专利名称：制造平板显示器的系统的制作方法
技术领域：
门本发明涉及一种用于制造平板显示器(FPD)的设备，更具体地， 涉及一种群集式的FPD制造设备，其包括多个彼此叠置的载荷锁定腔 (load lock chamber),可用于一成行(in-line)的FPD制造系统。
背景技术：
2参照图1，其示出了一个主要使用的平板显示器(FPD)制造设备 的示例，通常地，各FPD制造设备10a和10b都包括有顺次连接的一载 荷锁定腔20、 一供给腔22、以及多个加工腔24。
3载荷锁定腔20连接到一外部站台，并用于将一个从外部站台传送过 来的衬底载入到对该衬底进行加工的FPD制造设备、或者将在FPD制造 设备中得以完全加工的衬底卸下到外部。
4当在一真空状态和大气压状态之间重复地变换时，载荷锁定腔20 的内部与外部连通。载荷锁定腔20内设置有一支撑模具(未示)，用于 把衬底支撑在其上。支撑模具设计成在其上支撑一个或多个的衬底(未 示)。
5载荷锁定腔20内还设置一抽吸装置(未示)以及通气装置(未示)， 用于将载荷锁定腔20的内部在真空状态和大气压状态之间变换。
6供给腔22连接到载荷锁定腔20、并连接到多个加工腔24。供给腔 22内设置有一个供给机械臂(未示)，使得供给腔22用作一用于在载荷 锁定腔20和加工腔24之间载入和卸下衬底的中间通道。供给腔22始终 处于真空状态下，从而使得当衬底从加工腔24卸走或载入到加工腔24 内时，加工腔24的内部自然地保持在真空状态下。
7各加工腔24内设置有一支架(未示)——用于在其上支撑一个衬底
~~^及一个加工器(未示)——用于对衬底进行一定的加工，例如在真空状态下对衬底进行一个蚀刻加工。
8上述的FPD制造设备10a和10b设置在一清洁的房间内，以防止对
正在加工的衬底造成污染，同时获得改善的衬底加工精度。
9当多个在清洁房间内彼此平行设置的FPD制造设备10a和10b连接 到一单独的衬底供应站台30时，完成了单一的FPD制造系统。iog卩，至少两个FPD制造设备10a和10b彼此平行地连接以形成一个 单一的FPD制造系统，且所有组成该单一 FPD制造系统的FPD制造设 备10a和10b独立地驱动。
ii在操作时，相应地， 一个设置在单一衬底供应站台30上的衬底供应 机械臂34沿一个轨道32移动以把一个将在FPD制造设备10a和10b进 行加工的衬底供应到FPD制造设备10a和10b的载荷锁定腔20内，并将 完成加工后的衬底传送到一个将执行下一加工的位置处。12然而，在上述的FPD制造设备10a和10b中，载荷锁定腔20必须 连续地进行衬底的载入以及卸下操作，同时在真空状态和大气压状态之 间重复地变换。这需要抽吸装置连续不断地操作以形成一真空状态，以 及需要通气装置不断地操作以恢复一大气压状态，从而，可能会导致各 种装置问题。
13此外，由于仅仅使用了单个的供应机械臂34以依次地将衬底供应到 多个FPD制造设备10a和10b中，存在这样的问题加工过程的完成时 间不可避免地被延迟了 ，且衬底的供给操作效率不够高。
发明内容
14从而，考虑到上述的问题而提出了本发明，本发明的一个目的是提 供一种群集式的FPD制造系统，其中采用了一成行传送带以依次地将衬 底供入彼此叠置的载荷锁定腔。
15通过下文的详细描述，同时参考附图，将可以更好地理解本发明的 上述及其它目的、特征及其它优点，其中；16图1为一个传统PFD制造设备的示意n图2为一个俯视图，示出了依据本发明第一实施方式的群集式FPD 制造设备；
18图3和4分别为侧向剖视图和俯视剖视图，示出了上载荷锁定腔和 下载荷锁定腔以及一个传送带，所述传送带用于将衬底传送入对应的载 荷锁定腔，所述的载荷锁定腔包括于依据本发明第一实施方式FPD制造 设备中；
19图5和6为俯视图和侧视图，示出了设置在载入和卸下传送带上的
止档的不同示例，所述的传送带包括于图2的FPD制造设备中；
20图7和8为俯视图，示出了设置在图2的载入和卸下传送带上的衬
底对齐器的操作；
21图9和IO为俯视图，示出了设置在一竖直可移动传送带上的衬底对 齐器的操作，所述竖直可移动传送带设置在图2的载入和卸下传送带上；22图IIA到IIF为过程视图，其示出了一过程的依次步骤，用于将衬 底载入到图2的FPD制造设备的上及下载荷锁定腔中、以及将衬底从图 2的FPD制造设备的上及下载荷锁定腔中卸下；
23图12为一个侧向剖视图，示出了上载荷锁定腔和下载荷锁定腔以及 一个传送带，所述传送带用于将衬底传送到对应的载荷锁定腔中，所述 的载荷锁定腔包括于依据本发明第二实施方式的FPD制造设备中；24图13A到13J为过程视图，其示出了一过程的依次步骤，用于将衬 底载入到图12的FPD制造设备的上及下载荷锁定腔中、以及将衬底从图 12的FPD制造设备的上及下载荷锁定腔中卸下；
25图14和15分别为侧向剖视图和俯视剖视图，示出了上载荷锁定腔 和下载荷锁定腔以及一个传送带，所述传送带用于将衬底传送入对应的 载荷锁定腔，所述的载荷锁定腔包括于依据本发明第三实施方式的FPD制造设备中；
26图16A到16H为过程视图，其示出了一过程的依次步骤，用于将衬
底载入到图14和15的FPD制造设备的上及下载荷锁定腔中、以及将衬
底从图14和15的FPD制造设备的上及下载荷锁定腔中卸下；
27图17的示图示出了依据本发明第四实施方式的FPD制造设备的布
置；
28图18的示图示出了图17供给腔的构造；29图19的示图示出了图17载荷锁定腔的构造；
30图20A和20B的示图示出了图17的FPD制造设备的不同操作示例；31图21的示图示出了依据本发明第五实施方式的FPD制造设备的布 置；
32图22的示图示出了图21载荷锁定腔的构造；
33图23的示图示出了图21的FPD制造设备的一个操作示例；
34图24的示图示出了依据本发明第六实施方式的FPD制造设备的布
置；
35图25的示图示出了图24载荷锁定腔的构造；
36图26A和26B以及27的示图示出了图24的FPD制造设备的操作
37图28为一个侧向剖视图，概略性地示出了依据本发明第七实施方式 的FPD制造设备；
38图29为一个侧向剖视图，示出了一个上电极以及放置在该上电极上
的盖件，所述的上电极以及盖件包括于图28的FPD制造设备中；
39图30的示图示出了依据本发明第八实施方式的群集式FPD制造设
备的布置；以及
40图31为一个流程图，示出了使用图30中的FPD制造设备的异类蚀
具体实施例方式
41在下文中，将参照附图对依据本发明的平板显示器(FPD)的制造 设备的示例实施方式进行描述。
第一实施方式
42参照图2，其示出了依据本发明第一实施方式的FPD制造设备，FPD 制造设备110是群集式，包括有彼此叠置的上载荷锁定腔122和下载荷 锁定腔124、 一个供给腔126、以及多个加工腔128。在此，这些腔成行 地设置，且衬底S的载入和卸下通过一成行的传送带实现。43如图3和4所示，多个上载荷锁定腔122和下载荷锁定腔124彼此 沿竖直方向上叠置，且分别地连接到供给腔126。虽然本实施方式公开了 使用两个载荷锁定腔，应当理解，载荷锁定腔的数量是可以增加的。44在本实施方式中，下载荷锁定腔124是一个衬底载入腔，而上载荷 锁定腔122是一个衬底卸下腔，但是它们反过来使用也是可能的。45
