结构进一步包括漏晶检测系统和取臂升降装置。本机械结构较之现有技术,大大提高了取晶固晶的效率,设置适当的参数,可获得很高的精度。
文档编号H01L21/02GK201054346SQ20072015247
公开日2008年4月30日 申请日期2007年6月4日 优先权日2007年6月4日
发明者刘义红, 杨少辰, 罗会才, 韩金龙 申请人:大赢数控设备(深圳)有限公司
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