均热处理装置的制作方法

专利名称：均热处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种将加热处理对象物加热至均热状态的均热处理装置。
背景技术：
与将加热处理对象物加热处理至均热状态的热处理板相关的现有技术例如在日本专利特开平9 - 314561号公报(专利文献I)或日本专利特开2007 — 294688号公报(专利文献2)中公开。图20是表示现有的热处理板的一例的结构的立体图。图20所示的均热处理板具有如下结构:使用盖107a、107b将形成于板101内部的多个通孔102a的两端封闭来形成密闭容器107，并在将该密闭容器107的内部排气至真空后，封入规定量的工作液，且使加热器106经由导热块104而与板101的底面热接触。图21是表不现有的热处理板的另一例的结构的俯视图。图22是表不现有的热处理板的另一例的结构的侧视图。在图21及图22所示的热处理板中，在形成于板121内部的多个孔的内部配置管道123来形成管容器的蛇行回路，该热处理板具有蒸发器143，该蒸发器143的作为蛇行回路一端的入口 141与上部连接，作为回路另一端的出口 142与下部连接，从而在蒸发器143与蛇行回路间形成单个连通回路。在将上述单个连通回路的内部排气至真空后，封入规定量的工作液131，并使用安装于蒸发器143内部的加热器126对工作液131进行加热。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开平9 — 314561号公报专利文献2:日本专利特开2007 - 294688号公报

发明内容
发明所要解决的技术问题如上所述，便是到目前为止提出的与对热处理对象物进行均匀地加热处理的均热处理装置相关的各种技术。但是，在均热处理装置中，要求能更均匀地对对象物进行加热处理，除此之外，也需要使装置小型化。在这些点上，上述各文献所公开的现有装置未必完善，依然存在改进的余地。本发明鉴于上述问题而作，其主要目的在于提供一种能对加热处理对象物均匀地加热，并能实现装置小型化的均热处理装置。解决技术问题所采用的技术方案本发明的均热处理装置包括:板，该板在内部形成有热管回路，在该热管回路中封入有工作液；以及加热元件，该加热元件对工作液进行加热。热管回路包括集管部和多个歧管部，其中，上述集管部用于使工作液被加热而汽化，多个上述歧管部是从上述集管部分岔而形成的，用于使工作液汽化后形成的蒸汽与板进行热交换而冷凝。加热元件设置在集管部的、在加热元件对工作液进行加热时与工作液接触的壁面一侧。在上述均热处理装置中，较为理想的是，板形成为平面形状呈矩形，集管部沿着板的一侧面延伸，歧管部设置成朝向与一侧面相对的板的另一侧面延伸。在上述均热处理装置中，较为理想的是，多个歧管部彼此平行配置。此外，较为理想的是，热管回路还包括将歧管部彼此连接的连接部。连接部也可以将从集管部延伸的歧管部的前端彼此连接。连接部也可以设置多个，并彼此平行配置。在上述均热处理装置中，较为理想的是，加热元件包括加热器、导热块以及加热器按压板,其中，上述导热块形成有凹部，并将加热器收容在凹部内，上述加热器按压板将加热器保持在凹部内。在上述均热处理装置中，较为理想的是，加热元件包括将加热器按压板和导热块一体地固定在板上的固定构件。上述均热处理装置也可以包括夹在板与导热块之间的导热性的夹设构件。加热元件也可以包括夹在导热块与加热器按压板之间的导热性的夹设构件。加热元件也可以包括夹在导热块与加热器按压板之间的绝热性的夹设构件。在上述均热处理中，较为理想的是，在加热器按压板的与凹部相对的位置上形成有对加热器进行收容的凹陷部。在上述均热处理中，较为理想的是，在工作液被加热的部分的与工作液接触的壁面上，形成有促进工作液沸腾的高性能沸腾面。在上述均热处理中，较为理想的是，加热元件与板热接触的宽度在工作液被加热的部分的与工作液接触的壁面的宽度以下。发明效果根据本发明的均热处理装置，能均匀地对加热处理对象物进行加热，并能实现装置的小型化。


