专利名称：剥除辊、用于从盘形工件上揭下薄膜的设备和方法
技术领域：
本发明涉及ー种剥除辊，具有此类剥除辊的设备以及利用此类设备将薄膜从盘形エ件、特别是铸模圆片上掲下的方法。
背景技术：
尽管可以应用到任意的盘形エ件上，本发明和其要解决的问题參照铸模圆片详细阐述。根据本发明的设备特别是设置在圆片生产线中且用于将薄膜从盘形エ件、特别是从铸模圆片或复合体圆片上掲下和分离。铸模圆片或复合体圆片是组合而成的圆片，其通 过组合单个的芯片、比如硅芯片产生出圆片形构造，其中，芯片借助于塑料材料被粘接成盘形结构。在用于制造此类圆片的各种各样的工作步骤中将薄膜敷设到、特别是粘接或借助于吸附力吸附地安装到盘形エ件上。该薄膜具有自粘接特性。薄膜比如在ー个个加工步骤期间用作保护和遮盖膜，但也可以在功能上对于エ件的加工起重要作用，比如用于固定一个个エ件部件或作为双面的粘接载体用于附着处理以及用于借助于工具机传送エ件。在完成铸模圆片的制造之前特别是在流动带形式的加工方法中需要尽可能完美地、可靠地以及无残留地将薄膜特别是以较高的速度和较大的可靠性从铸模圆片上掲下。
发明内容
该目的通过具有权利要求I的特征的剥除辊和/或通过具有权利要求4的特征的设备和/或通过具有权利要求9的特征的方法实现。相应地设置用于将薄膜从盘形エ件、特别是复合体圆片上掲下的剥除辊，具有用于カ配合地揭开或用于推开薄膜分段的薄膜操纵段。用于将薄膜从盘形エ件、特别是复合体圆片上掲下的设备，具有用于カ配合地固紧盘形エ件的固紧装置；具有用于カ配合地揭开或用于推开薄膜分段的薄膜操纵段的剥除辊；用于使剥除辊相对于固紧装置水平地和/或垂直地行驶的行驶装置；以及用于使剥除辊围绕剥除辊的中轴旋转的旋转装置。用于借助于此类设备将薄膜从盘形エ件、特别是从复合件圆片上掲下的方法，具有下列方法步骤将剥除辊从停靠位置水平地驶入剥除辊的揭开位置中，其中，在揭开位置中薄膜操纵段面向薄膜；激活薄膜操纵段并且将剥除辊竖直地沉降到薄膜上；薄膜分段吸附在剥除辊上；将剥除辊从盘形エ件上竖直地抬起，其中，薄膜分段至少在某些区段从盘形エ件上被揭下；使剥除辊围绕预设的包络角旋转，用于至少在某些区段上将薄膜分段卷绕在剥除辊上并且同时使剥除辊朝停靠位置水平地行驶，其中，薄膜逐渐从盘形エ件上掲下；将剥除辊竖直地驶离盘形エ件同时水平地行驶到剥除辊的水平的端部位置中；将剥除辊超出停靠位置水平地驶入推开位置中，其中，薄膜在推开位置中完全从盘形エ件上掲下；借助于剥除辊反方向地以预设的包络角的角度分段的旋转将卷绕在剥除辊上的薄膜分段从剥除辊上开卷，其方式为，薄膜操纵段定位在卸除位置中；以及借助于薄膜操纵段将薄膜从剥除辊上推开。此外将薄膜、特别是薄膜分段借助于剥除辊的薄膜操纵段吸附在剥除辊上。借助于剥除辊相对于盘形工件的水平和垂直的行驶将薄膜快速地以及无残留地自动化地从盘形工件上揭下。本发明的有利设计和改进从从属权利要求中以及从说明书中结合附图给出。根据剥除辊的一种优选的改进，薄膜操纵段被设计成可切换的负压/过压段、特别是设计成吸气/吹气嘴或设计成沿剥除辊的中轴设置的吸气/吹气缝，用于借助于负压力配合地揭开薄膜分段或用于借助于过压推开薄膜分段。由此确保了可靠地揭开和推开薄膜分段。根据剥除辊的另一种优选的改进，剥除辊具有吸附传感器、特别是真空开关，用于判断是否借助于薄膜操纵段力配合地揭开或推开了薄膜分段。由此监控薄膜操纵段的工作 情况，从而提高剥除辊的工作安全性。根据该设备的一种优选的改进，行驶装置具有用于使剥除辊相对于固紧装置的表面水平行驶的水平行驶元件以及用于使剥除辊相对于固紧装置的表面垂直行驶的垂直行驶元件。由此实现了将剥除辊相对于盘形工件的快速以及准确的定位。根据该设备的另一种优选的改进，该设备具有用于将盘形工件和/或薄膜加热到预设的温度、特别是加热到180°C和240°C之间的温度的加热装置，由此确保了可靠地将薄膜从盘形工件上揭下。根据该设备的另一种优选的改进，固紧装置具有用于使固紧装置的工件容纳部围绕工件容纳部的转轴转动的驱动元件。