动态部件追踪系统及其方法

专利名称：动态部件追踪系统及其方法
动态部件追踪系统及其方法
背景技术：
在等离子处理中已提供多种改进，用于半导体产业的成长。 为使半导体产业中的制造公司保持竟争力，对他们而言重要的是保 持等离子处理系统处于良好的工作状态。^f旦是，因涉及多个部分， 紧跟等离子处理系统发展这一任务也越来越具有才兆战。等离子处理系统可由多个部件组成。为i"更于讨i仑，用语"部 件，，用于表示等离子处理系统内原子部件(atomic)或多部分组件 (multi-part module )。因此，部件可以是简单的气体管线或复杂的 整个处理模块。多部分部件(例如处理模块)可由其它的多部分部 件(例如真空系统、气体系统、电源供应系统，等等)形成，而它 们又可由其它多部分部4牛或原子部4牛形成。因等离子处理系统可典型:t也由多个部件组成，所以^f呆持对所 有不同部件追踪这一看似简单的工作可人工进^f亍。然而，人工地追
踪所有这些与等离子处理系统相关联的不同部件趋于成为一项相^ 度单调的处理，这4艮可能造成人为失i吴。通常，制造商可具有多个 记载保持有关于部件数据的电子数据表。在某些情况下，这些电子 凄t据表可合并在普通的数据库内。4旦是，更新电子数据表以及合并 凄t据的处理需库毛费宝贵的时间和人力。[4]例如，考虑到这样的情况，其中气体喷头刚被安装到基片处 理系统内。该信息可被人工汇总并录入电子数据表。然后，在稍后 的时间点，可在中央化的数据库中更新电子数据表内有关气体喷头 的信息。本领域的才支术人员容易理解，该人工方法容易导致人为失 误。例如，在复制数据到电子数据表以及随后转移至中央数据库的 处理过程中，可能产生失误。因为将数据记录到中央数据库的处理需花费一些时间，有可 能发生将损坏部件(例如，该部件临近其使用寿命)安装到另一台 机器并导致严重后果(例如，大量的残次基片，损坏机器，等)。 例如，考虑到等离子簇工具A需求气体喷头的情形。因为该工具和 中央lt据库不具备互动能力，所以有关该气体喷头的历史可能尚未 可用。因此，技术人员可能在尚未完全了解该气体喷头历史的情况 下，安装残次的气体喷头，从而导致不期望的后果，例如对才几器的 损坏和/或对待处理基片的石皮坏。如上所讨论，在现有技术中紧跟和追踪部件的方法存在多种 缺点。例如，人工地搜集和合并关于等离子处理系统及其部件的数 '据是低效和不起作用的，因为人工方法大致上依靠人为的介入。不 能够快速地获取并共享数据可导致对部件和工具不必要的耗成本 的破坏。另外，因缺乏及时数据，可使保养排程成为一个困难的步 骤，这4吏制造商7 义受了高额的拥有成本(ownership cost )。

发明内容
在一个实施方式中，本发明涉及一种用于促进对工具组的等 离子处理工具部件管理的计算才几实施方法。该计算才几实施方法包括-在与该工具组的第 一工具相关联的第 一数据库，接收用于第 一部件
7组的第 一部件数据，包括用于该第 一部件組的部件识别和使用历 史。该计算冲几实施方法还包^"在与该工具组的第二工具相关耳关的第 二凄t据库，接收用于第二部件组的第二部件lt据，包括用于该第二 部件组的部件识别和〗吏用历史，该第二工具与该第一工具不同。该 计算才几实施方法进一步包括利用第三lt据库，同步化该第一部件数 据和该第二部件婆史据。该同步化包括在该第三lt据库与该第 一凄t据 库和该第二数据库中至少 一个之间同步规则系列，该规则系列控制 该第 一部件组和该第二部件组中至少 一个部件的 <吏用。连^^该第三 数据库，以与该工具组交换lt据。该计算冲几实施方法还包4舌于对该 工具组中的一个的给定部件实施替换、分析和保养之一之前，利用 至少在该第三数据库内的该规则系列和使用历史数据，获取关于该 给定部件的信息。在另一个实施方式中，本发明涉及一种制造物，其上具有用 于利用交叉工具凄t据库^足进对工具组的等离子处理工具部件管理 的计算机可读代码。该制造物包括用于从与所述工具组的第 一工具 相关联的第 一数据库，接收用于第 一部件组的第 一部件数据的计算 才几可读4戈码，该凄t据包4舌用于该第 一部〗牛组的部4牛识别和〗吏用历