图1是本发明实施方式I的均热处理装置的俯视图。图2是沿图1所示的I1-1I线的均热处理装置的剖视图。图3是沿图1所示的II1-1II线的均热处理装置的剖视图。图4是表示加热元件的结构的详细情况的剖视图。图5是表示实施方式I的均热处理装置的第一变形例的剖视图。图6是表示实施方式I的均热处理装置的第二变形例的剖视图。图7是表示实施方式I的均热处理装置的第三变形例的剖视图。图8是实施方式2的均热处理装置的剖视图。图9是实施方式3的均热处理装置的剖视图。图10是实施方式3的均热处理装置的变形例的剖视图。图11是实施方式4的均热处理装置的剖视图。图12是实施方式5的均热处理装置的剖视图。图13是实施方式6的均热处理装置的剖视图。图14是表示板的配置的另一例的剖视图。
图15是表示板的配置的另一例的剖视图。图16是实施方式7的均热处理装置的俯视图。图17是实施方式7的均热处理装置的另一例的俯视图。图18是实施方式7的均热处理装置的另一例的俯视图。图19是实施方式7的均热处理装置的另一例的俯视图。图20是表示现有的热处理板的一例的结构的立体图。图21是表示现有的热处理板的另一例的结构的俯视图。图22是表示现有的热处理板的另一例的结构的侧视图。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下附图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记，并不重复其说明。(实施方式I)图1是本发明实施方式I的均热处理装置的俯视图。图2是沿图1所示的I1-1I线的均热处理装置的剖视图。如图1及图2所示，实施方式I的均热处理装置包括矩形板状的板I。板I例如由以铜、铝等为代表的、导热率较大的材料形成。形成板I的材料能根据加热处理对象物所要求的均热性能而任意选择。板I的平面形状形成为矩形。板I的一个面即正面Ia平坦地形成，从而能将例如半导体制造用的有机材料等加热处理对象物装载在其上并进行加热。在板I的另一个面即背面Ib上安装有加热元件3。如图1所示，在板I的内部形成有热管回路2。热管回路2包括集管部2b和从集管部2b分岔的多个歧管部2a。集管部2b配置成沿着侧面Ic延伸，在俯视观察形成为平面形状呈矩形的板I时，该侧面Ic构成板I的一个侧面。歧管部2a设置成从集管部2b朝向构成与侧面Ic相对的板I的另一个侧面的侧面Id延伸。如图1所示，多个歧管部2a彼此平行配置。在板I的侧面Ic 一侧，多个歧管部2a各自与集管部2b连接。另外，板I内部的回路例如是通过将平面板与槽加工板接合来形成的。通过将形成于板I内部的内部空间30排气至真空，然后在内部空间30内填充并封入规定量的工作液，藉此来形成热管回路2。工作液如后所述通过加热元件3加热。图3是沿图1所示的II1-1II线的均热处理装置的剖视图。在图2中，示出了包括从板I的侧面Ic至侧面Id的热管回路2的集管部2b和歧管部2a整体的截面处的均热处理装置的剖视图。与此相对的是，在图3中，示出了仅包括热管回路2的歧管部2b的截面处的均热处理装置的剖视图。在图3中，示出了在热管回路2的集管部2b填充有工作液31，并使工作液31与构成截面呈矩形的集管部2b的底面的蒸发面12接触的状态。工作液31在集管部2b的内部中与板I的背面Ib侧的集管部2b的壁面、即蒸发面12接触。构成热管回路2的一部分的集管部2b与加热元件3隔着板I配置。如图3所示，热管回路2的集管部2b具有宽度Ip加热元件3与板I热接触的宽度为宽度L。加热元件3与板I热接触的宽度Itl设为蒸发面12的宽度I1以下。这样，通过规定热管回路2和加热元件3的尺寸，从而在加热元件3中产生的热能通过集管部2b内的工作液31而容易地传递。