一传送带设置在上载荷锁定腔122和下载荷锁定腔124的前方和后 方。该传送带适于依次地将衬底S载入到FPD制造设备中和从FPD制造 设备110卸下。相应地，为了限定衬底移动通道，衬底入口和出口分别 地穿透上载荷锁定腔122和下载荷锁定腔124的两个斜对的壁——该两 个斜对的壁与传送带对齐，即下载荷锁定腔124的前壁和上载荷锁定腔 122的后壁。衬底的入口和出口分别设置有打开/关闭闸阀G。46在此，应当注意传送带包括水平移动单元130、载入传送带140 以及卸下传送带150、以及竖直可动传送带160。竖直可动传送带160设 置在卸下传送带150上，使得其辊子与卸下传送带150的辊子交替地设 置而不会干涉。
47在本实施方式中，载入传送带140以及卸下传送带150沿着纵向设 置，分别地位于下载荷锁定腔124的前方和后方、位于与闸阀G靠近的 位置处。沿着下载荷锁定腔124下部区域的纵向设置有一水平移动单元130。水平移动单元130为一个辊式传送带、与载入传送带MO以及卸下 传送带150位于相同的高度上、同时与这两个传送带同轴地对齐。48类似地，上载荷锁定腔122也设置有一水平移动单元130。上载荷 锁定腔122与下载荷锁定腔124的水平移动单元130的结构和功能彼此 相同，现仅将对其中的一个进行详细的描述。
49水平移动单元130包括一对彼此平行地设置的框架、多个在所述框 架之间相互间隔均匀的辊子、以及一个用于同步地驱动各个辊子的辊子 驱动装置(未示)。水平移动单元130是辊子驱动型的，适于使得衬底S 和水平移动单元130之间的接触面积最小、以及使得衬底S的下表面的 污染最小。
50多个竖直可动的起模顶杆134牢固地设置在水平移动单元130的单 个基板上、位于单元130的各个辊子之间。同时，使用了独立的驱动装 置(未示)以对该板提供一个竖直地移动所有起模顶杆134所需要的驱 动力。
51水平移动单元130在其靠近卸下传送带150的一端处——即衬底进 入方向的远端——设置有一对第一止档132。第一止档132的作用是限制 衬底S的移动位置。
52如图5和6所示，第一止档132与第一感应器(未示)相配合。如 果第一感应器探测到衬底S存在并对第一止档132输出一个信号，则第 一止档132响应于输出信号而工作。
53第一止档132可以釆取操纵杆的形式。这些操纵杆类型的第一止档 132的朝向通常与衬底的前进方向相平行，但是，如果衬底S进入到水平 移动单元130,则第一止档132可向内枢转地转动，以对衬底S的位置进 行限制(见图5A和5B)。
54可选地，第一止档132可以采取竖直可动柱的形式，使得它们升高 到一个位置——该位置高于衬底S的载入和卸下高度，从而对衬底S的 位置进行限制(见图6A和6B)。55第一感应器导电地连接到一个控制器(未示)。因此，如果探测到衬 底S的存在，则控制器对水平移动单元130的辊子驱动装置进行控制，
以对辊子的转速进行控制。例如，如果衬底S靠近第一止档132，则控制
器低速地转动辊子，以防止衬底s由于碰撞而损坏。
56参照图3和4，载入传送带140包括一对彼此平行地设置的框架， 各个框架都具有一适当的长度，多个辊子相互间隔均匀地设置在框架之 间，且一个辊子驱动装置(未示)设置在传送带140的特定位置处，以
一致地驱动各个辊子。
57载入传送带140设置有一对第二止档142，用于停止衬底S的移动。 更具体地，第二止档142分别地安装在两个框架上与下载荷锁定腔124 接近的一端处，以防止衬底S被升高。
58与图5和6所示的相同，第二止档142结合有第二感应器(未示)。 如果第二感应器探测到衬底S的存在并对第二止档142输出一个信号， 则第二止档142响应于该输出信号而工作。
59载入传送带140在靠近下载荷锁定腔124的部分中还设置有多个对 齐器，用于对齐将被载入到下载荷锁定腔124中的衬底S。如图7和8 所示，对齐器均匀地设置在位于辊子相对端的两个框架上，以同时地操 作。每个对齐器都包括一枢转元件144、以及一柔软的接触元件126，所 述枢转元件的朝向通常与框架平行，但在需要时可朝内枢转地转动，所 述接触元件126耦合到枢转元件144的一端并适于压迫衬底S的任一侧。60具体地，多个分别地与接触元件146成一体的枢转元件144沿两个 框架均匀地设置，使得它们基于驱动装置(未示)的操作而朝衬底S可 枢转地转动。从而，当各个接触元件146的周边开始压迫地接触偏转的 衬底S的相对侧时，衬底S可被对齐。
6参照图3和4，卸下传送带150包括一对彼此平行地设置的框架一 一各个框架都具有一适当的长度、多个相互间隔均匀地设置在框架之间 的辊子、以及一个用于同步地驱动各个辊子的辊子驱动装置。62竖直可动传送带160设置在卸下传送带150上靠近上载荷锁定腔
122和下载荷锁定腔124的前端处，其适于将衬底S升高和降低到上载荷 锁定腔122和下载荷锁定腔124的高度上。
63竖直可动传送带160包括一对彼此平行地设置的框架——各个框架 都具有一适当的长度、多个相互间隔均匀地设置在框架之间的辊子、以 及一个用于同步地驱动各个辊子的辊子驱动装置。
64竖直可动传送带160的作用是将衬底S降低到卸下传送带150的高 度上，所述衬底S在卸下传送带150的前端从上载荷锁定腔122卸下。 竖直可动传送带160起先与卸下传送带150处于相同的高度上，使得竖 直可动传送带160的辊子与卸下传送带150的辊子交替地设置而没有干涉。
65竖直可动传送带160在两个框架上与上载荷锁定腔122相反的后端 处设置有一对第三止档162，并适于对衬底S的移动位置进行限制。第三 止档162与第三感应器(未示)配合。
66竖直可动传送带160还设置有一对安装在各框架下表面中心处的升 降杆168。
67升降杆168的作用是将衬底S竖直地移动到与设置在上载荷锁定腔 122中的水平移动单元130相同的高度上。基于一个从与第三止档162相 关联的第三感应器输出的信号对升降杆168进行控制。68升降杆168可从线性的往复气缸、以及将旋转运动转换成线性往复 运动的驱动马达和螺丝中选择，它们分别地安装在各框架下表面中心处。69如图9和10所示，竖直可动传送带160还设置有一对对齐器，用于 对齐从上载荷锁定腔122卸下的衬底S。每个对齐器都包括一导引件164 和驱动装置166。各对齐器的导引件164的形式为纵向延伸的板，并分别 地位于各竖直可动传送带160框架的相对侧，所述竖直可动传送带160 与框架是平行的。为了对齐衬底S，导引件164朝内地移动以与衬底S 的相对侧接触。70在此，导引件164的功能是防止所导入的衬底S不对齐。特别地，
每个导引件164的衬底接触部分由柔软材料制造是有利的。
