专利名称：搬送系统以及搬送方法
技术领域：
本发明涉及搬送系统，特别是涉及不便处理装置等待而供给搬送物品的搬送系统。
背景技术：
近年需要不便半导体加工装置以及半导体的检查装置等处理装置等待，而将 FOUP(用于搬送半导体晶片的密闭型盒体)等物品向这些装置的装载ロ(load port) 供给以及搬送。因此提出有下述方案在处理装置的附近设置缓冲部(buffer)，并且为了进行缓冲部与处理装置之间的搬送，而设置追加的搬送装置。例如在专利文献 1 (JP2006-224944A)中，将高架输送车(overhead travelling vehicle)的轨道与顶板空间平行地配置多个，将一方设为长距离搬送用，将另一方设为短距离搬送用。并且在长距离搬送用的轨道的正下方配置缓冲部，在短距离搬送用的轨道的正下方配置处理装置的装载 ロ。长距离搬送用的高架输送车在与缓冲部之间交接物品，短距离搬送用的高架输送车在缓冲部与装载ロ之间交接物品。因此当处理装置所需要的物品被预先搬送到缓冲部吋，就能够以高速向处理装置进行物品的供给。另外，来自处理装置的装载ロ的物品的搬出，利用短距离搬送用的高架输送车以高速进行。然而，这样ー来，由于在相同高度位置平行地设置轨道，故在俯视观察下会増大搬送系统所占的占地面积。在专利文献2(JP2005-150129A)中，在处理装置的前表面设置具备搬送装置的缓冲部，高架输送车在与缓冲部之间交接物品，缓冲部内的搬送装置在与装载ロ之间交接物品。然而在处理装置的前表面设置表示运转状况的显示器、手动操作用的操作面板等，会因缓冲部而将它们堵塞，因此不是优选的。另外装载ロ不只使用自动搬送装置，有时也用人工来供给搬出物品，当用缓冲部覆盖处理装置的前表面时，则用人エ进行搬入搬出变得困难。专利文献1 JP2006-224944A专利文献2 JP2005-150129A
发明内容
本发明的课题在干，不堵塞处理装置的前表面、且在俯视观察下搬送系统所占的占地面积减小，并且迅速地向处理装置供给以及搬出物品。本发明的课题还在于，尽量减少在与缓冲部之间交接物品时的升降量。本发明的课题还在于，缩短缓冲部与装载ロ之间的搬送距离。本发明的追加的课题在干，提供不与区间(local)台车干涉、且高架输送车在与缓冲部之间交接物品的具体的结构。本发明涉及ー种搬送系统，用于在多个处理装置之间搬送物品，该搬送系统包括 高架输送车轨道，其在处理装置的装载ロ的上部通过；以及高架输送车，其沿着高架输送车轨道向ー个方向行驶且具备提升机，
本发明的系统的特征在干，包括区间轨道，其在高架输送车轨道的下方且沿着所述ー个方向从处理装置的装载ロ 的上游侧到下游侧配置在装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机；第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及第二缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ的下游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品。在该发明中，能够将供高架输送车行驶的空间与供区间台车行驶的空间在竖直方向重合，从而能够减小在俯视观察下搬送系统所占的占地面积。另外，不会因缓冲部而堵塞处理装置的前表面。由于第一缓冲部与第二缓冲部设置于装载ロ的上游侧和下游侧，故区间台车能够在装载ロ与缓冲部之间迅速地供给搬出物品。装载ロ在处理装置上可以仅设置一个，也可以设置多个。在设置多个装载ロ的情况下，区间轨道从各装载ロ的上游侧设置到下游侧，第一缓冲部设置在各装载ロ的上游侧，第二缓冲部设置在各装载ロ的下游侧。本发明还涉及后安装于已设的高架输送车系统的搬送系统。