专利名称：具有可枢转的阀关闭梁的活板输送阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的活板输送阀(flap transfer valve)，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔离的半导体或基板加工处理室中。
背景技术：
已经知道EP 0 554 522揭示了一种这样的活板输送阀。各种真空阀特别会用在集成电路和半导体制造领域中，集成电路和半导体制造必须尽可能在没有污染微粒的受保护环境中进行。例如，在用于半导体晶片或液晶基板的制造设备中，高度敏感的半导体元件或液晶元件依次穿过多个处理室，其中位于处理室内的半导体元件通过各自的处理装置来处理。在处理室内的加工处理期间以及从一个处理室至另一个处理室的输送期间，高度敏感的半导体元件必须总是处于受保护环境中，特别是处于没有空气和微粒的环境中，或者处于惰性气体环境中。例如，处理室经由输送管道相互连接。这些处理室可借由真空输送阀打开，以将零件从一个处理室输送到下一个处理室，并在执行了各自的制造工序之后，能以气密方式关闭。此外，使用移动的输送室，其可与处理室对接，并且可在处理室之间在惰性气体环境中输送半导体元件。现有技术例如US 5，076，205或US 5，292，393公开了用于制造半导体元件尤其是
半导体晶片的多室系统，其中多个处理室绕中心输送室设置成星形形式。中心输送室经由管道连接至第二输送室，更多处理室绕第二输送室设置成星形形式，使得可借由多个这种处理岛来产生结合在一起的大型半导体制造系统。半导体元件借由设置在输送室中的操纵系统从一个处理室经由输送室被输送到下一处理室。此外，现有技术公开了这样的真空室系统，该真空室系统的处理室成行设置并具有能以真空密闭方式关闭并且面向相同方向的开口。可与处理室行平行地线性移动的输送室能够与各个处理室对接，并且用于将部件从一个处理室输送至下一个处理室。为此，抽空的输送室借由其输送室开口以真空密闭方式与处理室开口对接。例如在 US-2007-0186851-A1 (Geiser)中以概述的形式描述了这种系统。还可以将处理室顺序地设置成处理室排，其中，在相邻的处理室之间设置连接开口，该连接开口可借由输送阀以气密方式关闭。在此情况下，每个处理室具有至少两个开口，其中一个处理室的输出开口均为处理室链中的下一个处理室的输入开口。在每两个处理室之间以及在处理室链的开端和末端处均具有输送阀，输送阀均具有两个阀开口，这两个阀开口可以在其阀壳体内以气密方式相互分离。所述的真空室系统用于半导体和基板制造的不同领域，并且已被证实用于小型至中型半导体部件和基板部件的制造和处理。然而，新技术领域需要更大的集成半导体部件和基板，从而需要购买新的制造系统。这类例子为太阳能板或屏幕面板，特别是等离子和 IXD面板，其宽度超过一米。要求使用具有相应大尺寸的处理室和输送阀来加工这种大型的半导体元件、液晶基板或其它基板。通常，就材料科学而言，基板是指待处理的材料，特别是，在该情况下，对基板的表面进行细化或涂敷。这可以是半导体技术领域的晶片，印刷电路板的基材或一些其它材料， 特别是板形或带形材料，这些材料借由必须在真空或处理气体环境中进行的涂敷、细化或处理工艺而适当地处理。术语“基板”还包括待涂敷的玻璃板，例如，厚度从小于0. 5至大于5毫米的平板屏幕或太阳能板，或者不锈钢箔，或者厚度从小于0. 05至大于0. 2毫米的不锈钢带。因此，用于开启和关闭处理室的这种输送阀根据相应的工艺而具有的特点是，超大尺寸、长的密封长度和超大开口横截面，在某些情况下开口横截面的宽度超过1000毫米。特别地，开口的横截面是细长的并且类似于狭缝，开口的宽度大大超过其高度。由于所述应用领域以及与此相关的尺寸，这些阀被称为输送阀，同时由于它们的矩形开口横截面， 因此它们还被称为矩形阀，而根据它们的操作方法，还被称为滑动阀、矩形滑动阀、输送滑动阀、活板阀、活板输送阀或旋转闸。US6, 416, 037 (Geiser)和 US 6，056，266 (Blecha)描述了具有小尺寸、为真空滑动阀或滑动阀的形式的并且还被称为阀滑片或矩形滑片的输送阀。在现有技术中，关闭和开启过程通常分两个步骤进行。在第一步骤中，阀关闭装置(特别是关闭板)在开口上大致平行于阀座线性移动，在该过程期间阀关闭装置和阀壳体的阀座之间不发生任何接触。在第二步骤中，阀关闭装置的关闭面压靠在阀壳体的阀座上，因此以气密方式关闭开口。例如可经由设置在阀关闭装置的关闭面上并被压靠在包围开口的阀座上的密封环来实现密封， 或者经由阀座上的密封环来实现密封，该密封环压靠阀关闭装置的关闭面。另外，已知相对小的滑动阀，其中关闭和密封过程借由单个线性运动进行。这种阀例如是来自瑞士 Haag的VAT Vakuumventile AG公司的输送阀，其产品名称为 “M0N0VAT系列02和03”，并且为矩形插入阀的形式。例如，在US 4, 809, 950 (Geiser)和US 4, 881, 717 (Geiser)中描述了这种阀的设计和操作方法。这种驱动技术在现有技术中已公开，但是它们仅适于限定范围，用于超大开口横截面，特别是细长的狭缝形的开口横截面。由于大开口横截面所导致的长的密封长度，因此对于密封件、阀关闭装置的引导以及驱动装置的要求是非常严格的。现有技术已知多种密封装置，例如来自US 6，6 ，682B2 (Duelli)。一种用于密封环的合适材料例如是已知商标名为Viton 的弹性密封材料。在诸如这种长的密封长度和大的开口横截面的情况下，一种特定要求是即使在压力差非常高时也确保整个密封件长度上的密封。所使用的密封件的密封性能通常被限制在很窄的范围内。如果阀关闭装置和阀座之间的距离超过特定的阈值，则密封件作用在阀座上的接触力太低，因此不再能确保密封。