史；该制造物还包括用于在与该工具组的第二工具相关耳关的第
二数据库，接收用于第二部件组的第二部件数据的计算机可读代
码，该翁:据包括用于该第二部件组的部fH只别和4吏用历史，该第二 工具与所述第一工具不同。该制造物进一步包才舌用于利用该交叉工 具凄t据库，同步^[匕该第 一部件^:据和该第二部件凄t据的计算才几可读
4戈码。该同步4匕包4舌在该交叉工具lt才居库与该第 一凄t才居库和该第二 数据库中至少一个之间同步规则系列，该M^则系列控制该第 一部件 组和该第二部件组中至少一个部件的4吏用，连4妻该第三lt据库以与 在该工具组实施的软件中介交换数据。该制造物还包括用于在对该工具组中的一个的给定部件实施替换、分析和卩呆养之一之前，利用 至少在该交叉工具数据库内的该规则系列和使用历史数据，提供关 于该给定部件的信息乡合所述软件中介中一个的计算才几可读4戈石马。以下将结合附图，在对发明的详细说明中更具体地描述本
发明的这些和其它特4正。


在以下附图中，本发明通过示例而非限制的方式说明，并
且类似的参考标号表示类似的元件，其中图1显示了一个实施方式中部件追踪系统的简化的方框图。图2显示了一个实施方式中关系数据库的简化示例。在一个 实施方式中，该关系-数据库可包4舌一个或多个表(202和230)。图3显示了一个实施方式中简化的流程图，其表示了动态部 件追踪系统如^可与部件^,4奂相整合。图4显示了一个实施方式中简化的流程图，其表示了如何采 用动态部件追踪系统预测单个活动。图5显示了 一个实施方式中简化的流程图，其表示了如何采 用动态部件追踪系统进行多部分排程。图6显示了 一个实施方式中简化的流程图，其表示了如何采 用动态部件追踪系统实施基于规则的保养。
具体实施方式
[18]以下将结合附图和实施方式，对本发明进行描述。在以下 说明中，提供了数个具体的细节，以提供对本发明透彻的理解。但 是，明显地，对本领域的技术人员而言，本发明可在不具有一些或 全部这些具体细节的情况下实施。在其它情形，为避免不必要地混 淆本发明，熟知的处理步骤和/或结构没有具体描述。以下描述了多个实施方式，包4舌方法和4支术。应当理解的 是，本发明还可涵盖包括有计算机可读介质的制造物，其上存储有
可实施本发明:技术实施方式的计算才几可读指令。该计算才几可读介质 可包纟舌例如半导体、磁的、光》兹的、光的、或其它形式的用于存4诸 计算机可读代码的计算机可读介质。另外，本发明还可涵盖用于实 施本发明实施方式的装置。该装置可包括专用或可编程电路，以执 行本发明实施方式中的任务。该装置的示例包括通用计算机和/或合 适编程的专用计算才几，并可包括适于本发明实施方式中不同4壬务的 计算机/计算设备和专用/可编程电路的结合。根据本发明的实施方式，提供了一种架构配置，其中，部
件追踪系统提供了用于动态地共享网络内(例如，互联网，内联网 等)工具和/或部件之间ft4居(例如，部件凄t才居)的才几制。如此处所 讨论，部件是指等离子处理系统中的原子部件或多部分组件。部件
的示例可包4舌，4旦不限于，等离子处理室，可消库毛部分(例如，o
形环、气体喷头，等等)以及非消耗部分，例如泵、电极等。在本 发明的实施方式中，数据可存储在中央数据库中(例如，交叉工具 数据库)。在本发明的另外实施方式中，关于部件的信息可本地地 4立于工具(例如，等离子处理工具)内。