7驱动装置166的形式为固定在相关导引件164外侧壁上的气缸。驱
动装置166用于使导引件164朝内和朝外地移动，同时固定在相关的框架上。
72在下文中，将解释上述FPD制造系统的衬底载入和卸下过程。73参照图IIA，多个衬底Sl、 S2、…、Sn通过载入传送带140的辊 子依次地传送。在衬底Sl、 S2和S3中，最前面的衬底Sl首先由设置在 载入传送带140后部的对齐器对齐。对齐的衬底Sl然后沿着下载荷锁定 腔124的水平移动单元130而移入打开的下载荷锁定腔124中。74如果设置在载入传送带140后部下方的第二感应器探测到了随后的 衬底S2，从而第二感应器输出一个信号到第二止档142，则第二止档142 响应于该输出信号而操作以停止衬底S2的运动，载入传送带140的操作 停止。
75在通过设置在载入传送带140后端的对齐器对齐之后，移动的衬底 S2处于一个等待模式下。
76而且，如果衬底S1——其由水平移动单元130移到下载荷锁定腔124
中——被位于在水平移动单元130下方的第一感应器探测到，从而第一
感应器输出一个信号到第一止档132，则第一止档132响应于该输出信号
而操作以停止衬底S1的运动，水平移动单元130的操作停止。因此，下
载荷锁定腔124进行调整，且腔124的内部转换成真空状态。
77参照图IIB，通过使用一个设置在供给腔内的机械臂(未示)而载
入到的衬底S1传送到期望的加工腔内，以接受等离子加工。
78当衬底Sl从该处卸下之后，下载荷锁定腔124的内部从真空状态转
换到大气压状态。
79然后，衬底S2——其等待于载入传送带140的后端处——被载入到 下载荷锁定腔124中，以根据水平移动单元130辊子驱动装置的操作而移动。
80如果位于水平移动单元130下方的第一感应器探测到衬底S2并输出
一个信号到第一止档132，则第一止档132响应于该输出信号而操作以停
止衬底S2的运动，且水平移动单元130的操作停止。
8U参照图IIC，已完成加工的衬底S1通过使用设置在供给腔内的机械
臂(未示)而传送到上载荷锁定腔122内。然后，上载荷锁定腔122的
内部从真空状态转换到大气压状态。
82参照图IID，被移到下载荷锁定腔124中的衬底S2通过使用一个设 置在供给腔内的机械臂(未示)而传送到期望的加工腔内，以接受等离 子加工。
83当衬底S2从该处卸下之后，下载荷锁定腔124的内部从真空状态转 换到大气压状态。
84参照图IIE，完成加工后的衬底Sl从上载荷锁定腔122卸下而传送 到外部。
85特别地，在竖直可动传送带160从卸下传送带150上升起的状态下，
衬底Sl根据水平移动单元130的操作而移动到传送带160上。
86如果衬底Sl完全地位于竖直可动传送带160上，则衬底Sl通过对
齐器对齐。
87而且，上载荷锁定腔122的内部从大气压状态转换到真空状态。88随后，衬底S3——其等待于载入传送带140的后端处——被载入到 下载荷锁定腔124。如果设置在载入传送带140后端部下方的第二感应器 探测到位于衬底S3后方的衬底S4，从而所述第二感应器输出一个信号到 第二止档142，则第二止档142响应于该输出信号而操作，且载入传送带 140的操作停止。
89在通过设置在载入传送带140后端的对齐器的对齐之后，移动的衬 底S4处于一个等待模式下。
90参照图IIF，在竖直可动传送带160通过升降杆168而降低到与卸下传送带150相同的高度上后，位于竖直可动传送带160的衬底Sl沿卸 下传送带150的移动方向移动。
91重复地进行上述的过程，以对剩下的衬底S2、 S3、…、Sn以与衬
底Sl相同的方式进行期望的加工。
第二实施方式
92与上述的第一实施方式不同，本实施方式采用了两个分别设置在载 荷锁定腔前方和后方的竖直可动传送带。这使得上载荷锁定腔和下载荷 锁定腔中的每一个都可以进行衬底的载入和卸下操作。其它构成元件的 构造与功能与第一实施方式中的元件相同，在下文中不对其进行描述。93现在，将对一种方法——该方法使用依据本实施方式的FPD制造系 统而对衬底进行所期望的加工——进行解释。
94参照图13A,多个衬底S1、 S2、…、Sn通过载入传送带240的辊子 依次地传送。在衬底中，如果设置在载入传送带240下方的第一感应器 首先探测到最前面的衬底Sl并对第一止档243输出一个信号，则第一止 档243响应于该输出信号操作，暂时地在载入传送带240的一个预定位 置处停止衬底S1的移动。
95随后，衬底Sl通过载入传送带240而移到一个打开的下载荷锁定腔 224内，以沿着腔224的水平移动单元230移动。
％如果位于衬底S1下方的第二感应器探测到由水平移动单元230移动 的衬底Sl，从而该第二感应器输出一个信号到第二止档242，则第二止 档242响应于该输出信号而操作，且水平移动单元230的操作停止。97然后，在通过设置在载入传送带240后端处的对齐器的对齐之后， 衬底Sl被载入到下载荷锁定腔224内。如果衬底Sl被完全地载入，则 下载荷锁定腔224调整，且腔224的内部通过一通气操作而转换成真空 状态。
98随后的衬底S2——其在衬底Sl后方移动——在载入传送带240的作用下朝下载荷锁定腔224移动，通过位于载入传送带240下方的第一 和第二感应器。如果由第一和第二感应器探测到了衬底S2的存在，从而 第二感应器输出一个信号到第二止档242，则第二止档242响应于该输出 信号而操作，从而将衬底S2保持在一个等待状态中、位于载入传送带240 的后端。
99参照图13B，衬底S2通过前侧竖直可动传送带250以及升降杆256 而升高到上载荷锁定腔222的高度上。
ioo当被完全地升高后，坐落在前侧竖直可动传送带250上的衬底S2 通过传送带250的对齐器对齐。
ioi如果传送带250抵达了上载荷锁定腔222的高度，则竖直可动传送 带250的竖直运动停止。同时，当另一个等待的衬底S3通过载入传送带 240移动到下载荷锁定腔224的入口处时，则位于载入传送带240下方的 第一和第二感应器向第一和第二止档243及242输出衬底方向的信号。 从而，第一和二止档243及242响应于该输出信号而操作，从而将衬底 S3保持在一个等待状态中、位于载入传送带240的后端。
102下载荷锁定腔224从大气压状态转换到真空状态。
103参照图13C，上载荷锁定腔222的入口打开了，然后，衬底S2根据 前侧竖直可动传送带250的辊子的操作而移动到一个设置在上载荷锁定 腔222中的水平移动单元230中。同时，衬底Sl将被传送到供给腔中。
104参照图13D，当衬底S2被载入到其中之后，上载荷锁定腔222的内 部从大气压状态转换到真空状态。而且，衬底S1从下载荷锁定腔224卸 下，并通过设置在供给腔内的机械臂(未示)而被传送入期望的加工腔 内，以接受等离子加工。
105参照图13E，完成加工后的衬底S1移动到设置在下载荷锁定腔224 内的水平移动单元230上。然后，下载荷锁定腔224的内部从真空状态 转换到大气压状态。
106载入在上载荷锁定腔222内的衬底S2通过设置在供给腔内的机械臂