反之，如果阀关闭装置和阀座之间的距离太小，并且因此密封件作用在阀座上的接触力太大，则密封件受到极大的磨损，并且在某些环境中会被损坏。为此，即使当压力差高时，当阀处于关闭状态时，也必须在密封件和阀座之间的整个密封长度上始终维持一定的接触压力。该一定的接触压力被限制在相当窄的范围内。特别在具有大尺寸的阀的情况下，具体是具有明显不对称的横截面，例如细长的狭缝形的开口，当压力差相对高时，保持恒定的接触压力存在问题。为了保持恒定的接触压力，某些输送阀要求阀关闭装置、其驱动装置以及其支承装置被设计成特别坚固，使得即使在发生高作用力时(其由于压力差而对阀关闭装置有影响)阀关闭装置也保持其标称位置，并且不会无意地改变其位置。阀关闭装置以及其驱动结构和支承部件的尽可能坚固且无弹性的设计最初是显然的。然而，进一步的问题不仅在于阀关闭装置及其外围的可能的弹性性能。在大尺寸的处理室的情况下，室内部和周围区域之间或者两室之间的压力差导致整个室壁变形。设置并联接到室壁上的输送阀同样经受这种室壁的变形。由于联接至室壁的阀座以对应于室壁的曲率的方式变形，因此通过未变形的阀关闭装置无法确保沿着密封长度上的密封件接触压力恒定。进一步的问题是当室壁变形时在密封件和阀座之间会发生重力引力。换言之，密封件相对于接触力被横向加载。诸如此类的侧剪切负载导致密封件的磨损相当大，并且甚至导致密封件破损，其结果是不再确保所要求的气密性。EP 0 554 522A2公开了一种旋转闸，该旋转闸用于将基板从一个处理室移除并且用于将该基板引入相邻的处理室，或者用于将基板从大气区域移动到低压室中，特别是公开了一种狭缝形的闸，该狭缝形的闸用于连续流真空涂敷装置，该连续流真空涂敷装置具有保持在固定位置支承装置中的活板状阀板，以及与阀板相互作用的两个关闭用电机。阀板铰接在插设有两个弹簧条的阀梁上，阀梁本身具有两个支承轴颈，这两个支承轴颈相互径向地对置并且都与电机的轴联接从而它们一起旋转，电机的轴以抗压的方式穿过室壁。 阀板借助于两个弹簧条与阀梁的附连旨在呈现相对于彼此可在两个轴上移动的连接，并且没有接头，因此没有摩擦，目的在于防止在阀操作期间阀板和阀梁之间发生的相对移动产生接头摩擦以及因此还产生磨损微粒。弹簧条设置在阀板和阀梁上，使得它们借助于特定夹紧件被挤压到合适的槽中，所述槽被磨成V形。这些V形槽被设计成使得当在弹簧条上无应力时，阀板处于相对于阀梁被限定为不平行的位置，使得在结束处理期间，阀板密封表面同时靠在外部的0形环上和内部的0形环上。这种设置旨在确保密封件被得以保护并且可以在阀板的整个长度上产生均勻的关闭力和接触力。在维护和维修期间，应该可变换压力级和驱动单元而不出现任何问题，同时相当笨重的阀单元保持完全安装在接纳部中。所述的旋转闸的一个缺点是，当密封件压靠在阀座上时，由于阀板的位置不与阀梁平行并且所述壁可能变形，因此在密封件上必定有一定的横向剪切负载。即使在阀座和阀关闭装置不可避免地出现弹性变形的情况下，例如特别地发生在细长的、特别是狭缝形开口横截面的情形下的变形，沿输送阀的密封件的密封长度的接触压力需要尽可能恒定以及避免密封件上的不均勻负载或者横向负载也成为现有技术中尚未恰当解决的问题。
发明内容
因此，本发明基于的目的是，将具有细长的特别是狭缝形的第一开口的输送阀设计成当将密封件压靠在阀座上并且当阀壁变形时，避免密封件上的过量负载和产生对处理有危害的微粒。该目的通过实施独立权利要求的特征来实现。以可选或者有利方式改进本发明的特征记载在从属权利要求中。根据本发明的活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室中，该活板输送阀具有细长的特别是狭缝形的第一开口，该第一开口沿第一几何纵向轴线延伸，并且被第一密封表面以框架形式围绕。所述第一密封表面位于第一几何密封平面上。细长且狭缝形应被理解成是指特别是矩形的第一开口的沿着其第一纵向轴线的宽度是与第一纵向轴线成直角的第一开口的高度的至少两倍或三倍，特别是四倍、五倍、六倍、八倍、十倍或十二倍。例如，第一开口的宽度大于500毫米，特别是大于800毫米，尤其大于1000毫米。第一纵向轴线沿着所述开口的宽度延伸，并与开口轴线成直角，该开口轴线形成为垂直于开口横截面。为了允许第一开口以气密方式关闭，而设置细长的阀关闭梁。该细长的阀关闭梁优选地具有矩形横截面，该矩形横截面与第一开口的优选矩形横截面相对应，并且在第一开口周围重叠，使得阀关闭梁可完全盖住第一开口。所述第一开口的所述宽度和高度的比因此也适用于阀关闭梁。该阀关闭梁沿着大致平行于第一纵向轴线的第二几何纵向轴线延伸。换言之，第二纵向轴线沿着阀关闭梁的宽度延伸，并且平行于第一纵向轴线。通常，阀关闭梁是指细长的阀关闭装置，特别是宽的阀板。阀关闭梁具有正面和背面。所述第一开口可借由正面关闭，该正面面向所述第一开口。为此，在所述正面上设置用于关闭所述第一开口和第二密封表面的关闭表面，该关闭表面与所述第一密封表面对应并可与之气密接触。该这二密封表面位于所述关闭表面的边缘区域中，并且位于第二几何密封平面上。换言之，通过大致以直角压靠在所述阀关闭梁的所述第二密封表面上可与绕第一开口的第一密封表面形成气密接触，其中，当形成该气密接触时，第一密封表面和第二密封表面平行， 并且彼此位于共同的平面上。在一个可行实施方式中，所述第一密封表面为绕所述第一开口的阀座，该阀座尤其是平坦的。第二密封表面例如由弹性密封件，特别是0形环形成，该第二密封表面设置在所述阀关闭梁的所述正面上的所述关闭表面上。然而，所述密封件也可由所述第一密封表面形成。换言之，所述弹性密封件可以位于所述阀关闭梁上或者位于所述第一开口的边缘区域中。在所述阀关闭梁的所述背面上定位至少一个支撑件，所述阀关闭梁安装在所述至少一个支撑件上，并且所述至少一个支撑件支撑所述阀关闭梁。