该系统的特征在干，包括区间轨道，其在高架输送车轨道的下方且沿着所述ー个方向从处理装置的装载ロ 的上游侧到下游侧配置在装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机；第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及第二缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ的下游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品。这样ー来，能够在已设的高架输送车系统上后安装由区间轨道、区间台车以及第一、第二缓冲部构成的搬送系统。并且后安装的搬送系统无需对处理装置改造，即便对已设的高架输送车系统，也只需进行兼用支柱程度的改造。另外，能够将供高架输送车行驶的空间与供区间台车行驶的空间在竖直方向上重合，进而不会因缓冲部而堵塞处理装置的前表面。由于第一缓冲部和第二缓冲部被设置在装载ロ的上游侧和下游侧，故区间台车能够在装载ロ与缓冲部之间迅速地供给搬出物品。优选地，第一缓冲部和第二缓冲部构成为能够分别ー个ー个地载置物品。这样ー 来，能够与装载ロ邻接，在上游侧和下游侧配置合计两个缓冲部。优选为，第一缓冲部与第二缓冲部被配置在下述高度在第一缓冲部和第二缓冲部载置有物品吋，只有未支承物品的区间台车能够在第一缓冲部和第二缓冲部的上方行驶，在所述第一缓冲部和第二缓冲部未载置物品吋，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在第一缓冲部和第二缓冲部的上方行驶自如的高度。这样ー来，区间台车能够在与缓冲部之间迅速地转移物品。另外，优选为，所述第一缓冲部和第二缓冲部分别为具有上层和下层的两层台阶状的结构，第一缓冲部和第二缓冲部能够在上层和下层分别ー个ー个地载置物品，下层被配置在接近装载ロ的ー侧，上层被配置在距离装载ロ较远的ー侧，且所述下层和所述上层被配置在下述高度与下层有无物品载置无关，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均自如地通过下层的上方，在上层载置有物品时，仅未支承物品的区间台车在上层的上方行驶自如，在上层未载置物品时，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在上层的上方行驶自如的高度。这样ー来，能够在装载ロ的上游和下游配置四个物品的量的缓冲部，而且区间台车能够迅速地向上层的缓冲部转移物品。另外，优选为，区间轨道由两条平行的导轨构成，且在两条导轨之间设置有能够供物品沿竖直方向移动的间隙。这样ー来，即便将区间轨道配置在第一轨道的正下方，高架输送车也能够在装载ロ以及缓冲部之间交接物品。优选为，高架输送车进行向所述第一缓冲部和所述第二缓冲部的物品的搬入、以及来自所述装载ロ的物品的搬出，所述区间台车进行从所述第一缓冲部和所述第二缓冲部向所述装载ロ的物品的搬入。该控制由高架输送车的控制器和区间台车的控制器等执行。 这样ー来，能够从装载ロ迅速地搬送物品，并且与装载口上有无物品无关，均将物品从高架输送车向缓冲部卸货。并且当装载ロ空闲时，能够迅速地将物品从缓冲部搬入装载ロ。优选为，由配置在装载ロ的上方的水平的机架来支承第一缓冲部和第二缓冲部， 在机架上设置有用于检测装载ロ侧的干渉物的俯视传感器。借助俯视传感器，使得高架输送车、区间台车均不会发生与装载ロ侧的人等的干渉。装载ロ侧是指装载ロ的附近或装载 ロ的近旁。另外，本发明的搬送系统设置区间轨道，其被配置在高架输送车轨道的下方且在所述装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机；以及具有上层和下层的两层台阶状的缓冲部；能够在上层和下层分别ー个ー个地载置物品，下层配置在接近装载ロ的ー侧，上层配置在距离装载ロ较远的ー侧，且所述下层和所述上层被配置在下述高度与下层有无物品载置无关，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在下层的上方自如地通过，在上层载置有物品时，仅未支承物品的区间台车能在上层的上方行驶自如，在上层未载置物品吋，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在上层的上方行驶自如的高度。