专利名称：适用于多种介质、多种尺寸的倒片机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种将硅片从一个花篮传递到另一个花篮的倒 片机，同时也可以用于锗、砷化镓等半导体晶片的传递。
背景技术：
硅片是现代超大规模集成电路的主要衬底材料， 一般通过拉晶、 切片、倒角、磨片、腐蚀、抛光、清洗等工艺过程做成的集成电路级 半导体硅片。 '
硅片在加工流程中会经过多次的从一个花篮传递到另一个花篮 的操作。在有些工序可能轮换作业不同尺寸的硅片，有些工序可能因 为加工工艺的要求，硅片须要时刻保证湿润状态作业。但是，己有的
倒片机为单尺寸(市场有售)，即5吋花蓝倒至5吋花蓝，6吋花 蓝倒至6吋花蓝等，而且是在空气中进行，不能满足多种介质、多种 尺寸的需求。 发明内容
本实用新型的目的是提供一种适用于多种介质、多种尺寸的倒片 机，能在一台倒片机上进行多种尺寸硅片倒蓝，本倒片机结构紧凑， 操作方便，便于推广使用。
为达到上述目的，本实用新型是采用以下技术方案 这种适用于多种介质、多种尺寸的倒片机，它包括底座，在底 座的下边装两条导轨，在导轨上装一滑条l，滑条的中间部位和另一 滑条3固定连接，滑条3由滑条1和一导孔4定位，滑条3和硅片推
杆5固定连接；在底座上表面上装两条定位导轨6，两端分别以底座
的中心线12为基准，对称开4吋用花篮定位槽9， 5吋用花篮定位槽 10， 6吋用花篮定位槽11,在定位导轨6的外侧加工4吋、5吋和6 吋定位槽14、 15、 16，还有定位销23，定位销的一端固定在定位槽 内，另一端旋转后换位到相应花蓝的定位槽内。
本实用新型的优点是本倒片机结构紧凑，兼容多种尺寸能在空气中或水中倒片，操作方便，便于推广使用。
图la:已有的花篮结构主视图
图lb:图la的俯视图
图2a:本实用新型的主视图
图2b:图2a的俯视图
具体实施方式
如图la、图lb、图2a、 2b所示，本倒片机包括底座，在底座 的下边装两条导轨，在导轨上装一滑条l，此滑条l的一端可和一高 度比推杆5高出2 5cm的垂直于此滑条的手柄2固定连接，用水中 操作。推杆5的顶端至底座的上表面间的高度为13 13.5cm，滑条的 中间部位和另一滑条3固定连接，滑条3由滑条1和一导孔4定位(定 位导孔4位于底座下面，并靠近左端的中间部位)，滑条3和硅片推 杆5固定连接。
在底座上表面上装两条定位导轨6，两条定位导轨间的宽度7应 为3 8.5厘米(目前最小的尺寸为4吋)，定位导轨6相对于底座上 表面的高度应为2 5毫米。
在定位导轨的两端分别以底座的中心线12为基准，对称开4吋 用花篮定位槽9， 5吋用花篮定位槽10， 6吋用花篮定位槽11,定位 槽的宽度为7 8毫米， 一端定位槽到中心线12的距离大于花篮H面 定位棱8到花篮口距离2~5毫米。
在定位导轨6的外侧加工3组定为槽，每组定位槽4个，分别以 导轨6的对称线和中心线12为对称线。以中心线12为轴对称的定位 槽间的距离为1 2cm。倒4吋片用的为定位槽14，倒5吋片用的为 定位槽15，倒6吋片用的为定位槽16。 4吋定位槽间的宽度距离bi 小于4吋花篮H端口内侧宽度Bi 1~2毫米，5吋定位槽间的宽度距 离b2小于5吋花篮H端口内侧宽度B2 1 2毫米，6吋定位槽间的宽 度距离b3小于6吋花篮H端口内侧宽度B3 1 2毫米。在定位槽内 安装一组可换位到定位槽14、 15和16的定位销23， S卩定位销的 一端固定在定位槽内，另一端旋转后换位到相应花蓝的定位槽内，定