若使加热元件3与板I接触的宽度Itl比集管部2b的蒸发面12的宽度I1大，则从加热元件3经由板I的背面Ib通过热传导传递至正面Ia的热量变大，而可能使板I的正面Ia上的侧面Ic 一侧和侧面Id —侧的温度不均匀。通过将在加热元件3中产生的热传递至工作液31，如后所述能利用工作液31的蒸发及冷凝对歧管部2a整体进行均匀加热，从而更均匀地对板I整体进行加热。加热元件3与板I接触的宽度Itl只要比蒸发面12的宽度I1小例如几_左右即可。最优的尺寸因板I的材质、(将热管回路2加工后的)板I的壁厚、板I的厚度(即正面Ia与背面Ib的间隔)以及所使用的温度区域等的不同而不同。图4是表示加热元件3的结构的详细情况的剖视图，其是将图2中的侧面Ic附近放大表示的图。如图4所示，加热元件3包括加热器6、导热块4及加热器按压板10。在导热块4上形成有用于对加热器6进行固定的槽状的凹部4a。在导热块4上加工出的槽部即凹部4a中组装有加热器6，该加热器6是通过发热对热管回路2内的工作液31供热的加热构件的一例。导热块4具有将加热器6收容在凹部4a内的收容部的功能。加热器6例如也可以是电加热器。在形成于导热块4的凹部4a内嵌合有加热器6，凹部4a的内部通过加热器6和导热材料5而被封住。通过加热器按压板10将加热器6保持在导热块4的凹部4a内。加热器按压板10具有将加热器6保持在凹部4a内的保持构件的功能。使用导热块4和加热器按压板10夹住加热器6，并使用固定螺栓9使加热器6与加热器按压板10压接，同时使导热块4与板I内的、位于集管部2b正下方的背面Ib紧密接触并固定。加热元件3包括作为将加热器按压板10和导热块4 一体地固定于板I的固定构件的固定螺栓9。导热块4与板I的一个面即背面Ib的一部分热接触，利用保持在导热块4内的加热器6,对板I的一部分进行加热。关于具有以上结构的均热处理装置的动作，参照图2及图4，对均热处理装置内部的热输送原理进行说明。在图2及图4的热输送原理图中，图中的热流21示出了从加热元件3朝向板I的热的流动。一旦对加热器6通电而发热，则其热便经由导热材料5及导热块4，而传递至板I与导热块4的接触面14。热然后经由板I内部而传递至板I内部的集管部2b的底部的蒸发面12。通过利用热流21对板I内部的集管部2b的底部加热，集管部2b的底部便成为工作液31的蒸发面12。在集管部2b内的蒸发面12上，对填充在板I内部的工作液31进行加热。由于板I的内部处于真空减压状态，因此，一旦对工作液31进行加热，工作液31便迅速地汽化，并产生蒸汽泡32。蒸汽泡32在工作液31中上升，从工作液31的液面成为蒸汽33，并在形成于板I内的热管回路2内从侧面Ic 一侧朝向侧面Id的面方向移动，并从集管部2b分盆，而流入到多个歧管部2a各自的内部。蒸汽33在形成于板I的内部空间30内移动，并朝与安装有加热元件3的背面Ib相反的正面Ia —侧移动。蒸汽33在内部空间30内从侧面Ic 一侧朝侧面Id —侧移动，同时在热管回路2的歧管部2a内的各部分处冷凝液化，从而向与歧管部2a热接触的板I的部分释放出冷凝潜热。