这实现了在揭下薄膜之前转动工件容纳部，由此可以有利地设定薄膜从盘形工件上的揭下角。这使得薄膜从盘形工件上的揭下变得容易。根据该设备的又一种优选的改进，该设备具有用于对突出于盘形工件以外的薄膜分段进行吹气的吹气装置，其中，该吹气装置以如下方式设计，即吹气装置朝剥除辊的方向对突出的分段吹气。由此确保了由剥除辊可靠地揭开分段，从而提高了该设备的可靠性。根据该方法的一种优选的改进，剥除辊的旋转、竖直行驶和水平行驶相互过渡的方式为，将薄膜无残留地从盘形工件上揭下。由此可靠地防止了薄膜的残余物保留在盘形工件上或者损坏盘形工件。根据该方法的另一种优选的改进，将薄膜在预设的温度下、特别是在180°C至2400C的温度下从盘形工件上揭下。由此确保了简单和完全地将薄膜从盘形工件上揭下。根据该方法的另一种优选的改进，薄膜的突出于盘形工件以外的分段借助于用于将薄膜分段吸附在剥除辊上的吹起装置朝剥除辊的方向吹气。由此确保了将薄膜分段无故障地被剥除辊揭开，从而提高了该方法的可靠性。根据该方法的另一种优选的改进，作为包络角选择180°的角度。由此可靠地确保了薄膜分段从剥除辊上滑开。根据该方法的另一种优选的改进，固紧装置的工件容纳部在揭下薄膜之前以剥除角转动。由此可以有利地设定薄膜从盘形工件上的揭下角，从而简轻以及加速了薄膜从盘形工件上的揭下。根据该方法的另一种优选的改进，借助于薄膜回收装置的推开传感器、特别是光栅来监控薄膜从剥除辊推开到薄膜回收装置中的过程。由此能够可靠地检测没有被剥除辊揭下的薄膜，从而减少了该方法的故障可能性。
下面借助于实施例参照附图详细阐述本发明。其中图I示出了根据本发明的一种优选的实施方式的设备的立体视图；图2不出了根据图I的设备的截面视图；图3A示出了根据本发明的一种优选的实施方式的剥除辊的俯视图；图3B示出了根据本发明的另一种优选的实施方式的剥除辊的俯视图； 图4示出了根据图3A的截面线IV-IV的剥除辊的截面视图；图5示出了根据本发明的一种优选的实施方式的方法的流程图；图6示出了在实施根据图5的方法的一个方法步骤时根据图I的设备的截面视图；图7示出了在实施根据图5的方法的另一个方法步骤时根据图I的设备的截面视图；图8示出了在实施根据图5的方法的又一个方法步骤时根据图I的设备的截面视图；图9示出了在实施根据图5的方法的又一个方法步骤时根据图I的设备的截面视图；图10示出了在实施根据图5的方法的又一个方法步骤时根据图I的设备的截面视图；图11示出了在实施根据图5的方法的又一个方法步骤时根据图I的设备的截面视图；图12示出了在实施根据图5的方法的又一个方法步骤时根据图I的设备的截面视图；图13示出了在实施根据图5的方法的又一个方法步骤时根据图I的设备的俯视图。附图中相同的附图标记表示相同的或功能相同的部件，只要没有给出反例。
具体实施例方式图I描绘了用于将薄膜2从盘形工件3、特别是复合体圆片3或铸模圆片3上剥除或揭下的设备I。图2描绘了按照图I的设备I的截面视图。图3和4描绘了设备I的剥除辊12的俯视图和截面视图。下文同时参照图I至4。设备I优选具有用于将盘形工件3在固紧装置4的表面10上力配合地固紧的固紧装置4。固紧装置4优选具有工件容纳部5，其比如可借助于驱动元件6围绕工件容纳部5的转轴7旋转。工件容纳部5主要具有碟形工件支承段8以及从工件支承段延伸出来的圆筒形的柄段9。工件支承段8具有表面10，盘形工件3布置在表面10上。盘形工件3比如借助于真空力配合地固着在固紧装置4上。为此工件支承段8比如具有大量真空穿孔11，其中仅一个真空穿孔配有附图标记，借助于真空穿孔将盘形工件3吸到固紧装置4的表面10上。真空穿孔11优选与未示出的、设备I的真空装置有效连接。柄段9优选从エ件支承段8的背向表面10的表面延伸出去。设备I还具有剥除辊12，其比如以具有中轴25的空心圆筒的形式设计。剥除辊12优选具有薄膜操纵段13，其设计用于カ配合地揭开(aufnehmen)或用于推开薄膜2、特别是薄膜2的分段14。