14(未示)而被传送入期望的加工腔内，以接受等离子加工。
107参照图13F，完成加工后的衬底S1从下载荷锁定腔224卸下，以移 动到卸下传送带260上。
108在卸下衬底S1的同时，衬底S3被载入到下载荷锁定腔224中。然 后，下载荷锁定腔224的内部从大气压状态转换到真空状态。
109随后，位于载入传送带240上方的前侧竖直可动传送带250根据升 降杆256的操作而降低，而另外的随后衬底S4在载入传送带240的作用 下朝下载荷锁定腔224移动。在衬底S4的移动过程中，如果位于载入传 送带240下方的第一和第二感应器探测到衬底S4的存在并向第一和第二 止档243及242输出信号，则第一和第二止档243及242响应于该输出 信号而操作，从而将衬底S4保持在一个等待状态中、位于载入传送带240 的后端。
iio参照图13G，等待的衬底S4通过位于载入传送带240上方的前侧竖 直可动传送带250以及升降杆256而升高到上载荷锁定腔222的高度上。iii坐落在前侧竖直可动传送带250上的衬底S4通过传送带250的对齐
器对齐。
112如果传送带250抵达了上载荷锁定腔222的高度，则前侧竖直可动 传送带250的竖直运动停止。随后，当另一个等待的衬底S5通过载入传 送带240的作用下移动到下载荷锁定腔224的入口处时，则位于载入传 送带240下方的第一和第二感应器探测到衬底S5的存在并向第一和第二 止档243及242输出信号。从而，第一和第二止档243及242响应于该 输出信号而操作，从而将衬底S5保持在一个等待状态中、位于载入传送 带240的后端。
m下载荷锁定腔224从大气压状态转换到真空状态。114此后， 一个设置在卸下传送带260上的后侧竖直可动传送带270通 过升降杆276而升高到设置在上载荷锁定腔222中的水平移动单元230
的高度上。115参照图13H，完成加工后的衬底S2从供给腔传送入上载荷锁定腔
222。此后，上载荷锁定腔222的内部从真空状态转换到大气压状态。116随后，载入在下载荷锁定腔224内的衬底S3通过设置在供给腔内的 机械臂(未示)传送到期望的加工腔内，以接受等离子加工。117参照图131，载入在上载荷锁定腔222内的衬底S2移动到后侧竖直 可动传送带270，该后侧竖直可动传送带270被升高到上载荷锁定腔222 的高度上。同时，坐落在前侧竖直可动传送带250——该传送带被升高到 上载荷锁定腔222的高度上——上的衬底S4载入到设置在上载荷锁定腔 222中的水平移动单元230上。
118如果衬底S4通过水平移动单元230载入到上载荷锁定腔222中，则 位于水平移动单元230下方的第三感应器探测到衬底S4的存在并向第三 止档232输出一个信号。从而，第三止档232响应于该输出信号而操作 以停止衬底S2的运动，且水平移动单元230的操作停止。
U9当衬底S4被载入到上载荷锁定腔222中后，上载荷锁定腔222的内 部从大气压状态转换到真空状态。
120参照图13J，衬底S2坐落于其上的后侧竖直可动传送带270通过升 降杆276而降低到卸下传送带260的高度上。从而，衬底S2沿卸下传送 带260移动。
m随后，完成加工后的衬底S3从供给腔传送到下载荷锁定腔224中。122剩余的衬底S4和S5将与上述方式相同地加工和移动。
第三实施方式
123依据本发明的FPD制造系统包括有彼此叠置的上载荷锁定腔和下
载荷锁定腔、 一个供给腔、多个加工腔、以及一个供给传送带。与所述 第一实施方式相同相同的构造将不再重复地解释。
124在依据本发明的FPD制造系统中，在上载荷锁定腔322和下载荷锁 定腔324的前侧和后侧设置有缓冲空间。为了使衬底载入到下载荷锁定腔及从上载荷锁定腔卸下时稳定地供给，这个面积与衬底相等的缓冲空 间是需要的。
125为了限定上述的缓冲空间，挡板325设置在上载荷锁定腔322和下 载荷锁定腔324的前侧和后侧、与上载荷锁定腔322和下载荷锁定腔324 的边界处于相同的高度上。挡板325的作用是防止灰尘——其由被移动 的上衬底产生——落在下衬底上。
126虽然至少一个挡板可设置在上载荷锁定腔322和下载荷锁定腔324 的前侧和/或后侧，本实施方式的解释限于两个挡板325分别设置在上载 荷锁定腔322和下载荷锁定腔324的前侧和后侧的情形。
127优选地，各挡板设置有一通气装置(未示)。通气装置用于在载入衬 底之前将灰尘——其为保持在上衬底和下衬底S上的加工副产品——排 到外部。
128
一个传送带设置在上载荷锁定腔322和下载荷锁定腔324的前侧和 后侧，并可依次地将衬底载入到群集式的FPD制造设备中和从群集式的 FPD制造设备卸下。而且，为了限定衬底S的传送通道，在各上载荷锁 定腔322和下载荷锁定腔324的前壁和后壁上形成有衬底入口和出口， 并设置闸阀G以打开和关闭各腔322和324的前入口和后出口 。
129在此，可注意到，传送带包括有水平移动单元330、载入传送带340 和卸下传送带360、前侧竖直可动传送带350以及后侧竖直可动传送带 370、以及辅助载入传送带350'和辅助卸下传送带370'，各竖直可动传 送带的辊子都与载入传送带340或卸下传送带360的辊子交替地设置而 不会干涉，辅助载入传送带350'和辅助卸下传送带370'设置在前侧竖 直可动传送带350以及后侧竖直可动传送带370以及上载荷锁定腔322 的前壁和后壁之间的空间中。
130载入传送带340和卸下传送带360位于与设置在下载荷锁定腔324 的前壁和后壁上的闸阀G靠近的位置处。下载荷锁定腔324内纵向地设 置有一水平移动单元330。水平移动单元330为一个与载入传送带340和卸下传送带360位于相同高度上、同时与之同轴地对齐的辊子传送带。
在此，载入传送带340和卸下传送带360及水平移动单元330与上述第 一单元中的构造和功能相同，从而，将省略对其的重复解释。
m而且，竖直可动传送带350和370的构造与功能与第一和第二实施 方式中的相同，除了竖直可动传送带350和370与下载荷锁定腔324的 前壁和后壁之间通过缓冲空间隔开之外，从而，将省略对其的重复解释。
132如图14或15所示，辅助载入传送带350'和辅助卸下传送带370' 位于挡板325上方、位于上载荷锁定腔322和下载荷锁定腔324的前侧 和后侧。
m每个辅助载入传送带350'和卸下传送带370'都包括有一对彼此平 行地设置的框架、多个在所述框架之间相互间隔均匀的辊子、以及一个 用于同步地驱动各个辊子的辊子驱动装置(未示)。
134辅助载入传送带350'和辅助卸下传送带370'的构造是类似的，除 了仅有辅助载入传送带350'设置有感应器和止档之外。
135辅助载入传送带370'用于接纳一个衬底S——所述衬底S从上载 荷锁定腔322的水平移动单元330卸下，并将该衬底S移动到升高的后 侧竖直可动传送带370上。目卩，辅助载入传送带370'仅用于将衬底S 从水平移动单元330传送到后侧竖直可动传送带370。