这样，蒸汽33通过朝板I散热而冷凝，从而状态变化为冷凝液34。蒸汽33朝向侧面Id流动，同时在歧管部2a整体上将热均匀地传递至板1，由于板I从蒸汽33吸收热，因此，板I被加热至均匀温度。在歧管部2a内流动的蒸汽33的压力在板I的侧面Ic 一侧较高，越是朝向侧面Id一侧压力就越低，因此，如图2所示，歧管部2a内的工作液31在侧面Id —侧的水位比在侧面Ic 一侧的水位高。工作液31因水位的高低差而从侧面Id —侧回流至原先填充有工作液31的侧面Ic 一侧。在本实施方式的均热处理装置中，反复进行上述这样从加热器6向板I的热输送。集管部2b起到对工作液31加热使其汽化的加热部的作用。歧管部2a起到使工作液31汽化后形成的蒸汽33与板I进行热交换而冷凝的冷凝部的作用。集管部2b具有将在集管部2b内产生的蒸汽33分配到多个歧管部2a的蒸汽分配集管的作用。集管部2b还具有对蒸汽33在多个歧管部2a内冷凝液化而形成的冷凝液34进行收集的液体收集集管的作用。多个歧管部2a各自相对于集管管状的集管部2b形成为朝与集管部2b的延伸方向交叉(典型的是正交)的方向延伸的横歧管管状。根据以上说明的均热处理装置，加热元件3设置在集管部2b的、在加热元件3对液体状的工作液31进行加热时与工作液31接触的壁面即蒸发面12 —侧。由于蒸发面12位于板I与导热块4接触的接触面14的正上方，因此，来自加热器6的热中的、直接导热到板I的正面Ia的热量很少。来自加热器6的热的大部分都耗费在蒸发面12上对工作液31进行加热。由于热管回路2及加热元件3具有图3规定的尺寸，因此，加热器6所产生的热中的、传递到工作液31的热量更加大。因此，不仅能抑制加热器6的热直接导热到板I上，而且使板I内的工作液31蒸发，从而能使工作液31汽化后形成的蒸汽33扩散到板I内的各个部分。由于在板I内的集管部2b处使工作液31蒸发并产生蒸汽33，在歧管2a处使蒸汽33冷凝，并能对板I进行加热，因此，能提高板I的正面Ia的均热性。因此，能对装载于板I的正面Ia上的加热处理对象物均匀地加热。此外，在上述均热处理装置中，能使用一个加热元件3对板I整体进行加热，而不需要像图20的现有技术所示的方式那样有多个加热器。因而，由于能减少部件数，因此，能降低均热处理装置的制造成本。此外，由于加热器6发出的热利用工作液31的蒸发现象迅速地传递至板I的各个部分，因此，可抑制加热器6的温度上升，并能减少朝向周围发热的热量，因而，能减少必需的能量，并能降低均热处理装置的运行成本。除此之外，由于在板I的内部设置有蒸发面12，因此，不需要像图21、图22的现有技术那样另外设置蒸发部。因此，不仅能实现均热处理装置的小型化及更低成本，而且能降低板I的热容，因此，能获得热响应性高的均热处理装置。图5是表示实施方式I的均热处理装置的第一变形例的剖视图。在图5所示的第一变形例的均热处理装置中，在包括设于板I与导热块4之间的导热性的夹设构件7这点上，与图4所示的结构不同。如图5所示，若将导热性的夹设构件7夹在板I的背面Ib与导热块4之间的接触面14上，则能使板I的背面Ib与导热块4之间的接触热阻变小。因而，由于将由加热器6产生的热经由板I更高效地传递至工作液31，因此，能进一步提高均热处理装置的热响应性。除此之外，从导热块4及加热器按压板10的表面朝周围散热的散热量减少，能提供一种热效率更高的均热处理装置。图6是表示实施方式I的均热处理装置的第二变形例的剖视图。在图6所示的第二变形例的均热处理装置中，在加热元件3包括夹在导热块4与加热器按压板10之间的导热性的夹设构件8这点上，与图5所示的结构不同。