薄膜2的分段14比如是薄膜2的端部段14或边缘段14。薄膜2的分段14可以比如在侧部突出于盘形エ件3和/或エ件容纳部5以外。薄膜操纵段13优选设计成可切換的负压-过压段13。可替换的是，薄膜操纵段13可以设计成具有用于抓住薄膜2的夹爪的夹持装置。比如将薄膜操纵段13 在图3A中所示设计成沿剥除辊12的中轴25设置的吸气/吹气缝13。可替换的或附加的是，薄膜操纵段13可以根据图3B设计成吸气/吹气嘴13或设计成大量吸气/吹气嘴13。薄膜操纵段13可选地设计用于借助于负压、力配合地揭开薄膜2、特别是薄膜2的分段14，或借助于过压从剥除辊12上推开薄膜2、特别是薄膜2的分段14。为此，设备I具有比如未示出的真空/过压装置。这样，借助于薄膜操纵段13不仅可选地确保了力配合地揭开薄膜2、特别是薄膜2的分段14，也确保了将薄膜2、特别是薄膜2的分段14从剥除辊12上推开。剥除辊12还优选具有吸附传感器15，其比如设计成真空开关15。吸附传感器15比如设置在剥除辊12的内腔16中。吸附传感器15用于确认借助于薄膜操纵段13力配合地揭开或推开薄膜2、特别是薄膜2的分段14。设备I还优选具有用于使剥除辊12相对于固紧装置4的表面10水平地和/或垂直地行驶的行驶装置17。该行驶装置17优选具有用于使剥除辊12相对于固紧装置4的表面10水平地行驶的水平行驶元件18。水平行驶元件18具有比如导向轮廓19，其比如可相对于设备I的固定的框架轮廓20直线移动。轮廓19、20相互的直线移动比如借助于电动马达实现。设备I优选具有两个水平行驶元件18，它们分别从两侧定位在剥除辊12的端部段上。行驶装置17还优选具有用于使剥除辊12垂直于固紧装置4的表面10行驶的垂直行驶元件21。垂直行驶元件21具有比如可沿导向轮廓22直线移动的滑动体23。滑动体23比如可借助于电动马达相对于导向轮廓22移动。导向轮廓22比如安装在水平行驶元件17的导向轮廓19上。设备I优选具有两个垂直行驶元件21，它们分别设置在剥除辊12的端部段上。剥除辊12优选围绕其中轴25可旋转地支承在垂直行驶元件21的滑动体23中。设备I还优选具有用于使剥除辊12围绕其中轴25旋转的旋转装置24。旋转装置24具有比如与剥除辊12联接的电动马达。电动马达可以比如直接或通过传动级、比如皮带传动装置与剥除辊12有效连接。设备还优选具有用于将盘形エ件3和/或薄膜2加热到预设温度的加热装置26。薄膜2比如配有热敏的粘接层并且借助于粘接层附着在盘形エ件3上。加热装置26比如设计成红外线发射器26或设计成热风机26。加热装置26可以比如是固紧装置4的集成的组成部分，比如加热装置26可以设计成集成到エ件支承段8中的加热回路。可替换的是加热装置26可以与固紧装置4间隔地设置。加热装置26优选用于将盘形エ件和/或薄膜加热到180°C和240°C之间的温度。设备I还优选具有用于对突出于盘形エ件3之外的、薄膜2的分段14进行吹气的吹气装置27。吹气装置27比如设计成空气喷嘴27或设计成大量空气喷嘴27。吹气装置27将突出于盘形エ件3之外的、薄膜2的分段14变形，使得该分段朝剥除辊12的方向弯曲。吹气装置27可以比如集成到固紧装置4中。
图5至13 (下文同时参照图5至13)描绘了用于利用根据图1_4的设备I将薄膜2从盘形工件3上揭下的方法。在图6中展示的方法步骤SI中完成了剥除辊12借助于行驶装置17、特别是行驶装置17的水平行驶元件18从剥除辊12的停靠位置Pl水平行驶到剥除辊12的揭开位置A中。在揭开位置A中薄膜操纵段13借助于旋转装置24面向薄膜2。方法步骤SI还优选包括激活薄膜操纵段13、比如接通真空以及借助于行驶装置17、特别是借助于行驶装置17的垂直行驶元件21将剥除辊12垂直地沉降到薄膜2上。揭开位置比如可借助于设备I的控制装置的软件设定程序进行设定。在根据图7的方法步骤S2中借助于薄膜操纵段13将薄膜2、特别是薄膜2的分段14吸到剥除辊12上。这时薄膜2的分段14吸附到剥除辊12上。