所述支撑件用于支撑所述阀关闭梁，并且使得可以将力引到所述阀关闭梁的所述背面，并且因此可以允许所述阀关闭梁运动。所述支撑件联接到枢转支承件。所述枢转支承件允许所述支撑件和布置在该支撑件上的所述阀关闭梁绕几何枢转轴线在关闭位置和开启位置之间枢转，所述几何枢转轴线大致平行于所述阀关闭梁的所述第二纵向轴线，并且因此还与所述第一开口的所述第一纵向轴线平行。在所述关闭位置中，所述阀关闭梁的所述关闭表面盖住所第一开口，并且以气密方式关闭所述第一开口，所述第一密封表面和所述第二密封表面相互形成气密接触。换言之，在所述关闭位置中，所述阀关闭梁在所述第一开口上枢转，并且将其关闭。通过借由支撑件施加至所述背面的力的施加形成气密接触并保持该气密接触。在该关闭位置中，所述第一开口的所述第一密封表面的所述第一密封平面与所述阀关闭梁的所述第二密封表面的所述第二密封平面相互抵靠。在所述开启位置中，所述阀关闭梁枢转离开所述第一开口。所述阀关闭梁从而释放所述第一开口。当在开启位置中时，所述阀关闭梁优选地完全枢转出开口横截面的投影， 从而允许基板和半导体元件不受任何阻碍地被输送穿过所述第一开口。所述阀关闭梁在开启位置和关闭位置之间的枢转角优选地约为90度，特别是介于60度与105度之间。然而， 当在开启位置时，还可以使所述阀关闭梁枢转离开所述关闭位置例如5度至30度之间的仅非常小的枢转角，并且还可以使所述阀关闭梁以其它运动形式横向移出开口横截面，其它运动形式例如为相对于枢转轴线例如通过与所述第一密封平面平行的线性运动进行的侧向运动，或者进一步的枢转运动，其中其它枢转轴线大致形成为垂直于第一密封平面。通常，枢转支承件在功能上通常是指允许阀关闭梁绕几何枢转轴线枢转的支承件。下文和示例性实施方式将更详细地描述可用于实现这种枢转支承件的结构特征。在所述阀关闭梁和所述支撑件之间具有可枢转连接，该连接设计成使得所述阀关闭梁可相对于所述支撑件绕几何倾转轴线枢转。该倾转轴线平行于所述第二纵向轴线，并且还平行于所述枢转轴线，所述支撑件和所述阀关闭梁通过所述枢转支承件可绕该倾转轴线在所述关闭位置和所述开启位置之间以接合的方式枢转。所述倾转轴线优选地在有效的第二密封表面之间的阀关闭梁架中对中地行进。所述阀关闭梁可相对于所述支撑件枢转过的枢转角被限制。根据本发明，所述枢转轴线大致位于所述第一开口的所述第一密封表面的所述第一密封平面上，所述支撑件和所述阀关闭梁可绕该枢转轴线借由所述枢转支承件在所述关闭位置和所述开启位置之间以接合的方式枢转。在一个具体实施方式
中，该几何枢转轴线位于所述第一几何密封平面上。同样，根据本发明，所述倾转轴线大致位于所述阀关闭梁的所述第二密封表面的所述第二密封平面上，所述阀关闭梁可相对于所述支撑件以限定的枢转角绕该枢转轴线枢转。在一个具体实施方式
中，所述几何倾转轴线位于所述第二几何密封平面上。由于该特定布置，当处于关闭位置中时，所述枢转轴线和所述倾转轴线位于共同的平面上，具体是位于彼此抵靠的第一密封平面和第二密封平面上。这意味着，当所述阀关闭梁的所述第二密封表面被放置在所述第一开口的所述第一密封表面上时，在到达所述关闭位置之前不久，在所述第一密封表面和所述第二密封表面之间的密封接触上基本无横向剪切负载，在该情况下，所述第一密封平面和所述第二密封平面可相对于彼此略微倾斜地对准，同时所述阀关闭梁被推动到所述第一密封表面上。所述阀关闭梁架大致以直角压靠在第一密封表面上。换言之，根据本发明的枢转轴线和倾转轴线的布置是指，当所述第一密封表面和所述第二密封表面从近乎关闭位置移到关闭位置时，所述密封表面相对于彼此基于无侧向运动。因此保护了密封表面，使密封表面的寿命得以增加，并且避免了由于密封表面的磨损而产生微粒。本发明的进一步效果是，当活板输送阀上由于高压力差而具有高负载由此导致围绕所述第一开口、所述第一密封表面和/或所述阀关闭梁的壁变形时，由于所述阀关闭梁大致上以直角被推靠在所述第一密封表面上而没有任何明显的侧向运动，因此所述阀关闭梁和所述支撑件借由所述枢转支承件绕所述枢转轴线的进一步枢转在所述第一密封表面和所述第二密封表面之间基本上不形成侧向运动。所述支撑件和所述阀关闭梁之间的可枢转连接可通过至少一个倾转接头、至少一个球接头和/或至少一个枢转接头和/或至少一个其它接头形成，所述至少一个其它接头允许绕所述倾转轴线的至少一个旋转自由度。通常，可枢转连接功能上是指可绕所述倾转轴线在所述阀关闭梁和所述支撑件之间枢转的联接。位于所述闭合表面的边缘区域中的所述第二密封表面优选地沿指向所述阀关闭梁的所述背面的方向向后设置，使得所述阀关闭梁的所述关闭表面(至少在所述阀闭合梁架的中心区域)沿所述关闭梁的所述正面的方向伸出所述第二密封平面。换言之，在边缘处位于所述第二密封表面之间并且由该第二密封表面围绕并封闭的中心区域中，所述阀关闭梁沿所述第一开口的方向延伸出所述第二密封平面，并且当在关闭位置中时伸入所述第一开口中，并且伸出所述第一开口的所述第一密封平面。在所述阀关闭梁的所述背面上，至少在所述阀关闭梁的中心区域中形成凹部，并且该凹部沿所述正面的方向并因此沿所述第一开口的方向延伸得至少与所述第二密封平面一样远。通常，凹部表示低陷部，其在阀关闭梁的背面上不会延伸得如正面那样远，并且其深度延伸得如第二几何密封平面一样远。所述几何倾转轴线穿过凹部的区域。所述阀关闭梁和所述支撑件之间的可枢转连接，具体是至少一个倾转接头、球接头、枢转接头或其它接头布置在所述阀关闭梁的所述凹部中。根据本发明的其它方面，通过所述至少一个凹部和所述支撑件上的至少一个凸起形成所述可枢转连接。所述凸起和所述凹部被设计和设置成使得所述凸起伸入所述凹部中，并且在所述凸起和所述凹部之间存在接触，使得所述阀关闭梁可相对于所述支撑件绕所述倾转轴线枢转。