例如，作为台阶状的缓冲部，设置图1的缓冲部25aJ6a的組合与缓冲部25b 的組合的至少一方。这样ー来，能够将供高架输送车行驶的空间与供区间台车行驶的空间在竖直方向上重合，能够减小在俯视观察下搬送系统所占的占地面积。另外，不会因缓冲部而堵塞处理装置的前表面。另外，由于将缓冲部以台阶状配置为上下两层，故高架输送车与区间台车能够相对于上下任意一层进行搬入搬出，由于上层的缓冲部与区间轨道的高度水平差较小， 故以较小的升降量就能够供给搬出物品。另外，本发明是使用在处理装置的装载ロ的上部通过的高架输送车轨道、和沿着所述高架输送车轨道向ー个方向行驶且具备提升机的高架输送车向装载ロ搬送物品的方法，设置有区间轨道，其在高架输送车轨道的下方且沿着所述ー个方向从处理装置的装载ロ 的上游侧到下游侧配置在装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机；第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及
第二缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ的下游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品。并且执行以下步骤高架输送车将物品向第一缓冲部或第二缓冲部卸货的步骤；区间台车将第一缓冲部或第二缓冲部的物品向装载ロ卸货的步骤；以及高架输送车将装载ロ的物品搬出的步骤。这样ー来，能够从装载ロ迅速地搬送物品，并且与装载口上有无物品无关，将物品从高架输送车向缓冲部卸货。并且，当装载ロ空闲时，能够迅速地从缓冲部向装载ロ搬入物
P
ΡΠ O
图1是实施例的搬送系统的主要部分的侧视图。图2是表示从实施例的搬送系统拆下高架输送车的行驶轨道的状态的主要部分的俯视图。图3是表示区间台车的结构的主视图。图4是表示搬送系统内的通信的图。图5是变形例的搬送系统的主要部分的主视图。图6是最佳实施例的搬送系统的主要部分的侧视图。附图标记说明如下2…搬送系统；4…处理装置；6…装载ロ ；10…轨道；11…支柱；12…高架输送车；14…提升机；16…升降台；18···物品；20…区间轨道；22…区间台车； 23…升降台；24...吊装件；25a、25b...缓冲部；26a、26b…缓冲部；27、沘 支柱；30、31…缓冲部；34···间隙；36…充电装置；38…行驶车轮；40…行驶电机；42…蓄电池；43…用电装置；44…提升机；45…夹头；50…高架输送车控制器；51 54…通信単元；60…区间轨道； 62…区间台车；63 65…导轮；67、68…支柱；70、71…缓冲部；72…机架；73…控制器； 74…充电装置；76…俯视传感器。
具体实施例方式以下，表示用于实施本发明的最佳实施例。本发明的范围应基于权利要求书的记载，并參考说明书的记载和本领域的公知技术，按照本领域技术人员的理解而能够确定。图1 图5表示实施例的搬送系统与其变形。在各图中，2是搬送系统，4是处理装置，例如是半导体处理装置以及半导体的检查装置等。另外，搬送系统2被设置于洁净室内。处理装置4具备ー个或多个装载ロ 6，在处理装置4的正上方设置高架输送车12的轨道10，从顶板利用支柱11进行支承。高架输送车12具备提升机14，以使升降台16与物品 18—起升降。物品18例如是容纳半导体晶片的F0UP，物品18的种类是任意的。另外，高架输送车12除了提升机14以外，也可以具备横移提升机14的装置以及使提升机绕竖直轴旋转的装置等。由轨道10与高架输送车12构成高架输送车系统，该系统本身是公知的。例如在轨道10的正下方设置区间轨道20，区间轨道20例如设置于每个处理装置。 设置区间轨道20的范围是装载ロ 6的正上部和例如其左右两侧，但也可以是装载ロ 6的上部与其左右当中的一方。22是区间台车，沿着区间轨道20而往复移动，并利用带、钢丝、钢缆等吊装件M使升降台23升降。从装载ロ 6观察，在区间台车22的行驶方向例如前后双方各设置两种缓冲部25a、25b以及^aJ6b。高架输送车12沿图1的箭头方向行驶，例如一对装载ロ 6、6的上游侧的缓冲部25a、26a为第一缓冲部，下游侧的缓冲部25b 为第
