专利名称：非接触式吸盘的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种吸盘结构，尤其涉及一种非接触式吸盘。
背景技术：
由于半导体工艺与许多制造加工业在生产时都需要移动加工对象，因此如何吸附与运送加工对象已经成为一项重要课题，而在业界中，较为主流的方式是使用吸盘来吸附加工对象。在过去，最简易的吸盘是以吸气的方式来吸附加工对象，此一方式原理简单，然而在吸附过程中，吸盘会与加工对象直接接触，对于一些较为脆弱的加工对象如圆片与太阳能板，则容易造成所吸附的加工对象因弯折或碰撞而损坏。为了改善接触型吸盘的缺点，现有技术开始发展出出气型的非接触式吸盘，如日本专利编号JP，2009-073646，A揭露一种非接触式吸盘，是由主盘体与喷气件结合而成，主盘体的上方是开设有进气通道，喷气件的周围是钻设有许多细孔，当喷气件自主盘体的下方与主盘体结合后即可使用，使用时是将气体自主盘体上方的进气通道灌入，气体则会由喷气件周围的细孔朝非接触式吸盘的下方外侧喷出，并藉以于非接触式吸盘下方中心处产生真空吸力以吸附加工对象。然而此一结构也存在多个缺点，首先是由主盘体上方进气会使非接触式吸盘的厚度大幅增加，因此在接口的选择上容易受限，周边的空间利用也受到限制，再者，喷气件由于需要钻孔，加工上的难度也较高，制造成本也就随之上升。
发明内容
本发明所欲解决的技术问题与目的缘此，本发明的主要目的在于提供一种非接触式吸盘，该非接触式吸盘是利用导气座与扰气座间产生的缝隙出气，因此制作时不需额外钻孔制作喷气出口。 本发明解决问题的技术手段一种非接触式吸盘包含一导气座与一扰气座；导气座具有一吸附面、一渐缩槽与一入气流道，吸附面位于该导气座的下方，渐缩槽自该吸附面朝该导气座内部呈孔径渐缩的方式开设，入气流道与该渐缩槽相连通；扰气座盖设于该渐缩槽内，与该渐缩槽定义出连通该入气流道的一气室，且该扰气座的至少一边缘与该渐缩槽存在至少一出气间隙；其中，当一外部气体自该入气流道进入该气室，该外部气体自该出气间隙沿该渐缩槽的一壁面喷出。于本发明的一较佳实施例中，该吸附面还具有至少一防撞垫，而较佳者该防撞垫为一海绵材质。于本发明的一较佳实施例中，该扰气座利用至少一螺丝锁固于该导气座。于本发明的一较佳实施例中，其中该入气流道连通于该渐缩槽的径向处。于本发明的一较佳实施例中，其中该扰气座为一方形结构。
于本发明的一较佳实施例中，其中该扰气座具有朝向该渐缩槽的一扰气面，该扰气面自该边缘朝内渐凹。本发明对照现有技术的功效相较于现有的非接触型吸盘，本发明的非接触式吸盘由于是利用导气座与扰气座结合时产生的缝隙出气，因此不需额外钻孔制作喷气出口，结构较为简单置作成本也较低，此外入气流道能够设置于渐缩槽的径向处，因此不会增加非接触式吸盘的厚度，能够实现薄型化的目标。以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
图I为本发明第一实施例的非接触式吸盘倒立分解图；图2为沿图I的A-A切线的剖视图；图3为第一实施例的非接触式吸盘的出气示意图；图4为本发明第二实施例的非接触式吸盘倒立分解图；图5为沿图4的B-B切线的剖视图；以及图6为第二实施例的非接触式吸盘的出气示意图。其中，附图标记非接触式吸盘100导气座11吸附面111渐缩槽112 入气流道113扰气座12边缘121扰气面122螺丝I3气室Hl出气间隙Gl外部气体Fl非接触式吸盘200导气座21吸附面211渐缩槽212入气流道213扰气座22边缘221螺丝23防撞垫24气室H2
出气间隙G具体实施例方式本发明是关于一种吸盘，尤指一种非接触式的非接触式吸盘。以下兹列举一较佳实施例以说明本发明，然本领域技术人员均均知此仅为一举例，而并非用以限定发明本身。有关此较佳实施例的内容详述如下。请参阅图I、图2与图3，图I为本发明第一实施例的非接触式吸盘倒立分解图，图2为沿图I的A-A切线的剖视图，图3为第一实施例的非接触式吸盘的出气示意图。非接触式吸盘100包含一导气座11与一扰气座12。导气座11是具有一吸附面111、一渐缩槽112与一入气流道113，吸附面111是位于该导气座11的下方，渐缩槽112是自该吸附面111朝该导气座11内部呈孔径渐缩的方
