双导轨半导体芯片激光打标的制作方法

文档序号:6929494阅读:229来源:国知局
专利名称:双导轨半导体芯片激光打标的制作方法
技术领域
本发明主要是半导体封装中双导轨半导体芯片激光打印,属于光机电一体化中先 进制造技术和新型机械产品的设计技术领域。
背景技术
目前国际市场主要使用单导轨全自动设备,普遍存在产能低,激光打标面积在料 条宽度方向的浪费,激光只能完成一条的打标后,等待下一条的就位.由于单导轨的机构 决定了,料条与料条之间进料的必然的激光等待时间.问题是产能低,激光工作效率较低。

发明内容
充分利用和发挥激光的有效打标工作范围,将打标区分为前后两个打标区域,交 替进料条和出料条,实现双轨(承载)送料。从而达到激光不间断打标,减少因单导轨的料 条出料和进料的间隔(INDEX)时间的激光等待的浪费。这样产能可提高15% 35%,投资 可降低10% 25%,缩短投资的回收周期,提高激光的利用率,实现高效、节能、环保,增强 中国半导体封装技术和国际竞争力。


图1为本发明双导轨半导体芯片激光打标和传统单导轨激光打标机对比;图2为本发明双导轨半导体芯片激光打标的产品技术路线图;图3为本发明双导轨半导体芯片激光打标的实现示意图。
具体实施方式
(示意说明附图)设计结构紧凑,并满足加工和简·配要求;便于和保证整机的调试达到精度要求;便于 日常维护和有效地分配排尘;控制多样化,要求同时能兼容单轨生产的选择洞时对激光器的安装 调整及软件和控制,提出了更高的要求,要求能区分前后轨的到料和相应的打标文件。如图1在结构设计上,保证双导轨的运动与设计一致,并保证产品与激光打标面的一致, 充分利用激光的焦深面,是各种半导体器件能在快速更换,免调整的中心对称设计。如图1在排尘的高效率要求方面,是双轨不同与单轨的另一个主要核心,有效的除尘是 激光打标的基本要求,双导轨由于打标面积广,结构紧凑,如何合理布置有效的抽尘装置, 如何充分发挥双轨,激光和排尘各种的优势。如图1激光的快速灵活和补偿的便捷,通过合理的结构设计和控制系统规划,才能充分 发挥其作用,才能保证系统的经济性和实用性。如图1采用步进马达由PLC为核心控制器,外加IPC的双语人机视窗操作界面.以标准 化零件为主要,软件开发为核心,基于整体的机械结构,充分发挥激光的优势,并机械定位 装置适用用于90%以上的产品质量需求,辅助以视觉定位系统应对高要求的产品。如图2。双轨(Dual Carrier)连续激光打标的实现,如图3。双轨系统的设计,充分发挥了激光打标的快速特性------零等待时间。如图权利要求
一种双导轨半导体芯片激光打标,其特征是双导轨同时双载托料,充分利用和发挥激光的有效打标工作范围达到激光不间断打标。
2.根据权利要求1所述的双导轨交叉送料,其特征是产品能分别进入双导轨的前后工 作区,在结构设计上,能保证双导轨与激光打标面的一致,充分利用激光的焦深面,使各种 半导体器件能快速更换,免调整的中心对称设计。
3.根据权利要求1所述的双导轨交叉打标,其特征是产品进入双导轨后,交替进前后 工作区,无排队等待时间,使激光打标的等待时间为零,提高了激光利用率。
4.根据权利要求1所述的双导轨托料运载,其特征是对半导体芯片料条厚薄通用,并 且是托料运载的,保护了料条不被损伤,而传统的单轨是用定位针固定在PIN进行拖料,对 料条厚薄不通用,机器设备通用性差。
全文摘要
本发明主要是半导体封装中双导轨半导体芯片激光打印,是光机电一体化中先进制造技术和新型机械产品的设计技术领域。充分利用和发挥激光的有效打标工作范围,将打标区分为前后两个打标区域,交替进料条和出料条,实现双轨(承载)送料。从而达到激光不间断打标,减少因单导轨的料条出料和进料的间隔(INDEX)时间的激光等待的浪费。这样产能可提高15%~35%,投资可降低10%~25%,缩短投资的回收周期,提高激光的利用率,实现高效、节能、环保,增强中国半导体封装技术和国际竞争力。
文档编号H01L21/00GK101901738SQ20091005199
公开日2010年12月1日 申请日期2009年5月26日 优先权日2009年5月26日
发明者卢冬青 申请人:上海功源电子科技有限公司
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