在加热器6中产生的热经由导热材料5也传递至加热器按压板10。若如图6所示将导热性的夹设构件8夹在导热块4与加热器按压板10之间，则由于加热器按压板10与导热块4之间的热阻变小，因此，如虚线箭头所示的热流22这样，容易将热从加热器按压板10传递至导热块4。因而，由于减少了传递到加热器按压板10的热中、朝周围散热而失去的热量，并能使从加热器按压板10向导热块4的热流22增大，因此，能更高效地将在加热器6中产生的热传递至导热块4。其结果是，由于从导热块4经由板I传递至工作液31并对工作液31进行加热的热增加，因此，能进一步提高均热处理装置的热响应性。图7是表示实施方式I的均热处理装置的第三变形例的剖视图。在图7所示的第三变形例的均热处理装置中，在加热元件3包括夹在导热块4与加热器按压板10之间的绝热性的夹设构件8a这点上，与图5所示的结构不同。在图6中，对在导热块4与加热器按压板10之间夹着导热性的夹设构件8的例子进行了说明，但若相反地，如图7所示，在导热块4与加热器按压板10之间夹着绝热性的夹设构件8a，则能减少从加热器6流至加热器按压板10的热流的量。因而，由于能使从加热器按压板10向周围的散热量减少，因此，能将在加热器6中产生的热更加高效地传递至导热块4。其结果是，由于从导热块4经由板I传递至工作液31并对工作液31进行加热的热增加，因此，能进一步提高均热处理装置的热响应性。此时，加热器按压板10也可以由导热率低的材料形成。(实施方式2)图8是实施方式2的均热处理装置的剖视图。实施方式2的均热处理装置在加热元件3没有包括导热块4这点上,与实施方式I不同。也就是说，在实施方式2的加热元件3中，没有使用导热块4，在加热器按压板10上形成用于对加热器6进行固定的槽状的凹陷部10a。在加热器按压板10上加工出的槽部即凹陷部IOa中组装有加热器6。加热器6收纳在形成于加热器按压板10的凹陷部IOa内，在其周围配置有导热材料5。凹陷部IOa的内部通过加热器6和导热材料5而被封住。使用固定螺栓9，使加热器按压板10与板I内的、位于集管部2b正下方的背面Ib直接紧密接触而被固定。若如上所述构成加热元件3，则由于没有使用导热块4，因此，能减少均热处理装置的部件数，因而，能实现均热处理装置的低成本化。(实施方式3)图9是实施方式3的均热处理装置的剖视图。实施方式3的均热处理装置在改变了固定加热器6的部位这点上，与实施方式I及实施方式2不同。具体来说，在实施方式I中，加热元件3所具有的导热块4与加热器按压板10这两者使用固定螺栓9而被固定在板I上，导热块4能从板I上拆下。此外，在实施方式2中，在加热器按压板10的、用于对加热器6进行固定的槽状的凹陷部IOa中，组装有加热器6。与此相对的是，在实施方式3中，导热块4与板I通过钎焊、焊接等方式热一体化。在实施方式1、实施方式2中，对加热器6进行固定的部件(在实施方式I中为导热块4，在实施方式2中为加热器按压板10)与板I是不同的构件，由于对加热器6进行固定的部件与板I之间的接触面14没有完全紧密接触，因此，会产生接触热阻。即便在导热块4与板I之间配置有导热性的夹设构件7的情况下，虽然能减少接触热阻，但很难完全消除导热块4与板I之间的热阻。与此相对的是，在实施方式3中，如图9所示，将导热块4与板I热一体化，因此，能使导热块4与板I的背面Ib间的热阻非常小。因此，能抑制在加热器6中产生并传递到导热块4的热经由导热块4与板I之间的接触面14而进一步传递到板I侧时损失一部分热能。其结果是，由于从导热块4经由板I传递至工作液31并对工作液31进行加热的热量增加，因此，能进一步提高均热处理装置的热响应性。