所述凸起通常是指所述支撑件的可被插入所述凹部中的部分，并且通过与所述凹部接触而形成可枢转连接。所述凸起可以是楔形件、轴颈、销、螺栓、球、锥形或筒状部分，凹部的形状与所述凸起大致对应。在本发明的一种改进中，可枢转连接呈倾转接头的形式。将在下文中说明该倾转接头的优选设计。所述凹部具有基部。这优选地是指凹部的最深的，也就是说最接近正面的点、线或面。所述凸起的横截面相对于所述倾转轴线和所述第二纵向轴线以直角穿过的所述几何平面收敛到一点，并且具有尖端。该尖端与基部之间在所述倾转轴线上存在点接触或线接触，因此这形成倾转接头。换言之，凸起的尖端(该尖端沿着所述倾转轴线大致呈点或者线的形式)位于凹部槽的基部中。相对于该尖端绕所述倾转轴线发生枢转。 具体地，所述凸起具有V形横截面，并且所述凸起的所述尖端由V形角的横截面形成，该尖端收敛到一点。具体地，所述凸起因此可具有如同尖锥或楔形件的形状，所述尖端大致由所述倾转轴线大致穿过的点或至少部分地沿所述倾转轴线延伸的线形成。具体地，所述凹部的横截面相对于所述倾转轴线和所述第二纵向轴线以直角穿过的几何平面向内收敛，具体地是凹形横截面。例如，所述凹部具有V形横截面。所述基部在该情况下由V形角形成，该V形角以钝角的方式收敛。所述凹部优选地呈槽的形式，该槽其至少部分地沿所述倾转轴线延伸，所述槽的基部在所述第二密封平面延伸。在该情况下，所述凸起优选地呈沿所述倾转轴线延伸的楔形件的形式。如果所述凹部和所述凸起都具有V形横截面，则所述凹部的V形角优选地比所述凸起的V形角大，因此允许所述凸起的尖端完全穿入所述凹部中，直到靠在所述凹部的收敛基部中。根据本发明的该倾转支承件具有许多重要优点。由于所述凸起和所述凹部之间的呈点或线形式的接触，因此所述支承件的接触面积最小。小的接触面积还导致小的摩擦面积，这继而导致由摩擦产生的微粒最少。根据本发明的所述阀关闭梁在支撑件上的支承件因此极少产生对于处理有危害的微粒。根据本发明的所述支承件的另外的优点在于，所述倾转轴线可位于所述第二密封平面上，而不必使所述凹部必须伸出第二凹部。因此根据本发明的所述支承件允许所述阀关闭梁被设计成平坦且紧凑的。另外，根据本发明的所述支承件的特征在于易于维护并且经受较小的磨损。在本发明的一种改进中，在所述阀关闭梁和所述支撑件之间设置弹簧装置。该弹簧装置被布置成使所述阀关闭梁保持在所述支撑件上，并且将所述凸起沿相对于所述第二密封平面呈直角的方向推入所述凹部。所述弹簧装置例如通过至少一个板簧形成，该至少一个板簧设置在所述阀关闭梁的所述背面上，并且相对于所述倾转轴线横向地设置在伸入所述凹部中的所述凸起后部，使得弹簧装置沿相对于所述第二密封平面呈直角的方向将所述凸起压入所述凹部中。为了以限定的方式限制所述阀关闭梁相对于所述支撑件关于所述倾转轴线的枢转角，本发明还提供枢转止动件，该枢转止动件限制所述阀关闭梁和所述支撑件之间的枢转角。在开启位置中，或者当所述阀关闭梁位于不压靠在所述第一密封表面上的位置时，所述阀关闭梁和所述支撑件之间的至少一个弹簧将所述阀关闭梁压靠在所述枢转止动件上， 结果所述阀关闭梁处于限定的基本位置。在该限定的基本位置上，当在开启位置时所述阀关闭梁相对于所述支撑件倾转，使得在所述支撑件和所述阀关闭梁借由所述枢转支承件从开启位置枢转到关闭位置同时在所述第一密封表面和所述第二密封表面之间形成第一接触期间，这些密封表面彼此平坦地抵靠。优选所述密封表面中的至少一个是有弹性的。这意味着在所述密封表面的第一接触部与所述关闭位置之间存在一定的枢转角，该枢转角在下文中被称为压力枢转角，在这种情况下，所述密封表面在无任何压力的情况下至少在一小部分上彼此抵靠，并且在所述闭合位置中所述两个密封表面相互挤压以形成气密接触。 在本发明的一个优选实施方式中，所述阀关闭梁在所述基本位置关于所述倾转轴线倾转通过该压力枢转角。这意味着，在结束处理期间，当在所述密封表面之间形成第一接触部时， 所述第二密封表面平行于所述第一密封表面对准，结果所述密封表面彼此均勻且平坦地抵靠。所述倾转轴线和所述枢转轴线的根据本发明的布置导致当向所述密封表面进一步施加压力时在平行于所述密封平面的方向上在所述密封表面上没有显著的横向负载。本发明的另外方面包括枢转轴杆，该枢转轴杆平行于所述第一开口的所述第一纵向轴线并且沿所述枢转轴线延伸，邻近所述第一开口设置，所述支撑件附连到所述枢转轴杆，以绕所述枢转轴线枢转。例如，所述枢转轴杆被安装成使得其可以在所述活板输送阀的阀壳体的包含第一开口的壁上旋转。相对于所述枢转轴线至少部分地以直角延伸的至少一个臂可被布置在所述枢转轴线上，使得它们可一起旋转，所述支撑件被间接或直接地固定至所述臂。该枢转轴杆仅可具有支承功能，使得所述阀关闭梁被安装成使得其可绕所述枢转轴线枢转，或者可具有驱动功能，用于枢转所述阀关闭梁。从现有技术中已知使用枢转支承件和适合的驱动装置使活板输送阀的阀关闭梁在开启位置和关闭位置之间枢转的各种选择。一种选择是借由驱动装置直接驱动上述枢转轴杆以使得其可旋转。例如在EP 0 554 522中描述了这样的驱动装置。这样的驱动装置的一个优点是设计简单。然而这种设计的缺点是由于杠杆臂长因此在所述枢转轴杆上作用非常高的扭矩，特别是在密封表面大且压力差高的情况下，臂的扭转和弹性变型不可避免，结果在某些应用中不再能确保所要求的气密性。因此本发明的另外方面是所述活板输送阀具有轴杆，该轴杆可绕大致平行于所述第二纵向轴线的轴杆轴线旋转，特别是沿相对于所述第一密封平面呈直角的方向距所述枢转轴线一定距离，并且靠在所述阀关闭梁的所述背面上。至少一个驱动装置联接到所述轴杆，以使该轴杆绕所述轴杆轴线旋转，并且使所述阀关闭梁在开启位置和关闭位置之间运动。至少一个第一臂位于所述轴杆和所述支撑件之间，所述至少一个第一臂设置在所述轴杆上，从而它们一起旋转。