10[21]在该文件内，使用等离子处理系统讨论多个实施方式。但 是，本发明不局限于等离子处理系统，并可包括清洁系统。取而代 之的是，本讨i仑意在作为示例，而本发明并不局限于这些示例。在本发明的一个实施方式中，部件追踪系统包括工具组， 其包括至少一个工具，通过网络连4妄到中央数据库。在一个实施方 式中，每个工具具有本地i殳置的^t据库。在一个实施方式中，该凝: 据库(例如，中央数据库和/或本地工具数据库)可以是关系数据库。 关于每个工具及其部件的凄t据可存^f诸到本地工具数据库和中央凄丈 据库内。可搜集的数据包括，但不限于，识别数据、保养数据、以 及^f吏用历史。例如，考虑到这样的情况，其中静电卡盘安装到一种工具 内。在现有技术中，为获取关于该静电卡盘的数据，操作者需要实 际地从工具获取关于静电卡盘的数据。另外，为合并该信息，操作 者可能人工地进入在中央数据库的关于该卡盘的搜集数据。在现有 技术中，因时间量和人力要求，及时有效地共享工具之间数据的能 力可能会受到限制。相反，该部件追踪系统可提供在工具组和中央数据库之间 进行双向通信的高效和有效的方法。在一个实施方式中，/人本地凌t 据库到中央数据库的数据传递可自动传输。在另一个实施方式中， 数据的传输可由操作者自行实施。类似地，在一个实施方式中，可 动态地从中央数据库获取有关部件的数据。在另一个实施方式中， 如果工具为离线(offline),则当该工具在线(online)时同步4匕该 数据库。
ii[25]动态地共享凄t据库之间凄t据的能力可配备有具有可最小化 对工具负面影响知识的4乘作者。在一个示例中，需^,4奐工具中的喷 嘴。在一个实施方式中，通过该工具的用户界面，可进入关于该喷 嘴的识别数据。 一旦该识别数据被一是供，该工具可连4妾到中央凄丈据 库，以获取关于该喷嘴的信息。于是便可容易地获取在先存储的关 于喷嘴的数据。利用该获取的数据，可形成关于喷嘴与该工具兼容性的知 情决定。在一个示例中，喷嘴显示出其4又剩10小时的4吏用寿命； 但是，接下来的处理需要具有至少15个小时使用寿命的喷嘴。作 为知情决定人，操作者可要求使用另一个喷嘴。在另一个示例中， 在要求喷嘴之前，操作者可查询中央H据库以决定哪个喷嘴最适合 于该工具。在一个实施方式中，该数据库可包括整合有基于规则事件 的情才艮。可为部件和/或工具^见定一些列^见则(即， 一个或多个MJ 'J )。 在一个实施方式中，可由才喿作者在本地工具产生该^见则系列。在另 一个实施方式中，该夫见则系列可由本领J或的专家预先定义。在一个 实施方式中，该规则系列可以是灵活的，并且该规则系列的细微性 (granularity )可取决于操作者。在一个示例中，该规则系列可限定 为根据情况而不同地执行。—旦产生，该规则系列可传播到中央数据库和其它工具数 据库，其确保该^L则能够在制造工厂内^皮统一^^亍。其结果是，不 同操作者的知识被积累，并在制造工厂内共享。另夕卜，该规则可控 制或限制技能较弱的操作者的行为，从而容许缺乏经验的操作者独 立工作但仍能够从规则系列获取"专家，，指导。
12[29]在本发明的一个实施方式中，该部件追踪系统还可作为资 源管理系统。作为资源管理系统，可采用该部件追踪系统预测资源 需求。在一个示例中，操作者能够浏览存储在中央数据库中的数据， 并预测在接下来两周内需被替换的部件。在一个实施方式中，当条 件符合时可自动产生报告。在一个实施方式中，还可采用部件追踪系统以对保养进行 排程。在一个示例中，已^皮标识为潜在地需要在接下来两周内^皮替 换的部件组，可预先进行排程，从而容许定购部件并运输到需要的 位置，以准备所要求的保养。在一个实施方式中，该部件追踪系统可确4呆^)夸进4亍的才莫式 识另ll ( pattern recognition )。在一个示例中，在先安装到工具内的部 件已经历过故障。当该部件安装到另一个工具内时，可能发生相同 的故障。利用该知识，操作者可确定该部件是故障的原因，并可替 换该部件。进行才莫式识别的能力容许，乘作者识别和去除损坏的部 件，乂人而降低了整体的拥有成本。通过参考附图和以下讨论，本发明实施方式的特征和优点 将会—皮更好地理解。图1显示了在一个实施方式中部件追踪系统的 简化方框图。工具组(102、 104、和106)通过网络连接到中央数 据库108。