如果分段14突出于盘形工件3之外，方法步骤S2可以包括借助于吹气装置27向薄膜2的分段14吹气。在吹气时为了将分段14吸附到剥除辊12上朝剥除辊12的方向对分段14吹气。由此使得薄膜操纵段13揭开分段14变得容易。借助于吸附传感器15监控薄膜2吸附到剥除辊12上。在图8中描绘的方法步骤S3中，借助于行驶装置17、特别是借助于行驶装置17的 垂直行驶元件21将剥除辊12竖直地从盘形工件3上抬起，其中，薄膜2的分段14至少在某些区段上从盘形工件3上分离。优选事先借助于加热装置26将薄膜2和/或盘形工件3加热到预设温度用于揭下薄膜2。剥除辊12首先从盘形工件3上抬起，直到刚好剥除辊12与盘形工件3不接触。在图9中展示的方法步骤S4中，借助于旋转装置24使剥除辊12以预设的包络角α旋转且同时借助于行驶装置17水平地朝停靠位置Pl的方向行驶。此外，薄膜2在某些区段上卷绕在剥除辊12上。包络角α优选为180°，即薄膜操纵段13在旋转之后背向盘形工件3。同时随剥除辊12的旋转，将剥除辊12借助于行驶装置17、特别是借助于水平行驶元件18朝停靠位置Pl水平行驶。以这种方式将薄膜2逐渐地从盘形工件3上分开。剥除辊12的旋转和同时的水平行驶以预设的比例完成。薄膜2在剥除辊12上的包络角α或包络半径比如可通过设备I的控制装置上的软件设定程序进行设定。方法步骤S4可以包括中间步骤，在中间步骤中剥除辊12在以包络角α旋转之后继续水平移动且在其朝停靠位置Pl水平地直线移动期间以安全间距竖直地从盘形工件3上抬起，用以避免与盘形工件3的碰撞。在图10中展示的方法步骤S5中，剥除辊12借助于行驶装置17从盘形工件3上继续竖直地驶离并且同时继续水平地行驶直到剥除辊12到达竖直的端部位置V。竖直的端部位置V可以对应于停靠位置Pl的竖直位置。在到达竖直的端部位置V之后，在继续以揭下角X将薄膜2从盘形工件3上揭下的情况下将剥除辊12继续水平地朝停靠位置Pl行驶。揭下角X在固紧装置4的表面10和揭下的薄膜2之间确定。在图11中描绘的方法步骤S6中，借助于行驶装置17、特别是借助于行驶装置17的水平行驶元件18将剥除辊12超过剥除辊12的停靠位置Pl驶入推开位置Ρ2或最后面的停靠位置Ρ2中。在到达停靠位置Ρ2时薄膜2优选完全从盘形工件3上分离。在将薄膜2从盘形工件3上的剥除过程中剥除辊12的所有水平的、竖直的以及径向的运动优选以如下方式相互结合，即确保了薄膜2从盘形工件3上的均匀的剥除行为并且将薄膜2无残留地从剥除辊12上剥除。剥除辊12在将薄膜2从盘形工件3上剥除时优选跟随预定义的轨迹曲线。该轨迹曲线比如借助于机械的导向装置、特别是沟槽导向装置或借助于行驶装置17的电动马达的相应的操控展开(abfahren)。剥除辊12的水平、垂直以及径向的运动速度优选以如下方式进行适配，即始终确保薄膜2从盘形エ件3上的轻柔地以及无残留地剥除。在图12中描绘的方法步骤S7中通过借助于旋转装置24反方向旋转剥除辊12将卷绕在剥除辊12上的、薄膜2的分段14从剥除辊12上再次开卷。此时剥除辊12以预设的包络角α的角度分段Φ以如下方式旋转，即，将薄膜操纵段13定位在卸除位置(abwurfstellung)中。在薄膜操纵段13的卸除位置中薄膜操纵段13的中轴29优选平行于固紧装置4的表面10定向。充斥在剥除辊12的内腔16中的真空被切断且比如在剥除辊12的内腔16中构建过压，其方式为，通过压カ冲击(Durchsto β )将薄膜2的分段14从 薄膜操纵段13中吹出。薄膜2从剥除辊12上的有序推开借助于吸附传感器15监控。薄膜2优选安放在薄膜回收装置30的垃圾容器中，其中，有序的安放借助于薄膜回收装置30的推开传感器31监控。推开传感器31特别是设计成光栅31。在将薄膜2从剥除辊12上去除之后可以再次将剥除辊12驶入其停靠位置Pl中。如果在方法步骤S2中薄膜2没有被剥除辊2揭开或者在随后的方法步骤中无意地从剥除辊12上分离，则借助于吸附传感器15检测到错误情况且该设备比如发出故障信号。