图10是实施方式3的均热处理装置的变形例的剖视图。将图9与图10相比，在图10所示的变形例中，在加热器按压板10的、与凹部4a相对的位置上，形成有对加热器6进行收容的凹陷部10a。加热器6配置在形成于导热块4的凹部4a和形成于加热器按压板10的凹陷部IOa这两者的内部。由凹部4a和凹陷部IOa形成的空间的内部通过加热器6和导热材料5而被封住。参照图9说明的实施方式3的均热处理装置的能降低导热块4与板I的背面Ib之间的热阻的效果取决于导热块4的大小。也就是说，如图10所示，即便减小导热块4的尺寸、增大加热器按压板10的尺寸，也能得到同样的效果。除此之外，在图10所示的变形例中，由于导热块4的尺寸变小，因此，能将板I从稍大的材料上与导热块4 一体地切下来进行加工。因而，能缩短均热处理装置的制造时间，并能降低制造成本。(实施方式4)图11是实施方式4的均热处理装置的剖视图。实施方式4的均热处理装置具有将实施方式3的加热元件3的加热器按压板10与导热块4金属接合来一体化的结构。若如实施方式I 3这样导热块4和加热器按压板10是没有热一体化的不同构件，则在由加热器6向加热器按压板10传递的热如热流22这样传递至导热块4 一侧时，会产生热阻。在实施方式4中,加热器按压板10与导热块4热一体化,并使板1、导热块4及加热器按压板10整体热一体化。因此，在加热器6产生的热传递至板I的路径中的热阻比上述实施方式3中的热阻更小。其结果是，由于从导热块4经由板I传递至工作液31并对工作液31进行加热的热量增加，因此，能进一步提高均热处理装置的热响应性。(实施方式5)图12是实施方式5的均热处理装置的剖视图。实施方式5的均热处理装置在加热管回路2的集管部2b的、设有加热元件3的一侧的壁面即蒸发面12上形成有促进工作液31沸腾的高性能沸腾面39这点上，与实施方式4不同。高性能沸腾面39用于促进从加热元件3向板I的沸腾热传递所引起的导热。工作液31的沸腾是在蒸发面12上以微小的气泡核为基点成长的蒸汽泡32从蒸发面12脱离的现象。为了促进工作液31的沸腾，只要使蒸发面12成为在其表面形成多个微小的凹陷，并容易产生微小的气泡核的结构即可。具体来说，高性能沸腾面39可以想到是使金属粒子与板I的蒸发面12熔敷后的面或是对蒸发面12进行槽加工后的面。通过设置这种高性能沸腾面39，工作液31容易沸腾而产生蒸汽泡32，从而促进蒸汽33生成。在实施方式5的均热处理装置中，与实施方式I 4相比，使向工作液31的导热量增加，并能利用板I内的导热来降低传递至正面Ia的热量。因此，由于能更高效地将加热器6产生的热利用在蒸汽33的产生上，因此，能进一步提高均热处理装置的热响应性。(实施方式6)图13是实施方式6的均热处理装置的剖视图。在实施方式I的说明中，对形成于板I内部的热管回路2的歧管部2a的槽深在歧管部2a的延伸方向整体上相同的情况进行了说明，但不局限于这种结构。例如，如图13所示，也可以将热管回路2形成为使歧管部2a的槽深在热管I的侧面Id —侧比在侧面Ic 一侧小。若如上所述构成，在将平板状的板I水平配置时，在歧管部2a内蒸汽33冷凝而产生的冷凝液34容易在倾斜的歧管部2a的底面上从侧面Id —侧朝向侧面Ic 一侧流动。藉此，能容易使工作液31返回对工作液31进行加热的集管部2b，并能防止蒸发面12上的液体枯竭来提高热管回路2的效率。此外，由于能减少所需要的工作液31的量，因此，能进一步提高均热处理装置的热响应性。在实施方式I 6的说明中，对板I呈水平状态配置的例子进行了说明，但板I的配置不局限于水平状态。图14及图15是表示板I的配置的另一例的剖视图。