在各工具(102、 104、和106)内是数据库或存储器， 其确保了关于该工具及其部件的数据(例如，有关部件的数据、保 养tt据、以及使用数据)被存储。在一个实施方式中，各工具还可 具有用户界面，其容许用户进入数据。用户界面还可容许访问中央 数据库108。[33]存储在工具102、 104、和106的本地凄t据库可动态地传送 到中央凄t据库108。在一个实施方式中，凄t据的传送可自动完成， 或者由使用者自行支配。例如，考虑到这样的情形，其中，工具102 和104正处理基片。在处理中，工具102可自动;也更新中央凄t才居库 108,而工具104可能不更新中央婆W居库108，直到所有的处理已经
地消除与人工数据搜集相关联的抄写失误。另夕卜，在一个实施方式中，各工具(102、 104、或106) 可动态地从中央数据库108获取数据。在一个示例中，工具102内 的喷嘴需被替换。在安装替换喷嘴之前，用户具有从中央数据库108 获取关于喷嘴数据的能力。访问关于部件相关数据的能力防止了潜 在石皮坏的产生。图2显示了一个实施方式中关系数据库的简化示例。在一 个实施方式中，关系数据库可包括一个或多个表(202、 230、以及 250)。表202是部件表的示例，表230是腔室表的示例，表250是
工具表的示例。表202可包括多个方面，但不限于，名称204、部件识别 206、预期寿命208、 <吏用数据210、最后清洁凄t据212、清洁才支术 214、以及工具4立置216。名称204指部件的名称。在一个示例中，表202中的部件
是静电卡盘。[38]部件识别206指与该部件相关联的识别号。在该示例中， 与静电卡盘相关if关的识别号为3714。预期寿命208指部件的预期寿命。在该示例中，静电卡盘 的预期寿命为1000RF分4中。使用数据210指部件的使用历史。在该示例中，该静电卡 盘1000 RF分钟预期寿命中的400分钟已净皮消井毛。最后清洁数据212指该部件^皮清洁或保养的最后时间。在 该示例中，静电卡盘最后清洁于2006年1月1日。清洁4支术214指，t部4牛进4亍清洁所采用的方法。在该示例 中，利用等离子清洁技术清洁静电卡盘。工具位置216指该部件的位置。在该示例中，静电卡盘当 前位于工具01。类似地，表230可包4舌多个方面，4旦不限于，名称232和 部件识别234。名称232指部件的名称。部〗牛识别234指与该部件 相关联的识别号。在一个示例中，表202中的部件为部件识别号3714 的静电卡盘。在另一个示例中，表202中的另一个部件是部件识别
号5912的喷头。[45]表250也可包括多个方面，但不限于，名称252、工具识 另'J 254、以及^f立置256。名称252指工具名称。工具识别254指与 该工具相关联的识别号。位置256指容置该工具的位置。在一个示 例中，工具01具有45612的识别号，并位于Fremont。在另 一个示 例中，工具02具有34212的识另'J号，并位于Boston。因为该表可以是关系凄t据库的一部分，该三个表可共享连 孑妻两个或多个表的锁钥(key)。在一个示例中，表202可通过部件 "i只另U 206禾口吾lM牛i口、另l！ 234连才妄至'j表230。表202和250可通过工具 ^立置216和名称252相互连4妄。在一个实施方式中，各个表(例如，202、 230、和250) 可植入中央凄t据库。通过在中央凄t据库中才直入，关于部件的凄t据可 以3夸工具共享。其结果是，可在不同工具和中央凄t据库之间容易i也 上载和下载有关多个部件的数据。在一个实施方式中，该表的一部分可才直入工具凝:l居库。在 一个示例中，4争电卡盘3714当前4立于工具01。可存4诸在中央凄史才居 库的关于静电卡盘的H据，也可下载到本i也工具lt据库。由此，有 关工具Ol的l争电卡盘和其它部件的表可下载到工具01。通过具有 本地数据库，工具01能够对多个部件进行分析，即使本地工具数 据库未连接到网络。另外，还可搜集并更新多个部件的改变，即使 本地工具数据库未连4妻到网络。在本地工具K据库离线的情况下， 当该工具重新连4妻到网络时，该工具凄t据库可与中央lt据库同步 化。