然后机器操作人员可以比如用手将薄膜2剥除并且退出故障进程。在将薄膜2从盘形エ件3上剥除之前，根据图13可借助于固紧装置4的エ件容纳部5围绕其转轴7的转动设定在从盘形エ件3上剥除的薄膜2的剥除边缘32与盘形エ件3之间的剥除角β。由此将薄膜2不是笔直地、而是倾斜地从盘形エ件3的芯片轨道33上剥除。剥除辊12因此不再垂直于芯片轨道33而是倾斜于芯片轨道行驶。防止了在剥除薄膜2时的猛击。エ件容纳部5的转动可以比如在容纳2之前完成。尽管描述的是设备I和用于利用加热装置26剥除薄膜2的方法，加热装置26仅是设备I和/或该方法的可选的组成部分。加热装置26是可以弃除的。加热装置26的可选的使用比如取决于在薄膜2和盘形エ件3之间所采用的粘接层的类型。附图标记列表I 设备2 薄膜3盘形エ件4固紧装置5エ件容纳部6驱动元件7 转轴8エ件支承段9 柄段10 表面11真空穿孔12剥除辊13薄膜操纵段14 分段
15吸附传感器16 内腔17行驶装置18水平行驶元件19导向轮廓20框架轮廓21垂直行驶元件22导向轮廓
23滑动体24旋转装置25 中轴26加热装置27吹气装置29 中轴30薄膜回收装置31推开传感器32剥除边缘33芯片轨道A揭开位置Pl停靠位置P2推开位置V垂直端部位置α包络角β剥除角X揭下角Φ角度分段
权利要求
1.一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的剥除辊(12)，具有用于力配合地揭开或用于推开薄膜(2)的分段(14)的薄膜操纵段(13)。
2.根据权利要求I所述的剥除辊，其特征在于，所述薄膜操纵段(13)被设计成能够切换的负压/过压段(13)、特别是设计成吸气/吹气嘴(13)或设计成沿剥除辊(12)的中轴(25)布置的吸气/吹气缝(13)，用于借助于负压、力配合地揭开薄膜(2)的分段(14)或用于借助于过压推开薄膜(2)的分段(14)。
3.根据权利要求I或2所述的剥除辊，其特征在于，所述剥除辊(12)具有吸附传感器(15)、特别是真空开关(15)，用于判断借助于薄膜操纵段(13)力配合地揭开或推开薄膜(2)的分段(14)。
4.一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的设备(1)，具有 用于力配合地固紧盘形工件(3)的固紧装置(4)； 剥除辊(12)，其具有用于力配合地揭开或用于推开薄膜(2)的分段(14)的薄膜操纵段(13)； 用于使剥除辊(12)相对于固紧装置(4)的表面(10)水平和/或垂直行驶的行驶装置(17);以及 用于使剥除辊(12)围绕剥除辊(12)的中轴(25)旋转的旋转装置(24)。
5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述行驶装置(17)具有用于使剥除辊(12)相对于固紧装置(4)的表面(10)水平行驶的水平行驶元件以及用于使剥除辊(12)相对于固紧装置(4)的表面(10)垂直行驶的垂直行驶元件(21)。
6.根据权利要求4或5所述的设备，其特征在于，所述设备(I)具有用于将盘形工件(3)和/或薄膜⑵加热到预设的温度、特别是在180°C和240°C之间的温度的加热装置(26)。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的设备，其特征在于，所述固紧装置(4)具有用于使固紧装置(4)的工件容纳部(5)围绕工件容纳部(5)的转轴(7)转动的驱动元件(6)。
8.根据权利要求4至7中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备(I)具有用于对突出于盘形工件(3)之外的、薄膜(2)的分段(14)进行吹气的吹气装置(27)，其中，所述吹气装置(27)设计的方式为，使得所述吹气装置朝剥除辊(12)的方向对突出的分段(14)吹气。