如图14所示，板I也可以配置成垂直立起的状态，此外，如图15所示，板I还可以配置成倾斜的状态。即便将板I设置成垂直的状态或倾斜的状态，只要在热管回路2的集管部2b的、在加热元件3对工作液进行加热时与工作液31接触的壁面侧配置有加热元件3即可，若是这样，与上述同样地，能同样地得到有效地从加热元件3向工作液31导热的效果。不局限于在板I的背面Ib —侧设置加热元件3的结构，在如图14及图15所示配置的均热处理装置中，也可以在板I的侧面Ic 一侧安装加热元件3。通过将水平、垂直及倾斜状态的板I任意组合，就能利用本发明的均热处理装置来形成围绕空间的导管或容器等。只要将加热处理对象物收容在这种导管或容器的内部，就能更加均匀地对加热处理对象物进行加热。(实施方式7)图16是实施方式7的均热处理装置的俯视图。在实施方式I的说明中，对形成于板I内部的热管回路2包括集管部2b、与集管部2b正交地延伸并被相互并排加工的歧管部2a的例子进行了说明，但不局限于这种结构。例如，如图16所示，热管回路2还包括将从集管部2b延伸的歧管部2a彼此连接的连接部2d。若是这样，由于使在集管部2b对工作液31加热而产生的蒸汽33的路径增加，因此，能更加均匀地对板I的正面Ia进行加热。若以将歧管部2a前端彼此连接的方式形成连接部2d，在利用机械加工形成热管回路2的情况下，能以沿着环状的路径的方式使工具相对于板I相对移动来进行加工。因此，能缩短为形成热管回路2而对板I进行加工的加工时间，并能进一步降低均热处理装置的制造成本。图17 图19是实施方式7的均热处理装置的另一例的俯视图。若形成图17、图18所示形状的热管回路2，则与图16的结构同样地，能同样地获得使蒸汽33的路径增加并能降低均热处理装置的制造成本的效果。如图19所示，若设置多个连接部2d并形成将多个连接部2d相互平行配置这样的格子(日文:升目)状的热管回路2，则能进一步增加蒸汽33的路径，并能更加均匀地对板I的正面Ia进行加热。此外，若像图17 图19所示这样设置为沿着板I周围整体形成热管回路2的结构，则在板I的全部侧面上利用蒸汽33进行加热，并能减小因端部散热所引起的温度降低。因此，与图1或图16所示这样的在远离集管部2b —侧的板I的端部侧的一部分没有设置热管回路2的结构相比，能进一步提高板I的均热性。如上所述对本发明的实施方式进行了说明，但也可以将各实施方式的结构进行适当组合。此外，应考虑到此次公开的实施方式在所有方面都是例示，并不进行限制。本发明的范围并非是由以上说明限定，而是由权利要求的范围来表示，其包括与权利要求范围相等的范围，并包括在权利要求范围内所作的所有变更。工业上的可利用性本发明能特别有利地应用在将半导体制造用的有机材料等加热处理对象物加热至均热状态的均热处理装置。(符号说明)I 板Ia 正面Ib 背面IcUd 侧面2热管回路2a歧管部2b集管部2d连接部3加热元件4导热块4a 凹部5导热材料6加热器6 形态7、8、8a夹设构件9固定螺栓10加热器按压板IOa凹陷部12蒸发面14接触面21、22 热流30内部空间31工作液32蒸汽泡33 蒸汽34冷凝液39高性能沸腾面41第一构件42第二构件
42a相对面
权利要求
1.一种均热处理装置，其特征在于，包括: 板(1)，该板(I)在内部形成有热管回路(2),在该热管回路(2)中封入有工作液(31)；以及 加热元件(3)，该加热元件(3)对所述工作液(31)进行加热， 所述热管回路(2)包括集管部(2b)和多个歧管部(2a)，其中，所述集管部(2b)用于使工作液(31)被加热而汽化，多个所述歧管部(2a)是从所述集管部(2b)分岔而形成的，用于使所述工作液(31)汽化后形成的蒸汽(33)与所述板(I)进行热交换而冷凝， 所述加热元件(3 )设置在所述集管部(2b )的、在所述加热元件(3 )对所述工作液(31)进行加热时与所述工作液(31)接触的壁面(12)—侧。