式开设，入气流道113是与该渐缩槽112相连通。扰气座12是盖设于该渐缩槽112内，与该渐缩槽112定义出连通该入气流道113的一气室H1，且该扰气座12的至少一边缘121是与该渐缩槽112存在至少一出气间隙G1，而本实施例中则是以保留四个出气间隙Gl来作为示意；其中，当一外部气体Fl自该入气流道113进入该气室Hl，该外部气体Fl是自该出气间隙Gl沿该渐缩槽112的一壁面喷出，并据以于该吸附面111的中央处产生真空吸力。而于本实施例中的较佳者，该扰气座12可以利用至少一螺丝13锁固于该导气座11，而入气流道113可以是连通于该渐缩槽112的径向处，当然，也可连结于渐缩槽112的底端，但于装设接口时，非接触式吸盘100的厚度即会随的增加。此外，该扰气座12是具有朝向该渐缩槽112的一扰气面122，该扰气面122可以是自该边缘121朝内渐凹，如此一来即可在外部气体Fl喷出出气间隙Gl前，对外部气体Fl进行加速，并加强真空吸力的产生效率。当然，虽然本发明的第一实施例中导气座11与扰气座12均为一方形结构，然而并非一定要制作成方形结构才能产生真空吸力，导气座11与扰气座12的形状也不需相同，其它形状也可顺利产生真空吸力，唯独要强调的是，扰气座12制作为方形结构时，能够使非接触式吸盘在相同的进气量下拥有较强的真空吸力。请参阅图4、图5与图6，图4为本发明第二实施例的非接触式吸盘倒立分解图，图5为沿图4的B-B切线的剖视图，图6为第二实施例的非接触式吸盘的出气示意图。非接触式吸盘200同样拥有导气座21与扰气座22，并同样可以以螺丝23将扰气座22盖合并固定于导气座21上，以形成气室H2，导气座21同样拥有吸附面211、渐缩槽212与入气流道213，并且于扰气座22结合时可与扰气座22的边缘221形成出气间隙G2，与第一实施例的主要差异仅在于本实施例中的导气座21与扰气座22均为圆形结构，使用时的动作原理均无相异。此外，为了避免非接触式吸盘200在吸附加工对象的过程中因其它不稳定因素造成加工对象与非接触式吸盘200产生碰撞，因此吸附面211还可以设置至少一防撞垫24，一般来说海绵材质的防撞垫24即可达到很好的效果。综合以上所述，相较于现有的非接触型非接触式吸盘，本发明的非接触式吸盘由于是利用导气座与扰气座结合时产生的出气缝隙出气，因此制作时不需额外钻孔制作喷气出口，结构较为简单，不仅组合容易，制作成本也较低，此外入气流道能够设置于渐缩槽的径向处，因此不会增加非接触式吸盘的厚度，能够实现薄型化的目标。当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变 形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1.ー种非接触式吸盘，其特征在于，包含 ー导气座，具有ー吸附面、ー渐缩槽以及一入气流道，该吸附面位于该导气座的下方；该渐缩槽自该吸附面朝该导气座内部呈孔径渐缩的方式开设；该入气流道与该渐缩槽相连通；以及 ー扰气座，盖设于该渐缩槽内，与该渐缩槽定义出连通该入气流道的ー气室，且该扰气座的至少ー边缘与该渐缩槽存在至少ー出气间隙； 其中，当一外部气体自该入气流道进入该气室，该外部气体自该出气间隙沿该渐缩槽的一壁面喷出。
2.根据权利要求I所述的非接触式吸盘，其特征在于，该吸附面还具有至少ー防撞垫。
3.根据权利要求2所述的非接触式吸盘，其特征在于，该防撞垫为一海绵材质。
4.根据权利要求I所述的非接触式吸盘，其特征在干，该扰气座利用至少ー螺丝锁固于该导气座。
5.根据权利要求I所述的非接触式吸盘，其特征在干，该入气流道连通于该渐缩槽的径向处。
6.根据权利要求I所述的非接触式吸盘，其特征在于，该扰气座为一方形结构。
7.根据权利要求I所述的非接触式吸盘，其特征在干，该扰气座具有朝向该渐缩槽的ー扰气面，该扰气面自该边缘朝内渐凹。
全文摘要
一种非接触式吸盘，包含导气座与扰气座；导气座具有吸附面、渐缩槽与入气流道，吸附面位于该导气座的下方，渐缩槽自该吸附面朝该导气座内部呈孔径渐缩的方式开设，入气流道与该渐缩槽相连通；扰气座盖设于该渐缩槽内，与该渐缩槽定义出连通该入气流道的一气室，且该扰气座的至少一边缘与该渐缩槽存在至少一出气间隙；其中，当一外部气体自该入气流道进入该气室，该外部气体自该出气间隙沿该渐缩槽的一壁面喷出。
文档编号H01L21/683GK102693928SQ201110189240
公开日2012年9月26日 申请日期2011年6月30日 优先权日2011年3月25日
发明者王瑞贤, 许义胜 申请人:致茂电子股份有限公司