所述第一臂的自由端经由所述支撑件直接或间接地与所述阀关闭梁的所述背面接合，使得所述轴杆绕所述轴杆轴线的旋转以及由此所述第一臂的枢转可导致向所述阀关闭梁的所述背面施加力，以使所述阀关闭梁绕所述枢转轴线在开启位置和关闭位置之间枢转。换言之，所述活板输送阀例如具有轴杆，该轴杆安装成使其可绕其轴杆轴线旋转， 所述轴杆轴线沿所述轴杆对中地延伸。所述轴杆轴线大致平行于所述阀关闭梁的所述第二纵向轴线，并且因此还与所述第一开口的所述第一纵向轴线平行。该轴杆以操作的方式连接到所述阀关闭梁，使得所述轴杆绕所述轴杆轴线的旋转致使所述阀关闭梁绕所述枢转轴线枢转。至少一个驱动装置联接到所述轴杆，以使该轴杆绕所述轴杆轴线旋转。由于所述轴杆与所述阀关闭梁的操作连接，因此所述轴杆的旋转使所述阀关闭梁在开启位置和关闭位置之间运动。例如，所述驱动装置可以是旋转驱动装置，并且由其产生的旋转运动直接或间接地导致所述轴杆旋转运动；或者可以是线性驱动装置，该线性驱动装置的轴向运动特别是通过直接或间接地设置在所述轴杆上的杠杆而转变成所述轴杆的旋转运动。本发明的一种改进设置成将所述阀关闭梁、所述支撑件、所述枢转支承件和所述轴杆设置在阀壳体中。所述第一开口设置在所述阀壳体的第一开口表面上。在所述阀体的与所述第一开口表面相对的第二开口表面上设置与所述第一开口相对的第二开口。在一个可行实施方式中，所述第二开口在所述阀壳体中与所述第一开口相对。所述开口均使所述阀壳体的内部与所述阀壳体的外部连接，在这种情况下，至少所述第一开口可借由所述阀关闭梁由所述闭合件关闭，与此有关的阀内部与阀外部的连接因此可被断开。所述阀壳体的与所述外部第一开口表面相对的外表面被称为所述阀壳体的第二开口表面。相对不是必须指恰好在几何相对的位置，而通常是指第一开口表面和第二开口表面朝不同的方向。然而，还可能的是，所述阀壳体没有这样的第二开口。在本发明的一种改进中，第二臂均与至少一个第一臂相关联，并且被安装在所述阀关闭梁的所述背面上的所述支撑件上，使得其可绕与所述枢转轴线平行的第二臂轴线枢转。所述第一臂和所述第二臂在它们的自由端的每端处绕与所述第二臂轴线大致平行的第一臂轴线以铰接的方式相互连接。所述轴杆、所述第一臂和所述第二臂因此形成杠杆驱动装置，特别是肘节杆或张紧杆机构。所述第一臂和所述第二臂的长度以及所述轴杆轴线、 所述第一臂轴线和所述第二臂轴线之间的距离优选地设计成当在关闭位置时，所述轴杆轴线、所述第一臂轴线和所述第二臂轴线大致处于共同的平面上，并且所述第一臂和所述第二臂在止点(dead point)处大致对准。在闭合位置中该止点对准是指在有压力差的情况下，所述阀关闭梁上不施加扭矩，结果，所述轴杆上无扭转。
在下文中将参照在附图中示意性地示出的具体实施方式
仅通过实施例详细地描述根据本发明的设备和根据本发明的方法。详细地，在附图中图Ia示出了在阀关闭梁处于关闭位置的情况下活板输送阀的一个示例性实施方式的侧剖视图；图Ib示出了在阀关闭梁处于打开位置的情况下活板输送阀的示例性实施方式的侧剖视图；图Ic示出了阀关闭梁的背面的斜视图；图Id示出了阀关闭梁的背面上的可枢转连接的详细斜视图；图Ie示出了活板输送阀的示例性实施方式的斜视图；图2示出了在阀关闭梁处于关闭位置的情况下活板输送阀的第一可选示例性实施方式的侧剖视图；图3示出了在阀关闭梁处于关闭位置的情况下活板输送阀的第二可选示例性实施方式的侧剖视图；以及图4示出了在阀关闭梁处于关闭位置的情况下活板输送阀的第三可选示例性实施方式的侧剖视图。
具体实施例方式图Ia至Ie以各种状态、从不同视角以及以不同的详细程度示出了根据发明的活板输送阀的同一示例性实施方式。因此将一并描述这些图，并且在一些情况下已参照前面的
的附图标记和特征将不再描述。如图Ie可见，用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室的活板输送阀具有气密阀壳体14，气密阀壳体14的形状基本为长方体。两个相对的细长侧表面形成阀壳体14的第一开口表面和第二开口表面。细长的狭缝形第一开口 1形成在阀壳体14的第一开口表面上并且具有矩形横截面，如图la、lb和Ie中可见。 第一开口 1与第二开口 17相对，第二开口 17位于阀壳体14的第二开口表面上。两个开口 1和17具有大致相同的、细长的狭缝形横截面，并且它们的投影对准。换言之，两个开口 1 和17具有共同的开口轴线。第一开口 1沿第一纵向轴线2延伸并且被第一密封表面3以框架形式围绕，如图la、Ib和Ie中所示。第一密封表面3面向阀内部在第一密封平面41 上延伸并且形成平坦的阀座。细长的阀关闭梁4设置在阀壳体中，并且沿大致平行于第一纵向轴线2的第二纵向轴线5延伸，和其它部件一起如图Ia和Ib所示。阀关闭梁4具有与开口 1和17的横截面大致相对应的横截面，但是阀关闭梁4的横截面稍微大些，结果其能够盖住第一开口 1。在所示的示例性实施方式中，两个开口 1和17的宽度以及阀关闭梁4的宽度比各自的高度大六倍。因此横截面大致在宽度上(也就是说在长度上)比在高度上延伸更多， 因此横截面被称为是细长的。用于关闭第一开口 1的关闭表面8位于阀关闭梁4的正面6上。另外，呈0型环形式的第二密封表面9设置在关闭表面8的边缘区域中。0型环9对应于第一密封表面3， 就是说其可以与第一密封表面3气密接触，如图Ia所示。0型环9的有效区域，就是说第二密封表面9，位于第二密封平面42上，如图Ia和Ib所示。在图Ia中，由于活板输送阀处于关闭位置C，因此第一密封平面41和第二密封平面42在图Ia中重合。特别如图Ie中可见，在阀关闭梁4的背面7上沿第二纵向轴线5设置多个相同的支撑件40。然而，为了更好地说明，下文基于单个支撑件40进行说明。支撑件40形成阀关闭梁4和枢转支承件60之间的接合。