ニ缓冲部。缓冲区25a、2^设置在能够不干渉支承有物品18的区间台车22通过其上部的高度，设置在俯视观察时与装载ロ 6邻接的位置。换而言之，在区间台车22所支承的物品18 的底面与在缓冲区25a、25b的物品载置面之间，设置超过ー个物品18的量的高度差。缓冲区^a、26b是第二缓冲区，从缓冲区25a、2^观察时设置于装载ロ 6的相反一侧，且设置在未支承物品18的区间台车22能够在其上部行驶，但支承有物品18的区间台车22无法行驶的高度。换而言之，将区间台车22所支承的物品18的底面与在缓冲区的物品载置面之间的高度差设为小于ー个物品18的量的高度。例如缓冲区^5a、26b设置在仅比缓冲区25a、25b高出ー个物品18的量的高度的较高的位置，高低差是以缓冲区25a、25b、 沈3、2乩构成ー层台阶。并且缓冲区25a、25bJ6aJ6b由支柱27J8支承，支柱27例如兼做区间轨道20的支柱，但也可以与区间轨道20的支柱分开设置。在实施例中，在装载ロ 6的左右两侧(当以高架输送车12的行驶方向为基准吋， 装载ロ 6的前后两侧)设置有缓冲部25a、25bJ6aJ6b，但也可以只设置在ー侧。在缓冲部的容量不足的情况下，如图1中用点划线所示的那样，可以使缓冲部沈向缓冲部31 的位置移动，在原来的缓冲部的下部设置缓冲部30。并且在该情况下，区间轨道 20也延长到缓冲部31的上部。如以上那样，当配置缓冲部25a、25bJ6a、26b等吋，高架输送车12和区间台车22 能够在与任意的缓冲部25a、25bJ6a、26b之间交接物品18。由于缓冲部25a、2^位于较低的位置，故高架输送车12与区间台车22虽能够自由地进行搬入搬出，但交接物品18时的升降量较大。当缓冲部沈a、26b空闲的情况下，实际负载的区间台车22与实际负载的高架输送车12能够进行搬入搬出。在缓冲部^5a、26b载置有物品18的情况下，空载的区间台车22与空载的高架输送车12能够进行搬入搬出。此外，高架输送车12使物品18经由由一对行驶轨道构成的区间轨道20的间隙而升降，关于该机构详见后述。上述结果使区间台车22及高架输送车12能够相对于缓冲部25a、25bJ6a、26b进行搬入搬出。由于缓冲部^a、26b与缓冲部25a、2^相比位于较高的位置，故高架输送车 12及区间台车22能够缩短转移时间。特别是区间台车22能够使转移物品18时的升降量变短，能够缩短转移时间。另外由于缓冲部25a、25bJ6a、26b被设置在装载ロ 6的附近，故区间台车22能够以短时间在装载ロ 6与缓冲部25a、25bJ6a、26b之间搬送物品18。图2是沿着图1的II-II线观察下侧的图，除去高架输送车12与轨道10而表示搬送系统2。区间轨道20如图2所示由ー对轨道构成，轨道间是间隙34。该间隙M的宽度大于物品18的纵深，物品18能够沿竖直方向通过间隙。另外在装载ロ 6的上部设置充电装置36，用于向区间台车22进行充电。在图1、图2中是将充电装置36配置在一方的装载ロ 6的正上部，但也可以配置在另一方的装载ロ的上部、或一对装载ロ 6、6的中间部等。高架输送车12除了处理装置4立即需要的物品之外，是用缓冲部25a、25bJ6a、 26b将物品18卸货。另外除了下一个处理装置立即需要的物品之外，高架输送车12搬出缓冲部25a、25bJ6aJ6b的物品而不是装载ロ 6上的物品。并且装载ロ 6与缓冲部25a、25b J6a、26b之间的搬送基本上由区间台车22来进行。其結果，即便是区间台车22由于充电而在装载ロ 6的上部停止，也不会干渉由高架输送车12进行的物品的搬送。此外充电装置36也可以设置在面对缓冲部25a、25b、^a、^b的位置。