136辅助载入传送带350'在远离衬底进入方向的远端上设置有一止档 352'。止档352'用于限制衬底S的移动位置。
137在下文中，将对依据本实施方式的FPD制造设备的衬底载入和卸下 过程进行描述。
138参照图16A，多个衬底S1、 S2、…、Sn通过载入传送带340的辊 子根据辊子驱动装置(未示)的操作依次地传送，前方衬底S1首先由传 送带340的对齐器对齐。
139当衬底Sl沿着载入传送带340持续地移动时，位于载入传送带340 后端下方的第一感应器探测到衬底Sl的存在并向第一止档342c输出一个信号。从而，第一止档342c响应于输出信号而工作，以在一个刚好位 于下载荷锁定腔324之前的位置上停止衬底Sl的移动。140然后，如果后面的沿载入传送带340移动、位于衬底S1后方的第二 衬底S2坐落在前侧竖直可动传送带350上，则位于其下方的第二感应器 探测到衬底S2的存在并向第二止档342b输出一个信号。从而，第二止 档342b响应于该输出信号而停止衬底S2的移动。
i41而且，如果位于前侧竖直可动传送带350前端下方并与该前端处于 相同竖轴上的第三感应器探测到在衬底S2后方移动的第三衬底S3，从而 第三感应器向第三止档342a输出一个信号，则响应于该输出信号，第三 衬底S3的移动由第三止档342a停止，从而不进入到前侧竖直可动传送 带350中。
142参照图16B，等待于前侧竖直可动传送带350上的衬底S2通过传送 带350和升降杆356升高到上载荷锁定腔322的高度上。
143在完全升起后，前侧竖直可动传送带350上的衬底S2通过传送带 350的对齐器对齐。
144从而，第二衬底S2己准备好被载入到上载荷锁定腔322内，而第一 衬底Sl已准备好被载入到下载荷锁定腔324内。
145参照图16C，下载荷锁定腔324的一个入口打开，然后，前面的衬 底Sl随着载入传送带340的操作而移动到设置在下载荷锁定腔324内的 水平移动单元330上。
146当衬底S1由水平移动单元330移动时，位于水平移动单元330下方 的第四感应器探测到衬底Sl，从而第四感应器向第四止档332输出一个 信号。从而，第四止档332响应于输出信号而操作，且水平移动单元330 的操作停止。
147随后，由前侧竖直可动传送带350升高到与上载荷锁定腔322水平 轴线位于相同高度上的第二衬底S2随着辅助载入传送带350'的操作而 移动到上载荷锁定腔322内。148载入有衬底S1的下载荷锁定腔324的内部从大气压状态转换到真空状态。
149然后，衬底Sl通过一个设置在供给腔内的机械臂(未示)而传送到 期望的加工腔内，以接受等离子加工。
150参照图16D，载入有第二衬底S2的上载荷锁定腔322的内部从大气 压状态转换到真空状态。
m然后，衬底S2通过一个设置在供给腔内的机械臂(未示)而传送到 期望的加工腔内，以接受等离子加工。
52此后，前侧竖直可动传送带350降低到与载入传送带340相同的高 度上，通过第三感应器及第三止档342a而停止在载入传送带340 —预定 位置上的第三衬底S3移动到前侧竖直可动传送带350上。
153参照图16E，完成加工后的第一衬底Sl通过机械臂而载入到下载荷 锁定腔324的水平移动单元330上。然后，下载荷锁定腔324的内部从 真空状态转换到大气压状态。
154随后，下载荷锁定腔324再次打开，使得衬底Sl随着水平移动单元 330的操作而移动到卸下传送带360上。
155同时，当对齐后的第三衬底S3朝下载荷锁定腔324的入口移动时， 位于载入传送带340下方的第一传感器探测到第三衬底S3的存在并向第 一止档342c输出一个信号。从而，第一止档342c响应于输出信号而工 作，以在载入传送带340的后端处将衬底Sl保持在一等待状态中。
156而且，位于前侧竖直可动传送带350前端下方并与该前端处于相同 竖轴上的第三感应器探测到在衬底S3后侧移动的第四衬底S4，从而第三 感应器向第三止档342a输出一个信号。从而，第三止档342a响应于该 输出信号而暂时地停止第四衬底S4的移动，以防止第四衬底S4进入到 前侧竖直可动传送带350中。
157参照图16F，完成加工后的第二衬底S2通过机械臂随着水平移动单 元330的操作而从上载荷锁定腔322卸下，移动到辅助卸下传送带370'上。
158在卸下第二衬底S2的同时，第三衬底S3载入到下载荷锁定腔324 内。从而，如果位于水平移动单元330下方的第四感应器探测到由水平 移动单元330移动的第三衬底S3的存在、并向第四止档332输出一个信 号，则第四止档332响应于该输出信号而操作，且水平移动单元330的 操作停止。
159参照图16G，等待的衬底S4通过位于载入传送带340上的竖直可动 传送带350和升降杆356而被升高到上载荷锁定腔322的高度上。
160然后，坐落在前侧竖直可动传送带350上的第四衬底S4由传送带 350的对齐器对齐。
161而且，后侧竖直可动传送带370随着其升降杆376的操作从卸下传 送带360升高到设置在上载荷锁定腔322内的水平移动单元330的高度上。
162从而，第二衬底S2移动到后侧竖直可动传送带370上，该后侧竖直 可动传送带370被升高到上载荷锁定腔322内的高度上。
163参照图16H，位于后侧竖直可动传送带370上的衬底S2随着升降杆 376的操作降低到与卸下传送带360相同的高度上，从而被排到外部。
164完成加工后的第三衬底S3从供给腔传送到下载荷锁定腔324内。然 后，下载荷锁定腔324的内部从真空状态转换到大气压状态。
165当对齐后的第四衬底S4朝下载荷锁定腔324的入口移动时，位于载 入传送带340下方的第一感应器探测到衬底S4的存在并向第一档止342c 输出一个信号。从而，第一档止342c响应于该输出信号而操作，以在载 入传送带340后端处将衬底S4保持在一个等待模式下。
166如果位于前侧竖直可动传送带350前端下方并与该前端处于相同竖 轴上的第三感应器探测到在衬底S4后面移动的随后第五衬底S5，从而第 三感应器向第三止档342a输出一个信号，则第三止档342a响应于该输 出信号而操作，以暂时地停止衬底S5的移动，从而阻止衬底S5进入到传送带350中。
167剩余的衬底S4和S5将通过与上述方法相同的方式加工和移动。
第四实施方式
168如图17所示，本实施方式的FPD制造系统400包括一个第一衬底 供给线410、第二衬底供给线420、以及一个加工模块430。
169第一衬底供给线410是一个线性地设置在系统侧部区域中、并适于 沿预定方向连续地移动衬底的构件。第一衬底供给线410在其预定位置 处设置有第一载荷锁定腔412。特别地，载荷锁定腔412位于第一衬底供 给线410与加工模块430的连接位置处，并用于将衬底载入到加工模块 430和从加工模块430卸下，同时在大气压状态和真空状态之间重复地变 换。
no第二衬底供给线420是一个平行于第一衬底供给线410地设置、并 适于沿预定方向连续地移动衬底的构件。与第一衬底供给线410类似， 第二衬底供给线420在其预定位置处设置有第二载荷锁定腔422。