阀关闭梁4设置在支撑件40上，使得其可绕平行于第二纵向轴线5的倾转轴线44枢转，这将在下文中更详细地说明。枢转轴61平行于第一开口 1的第一纵向轴线2延伸并且沿枢转轴线10延伸，该枢转轴61设置成与第一开口 1相邻。为了绕枢转轴线10枢转，支撑件40经由臂附连到该枢转轴61。阀关闭梁4因此被安装成使得其可绕枢转轴线10枢转。枢转轴线10在第一开口 1的一侧延伸，特别地根据本发明在第一密封平面41上延伸，如图Ia和Ib所示。阀关闭梁4的绕平行于第二纵向轴线5的枢转轴线10的可枢转支承件在功能上形成枢转支承件60，通过该枢转支承件60，阀关闭梁4可绕枢转轴线10在图Ia的关闭位置C和图Ib的开启位置0之间枢转，枢转角约为80°。在图Ia的关闭位置C中，阀关闭梁 4的关闭表面8盖住第一开口1并且将其关闭。在该关闭位置C中，第一密封表面3和第二密封表面9相互形成气密接触，第一密封平面41和第二密封平面42相互抵靠，如图Ia所示。在开启位置0中，阀关闭梁4枢转离开第一开口 1，从而释放第一开口 1。轴杆11径向安装在阀壳体14上，使得该轴杆11可旋转，并且可绕大致平行于阀关闭梁4的第二纵向轴线5的轴杆轴线12旋转，如图la、Ib和Ie所示。轴杆轴线12在与第一密封表面3的第一密封平面41成直角的方向上延伸，距枢转轴线10 —定距离。枢转轴61的枢转轴线10通过阀壳体14的面向第一开口表面的一半，而相反地，轴杆11的轴杆轴线12通过阀壳体14的面向第二开口表面的一半，如图Ia和Ib可见。每个轴杆11上均设置一个第一臂四，使得它们一起旋转。如图Ie中所示，三个第一臂四都相互平行并且与轴杆轴线12成直角延伸。第一臂四可通过轴杆11的施转而绕轴杆轴线12旋转。每个第一臂四均与一个第二臂30相关联。第二臂30被安装在阀关闭梁4的背面7的支撑件40上，使得该第二臂可绕平行于枢转轴线10的第二臂轴线32枢转。相应的第一臂四和第二臂30在它们的自由端处相互连接，使得它们绕大致平行于第二臂轴线32 的第一臂轴线31铰接。轴杆11、第一臂四和第二臂30因此形成杠杆驱动。相应的第一臂四因此经由第二臂30与阀关闭梁4的背面7上的支撑件40接合，使得轴杆11绕轴杆轴线12的施转以及因此第一臂四的枢转允许向阀关闭梁4的背面7施加力，以使阀关闭梁4绕枢转轴线10在开启位置0和关闭位置C之间枢旋。第一臂四和第二臂30的长度，以及轴杆轴线12、第一臂轴线31和第二臂轴线32 之间的距离使得轴杆轴线12、第一臂轴线31和第二臂轴线32在关闭位置C中大致位于同一平面上，如图Ia所示，并且第一臂四和第二臂30在止点处大致对准。可绕轴杆轴线12旋转的轴杆11因此可经由臂四和30以运转的方式连接至支撑件40和阀关闭梁4，使得轴杆11绕轴杆轴线12的旋转引起阀关闭梁4绕枢转轴线10枢转。在阀壳体14上的一侧设置呈电动机形式的驱动装置，以使轴杆11绕轴杆轴线12旋转，并且使阀关闭梁4在开启位置0和关闭位置C之间运动，如图Ie所示。根据本发明，如图Ia和Ib所示，在支撑件40与阀关闭梁4之间绕平行于第二纵向轴线5延伸的倾转轴线44具有可枢转连接43，倾转轴线44位于第二密封平面42上，支撑件40设置在阀关闭梁4的背面7上。如图Ia和Ib所示，位于关闭表面8的边缘区域中的第二密封表面9沿背面7的方向向后设置。关闭表面8因此在由0型环9围绕的中心区域中沿阀关闭梁4的正面6的方向伸出第二密封平面42，如图Ia和Ib所示。换句话说，在关闭位置C中，关闭表面8伸出第一密封平面41而伸入第一开口 1中，如图Ia所示。在阀关闭梁4的背面7上，在阀关闭梁4的中央区域中形成均用于每个支撑件40 的凹部45，并且凹部45沿指向正面6的方向延伸到第二密封平面42。沿旋转轴线44纵向延伸并且对中地形成在阀关闭梁4中的凹部45均由V型槽形成，该V型槽至少部分地沿倾转轴线44延伸，槽45的基部47沿倾转轴线44呈直线的形式，并且因此在第二密封平面42 上延伸。换言之，该凹部45具有V形横截面，该V形横截面相对于旋转轴线44和第二纵向轴线5以直角穿过的假想平面(也就是说图Ia和Ib中的横截面)向内收敛。凹部45的基部47 (图Id)由以钝角的方式收敛的V形角形成，如图la、Ib和Id所示，并且倾转轴线 44穿过该基部47。每个支撑件40均具有一个凸起46。凸起46呈楔形件的形式，该楔形件沿倾转轴线44延伸并具有V形横截面，并且凸起46在横截面上具有尖端48，该尖端48由收敛到一点的V形角形成。换言之，凸起46是具有尖脊48的楔形，尖脊48呈直线形式。相对于倾转轴线44和第二纵向轴线5以直角穿过的假想平面，也就是说相对于图Ia和Ib中所示的横截面，凸起46的横截面通过尖端48收敛到一点。凹部45的V形角比凸起46的V形角大，因此凸起46可完全伸入凹部45中，使呈直线形式的脊48，确切地说是凸起46的尖端48，靠在凹部45的呈直线形式的基部47上。 在尖端48 (确切地说是脊48)与基部47之间，因此存在线接触，该线接触在旋转轴线44上位于凸起46和凹部45之间，使得阀关闭梁4可相对于支撑件40绕旋转轴线41枢转。该接触形成呈倾转接头43a形式的可枢转连接43。在阀关闭梁4和支撑件40之间设置均呈安装在背面7上的两个板簧形式的弹簧装置49。板簧49相对于倾转轴线44横向地安装在伸入凹部45中的凸起46之后，使得阀关闭梁4被保持在支撑件40上，并且凸起46被压入凹部45中，如图Ic和Id所示。板簧 49经由呈槽形式的凹部45并经由伸入凹部45中的凸起46借由螺钉横向地附连，由此在支撑件40和阀关闭梁4之间形成连接，该连接可以绕倾转轴线44以弹簧支撑的方式枢转。第一密封平面41上的枢转轴线10的和第二密封平面42上的倾转轴线44的根据发明的布置特别可以借由根据本发明的支承装置形成，该布置使得在运动到关闭位置C时当阀关闭梁4被挤压在密封表面3和9上时可以防止该密封表面3和9侧向运动，如图la， 结果使0型环9仅经受很少量的磨损，因此其寿命大大增加。