在该情况下，当区间台车22由于充电而长时间停止在该位置时，则会妨碍高架输送车12相对于缓冲部进行搬入搬出。图3表示区间台车22的结构，38是行驶车轮，由行驶电机40驱动，42是蓄电池， 经由用电装置43而由充电装置36进行充电，向用电装置43的供电，例如可以是非接触供电、由连接器或充电连接器等进行的接触充电的任ー种。44是提升机，用于使升降台23升降，45是夹头，用于对物品18上部的凸缘进行把持及释放。图4表示搬送系统内的通信，高架输送车控制器50与高架输送车12进行通信并分配搬送指令。例如，充电装置36兼做区间台车22的控制器，经由通信単元51在与高架输送车控制器50之间进行通信，由此向高架输送车控制器50报告在缓冲部25a、25bJ6a、 26b上有无物品18及其ID。另外充电装置36从高架输送车控制器50接收关于经由缓冲部25a、25bJ6aJ6b的物品18的搬送指示。通信単元52与高架输送车12通信，进行高架输送车12在与缓冲部25a、25bJ6a、26b之间交接物品18时的联锁。通信単元53与区间台车22的通信単元M通信，指示缓冲部25a、25b、26a、2m3与装载ロ 6间的物品18向区间台车22的转移。对搬送系统2的动作进行说明。搬送系统的目标是在处理装置4恰好需要的时刻将物品18向装载ロ 6供给，当物品18从内部向装载ロ 6搬出吋，立即向处理装置4的外部搬离。因此只要相对于处理装置4有专属的区间台车22和缓冲部25a、25bJ6aJ6b即可。将处理装置4所需的物品18预先保持于缓冲部25a、25bJ6aJ6b，并在处理装置4所要求的时刻向装载ロ 6搬送即可。另外，只要是将从内部向装载ロ 6搬送的物品18，用区间台车22立即向缓冲部25a、25bJ6a、26b转移即可。并且高架输送车12进行比缓冲部25a、 25b,26a,26b更靠远方的搬送，高架输送车12能够相对于缓冲部25a、25bJ6aJ6b中的任一个进行搬入搬出，也能够在紧急时等直接相对于装载ロ 6进行搬入搬出。有时在处理装置4需要的时刻，所需的物品18却未被载置于缓冲部25a、25bJ6a、 26b0在这样的情况下，当高架输送车12能够将物品18直接地向装载ロ卸货时，则能够缩短处理装置4的等待时间。另外，在下一个处理装置所需的物品的搬送延迟的情况下，当高架输送车12从装载ロ 6直接将物品18搬离时，则能够缩短下一个处理装置的等待时间。由于区间台车22沿着区间轨道20行驶较短的距离，故简单的台车即可。与作为控制器的充电装置36的通信通过以下方式进行例如将导体的区间轨道20兼作信号线、沿着区间轨道20设置馈电线、或者在台车22与充电装置36之间进行无线通信等。并且，通往充电装置36的电源与高架输送车控制器50之间的通信线，能够利用支柱27等进行布线。在实施例中，虽示出将区间轨道20配置在轨道10的正下方的例子，但并不局限于此。图5表示这样的例子，与实施例相同的标记表示相同的部件。60是新的区间轨道，其以避开轨道10的正下方的方式配置在轨道10的下方，62是新的区间台车。区间台车62利用导轮63 65而被区间轨道60支承并行驶，67、68是新的支柱，其他方面与图1 图4的实施例相同。最佳实施例图6表示最佳实施例，与图1 图4相同的标记表示相同的部件，除特殊指出的方面以外，与图1 图4的实施例相同。高架输送车12沿着图6的箭头向ー个方向行驶。处理装置4例如具备ー对装载ロ 6、6，在高架输送车12的行驶方向且在各装载ロ 6、6的上游侧设置有第一缓冲部70，在各装载ロ 6、6的下游侧设置有第二缓冲部71。此外，每个处理装置4的装载ロ 6的数量是任意的。区间轨道20从装载ロ 6、6的上游侧的第一缓冲部70 的上部延伸到下游侧的第二缓冲部71的上部。72是水平的机架，由支柱27支承，且从装载 ロ 6、6的上部向其左右(上游侧和下游侧)延伸，并支承缓冲部70、71。缓冲部70、71被配置在未支承物品18的区间台车22能够在上方行驶、而支承有物品18的区间台车22不能在上方行驶的高度。