m在本实施方式中，第一衬底供给线410和第二衬底供给线420中的 每一个都设计成执行衬底的载入和卸下操作。即，并不是将所述供给线 之一设成仅执行衬底的载入操作而将另一供给线设成仅执行衬底的卸下 操作，任何一个供给线都可以根据情形需要而选择地执行衬底的载入操 作和/或卸下操作。
172加工模块430为一个位于第一衬底供给线410和第二衬底供给线 420之间的空间内的构件，并适于对衬底进行期望的加工。在本实施方式 中，加工模块430包括单个供给腔432以及多个加工腔434。
173供给腔432与第一衬底供给线410和第二衬底供给线420的第一载 荷锁定腔412和第二载荷锁定腔422都相连。供给腔432用于将一个从 外部站台传送过来的衬底供给到加工腔434之一中，并将完成加工后的 衬底排出到外部。在本实施方式中，如图17所示，供给腔432的形状是长的矩形，并与第一衬底供给线410和第二衬底供给线420垂直地设置。
通过此构造，衬底可从两个衬底供给线同时地供给入单个供给腔或从供
给腔排出到衬底供给线上。其优点在于可更有效地加工衬底。
174如图18所示，在本实施方式的供给腔432内设置有用于传送衬底的 供给机械臂432a。为此，供给机械臂432a可在供给腔432内水平地移动。 即，该供给机械臂432a可在供给腔432内沿水平方向移动到第一或第二 衬底供给线410或420，所述的供给腔432将第一和第二衬底供给线410 和420彼此连接起来，以从第一或第二载荷锁定腔412或422接收衬底 并将衬底传送到其中一个加工腔434。为此，本实施方式的加工腔432内 还设置有水平轨道432b，使得供给机械臂432a可沿轨道432b移动。当 使用水平轨道432b时，可对机械臂的移动路线进行精确的控制，从而， 优点在于可精确地进行衬底的供给操作而不会发生错误。
175加工腔434是对位于其中的衬底进行期望加工的构件。在本实施方 式中，如图17所示，多个加工腔434设置在供给腔432的周围同时与供 给腔432连接。优选地，加工腔434设置成至少两排。在此，术语"排 (L)"指的是沿垂直于附图面延伸的想象的排，更具体地，指的是位于 第一和第二衬底供给线410和420之间的加工腔设置排。在本实施方式 中，由于至少两排的加工腔434连接到单个供给腔432，且使用了单个供 给机械臂以将衬底载入到相应的加工腔内和从该加工腔中卸出，可以提 高衬底加工的效率以及空间利用率。此外，在保持群集式设置的同时， 所有的腔都成排地设置，从而，可提高衬底的传送效率。
176优选地，本实施方式的第一和第二衬底供给线410和420的形式为 当其上表面与衬底的下表面接触时可沿一预定方向移动该衬底的循回传 送带，以稳定地移动衬底而没有损坏衬底的危险。
177因此，如图19所示，第一载荷锁定腔412和第二载荷锁定腔422 内设置有当其上表面与衬底的下表面接触时可沿一预定方向移动衬底的 循回传送带。通过本实施方式的上述设置，沿衬底供给线移动的衬底可有效地载入到载荷锁定腔内及从载荷锁定腔卸下。178现在，将对依据本实施方式的PFD制造系统400的不同操作示例进
行解释。
179首先，如图20A所示，第一衬底供给线410可用做一衬底载入线而 第二衬底供给线420可用做一衬底卸下线以沿一预定方向移动衬底。在 此情形中，衬底通过第一衬底供给线410持续地载入，且依次地，载入 到的衬底随着设置在供给腔432内的衬底供给机械臂的操作供给到相应 的加工腔内。而且，完成加工后的衬底随着机械臂的操作从加工腔排出 到第二衬底供给线420上。在此操作过程中，对供给腔以及载荷锁定腔 进行控制以彼此配合。
180同时，如果用做衬底载入线的第一衬底供给线410的上表面上有一 故障，则剩下的第二衬底供给线420可用做衬底载入线，而上表面上有 一故障的第一衬底供给线410可用做衬底卸下线。因此，哪怕一特定部 分的衬底供给线存在故障，可对之进行修复和维护而继续整个系统的操 作。此外，本实施方式的FPD制造系统可具有很高的操作效率而不需要 传统的缓冲腔，因此，可明显地减少其占地面积(footprint)。
m可选地，如图20B所示，第一衬底供给线410和第二衬底供给线420
中的每一个都可用于进行衬底的载入及卸下操作。例如，通过第一衬底
供给线410供给的衬底可在其中一个加工腔434中进行加工后再次通过
该第一衬底供给线410排出，或可通过第二衬底供给线420排出。当然，
通过第二衬底供给线420供给的衬底可以与上述相同的方式排出。这样 的一个操作示例的优点在于可高操作效率地使用各个载荷锁定腔及供
给机械臂，且整个FPD制造系统的占地面积可明显地减少。 第五实施方式
182如图21所示，依据本实施方式的衬底传送系统500包括一个衬底供 给线510、 一个第一加工模块520、以及一个第二加工模块530。183衬底供给线510是一个线性地设置在衬底传送系统500的中心区域
中、并适于沿预定方向连续地移动衬底的构件。衬底供给线510在其预 定位置处设置有载荷锁定腔512。特别地，载荷锁定腔512位于第一加工 模块520和第二加工模块530与衬底供给线510连接的位置处。载荷锁 定腔512用于将衬底载入到第一加工模块520和第二加工模块530中和 从第一加工模块520和第二加工模块530卸下，同时在大气压状态和真 空状态之间重复地变换。
184如图21所示，载荷锁定腔512连接到第一加工模块520和第二加工 模块530，并从而具有这样的优点其可将衬底载入到第一加工模块520 和第二加工模块530中和从第一加工模块520和第二加工模块530卸下。 在此情形下，载荷锁定腔512设置有四个闸阀。当期望在腔512内形成 真空时，所有的四个闸阀都必须关闭。同时，当期望传送衬底时，四个 闸阀中的特定的一个——其位于衬底移动方向上——必须打开，同时， 其它的闸阀保持在关闭状态上。因此，有利地，设置一个控制器以允许 四个闸阀彼此配合，从而根据过程而相应地打开或关闭。在本实施方式 中，控制器可以是一个配合的感应器。
185优选地，本实施方式的衬底供给线510的形式为当其上表面与衬底 的下表面接触时可沿一预定方向移动该衬底的循回传送带，以稳定地移 动衬底而没有损坏衬底的危险。
186为此，如图22所示，有利地，本实施方式的载荷锁定腔512内设置 有当其上表面与衬底的下表面接触时可沿一预定方向移动衬底的循回传 送带。通过本实施方式的上述设置，沿衬底供给线510移动的衬底可有 效地载入到载荷锁定腔512内及从载荷锁定腔512卸下。
187在本实施方式中，衬底供给线510构造成既可进行衬底的载入操作 也可进行衬底的卸下操作。