由于凸起46和凹部45之间的线接触，因此基于摩擦而产生微粒的现象保持得较低，从而确保所需的免除微粒的效果。根据发明，除了如图Ia至Ie中描述的倾转接头43a，还可以使用不同实施方式的倾转接头43a，例如如图3所示；或者具有位于第二密封平面42上的倾转轴线44的不同接头，例如图2的球接头43b ；或者图4的枢转接头43c。在下文中将非排他地描述可行的可选实施方式，仅描述与已说明的实施方式的差异。图2示出了支撑件40和阀关闭梁4之间的可枢转连接43，该连接43由至少一个球接头4 形成。球接头43b由形成在支撑件40中的球52和形成在凹部45中的对应的球保持件53形成。相对于倾转轴线44和第二纵向轴线5以直角穿过的平面，也就是说，相对于如图2中所示的横截面，球52的以及对应的球保持件53的中心位于倾转轴线44上， 并且因此位于第二密封平面42上。此外，图2中所示的可选实施方式具有枢转止动件50，该枢转止动件50限定阀关闭梁4和支撑件40之间的枢转角。在阀关闭梁4和支撑件40之间设置弹簧51，该弹簧51 沿相对于第二密封平面42呈直角的方向动作。在开启位置0中，弹簧51将阀关闭梁4推靠在枢转止动件50上，使得当在开启位置0中时，阀关闭梁4相对支撑件40倾转，使得在支撑件40和阀关闭梁4借由枢转支承件60从开启位置0枢转到关闭位置C期间，当在第一密封表面3和第二密封表面9之间形成接触时，密封表面3和9相互平坦地抵靠。该布置还可用于如图Ia至Ie中所示的第一示例性实施方式中。图3示出了第二可选择实施方式，其中凹部45的基部47是平坦的，并且在第二密封平面42上延伸。支撑件40上的凸起46具有尖端48，该尖端48沿倾转轴线44延伸，并且呈刃口的形式。在关闭位置C中，刃口 48和凸起46的上半部靠在基部47上。一旦离开关闭位置C，阀关闭梁4就绕倾转轴线44和刃口 48倾转到凸起46的形成枢转止动件50的下半部上，如上所述，结果阀关闭梁4当在开启位置0中时相对于支撑件40倾转。该布置形成具有限制枢转角的倾转接头43a。此外，以与图Ia至Ie所示的示例性实施方式对应的方式，阀关闭梁4具有图3中未示出的弹簧布置49，该弹簧布置49用于将凸起46推入凹部 45。图4示出了具有枢转接头43c的第三可选实施方式。螺栓部分M位于凹部45中， 该螺栓部分讨沿倾转轴线44延伸，并且其中心轴线位于倾转轴线44上。螺栓部分M保持在螺栓保持件55中，螺栓保持件55联接到支撑件40，使得螺栓部分M和螺栓保持件55， 以及因此阀关闭梁4和支撑件40可绕位于第二密封平面42上的倾转轴线44相对彼此枢转，由此形成枢转接头43c。以与图2中所示的第一可选示例性实施方式相同的方式，该第三可选实施方式也具有枢转止动件50和弹簧51，结果当活板输送阀不处于闭合状态时阀关闭梁4处于被限定的位置。在图Ia至le、2、3和4中示出并说明的四个具体示例性实施方式仅作为示例提供，以基于示意性说明示出本发明。本发明当然不限于这些示例性实施方式以及它们的特征组合。
权利要求
1.一种活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室中，该活板输送阀具有 细长的特别是狭缝形的第一开口(1)，该第一开口沿第一纵向轴线⑵延伸，并且由位于第一密封平面Gl)上第一密封表面(3)以框架的形式围绕； 细长的阀关闭梁G)，-该阀关闭梁沿平行于所述第一纵向轴线O)的第二纵向轴线(5)延伸，并且 -该阀关闭梁在正面(6)上具有用于关闭所述第一开口(1)的关闭表面⑶；并且 -该阀关闭梁具有第二密封表面(9)，该第二密封表面对应于所述第一密封表面(3)， 能与所述第一密封表面气密接触，并且位于所述关闭表面(8)的边缘区域中并且位于第二密封平面(42)上； 至少一个支撑件(40)，所述至少一个支撑件位于所述阀关闭梁(4)的与所述正面(6) 相对的背面(7)上，其中，所述阀关闭梁(4)布置成使其经由所述支撑件GO)上的可枢转连接^幻能够绕与所述第二纵向轴线( 平行的倾转轴线G4)枢转通过限定的枢转角； 以及 枢转支承件(60)，所述支撑件00)通过该枢转支承件与所述阀关闭梁(4) 一起能够绕与所述第二纵向轴线(5)平行的枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(0)之间枢转，其中-在所述关闭位置(C)中，所述阀关闭梁⑷的所述关闭表面⑶盖住并封闭所述第一开口(1)，并且所述第一密封表面C3)与所述第二密封表面(9)通过借由所述支撑件GO) 施加至所述背面(7)的力的施加而在共同的第一密封平面Gl)和第二密封平面0 上气密接触，并且-在所述开启位置(0)中，所述阀关闭梁(4)枢转离开所述第一开口(1)，从而至少部分地释放所述第一开口(1)，所述活板输送阀的特征在于 所述枢转轴线(10)大致位于所述第一密封平面Gl)上，并且 所述倾转轴线G4)大致位于所述第二密封平面0 上。
2.根据权利要求1所述的活板输送阀， 其特征在于所述支撑件GO)和所述阀关闭梁之间的所述可枢转连接由至少一个倾转接头 G3a)、至少一个球接头(43b)或至少一个枢转接头(43c)形成。
3.根据权利要求1或2所述的活板输送阀， 其特征在于 位于所述关闭表面(8)的边缘区域中的所述第二密封表面(9)沿指向所述背面(7) 的方向向后设置，使得所述关闭表面(8)至少在所述阀关闭梁的中心区域中沿所述阀关闭梁的所述正面(6)的方向伸出所述第二密封平面(42)，并且 在所述阀关闭梁的背面(7)上，至少在所述阀关闭梁的中心区域中形成至少一个凹部(45)，所述至少一个凹部沿所述正面(6)的方向至少延伸到所述第二密封平面 (42)，其中，所述倾转轴线04)在所述凹部05)的区域中延伸，并且 所述可枢转连接^幻设置在所述凹部0 中。