在俯视观察下，轨道10及轨道20与缓冲部70、71重合，在轨道10、20的正下方有装载ロ 6、6。另外，軌道20由两条导轨构成，在导轨之间有供物品18沿竖直方向自如地通过的间隙。沿着轨道20，区间台车22的停止位置例如有四个位置，在各个位置设置充电连接器等充电装置74，从而向区间台车的锂离子电池等蓄电池或双电荷层电容器等蓄电器进行充电。由于区间台车22能够接受停止的随时充电，故能够由小容量的蓄电池或小容量的电容器驱动。此外由于装载ロ 6、6的正上方的位置不适于区间台车22的待机位置，故可以只在缓冲部70、71的正上方的位置设置充电装置74。73是控制器，控制区间台车22，并且与高架输送车12或图4的高架输送车控制器 50通信。机架72在装载ロ 6、6的上部例如具备ー对俯视传感器(Look Down Sensor) 76, 76，用于监视装载ロ 6、6附近的干渉物，例如作业者。俯视传感器76例如，具备激光光源、 改变激光的方向并扫描图6的点划线的范围的机构、以及反射光的感光元件。并且，例如当监视图6的点划线的范围内的物体且在点划线的范围内检测到物体吋，则控制器73禁止相应的装载ロ 6相对于区间台车22和高架输送车12的转移。此外，也可以用ー个俯视传感器监视多个装载ロ 6。另外控制器73也可以不与高架输送车12直接通信，而经由图4的高架输送车控制器50进行通信。对最佳实施例的动作进行说明。高架输送车12将物品18向缓冲部70、71卸货 (搬入)，并且将装载ロ 6、6上的物品18搬出(装货)。在缓冲部70有空闲、且在装载ロ 6 有应搬出的物品18的情况下，高架输送车12将搬送来的物品18向缓冲部70卸货，并且将物品18从装载ロ 6搬出。因此能够用一台高架输送车12执行搬入和搬出。区间台车22将缓冲部70、71的物品搬入装载ロ 6、6。区间台车22的待机位置在缓冲部70、71的上部，交替地改变待机位置。例如当将缓冲部71上的物品搬入装载ロ 6吋，能够在缓冲部70上待机，接着将缓冲部70的物品迅速地搬入装载ロ 6。此外在缓冲部70、71上均无物品18的情况下，也可以在缓冲部71上待机，以使高架输送车12能够将物品18向缓冲部70卸货。在装载ロ 6、6有可能因物品18发生溢出的情况下，区间台车22也可以将物品从装载ロ 6搬出到缓冲部70、71。另外，对于特急物品，高架输送车12也可以将物品直接搬入装载ロ 6。在最佳实施例中，缓冲部70、71与装载ロ 6、6邻接，轨道20与缓冲部70、71的高度差较小。因此区间台车22能够以短时间将物品18从缓冲部70、71搬入装载ロ 6。对于高架输送车12，与处理装置4具备两个搬出专用的装载ロ和两个搬入专用的装载ロ相同。 因此能够减少不能将物品18向装载ロ 6卸货的故障。另外对于处理装置4，能够在缓冲部 70、71最多堆积两个预处理的物品。在实施例中得到以下的效果。
(1)能够不堵塞处理装置4的前表面而设置缓冲部25a、25bJ6aJ6b。(2)能够将供高架输送车12行驶的空间与供区间台车22行驶的空间在竖直方向重合，从而能够减小在俯视观察下搬送系统所占的占地面积。(3)由于将缓冲部25a、25bJ6aJ6b以阶梯状配置为上下两层，故高架输送车12 和区间台车22能够相对于任意的缓冲部25a、25bJ6a、26b进行搬入搬出。特别是由于缓冲部沈a、26b与区间轨道20之间的高度水平差减小，故能够以较小的升降量来供给搬出物