4位销23只有一组，当倒4吋片时，定位销23放置到定位槽14的位 置，当倒5吋片时，定位销23放置到定位槽15的位置，当倒6吋片 时，定位销23放置到定位槽16的位置，定位销露在底座表面以上的 的高度应和定位导轨6的高度一样。8为花篮H面定位棱。
采用耐摩擦与磨耗、尺寸安全性良好、易成型、吸水量小的材料， 如聚甲醛等作为底座。 实际倒片操作
1、 若倒4吋片，将定位销23放在定位槽14内，将装有待倒片 的花篮放在有硅片推杆的一侧，花篮H面定位棱8放在定位导轨6的 槽9内，花篮H面的前端由定位销23固定，待装硅片的空花篮相对 应的定位放置在另一侧，推动手柄2并传动推杆5将硅片倒入另一蓝。
2、 若倒5吋片，将定位销23放在定位槽15内，将装有待倒片 的花篮放在有硅片推杆的一侧，花篮H面定位棱8放在定位导轨6的 槽10内，花篮H面的前端由定位销23固定，待装硅片的空花篮相对 应的定位放置在另一侧，推动手柄2并传动推杆5将硅片倒入另一蓝。
3、若倒6吋片，将定位销23放在定位槽16内，将装有待倒片 的花篮放在有硅片推杆的一侧，花篮H面定位棱8放在定位导轨6的 槽11内，花篮H面的前端由定位销23固定，待装硅片的空花篮相对 应的定位放置在另一侧，推动手柄2并传动推杆5将硅片倒入另一蓝。
权利要求1、一种适用于多种介质、多种尺寸的倒片机，其特征在于它包括底座，在底座的下边装两条导轨，在导轨上装一滑条(1)，滑条的中间部位和另一滑条(3)固定连接，滑条(3)由滑条(1)和一导孔(4)定位，滑条(3)和硅片推杆(5)固定连接；在底座上表面上装两条定位导轨(6)，两端分别以底座的中心线(12)为基准，对称开4时用花篮定位槽(9)，5时用花篮定位槽(10)，6时用花篮定位槽(11)，在定位导轨(6)的外侧加工4时、5时和6时定位槽(14)、(15)、(16)，还有定位销(23)，定位销的一端固定在定位槽内，另一端旋转后换位到相应花蓝的定位槽内。
2、 根据权利要求1所述的一种适用于多种介质、多种尺寸的倒 片机，其特征在于所述的滑条(1)的一端和一高度比推杆(5)高 出2 5cm的垂直于此滑条的手柄(2)固定连接。
专利摘要一种适用于多种介质、多种尺寸的倒片机，它包括底座，在底座的下边装两条导轨，在导轨上装一滑条(1)，滑条的中间部位和另一滑条(3)固定连接，滑条(3)由滑条(1)和一导孔(4)定位，滑条(3)和硅片推杆(5)固定连接；在底座上表面上装两条定位导轨(6)，两端分别以底座的中心线(12)为基准，对称开4时用花篮定位槽(9)，5时用花篮定位槽(10)，6时用花篮定位槽(11)，在定位导轨(6)的外侧加工4时、5时和6时定位槽(14)、(15)、(16)，还有定位销(23)，定位销的一端固定在定位槽内，另一端旋转后换位到相应花蓝的定位槽内。本实用新型的优点是本倒片机结构紧凑，兼容多种尺寸能在空气中或水中倒片，操作方便，便于推广使用。
文档编号H01L21/677GK201345356SQ20082012345
公开日2009年11月11日 申请日期2008年11月3日 优先权日2008年11月3日
发明者张果虎, 李俊峰, 李耀东, 沈晓东, 新 王, 鹏 赵, 韩晨华 申请人:北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司