16[49]图2是才丸4亍该lt据库一种方式的简4匕示例。也可采用其它 更加复杂的方法。另外，上述讨论的表和数据方面为数据库如何构 建以及被搜集数据类型的示例。上述讨论和列表不意味着限制本发明。动态凄丈据追踪系统可l是供许多才几会。例如，可更有对巴握地 进行部件替换。另外，可采用搜集的数据以预测将到来的单个活动。 进一步地，可协调多部分排程，以最小化对日常才喿作的影响。图3-6显示了在多个实施方式中的简化流程图，其说明了 利用动态部件追踪系统使不同情势变得可行的示例。图3显示了在一个实施方式中i兌明动态部^牛追踪系统如《可 与部件替换相整合的简化流程图。例如，考虑到这样的情况，其中 静电卡盘将被替换。在第一个步骤302，部件(即，静电卡盘)被 替换。在一个实施方式中，该部件可在对该部件进行分析之前替换。 在另 一个实施方式中，对该部件的实际的^,换可在已进行分析后实 施。在接下来的步骤304，关于部件的数据(例如，识别数据) 可进入工具数据库。在一个实施方式中，该工具可包括将要进入的 用户界面^吏能^t据(user-interface enabling data)。在4妄下来的步-骤 306,本i也工具教:据库与中央凝:才居库同步^匕。在一个实施方式中， 存储在中央数据库中关于该部件的^:据可^皮动态地下载到本地工 具数据库。如果本地工具凌t据库为离线状态并且未连4姿到中央数据 库，则暂停替换该部件的处理，因为用户尚未能掌握有关该部件的 合适信息，直至该两个数据库已被同步化，从而最小化对该工具的
17负面影响。在一个实施方式中，用户可人工地进入部件信息，以避
免过长的中断时间。当该工具重新连4妻到中央勒:据库时，人工进入 的信息可与中央数据库同步。在接下来的步骤308，该方法可确定部件替换是否可接受。 在一个实施方式中，中央数据库可包括这样的情报，其可使中央数 才居库进4亍基于夫见则的分析(rule-based analysis )，以确定该部件是否 为本地工具所4妄受。在另一个实施方式中，本地工具数据库可进行 基于规则的分析。如此处所讨论，基于力见则的分析是指可基于一系 列预定义标准的分冲斤。在一个实施方式中，该标准可由一个或多个 专家制定。在另一个实施方式中，该标准也可由一个或多个本地工 具的用户建立。在一个示例中，剩有小于其预期寿命4%的部件在蚀刻处理 中可不一皮采用。在该示例中，如果部fH又剩有其估计寿命的4%， 则数据库可在接下来的步骤310中发出警告。但是，如果部件通过 该标准，则在接下来的步骤312,数据库可发出可接受消息。 一旦 该部件一皮认为可接受，则进行替换处理。在一个实施方式中， 一个 或多个系列的标准在基于规则的分析中需被满足。利用动态部件追踪系统，可有4巴握地进行部件替换。由于 部件替换而导致的不利地^皮坏工具的风险可显著降〗氐。进一步地， 容易获取部件和本地工具的使用历史，这侦 操作者成为知情决定者 (informed decision maker )。另外，因为基于^见则的分4斤可建立入 中央翁::據库和/或本地工具教:据库的情才艮内，所以专业4支能和知识的 水平可显著降低。
18[57]图4显示了在一个实施方式中i兌明如^f可采用动态部件追踪 系统预测单个活动的简化流程图。考虑到这样的情况，其中，需在 4妻下来的两周内清洁工具01。在第一个步^骤402，可触发基于事件 的才艮告(event-based report )。在一个实施方式中，当触发特定事件 /标准(例如距最后清洁的特定时间范围)时产生该才艮告。通过具有 该知识，可事先安4非对工具的清洁。在4妻下来的步驶《404,可对部 4牛和/或工具进^^f呆养。在该示例中，需清洁工具Ol。工具01可安 排为进4于清洁。在4妾下来的步骤406，关于^f呆养的^t据可进入本地 工具凄t据库。在一个示例中，时间和清洁冲支术可通过用户界面进入