188第一衬底加工模块520是一个连接到衬底供给线510并适于对衬底 进行期望加工的构件。189本实施方式的第一衬底加工模块520包括单个供给腔522以及多个 加工腔524。如图21所示，单个供给腔522居中地设置，而多个加工腔 524设置在供给腔522的周围，同时与供给腔522连接。在此设置中，供 给腔522的一侧连接到设置在衬底供给线510上的载荷锁定腔512，使得 衬底可通过载荷锁定腔512而载入到供给腔522中及从供给腔522卸下。190第二衬底加工模块530是一个连接到衬底供给线510并适于对衬底 进行期望加工的构件。与第一衬底加工模块520类似，第二衬底加工模 块530包括单个供给腔532以及多个加工腔534。供给腔532连接到设置 在衬底供给线510上的载荷锁定腔512，用于载入和卸下衬底。191在本实施方式中，第一衬底加工模块520和第二衬底加工模块530 中的每一个都设计成从衬底供给线510接收衬底并将加工过的衬底通过 衬底供给线510排出到外部。当待加工的衬底通过单个衬底供给线而供 给到两个加工模块中时，其提供数个优点衬底的加工效率提高了，以 及整个系统的占地面积明显地降低了。
第六实施方式
192如图24所示，依据本实施方式的衬底传送系统600包括第一、第二 以及第三衬底供给线610、 630以及620、以及第一和第二衬底加工模块 640和650。
193第一衬底供给线610是一个线性地设置在衬底传送系统600侧部区 域中、并适于沿预定方向连续地移动衬底的构件。第一衬底供给线610 在其预定位置处设置有第一载荷锁定腔612。特别地，载荷锁定腔612位 于第一衬底供给线610与第一加工模块640的连接位置处，并用于将衬 底载入到第一加工模块640中和从第一加工模块640卸下，同时在一个 大气压状态和真空状态之间重复地变换。
194第二衬底供给线630是一个平行于第一衬底供给线610地设置、并 适于沿预定方向连续地移动衬底的构件。与第一衬底供给线610类似，第二衬底供给线630在其预定位置处设置有一第二载荷锁定腔632。195在本实施方式中，第一衬底供给线610和第二衬底供给线630中的 每一个都设计成执行衬底的载入和卸下操作。
196第一衬底加工模块640为一个位于第一衬底供给线610和第二衬底 供给线630之间的空间内的构件，同时与第一衬底供给线610相连，并 适于对衬底进行期望的加工。
97本实施方式的第一加工模块640包括单个供给腔642以及多个加工 腔644。特别地，如图24所示，单个供给腔642居中地设置，而多个加 工腔644设置在单个供给腔642的周围，同时与供给腔642连接。供给 腔642的一侧连接到设置在第一衬底供给线610上的第一载荷锁定腔 612，使得衬底可通过载荷锁定腔612而载入到供给腔642中和从供给腔 642卸下。
198第二衬底加工模块650为一个位于第一衬底供给线610和第二衬底 供给线630之间的空间内的构件，同时与第二衬底供给线630相连，并 适于对衬底进行期望的加工。与第一加工模块640类似，第二衬底加工 模块650包括单个供给腔652以及多个加工腔654。供给腔652连接到设 置在第二衬底供给线630上的第二载荷锁定腔632，用于载入和卸下衬底。
199第三衬底供给线620是一个线性地设置在第一和第二加工模块640 及650之间、与第一和第二衬底供给线610和630平行的构件。第三衬 底供给线620适于沿一预定的方向持续地移动衬底，同时与第一和第二 加工模块640和650连接。为此，第三衬底供给线620在其与第一和第 二加工模块640和650连接的位置处设置有一第三载荷锁定腔622，用于 将衬底载入到第一和第二加工模块640和650中以及从第一和第二加工 模块640和650卸下，同时在一个大气压状态和真空状态之间重复地变 换。如图24所示，第三载荷锁定腔622与第一和第二供给腔642和652 都相连，并且从而具有这样的优点可以将衬底供应至第一和第二加工 模块640和650和从第一和第二加工模块640和650排出。在此情形下，第三载荷锁定腔622设置有四个闸阀。当期望在腔622内形成真空时， 所有的四个闸阀都必须关闭。同时，当期望传送衬底时，四个闸阀中的 特定的一个——其位于衬底移动方向上——可以打开，同时，其它的闸 阀保持在关闭状态上。因此，有利地，设置一个控制器以允许四个闸阀 彼此配合，从而根据过程而选择性地打开或关闭。
200优选地，本实施方式的第一、第二、和第三衬底供给线610、 630 和620的形式为当其上表面与衬底的下表面接触时可沿一预定方向移动 该衬底的循回传送带，以稳定地移动衬底而没有损坏衬底的危险。
20U因此，如图25所示，有利地，在每个第一、第二、和第三载荷锁定 腔612、 632和622中都设置有一循回传送带，该循回传送带为当其上表 面与衬底的下表面接触时可沿一预定方向移动该衬底。通过本实施方式 的这个设置，沿各衬底供给线移动的衬底可有效地载入到相关的载荷锁 定腔内及从相关载荷锁定腔卸下。
202现在，将对依据本实施方式的衬底传送系统600的不同操作示例进
行解释。
203首先，将对使用第一到第三衬底供给线中的两个供给线载入衬底、 同时使用剩下的衬底供给线卸下衬底的方法进行解释。在此方法中，如
图26A所示，从第一到第三衬底供给线中自由地选择两个供给线，这两 个供给线可设成衬底载入线，而剩下的供给线可设成衬底卸下线。在此，
可注意到只要需要，就可以重新设置衬底的载入线和卸下线。因此， 各衬底供给线可容易地从衬底载入线转换成衬底卸下线，反之亦然。例
如，假设第一和第三衬底供给线610和630用作衬底载入线，如果第一 衬底供给线610的上表面出现故障，则第二衬底供给线620可设成衬底 载入线以替代第一衬底供给线610。因此，此操作示例的优点在于使得 可以在故障线修复和维护的过程中持续地加工衬底。因为两个载荷锁定 腔连接到单个的供给腔，从而可以同时地沿相反方向进行衬底的载入以 及卸下操作，所以可以实现这个优点。204同时，如图26B所示，假设第一到第三衬底供给线中的每个线都被 分成上线和下线，三个上线中的两个可设成衬底载入线，而三个下线中 的两个可设成衬底卸下线。在此，大量的情形是选择三个上线或下线中 的两个。从而，哪怕三个衬底供给线之一发生故障并必须被修复时，衬 底可继续通过剩下的两个线载入和卸下。
205可选地，三个衬底供给线中的每一个都既可用作衬底载入线又可用 作衬底卸下线。在此情形下，如图27所示，各衬底供给线的上部可设成 衬底载入线，而各线的下部可设成衬底卸下线。同时，必须使用各载荷 锁定腔，以将衬底载入到邻近的供给腔中和从邻近的供给腔卸下。此操 作示例的优点在于衬底的加工效率可双倍或更多地提高，同时其占据 的占地面积与传统的衬底传送系统相同。
第七实施方式
206现在，将对一个用于上述FPD制造系统中的加工腔的实施方式进行
解释。如图28所示，本实施方式的加工腔包括一下腔712、 一上电极714、 一下电极716、以及一固定元件724。
207下腔712的形状为一具有一开口上端的中空盒体，并用于在其内容 纳上电极714和下电极716。为了易于分离，上电极714如此地安装在下 腔712中在上电极714的外周和下腔712的内壁表面之间存在有一特 定的间隙。因此，为了防止加工气体——例如等离子气体——渗出该间 隙，在该间隙中设置了一屏蔽元件722。
