专利名称：用于led晶粒点测设备的点测装置的制作方法
技术领域：
本发明系关于一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，尤其是一种应用以能量转换器控制该点测装置的起落行程于待测LED晶粒上。
背景技术：
近年来，随着科技的进步，LED晶圆的制程亦不断精进，同时为了有效提升晶圆产品的品管良率，业者往往会于后段制程中，以点测装置将电流准确地传送至晶圆上的LED 晶粒，并藉由侦测该晶圆上的LED晶粒所发出光线的特性，以判断出晶圆上每一晶粒的优劣。目前传统的点测装置如图1所示，该传统式点测装置1系由一边缘检测(edge sensor)开关11、一摆臂12及一探针13所组成，因此当底部的驱动机构2经由调整使该具有LED晶圆4的承载装置3向上移动时，能使该LED晶圆4靠近该点测装置1，该LED晶圆 4的顶面会抵压该点测装置1的探针13，使该探针13能与该LED晶圆4的LED晶粒41接触，同时，该边缘检测(edge sensor)开关11能将所接收的外部电流，通过该探针13传送至该LED晶圆4上的LED晶粒41，使得LED晶粒41接收到电流而发光，如此，业者即能藉由侦测该LED晶圆4上的LED晶粒41所发出光线的特性，以判断该LED晶圆4上每一晶粒的优劣。但上述传统的点测装置，其中的一项缺失在于当该点测装置1进行点测时，在探针13接触到LED晶粒41后即成为接通状态，此时必须在边缘检测(edge sensor)开关11 处的接合动作下送一测试电流至探针13，藉此让待测LED晶粒41由两支点测测装置导通点亮；不过，传统的边缘检测(edge sensor)开关11为机械式动作，在点测过程累积反复开启 /关闭动作之下，很容易造成接触不佳，使测试电流无法有效准确地传送至该LED晶圆4上的LED晶粒41，导致点测后的数据资料可信度遭存疑。因此，若能够维持点测装置的可靠度，改善以往导通后送测试讯号的机械式接触的测试讯号失真问题，并且控制改善该探针接触该LED晶圆的速度输出及力量输出，应为
一最佳解决方案。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，其结构简单，操作方便。为实现上述目的，本发明公开了一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，用以接触检测LED晶圆上的多个LED晶粒，该点测装置至少具有两支测试探针组，其特征在于各测试探针组包括一探针，用以与该LED晶圆上该些LED晶粒接触；一能量转换器，与该探针一端相连接，用以将所接收电能转换为机械动能，以控制该探针于该LED晶圆上的起落行程，使该探针以受控制的起落速度接触该些LED晶粒；以及
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一驱动单元，与该能量转换器电性相接，用以提供该能量转换器的输入电能讯号。其中，该LED晶粒点测设备更具有一承载装置及一驱动机构，该承载装置用以置放至少一片LED晶圆，而该驱动机构能够驱动该承载装置进行移动。其中，该承载装置能够藉由该驱动机构作X、Y轴向位移。其中，该承载装置能够藉由该驱动机构作X、Y、Z轴向位移。其中，该能量转换器为音圈马达。其中，该LED晶粒点测设备更具有一与该驱动器相连接控制单元，该控制单元能够传送讯号进入该驱动器中，并透过该驱动单元进行控制该能量转换器的速度输出及力量输出。通过本发明，能实现以下技术效果1.本发明系能够藉由能量转换器来对探针下压接触LED晶圆所输出的力量、位置、加速度以及速度进行控制，并在操作中随时进行力量位置以及速度的转换，以使该探针能以受控制的起落速度接触LED晶圆上的LED晶粒。2.本发明能使探针缓慢并精准的接触LED晶圆上的LED晶粒，以便提高侦测灵敏度及定位准确性。
图1 为习知传统式点测装置的架构图；图2 为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的架构图；图3 为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的能量转换器的动作曲线图；图4A 为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的起实施例图；以及图4B 为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的实施例图。
具体实施例方式有关于本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。请参阅图2，为本发明一种用于LED晶粒点测设备的点测装置的架构图，该点测装置5用以接触检测LED晶圆4上的多个LED晶粒41，而该点测装置5至少具有两支测试探针组51，如图2所示，该测试探针组皆包括一用以与该LED晶圆4上该些LED晶粒41接触的探针511、一与该探针511 —端相连接的能量转换器512及一驱动单元513，其中该驱动单元513与该能量转换器512电性相接，用以提供该能量转换器512的输入电能讯号，而该能量转换器512用以将所接收电能转换为机械动能，以控制该探针511于该LED晶圆4上的起落行程，使该探针511以受控制的起落速度与该LED晶圆4上该些LED晶粒41接触。另外，该LED晶粒点测设备更具有一承载装置3及一驱动机构2，该承载装置3用以置放至少一片LED晶圆4，而该驱动机构2能够驱动该承载装置3进行移动；另外该承载装置3可藉由驱动机构2进行X、Y轴向位移或是X、Y、Z轴向位移。