2.如权利要求1所述的均热处理装置，其特征在于， 所述板(I)形成为平面形状呈矩形， 所述集管部(2b)沿着所述板(I)的一侧面(Ic)延伸，所述歧管部(2a)设置成朝向与所述一侧面(Ic)相对的所述板(I)的另一侧面(Id)延伸。
3.如权利要求2所述的均热处理装置，其特征在于， 多个所述歧管部(2a)彼此平行配置。
4.如权利要求2所述的均热装置，其特征在于， 所述热管回路(2)还包括将所述歧管部(2a)彼此连接的连接部(2d)。
5.如权利要求4所述的均热处理装置，其特征在于， 所述连接部(2d)将从所述集管部(2b)延伸的所述歧管部(2a)的前端彼此连接。
6.如权利要求4所述的均热处理装置，其特征在于， 所述连接部(2d)设置有多个，并彼此平行配置。
7.如权利要求1所述的均热处理装置，其特征在于， 所述加热元件(3 )包括加热器(6 )、导热块(4 )以及加热器按压板(10 )，其中，所述导热块(4)形成有凹部(4a)，并将所述加热器(6)收容在所述凹部(4a)内，所述加热器按压板(10)将所述加热器(6)保持在所述凹部(4a)内。
8.如权利要求7所述的均热处理装置，其特征在于， 所述加热元件(3 )包括将所述加热器按压板(10 )与所述导热块(4 ) 一体地固定在所述板(I)上的固定构件(9)。
9.如权利要求7所述的均热处理装置，其特征在于， 包括夹在所述板(I)与所述导热块(4)之间的导热性的夹设构件(7)。
10.如权利要求7所述的均热处理装置，其特征在于， 所述加热元件(3)包括夹设在所述导热块(4)与所述加热器按压板(10)之间的导热性的夹设构件(8)。
11.如权利要求7所述的均热处理装置，其特征在于， 所述加热元件(3)包括夹设在所述导热块(4)与所述加热器按压板(10)之间的绝热性的夹设构件(8a)。
12.如权利要求7所述的均热处理装置，其特征在于， 在所述加热器按压板(10)的与所述凹部(4a)相对的位置上，形成有对所述加热器(6)进行收容的凹陷部(10a)。
13.如权利要求1所述的均热处理装置，其特征在于，在所述壁面(12)上形成有促进所述工作液(31)沸腾的高性能沸腾面(39)。
14.如权利要求1所述的均热处理装置，其特征在于， 所述加热元件(3)与所述板(I)热接触的宽度(Itl)在所述壁面(12)的宽度(I1)以下。
全文摘要
一种均热处理装置，能实现加热处理对象物的均匀加热和装置的小型化。均热处理装置包括板(1)，该板(1)在内部形成有封入工作液(31)的热管回路(2)；以及加热元件(3)，该加热元件(3)对工作液(31)进行加热。热管回路(2)包括集管部和多个歧管部，其中，所述集管部用于使工作液(31)被加热而汽化，多个所述歧管部是从集管部分岔而形成的，用于使工作液(31)汽化后形成的蒸汽(33)与板(1)进行热交换而冷凝。加热元件(3)设置在集管部的、在加热元件(3)对工作液(31)进行加热时与工作液(31)接触的蒸发面(12)一侧。
文档编号H01L21/324GK103140919SQ20108006933
公开日2013年6月5日 申请日期2010年10月1日 优先权日2010年10月1日
发明者宇野淳一, 山蔭久明, 舩引猛, 山田义人 申请人:东芝三菱电机产业系统株式会社