专利名称：排风装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种排风装置，尤其涉及一种用于抽取反应腔内的有毒有 害物质的排风装置。
背景技术：
在集成电路制造领域，许多制程设备都设置有反应腔(chamber),对于某 一些制程而言，反应腔内具有一些有毒有害的物质，在设备人员进行制程设备 维护时，需要打开反应腔，进行反应腔内的清洁等工作。此时，这些有毒有害 物质就会从反应腔内扩散到空气中，严重影响洁净室的洁净度，若这些污染物 落入到晶片上，则会影响晶片的成品率，同时，这些有毒有害物质对设备维护 人员的人身健康造成了极大的威胁。
在半导体制造厂的洁净室内配备有真空系统(House Vacuum System )，其提 供洁净室制程区以及回风区清洁吸取微尘粒子的真空源， 一般包括有真空泵以 及连接到真空泵上的软管。
在半导体制造厂内，每天都需要进行制程设备的日常维护，因此如何能利 用现有的真空系统的真空泵来提供一种反应腔维护时使用的排风装置已成为急 需解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种排风装置，用以解决制程设备的反应腔维护 时，反应腔内的有毒有害物质影响洁净间内的洁净度的问题，防止有毒有害物 质对设备维护人员的人身健康造成威胁。
有鉴于此，.本实用新型提出了一种排风装置，用于抽取反应腔内的有毒有 害物质，包括排风罩，罩设在所述反应腔上；以及真空泵，与所述排风罩相
3连接。
可选的，所述排风罩底部具有排风口，所述排风口通过一软管与所述真空
泵连通o
可选的，所述排风罩为长方体。
可选的，所述反应腔具有开口，所述排风罩罩住所述反应腔的70%的开口 面积。
可选的，所述排风罩的材质为聚氯乙烯。
本实用新型提出了一种排风装置，在设备维护人员维护制程设备的反应腔 时进行排风处理，可将反应腔内的有毒有害物质排走，防止反应腔内的有毒有 害物质污染洁净室的环境，保障设备维护人员的人身安全。
图1A为本实用新型一实施例所提供的排风装置的结构示意图； 图1B为本实用新型一实施例所提供的排风装置的使用示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的排风装置作进一步详细说明。
请参考图1A,其为本实用新型一实施例所提供的排风装置的结构示意图， 所述排风装置100用于抽取反应腔200内的有毒有害物质，所述反应腔200具 有开口，所述排风装置100包括真空泵110以及排风罩120,其中，排风罩 120为开口容器状，可罩设在所述反应腔200上，排风罩120还具有一排风口 121，设置于排风罩120的底部，排风口 121与真空泵110通过软管130连通。
其中，真空泵110为公知技术，为了清楚，不详细描述其功能和结构，因 为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。
在本实用新型一实施例中，所述排风罩120可罩设在反应腔200上，优选 为长方体，便于加工制作，在本实用新型其它实施例中，也可结合实际需要， 将所述排风罩设置为可罩设反应腔的其它形状，如圆柱形等。
请继续参考图1B,其为本实用新型一实施例提供的排风装置的使用示意图，当设备人员需要进行制程设备的日常维护时，打开反应腔200的盖子后，马上 将排风罩120罩设在反应腔200的开口上，并通过软管130将排风罩120连接 到真空泵110处。其中，排风罩120可罩住反应腔200开口面积的大部分，优 选为排风罩120罩住反应腔200的70%的开口面积。这样可保证打开真空泵110 的运转电源后，真空泵110将反应腔内的有毒有害物质抽走，此时，设备维护 人员可经由未被排风罩120罩住的反应腔200的开口部分将手伸入反应腔200 内，进行制程设备的日常维护，如清洁等工作。如此，可防止反应腔200内的 有毒有害物质扩散到空气中，影响洁净室内的洁净度，并可防止反应腔内的有 毒有害物质威胁设备维护人员的人身安全。
在本实用新型一实施例中，排风罩120的材质为聚氯乙烯(PVC),其不会 产生粉尘污染制程设备，耐酸碱、抗腐蚀，硬度高，又可避免刮伤制程设备， 且易于加工。
综上所述，本实用新型提供一种排风装置，用于抽取反应腔内的有毒有害 物质，所述排风装置包括排风罩以及真空泵，所述排风罩罩设在所述反应腔 上，所述真空泵与所述排风罩相连接。本实用新型提供的排风装置，在设备维 护人员维护制程设备的反应腔时进行排风处理，可将反应腔内的有毒有害物质 排走，防止反应腔内的有毒有害物质污染洁净室环境，保障设备维护人员的人 身安全。
本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实 用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动 和变型在内。
权利要求1、一种排风装置，用于抽取反应腔内的有毒有害物质，其特征在于，包括排风罩，罩设在所述反应腔上；以及真空泵，与所述排风罩相连接。
2、 如权利要求1所述的排风装置，其特征在于，所迷排风罩底部具有排风 口，所述排风口通过一软管与所述真空泵连通。
3、 如权利要求1所述的排风装置，其特征在于，所述排风罩为长方体。
4、 如权利要求1所述的排风装置，其特征在于，所述反应腔具有开口，所 述排风罩罩住所述反应腔的70%的开口面积。
5、 如权利要求1所述的排风装置，其特征在于，所述排风罩的材质为聚氯 乙烯。
专利摘要本实用新型提供一种排风装置，用于抽取反应腔内的有毒有害物质，所述排风装置包括排风罩以及真空泵，所述排风罩罩设在所述反应腔上，所述真空泵与所述排风罩相连接。本实用新型提供的排风装置，在设备维护人员维护制程设备的反应腔时进行排风处理，可将反应腔内的有毒有害物质排走，防止反应腔内的有毒有害物质扩散到空气中，影响洁净室的洁净度，保障设备维护人员的人身安全。
文档编号H01L21/00GK201323188SQ200820158349
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月30日
发明者宋英华 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司