208上电极714具有一个安装在其下部区域中的喷头。同时，考虑到待 施加到上电极714上的高频电能， 一个绝缘元件718附接到上电极714 的外壁表面上。上电极714固定到下腔712内壁表面的上端，同时部分 地插入到下腔712内。
209
一接触元件720设置在上电极714的下表面的边缘上。接触元件720 沿着其下表面的外周是阶梯形的。210屏蔽元件722的形式为一L形的悬臂梁、且固定在下腔712的预定 位置处。屏蔽元件722与接触元件720设置在相同的水平平面上，以与 接触元件720的阶梯形部分紧密地接合。通过此构造，屏蔽元件722的 自由端牢固地接合到接触元件720的阶梯形部分，从而密封下腔712与 上电极714之间的间隙。
211优选地，屏蔽元件722由阳极氧化铝制造。屏蔽元件722与上电极 714的下表面设置在相同的高度上。此设置的效果在于使得等离子气体 可以均匀地流动、以及从而改进等离子加工的均匀度。212固定元件724的下端是部分地凹入的，且通过在其间插入一气密元 件而牢固地坐落在下腔712的上边缘表面上。在这种坐落状态中，固定 元件724的下表面与上电极714的上表面接触。
213如图29所示，具有适当厚度的盖元件726可插入到固定元件724 与上电极714的接触表面之间。盖元件726的面积与上电极714的面积 相等，并用来拦截电磁波。
2]4设置上电极714以替代传统的上腔，且上电极部分地插入到下腔712 内并与下腔固定。用上电极714来替代传统的上腔具有这样的效果减 少加工设备的整体重量。而且，当期望修复上电极714时，上电极714 可从下腔712容易地打开或关闭，而没有增加打开/关闭装置(未示)的
215如上所述，上电极714及下腔712之间有一个间隙，以允许上电极 714容易地从下腔712分离，且设置了一屏蔽元件722以密封该间隙，从 而防止加工气体——例如等离子气体——从间隙渗出。
216盖元件726附接到上电极714的上表面，以拦截电磁波。
第八实施方式
217现在将解释用于上述FPD制造系统中的加工腔的另一实施方式。参
照图30,多个加工腔为异类(disparate)加工腔，其用于以不同方式进行同一加工过程。因此，这些用于通过不同方法而进行相同加工的加工腔 彼此之间是互补的。
218例如，在一个用于依据一特定图案对形成在玻璃衬底的薄膜进行蚀 刻的蚀刻腔的情形下，存在这样的一个需要依据待蚀刻的不同薄膜而 使用不同的蚀刻腔。为此，有利地，多个蚀刻腔具有群集式的设置，以 应付多种薄膜蚀刻加工工艺。
219特别地，有利地，设置等离子蚀刻(PE)腔以及反应离子蚀刻(reactive ion etching) (RTE)腔——这两个腔彼此互补——而形成单一的群集。PE 腔适于进行主动加工，而RTE腔适于进行被动加工。将这两种类型的蚀 刻腔设置成单个群集使得可以同时地实现不同的蚀刻加工工艺，且可减 少多种蚀刻加工工艺的衬底传送时间。
220因此，多个加工腔可包括至少一个PE腔以及至少一个感耦等离子 (inductively-coupled plasma) (ICP)腔。因为PE腔和ICP腔彼此互补，
将这两种类型的蚀刻腔设置在单个群集内可实现上述的效果。221现在，将参照图31而对使用具有上述异类蚀刻腔的FPD制造系统
来进行两个蚀刻加工工艺的过程进行解释。
222首先， 一个将在FPD制造系统内进行加工的衬底从外部衬底供应站
840载入到载荷锁定腔830中(步骤S101)。如果衬底载入其内，则在载 荷锁定腔830内形成一个真空状态，然后打开一闸阀G以将衬底载入到 供给腔810中(步骤S102)。载入供给腔810内的衬底传送到第一蚀刻腔 820a，以对衬底进行初始蚀刻加工(步骤S103)。如果衬底完全地载入到 第一蚀刻腔820a内，则闸阀关闭且进行初始蚀刻加工(步骤S104)。在 完成初始蚀刻加工后，衬底通过供给机械臂812从第一蚀刻腔820a卸下 (步骤S105),并随后载入到第二蚀刻腔820b中以进行次级蚀刻加工(步 骤S106)。如果衬底完全地载入到第二蚀刻腔820b内，则闸阀关闭以对 衬底进行次级蚀刻加工(步骤S107)。在完成次级蚀刻加工后，衬底通过 供给机械臂812从第二蚀刻腔820b卸下(步骤S108)，并随后传送到载荷锁定腔830中(步骤S109)。当载荷锁定腔830的内部从真空状态转换 到大气压状态时，衬底排出到外部衬底供应站840 (步骤SllO)。由此， 由于可进行两个不同的蚀刻工艺而无须将衬底排出到外部，可极大地减 少整个加工时间。
223从上述的描述可明显地得出，依据本发明的FPD制造系统， 一种群 集式的制造设备一一其包括多个彼此叠置的载荷锁定腔——具有一成行 的设置，且衬底可通过成行式的传送机构载入和卸下。而且，依据本发 明的一个实施方式，衬底载入到下载荷锁定腔中并从上载荷锁定腔卸下， 且一个竖直可动传送带设置在卸下传送带的上方。具有上述构造的FPD 制造系统可有效地减少整体的加工时间以及系统的占地面积。
224此外，依据本发明，衬底可高传送效率地处理，而无须使用一个缓
冲腔。这可极大地减少FPD制造系统的面积。
225虽然为了说明的目的而公开了本发明的优选实施方式，本领域技术 人员可以理解可有多种修改、添加以及替换形式而不会偏离所附的权 利要求中所公开的本发明的范畴和精神。
权利要求
1.一种平板显示器的制造系统，包括沿预定方向传送衬底的衬底供给线；设置在所述衬底供给线的一侧处的第一加工模块；以及设置在所述衬底供给线的另一侧处的第二加工模块。
2. 如权利要求1所述的平板显示器的制造系统，其中，所述第一加 工模块具有从所述衬底供给线接收所述衬底的第一供给腔，所述第二加 工模块具有从所述衬底供给线接收所述衬底的第二供给腔。
3. 如权利要求2所述的平板显示器的制造系统，其中，所述第一加 工模块还包括连接至所述第一供给腔的多个加工腔，所述第二加工模块 还包括连接至所述第二供给腔的多个加工腔。
4. 如权利要求2所述的平板显示器的制造系统，进一步包括载荷锁定腔，连接至所述第一供给腔和所述第二供给腔，并且将所 述衬底从所述衬底供给线分别传送至所述第一供给腔和所述第二供给 腔。
5. 如权利要求4所述的平板显示器的制造系统，其中，所述载荷锁 定腔包括通过转动垂直于所述预定方向传送所述衬底的传送带。
全文摘要
在此公开了一种平板显示器(FPD)的制造系统，其包括一个或多个沿成行路线连续地移动衬底的衬底传送线、以及多个彼此叠置以用于载入和卸下完成处理后的衬底的载荷锁定腔，从而对可衬底进行有效的处理。
文档编号H01L21/677GK101308774SQ200810089139
公开日2008年11月19日 申请日期2006年5月26日 优先权日2005年5月26日
发明者崔浚泳, 崔银烈, 曺生贤, 权孝重, 李荣钟, 金允基, 金银石, 韩明宇 申请人:爱德牌工程有限公司