本地工具数据库。在接下来的步骤408,本地工具数据库可与中央 数据库同步化。在一个实施方式中，如该工具连4妄到网络，则同步 化可自动发生。在另一个实施方式中，同步化可由才喿作者自行支配。利用动态部件追踪系统，可容易;也进4亍予贞测，这确^呆了梯: 作者安排将到来的保养事件(例如，清洁)。另外，关于保养事件
的翁:据可在本;也工具凝:才居库和中央凄t据库内以快速有步文的方式更 新。该方法显著地降低了信息损失并显著地增加了不同工具之间的 分析能力。图5显示了在一个实施方式中il明如何采用动态部件追踪 系统进行多部分排程的简化流程图。例如，考虑到这样的情况，其 中，需在接下来的2周内替换工具01的3个部件。另外，工具Ol、 工具03、和工具09的O形环也需替4奐。类似于图4中的步骤402，在第一个步骤502，可触发基于 事件的才艮告。在一个实施方式中，当特定事件/标准触发时，产生该报告并发送至一系列操作者。通过具有该知识，才喿作者可采耳又行动， 以准备将到来的事件。在4妻下来的步-骤504，可订购部件并发送到不同的需求4立 置，以准备需要的保养。共享数据的能力可确保批量购买，由此降
寸氐了部件开销。在该示例中，因为多个o形环需在^妄下来^t周内4皮
替换，因此可进行批量定购，从而容许操作者享受从批量购买中获 取折扣的好处。另外，多个工具之间共享数据的能力容许才喿作者事 先定购部件，并发送至多个需要的地点，这防止了保养工具中不必 要的延迟。在一个示例中，重的和/或大的部件已事先发送至该地点。在接下来的步骤506，可安排劳动力资源。在工具间共享 数据的能力容许操作者识别将到来的所需保养事件。由此，可相应 地安排有限的劳动力资源，以容许不迟延地处理将到来的所需保养事件。在接下来的步骤508，可实施滚动式排程(rolling schedule ),
以最大化制造工厂的产权，并防止对日常运行的主要影响。在一个 示例中，才喿作者可能未意识到三个工具内的O形环需被替换。如果 所有三个工具在同一时间发生故障，则可能发生对日常运4亍的主要 影响，因为所有三个工具均不运转，直到部件已^皮替换。另外，如 果没有所需部件，则工具保持不运转状态直到购买到部件。进一步 地，如果劳动力资源不能获得，则工具亦保持不运转状态，直到有 可用的劳动力资源进行该替换。在接下来的步骤510，关于保养事件的数据可进入本地工 具凄t据库。在一个示例中，如果该保养事件是离线人工进行，则数据需人工进入本地工具凌t据库。在另一个示例中，如果4呆养事件在 线进行，则数据可被自动地更新入本地工具数据库。在接下来的步
冬聚512，本;也工具凄U居库与中央教:据库同步^f匕。在一个实施方式中， 如果该工具^妄入网络，同步化可自动发生。在另一个实施方式中， 同步化可由4喿作者自行支配。类似于预测单个事件，分享工具间数据的能力容许了容易 地进行多部分排程预测，这确保了操作者安排一 系列将到来的保养 事件。另外，可事先要求部件和劳动力资源，以最小化不可获得资 源的风险，并防止对日常操作不必要的影响。进一步地，关于保养
事^牛的婆t才居可在本:t也工具凄t才居库和中央凝:才居库有岁丈:t也更新。图6显示了在一个实施方式中说明如何采用动态部件追踪 系统实施基于规则的保养的简化流程图。在第一个步骤602，操作 者可在本地工具数据库失见定一系列用于保养和/或安装部件和/或工 具的规则。在接下来的步骤604，该规则可传播给中央数据库，其 又将该规则系列传播给其它工具数据库。在接下来的步骤606，可 关于某部件的事件统一实施该^L则，而不考虑该部件的位置。例如，考虑到这样的情况，其中，工具Ol中的部件-故损坏， 其期望寿命从1000 RF分钟下降到600 RF分钟。*燥作者可在本地 工具^t据库中-见定用于该部件的失见则。