ロロ Io0(4)由于物品18通过设置于区间轨道20的间隙34，故能够将区间轨道20和缓冲部25a、25bJ6a、26b配置在高架输送车12的轨道10的正下方。(5)能够基本不改造处理装置4以及已设的高架输送车系统，而后安装由区间轨道20和区间台车22以及缓冲部25a、25bJ6a、26b构成的搬送系统。(6)由于区间台车22在较短的区间轨道20上往复运动，故能够在装载ロ 6与缓冲部25a、25bJ6a、26b之间迅速地供给搬出物品。特别是当在装载ロ 6的前后两侧设置缓冲部25a、25bJ6aJ6b时，能够在装载ロ 6的附近设置多个缓冲部25a、25bJ6aJ6b。(7)当在装载ロ 6的上部设置充电装置36吋，能够不妨碍高架输送车12相对于缓冲部25a、25bJ6a、26b搬入搬出，而对区间台车22的蓄电池42进行充电。另外，由于是蓄电池驱动，故无需与区间轨道20并列设置供电轨道。此外，无需在所有的处理装置4设置由缓冲部70、71和区间轨道20以及区间台车 22构成的系统。例如，也可以只在物品18的处理量较多的处理装置4上设置。搬送的物品 18的种类可以任意，例如，可以是容纳半导体曝光用的中间掩膜的盒体、平板显示器的基板寸。
1权利要求
1.ー种搬送系统，用于在多个处理装置之间搬送物品，该搬送系统包括高架输送车轨道，其在处理装置的装载ロ的上部通过；以及高架输送车，其沿着所述高架输送车轨道向 ー个方向行驶且具备提升机，该搬送系统的特征在干，包括区间轨道，其在所述高架输送车轨道的下方且沿着所述ー个方向从处理装置的装载ロ 的上游侧到下游侧配置在装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机；第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ 的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及第二缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ 的下游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品。
2.根据权利要求1所述的搬送系统，其特征在干，所述第一缓冲部和所述第二缓冲部构成为能够分别ー个ー个地载置物品。
3.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其特征在干，所述第一缓冲部和所述第二缓冲部被配置在下述的高度在所述第一缓冲部和所述第 ニ缓冲部载置有物品吋，只有未支承物品的区间台车能够在第一缓冲部和第二缓冲部的上方行驶，在所述第一缓冲部和所述第二缓冲部未载置物品吋，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在第一缓冲部和第二缓冲部的上方行驶自如的高度。
4.根据权利要求1所述的搬送系统，其特征在干，所述第一缓冲部和所述第二缓冲部分别为具有上层和下层的两层台阶状的结构，第一缓冲部和第二缓冲部能够在上层和下层分别ー个ー个地载置物品，下层被配置在接近装载 ロ的ー侧，上层被配置在距离装载ロ较远的ー侧，且所述下层和所述上层被配置在下述高度与下层有无物品载置无关，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均自如地通过下层的上方，在上层载置有物品吋，只有未支承物品的区间台车在上层的上方行驶自如， 在上层未载置物品时，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在上层的上方行驶自如的高度。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的搬送系统，其特征在干，所述区间轨道由两条平行的导轨构成，且在两条导轨之间设置有能够供物品沿竖直方向移动的间隙。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的搬送系统，其特征在干，所述搬送系统还具备控制高架输送车和区间台车的単元，以便高架输送车进行向所述第一缓冲部和所述第二缓冲部的物品的搬入、以及来自所述装载ロ的物品的搬出，所述区间台车进行从所述第一缓冲部和所述第二缓冲部向所述装载ロ的物品的搬入。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的搬送系统，其特征在干，由配置在装载ロ的上方的水平的机架来支承所述第一缓冲部和所述第二缓冲部，在所述机架上设置有用于检测装载ロ侧的干渉物的俯视传感器。