4.根据权利要求3所述的活板输送阀， 其特征在于所述可枢转连接G3)由下列结构形成 所述至少一个凹部G5)以及 位于所述支撑件G5)上的至少一个凸起06)， 其中 所述凸起G6)伸入所述凹部G5)中，并且在所述凸起G6)和所述凹部05)之间存在接触，使得所述阀关闭梁(4)能相对于所述支撑件GO)绕所述倾转轴线G4)枢转。
5.根据权利要求4所述的活板输送阀， 其特征在于 所述可枢转连接^幻呈倾转接头(43a)的形式； 所述凹部G5)具有基部07)；并且 所述凸起G7)的横截面相对于所述倾转轴线G4)和所述第二纵向轴线(5)以直角穿过的所述平面收敛至一点，并且具有尖端G8)，其中，所述尖端G8)和所述基部07)之间的所述倾转轴线G4)上形成点接触或线接触，因此这形成了所述倾转接头G3a)。
6.根据权利要求5所述的活板输送阀， 其特征在于所述凸起G7)具有V型截面，并且所述尖端08)由收敛到一点的V形角形成。
7.根据权利要求5或6所述的活板输送阀， 其特征在于所述凹部G5)的横截面相对于所述倾转轴线G4)和所述第二纵向轴线(5)以直角穿过的所述平面向内收敛。
8.根据权利要求7所述的活板输送阀， 其特征在于所述凹部0 具有V型横截面，并且所述基部G7)由V形角形成，所述V形角以钝角的方式收敛。
9.根据权利要求4至8中任一项所述的活板输送阀， 其特征在于 所述凹部G5)呈槽的形式，该槽至少部分地沿所述倾转轴线G4)延伸，其中所述槽 (45)的所述基部07)在所述第二密封平面G2)上延伸，并且 所述凸起G6)呈楔形件的形式，该楔形件沿所述倾转轴线G4)延伸。
10.根据权利要求4至9中任一项所述的活板输送阀， 其特征在于在所述阀关闭梁(4)和所述支撑件GO)之间具有弹簧装置(49)，其中，所述弹簧装置 (49)布置成使 所述阀关闭梁(4)保持在所述支撑件GO)上，并且 所述凸起G6)被推入所述凹部G5)中。
11.根据权利要求10所述的活板输送阀，其特征在于所述弹簧装置G9)呈至少一个板簧的形式，所述至少一个板簧设置在所述阀关闭梁(4)的所述背面(7)上，将所述凸起G6)压入所述凹部0 中，并且相对所述倾转轴线 (44)横向地设置在伸入所述凹部G5)中的所述凸起06)的后部。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的活板输送阀， 其特征在于 枢转止动件(50)，该枢转止动件限制所述阀关闭梁(4)和所述支撑件00)之间的枢转角，以及 所述阀关闭梁(4)和所述支撑件GO)之间的至少一个弹簧(51)， 其中 在所述开启位置(0)中，所述至少一个弹簧(51)将所述阀关闭梁(4)压靠在所述枢转止动件(50)上，并且 当在所述开启位置(0)中时，所述阀关闭梁(4)相对于所述支撑件GO)倾转，使得在所述支撑件GO)和所述阀关闭梁(4)借由所述枢转支承件(60)从所述开启位置(0)枢转到所述闭合位置(C)的期间在所述第一密封表面( 和所述第二密封表面(9)之间形成接触时，这些密封表面(3，9)彼此平坦地抵靠。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的活板输送阀， 其特征在于邻近所述第一开口(1)设置枢转轴杆(61)，该枢转轴杆平行于所述第一开口(1)的所述第一纵向轴线⑵延伸，并且沿所述枢转轴线(10)延伸，所述支撑件GO)附接到所述枢转轴杆(61)，以绕所述枢转轴线(10)枢转。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的活板输送阀， 其特征在于 轴杆(11)，该轴杆可绕轴杆轴线(1 旋转，该轴杆大致平行于所述第二纵向轴线(5)，并且距所述枢转轴线(10)—定距离； 至少一个驱动机构(13)，该至少一个驱动机构与所述轴杆(11)联接，以使所述轴杆 (11)绕所述轴杆轴线(12)旋转，并且使所述阀关闭梁(4)在所述开启位置(0)和所述关闭位置(C)之间移动；以及 至少一个第一臂( )，所述至少一个第一臂设置在所述轴杆(11)上，使得所述至少一个第一臂和所述轴杆一起旋转，并且它们的自由端直接或间接地经由所述支撑件G0) 与所述阀关闭梁的所述背面(7)接合，使得所述轴杆(11)绕所述轴杆轴线(1 的旋转以及因此所述第一臂09)的枢转能导致向所述阀关闭梁(4)的所述背面(7)施加力，以使所述阀关闭梁(4)绕所述枢转轴线(10)在所述开启位置(0)和所述关闭位置(C)之间枢转。
全文摘要
本发明涉及将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室中的活板输送阀，活板输送阀具有细长的第一开口(1)，其由第一密封平面(41)上的第一密封表面(3)以框架形式围绕；以及细长的阀关闭梁(4)，其具有第二密封表面(9)，该第二密封表面对应于第一密封表面，能与第一密封表面气密接触，并位于第二密封平面(42)上。阀关闭梁的背面(7)上设置支撑件(40)，阀关闭梁在支撑件上布置成其能经由可枢转连接(43)绕倾转轴线(44)枢转过限定枢转角。支撑件与阀关闭梁一起借由枢转支撑件(60)可绕枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(O)间枢转。枢转轴线在第一密封平面上，倾转轴线在第二密封平面上。
文档编号H01L21/00GK102192337SQ201110063229
公开日2011年9月21日 申请日期2011年2月1日 优先权日2010年2月4日
发明者弗里德里克·盖泽 申请人:Vat控股公司