本地工具凝:据库可传播至中 央数据库。假设两个月之后，另一个操作者可能将该损坏的部件安 装到另一个工具(例如，工具02)。在安装和/或4吏用该部件之前， 本地工具数据库(用于工具02)可与中央数据库同步化。基于该同 步化，在工具Ol中建立的失见则可下载到用于工具02的本i也工具凄t 据库。其结果是，该-见则可在工具02内实施，即4吏该力见则最初产生于工具Ol。通过传^番，身见则可在网络内迅速并统一地共享，这确 保了不同凄t据库之间知识的共享。在一个实施方式中，可利用不同的标准建立力见则。例如，
考虑到这样的情况，其中，损坏的部件如用于氧化处理可具有600 RF分钟的估计寿命。但是，如果该部件用于蚀刻处理，则仅具有 400 RF分,中的^f古i十寿命。该规则的细微性取决于操作者。因为该规则可预先定义， 所以对本地工具操作者的技能和知识的要求可显著地降低。由本发明的实施方式可以理解，该动态部件追踪系统提供 了更为全面的搜集和传播数据的方法。数据可在制造工厂内高效及 有效地共享，并且最小化了迟延时间和人为失误。进一步地，因预 先计划可确保更好的资源管理，因此显著降低了成本和不利影响。 所以，部件追踪可在更加细孩i的基础上进4亍，同时并不需要更有知 识的劳动力。本发明已通过数个实施方式进行了描述，但是存在有落入 本发明范围之内的备选、置换、和等同方式。并且，提供的名称、 概括、和摘要仅为方便目的，而不应用于解释权利要求的范围。进 一步地，在本申请中， 一系列"n"指该系列内的一个或多个"n"。 还应当理解，具有实施本发明方法和装置的多种备选方式。因此， 意在使后附的权利要求解释为包括所有这些落入本发明主旨和范 围的备选、置换、和等同方式。
2权利要求
1.一种用于促进对工具组的等离子处理工具部件管理的计算机实施方法，其包括在与所述工具组的第一工具相关联的第一数据库，接收用于第一部件组的第一部件数据，包括用于所述第一部件组的部件识别和使用历史；在与所述工具组的第二工具相关联的第二数据库，接收用于第二部件组的第二部件数据，包括用于所述第二部件组的部件识别和使用历史，所述第二工具与所述第一工具不同；利用第三数据库，同步化所述第一部件数据和所述第二部件数据，所述同步化包括在所述第三数据库与所述第一数据库和所述第二数据库中至少一个之间同步规则系列，该规则系列控制所述第一部件组和所述第二部件组中至少一个部件的使用，连接所述第三数据库以与所述工具组交换数据；于对所述工具组中的一个的给定部件实施替换、分析和保养之一之前，利用至少在所述第三数据库内的所述规则系列和使用历史数据，获取关于该给定部件的信息。
2. 4艮据权利要求1所述的计算才几实施方法，其中所述获耳又信息 包括获:f又有关对所述给定部件保养的建"i义。
3. 根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中所述规则系列 -见定用于第 一应用的、由所述工具组中的所述一个所扭^亍的第 一使用规则，所述规则系列规定用于第二应用的、由所述工具 组中的所述一个所执行的第二使用规则，所述第 一应用是蚀刻、；兄积、和清洁中的一种，所述第二应用是所述々虫刻、所述 沉积、和所述清洁中的另一种。
4. 根据权利要求1所述的计算机实施方法，进一步包括对所述 进々亍—莫式识别。
5. 根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中当所述第一工 具在线时，所述同步化自动发生。
6. 根据权利要求1所述的计算机实施方法，其中所述规则系列 规定用于具有第一技能水平的第一用户的第一保养规则，所述 规则系列规定用于具有第二技能水平的第二用户的第二保养规则。
7. 根据权利要求1所述的计算才几实施方法，进一步包括利用所 述第三数据库中的所述规则系列和数据，对所述工具组内的部 件进4f保养预测。