8.—种搬送系统，是后安装于已设的高架输送车系统的搬送系统，该搬送系统的特征在干，包括区间轨道，其在所述高架输送车轨道的下方且沿着所述ー个方向从处理装置的装载ロ 的上游侧到下游侧配置在装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机； 第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ 的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及第二缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ 的下游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品。
9.ー种搬送系统，用于在多个处理装置之间搬送物品，该搬送系统包括高架输送车轨道，其在处理装置的装载ロ的上部通过；以及高架输送车，其沿着所述高架输送车轨道向 ー个方向行驶且具备提升机，该搬送系统的特征在于，设置有区间轨道，其被配置在所述高架输送车轨道的下方且在所述装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置；区间台车，其在所述区间轨道上行驶，且具备使物品升降的提升机；以及具有上层和下层的两层台阶状的缓冲部，能够在所述上层和所述下层分别ー个一个地载置物品，下层配置在接近装载ロ的一侧，上层配置在距离装载ロ较远的ー侧，且下层和上层被配置在下述的高度与下层有无物品载置无关，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在下层的上方自如地通过， 在上层载置有物品时，仅未支承物品的区间台车能在上层的上方行驶自如，在上层未载置物品时，支承物品的区间台车和未支承物品的区间台车均在上层的上方行驶自如的高度。
10.ー种搬送方法，是用在处理装置的装载ロ的上部通过的高架输送车轨道、和沿着所述高架输送车轨道向ー个方向行驶且具备提升机的高架输送车向装载ロ搬送物品的方法，该搬送方法的特征在于，设置有区间轨道，其在所述高架输送车轨道的下方且沿着所述ー个方向从处理装置的装载ロ 的上游侧到下游侧配置在装载ロ的上方，并且与高架输送车轨道平行地配置； 区间台车，其在所述区间轨道上行驶，并且具备使物品升降的提升机； 第一缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ 的上游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品；以及第二缓冲部，其在所述区间轨道的下部且沿着所述ー个方向配置在处理装置的装载ロ 的下游侧，并且使高架输送车与区间台车都自如地交接物品， 该搬送方法执行以下步骤高架输送车将物品向第一缓冲部或第二缓冲部卸货的步骤； 区间台车将第一缓冲部或第二缓冲部的物品向装载ロ卸货的步骤；以及高架输送车将装载ロ的物品搬出的步骤。
全文摘要
本发明提供一种搬送系统以及搬送方法，能够不堵塞处理装置的前表面并且减小在俯视观察下搬送系统所占的占地面积，且迅速地向处理装置供给搬出物品。与高架输送车轨道平行且在高架输送车轨道的下方，设置从处理装置的装载口的上游侧到下游侧且配置于装载口的上方的区间轨道，供具备提升机的区间台车行驶。在区间轨道的下部设置有配置在处理装置的装载口的上游侧的第一缓冲部、和配置在下游侧的第二缓冲部，从而使高架输送车和区间台车都自如地交接物品。
文档编号H01L21/677GK102530553SQ20111033893
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月28日 优先权日2010年11月4日
发明者伊藤靖久, 太田达司, 福岛正纯 申请人:村田自动化机械有限公司