本发明中所使用的能量转换器512可为一音圈马达。由于音圈马达的致动器在力量、加速度、速度上皆可完全程式化，因此能够同时操作三种不同的方式，如图3所示，第一种方式为力量方式，力量方式是开放回路，并使用编码器不反馈，而实际的位置依然被监控但在输出上没有影响；第二种方式为速度方式，速度方式允许致动器的轴在设定的速度、力口速度、力量以及方位下移动执行，且原则上使用软着陆循环(软着陆指的是致动器的轴或者夹爪可以高速却可程式化低力量的接近零件表面)；第三种方式为位置方式，位置方式允许致动器的轴根据行程的大小、加速度以及速度力量等，来移动多个位置，因此能够做出绝对、相对以及被学习的位置移动。而这种软着陆的功能对于精密易碎或高单价的零件的组装相当有帮助，故能以受控制的低力搭配速度去接近物件且持续的监控位置是否发生错误，而一旦开始接触位置的误差就会产生，所以致动器会等到设定的数据达到程式的设定值时，轴在元件的表面会保持同一个位置进行移动。因此本发明能藉由该具有软着陆功能的能量转换器512，由一与该驱动单元513 相连接的控制单元6程式化设定一位置数据，并传送讯号进入该驱动单元513中，如图4A 所示，当该承载装置3经由该驱动机构2进行X、Y轴向位移或是X、Y、Z轴向位移后，能使该置放有LED晶圆4的承载装置3可固定于一定位置上，同时，会启动该点测装置5向下抵压，其中该测试探针组51的能量转换器512会先处于速度方式的状态下，因此该探针511 会经由该能量转换器512的控制，以维持一定的加速度向该LED晶圆4上的LED晶粒41移动。而当到达该控制单元6所设定的位置数据时，如图4B所示，该能量转换器512会转变为力量方式的状态，因此会减缓向下抵压的速度，同时控制向下抵压的力量，以使该探针511能缓慢并精准的接触LED晶圆4上的LED晶粒41，同时当该探针511已经接触到该 LED晶圆4上的LED晶粒41时，该探针511会将外部电流传送至该LED晶圆4上的LED晶粒41，使得LED晶粒41接收到电流而发光，以便透过光接收装置进行接收该LED晶圆4上的LED晶粒41所发出光线的特性，以判断分析该LED晶圆4的LED晶粒41的优劣。本发明所提供的一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，与其他习用技术相互比较时，更具备下列优点1.本发明能够藉由能量转换器来对探针下压接触LED晶圆所输出的力量、位置、 加速度以及速度进行控制，并在操作中随时进行力量位置以及速度的转换，以使该探针能以受控制的起落速度接触LED晶圆上的LED晶粒。2.本发明能使探针缓慢并精准的接触LED晶圆上的LED晶粒，以便提高侦测灵敏度及定位准确性。藉由以上较佳具体实施例的详述，希望能更加清楚描述本发明的特征与精神，而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本发明的范畴加以限制。相反地，其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的专利范围的范畴内。
权利要求
1.一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，用以接触检测LED晶圆上的多个LED晶粒， 该点测装置至少具有两支测试探针组，其特征在于各测试探针组包括一探针，用以与该LED晶圆上该些LED晶粒接触；一能量转换器，与该探针一端相连接，用以将所接收电能转换为机械动能，以控制该探针于该LED晶圆上的起落行程，使该探针以受控制的起落速度接触该些LED晶粒；以及一驱动单元，与该能量转换器电性相接，用以提供该能量转换器的输入电能讯号。
2.如权利要求1所述的点测装置，其特征在于，该LED晶粒点测设备更具有一承载装置及一驱动机构，该承载装置用以置放至少一片LED晶圆，而该驱动机构能够驱动该承载装置进行移动。
3.如权利要求2所述的点测装置，其特征在于，该承载装置能够藉由该驱动机构作X、 Y轴向位移。
4.如权利要求2所述的点测装置，其特征在于，该承载装置能够藉由该驱动机构作X、 Y、Z轴向位移。
5.如权利要求1所述的点测装置，其特征在于，该能量转换器为音圈马达。
6.如权利要求1所述的点测装置，其特征在于，该LED晶粒点测设备更具有一与该驱动器相连接控制单元，该控制单元能够传送讯号进入该驱动器中，并透过该驱动单元进行控制该能量转换器的速度输出及力量输出。
全文摘要
一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，用以接触检测LED晶圆上的多个LED晶粒，该点测装置至少具有两支测试探针组，而各测试探针组皆包括一探针、一与该探针一端相连接的能量转换器及一驱动单元，其中该驱动单元与该能量转换器电性相接，用以提供该能量转换器的输入电能讯号，而该能量转换器用以将所接收电能转换为机械动能，以控制该探针于该LED晶圆上的起落行程，使该探针以受控制的起落速度与该LED晶圆上该些LED晶粒接触；因此使用者能藉由一与该驱动单元相连接的控制单元进行控制该驱动单元的速度输出及力量输出，以便控制该探针与该LED晶粒接触的状态。
文档编号H01L21/66GK102509709SQ20111025776
公开日2012年6月20日 申请日期2011年9月2日 优先权日2011年9月2日
发明者李聪明, 林晋生, 温俊熙, 白智亮 申请人:致茂电子(苏州)有限公司