8. 根据权利要求1所述的计算机实施方法，进一步包括利用所 述第三凄t才居库中的所述失见则系列和凄W居，对所述工具组内的部 件进行保养排程。
9. 根据权利要求1所述的计算机实施方法，进一步包括利用所 述第三数据库中的所述A见则系列和凝:据，对所述工具组内的部 件进行替换排程。组的等离子处理工具部件管理的计算机可读代码，该制造物包 括用于/人与所述工具组的第一工具相关联的第一lt据库，才妄 收用于第一部件组的第一部件数据的计算机可读代码，该数据包括用于所述第一部件组的部件识别和^f吏用历史；用于在与所述工具组的第二工具相关耳关的第二lt据库，接 收用于第二部件组的第二部件数据的计算机可读代码，该数据 包4舌用于所述第二部件组的部件识别和使用历史，所述第二工 具与所述第一工具不同；用于利用所述交叉工具数据库，同步化所述第一部件数据 和所述第二部件数据的计算才几可读代码，所述同步化包括在所 述交叉工具#:据库与所述第一#:据库和所述第二数据库中至 少一个之间同步规则系列，该规则系列控制所述第一部件组和 所述第二部件组中至少一个部件的〗吏用，连接所述交叉工具凄t 据库以与在所述工具组实施的專欠件中介交换:凄t据；用于在只寸所述工具组中的一个的纟合定部4牛实施^,:换、分斗斤 和保养之一之前，利用至少在所述交叉工具数据库内的所述规则系列和使用历史数据，提供关于该给定部件的信息给所述软件中介中 一 个的计算才几可读代码。
10.
11. 根据权利要求10所述的制造物，其中所述获取信息包括获取 有关对所述纟会定部件保养的建i义。
12. 根据权利要求10所述的制造物，其中所述规则系列规定用于 第 一应用的、由所述工具组中的所述一个所冲丸行的第一4吏用头见 贝'j，所述身见则系列失见定用于第二应用的、由所述工具组中的所 述一个所纟丸4于的第二<吏用*见则，所述第一应用是蚀刻、沉积、 和清洁中的一种，所述第二应用是所述蚀刻、所述沉积、和所述清洁中的另一种。
13. 根据权利要求10所述的制造物，进一步包括用于对所述交叉进行一莫式识別的计算机可读代码。
14. 根据权利要求IO所述的制造物，其中当所述第一工具在线时， 所述同步化自动发生。
15. 根据权利要求IO所述的制造物，其中所述规则系列规定用于 具有第 一技能水平的第 一用户的第 一保养^L则，所述失见则系列 规定用于具有第二技能水平的第二用户的第二保养规则。
16. 根据权利要求IO所述的制造物，进一步包括用于利用所述交 叉工具翁:l居库中的所述^L则系列和教:才居，乂十所述工具组内的部 件进行保养预测的计算才几可读代码。
17. 根据权利要求IO所述的制造物，进一步包括用于利用所述交 叉工具翁:据库中的所述失见则系列和彰:才居，对所述工具组内的部 件进行保养排程的计算机可读代码。
18. 根据权利要求10所述的制造物，进一步包括利用所述交叉工 具凄t提库中的所述失见则系列和凄t才居，乂于所述工具组内的部件进 行替换排程的计算才几可读代码。
全文摘要
提供了一种用于促进对工具组的等离子处理工具部件管理的计算机实施方法。该方法包括在与第一工具相关联的第一数据库，接收用于第一部件组的第一部件数据，包括部件识别和使用历史。该方法还包括在与第二工具相关联的第二数据库，接收用于第二部件组的第二部件数据，该第二工具与第一工具不同。该方法进一步包括利用第三数据库，同步化第一部件数据和第二部件数据。该同步化包括在该第三数据库与第一数据库和第二数据库中至少一个之间同步多个规则，该规则控制第一和第二部件组中至少一个部件的使用。连接该第三数据库，以与工具组交换数据。该方法还包括在进行替换、分析和保养之一之前，利用规则和使用历史数据，获取有关给定部件的信息。
文档编号H01L21/3065GK101558478SQ200780036534
公开日2009年10月14日 申请日期2007年9月25日 优先权日2006年9月29日
发明者杰基濑户, 同 许, 贾海萍, 黄忠河 申请人:朗姆研究公司