9.一种用于将薄膜(2)从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下的方法，所述方法借助于按照权利要求4至8中任一项所述的设备(I)实现，所述方法具有下列步骤 将剥除辊(12)从停靠位置(Pl)水平行驶到剥除辊(12)的揭开位置(A)中，其中，在揭开位置(A)中薄膜操纵段(13)面向薄膜⑵； 激活薄膜操纵段(13)以及将剥除辊(12)竖直地沉降到薄膜(12)上； 将薄膜(2)的分段(14)吸附在剥除辊(12)上； 将剥除辊(12)从盘形工件(3)上竖直地抬起，其中，薄膜(2)的分段(14)至少在一些区段上从盘形工件(3)上揭下； 将剥除辊(12)以预设的包络角(a)旋转用于将薄膜⑵的分段(14)至少在一些区段上卷绕在剥除辊(12)上以及同时使剥除辊(12)朝停靠位置(Pl)水平行驶，其中，薄膜(2)被逐渐地从盘形工件(3)上揭下；随着剥除辊(12)直至水平的端部位置(V)的水平行驶，同时使剥除辊(12)远离盘形工件(3)竖直行驶； 使剥除辊(12)超出停靠位置(Pl)水平行驶到推出位置(P2)中，其中，薄膜(2)在推出位置(P2)中被完全从盘形工件(3)上剥除；借助于剥除辊(12)以预设的包络角U)的一个角度分段(cp)的反方向的旋转将卷绕在剥除辊(12)上的薄膜(2)的分段(14)从剥除辊(12)上以如下方式开卷，即薄膜操纵段(13)定位在卸除位置中；以及 借助于薄膜操纵段(13)将薄膜(2)从剥除辊(12)上推开。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，剥除辊(12)的旋转、竖直行驶和水平行驶以如下方式相互过渡，即薄膜(2)被无残留地从盘形工件(3)上被揭下。
11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，薄膜⑵在预设的温度下、特别是在180°C至240°C的温度下被从盘形工件(3)上揭下。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的方法，其特征在于，突出于盘形工件(3)之外的、薄膜(2)的分段(14)借助于用于将薄膜(2)的分段(14)吸附到剥除辊(12)上的吹气装置(27)朝剥除辊(2)的方向进行吹气。
13.根据权利要求9至12中任一项所述的方法，其特征在于，作为包络角(a)选择180°的角度。
14.根据权利要求9至13中任一项所述的方法，其特征在于，固紧装置(4)的工件容纳部(5)在剥除薄膜⑵之前以剥除角(￠)转动。
15.根据权利要求9至14中任一项所述的方法，其特征在于，借助于薄膜回收装置(30)的推出传感器(31)、特别是光栅(31)监控薄膜(2)从剥除辊(12)被推出到薄膜回收装置(30)中的过程。
全文摘要
本发明涉及一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的剥除辊(12)，具有用于力配合地揭开或用于推开薄膜(2)的分段(14)的薄膜操纵段(13)。本发明还涉及一种用于从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下薄膜(2)的设备(1)，具有用于力配合地固紧盘形工件(3)的固紧装置(4)；此类剥除辊(12)；用于使剥除辊(12)相对于固紧装置(4)的表面(10)水平和/或垂直行驶的行驶装置(17)；以及用于使剥除辊(12)围绕剥除辊(12)的中轴(25)旋转的旋转装置(24)。此外，本发明还涉及一种借助于此类设备(1)将薄膜(2)从盘形工件(3)、特别是铸模圆片(3)上揭下的方法。
文档编号H01L21/00GK102668020SQ201080050687
公开日2012年9月12日 申请日期2010年9月14日 优先权日2009年9月15日
发明者鲁迪格·辛德勒 申请人:Ers电子有限公司