冷水脱胶机构的制作方法

文档序号:7174837阅读:264来源:国知局
专利名称:冷水脱胶机构的制作方法
技术领域
本实用新型属于一种单晶硅片制作工艺中的脱胶装置,涉及一种冷水脱胶机构。
背景技术
在将单晶硅方锭送入切割机切割成单晶硅片之前,需要将方锭粘贴在晶托上,然后将晶托倒挂送入切割机。当切割机把方锭切割成单晶硅片后的下一道工序,是要去除方锭与晶托之间的粘胶,使单晶硅片与晶托脱离,晶托可循环使用。要使粘胶与单晶硅片脱离,可以采用热水或冷水浸泡,利用热胀冷缩的原理,实现粘胶与单晶硅片的自动脱离。但现有技术的缺点是采用热水或冷水浸泡的工序都比较繁琐,成本过高,且需要较大面积的水池,占用生产场地过多。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构简单,成本低,操作简便的冷水脱胶机构,能够简化粘胶与单晶硅片的脱离工序。为达到上述目的,本实用新型提供一种冷水脱胶机构,其关键在于由至少二台结构一致的冷水喷淋器组成,每台所述冷水喷淋器设置有左站架和右站架,所述左站架上固定有左水管,所述右站架上固定有右水管,所述左水管和右水管相互平行,且所述左水管上开有一列朝右的喷水孔,所述右水管上开有一列朝左的喷水孔。只需将粘胶与单晶硅片放置在左水管和右水管的喷水孔下,左水管和右水管向粘胶与单晶硅片喷淋冷水,进行快速的冷却降温,就可以实现粘胶与单晶硅片的脱落。所述左水管和右水管连接在同一支水管上,该支水管上安装有开关;通过开关可以调节水的出水量和喷射角度。所述各冷水喷淋器中的支水管连接在同一总水管中。所述各冷水喷淋器中的左站架和右站架安装在同一平台上;可根据晶托和单晶硅片的尺寸,在左站架和右站架之间的平台上放置相应尺寸的单晶硅片托盘。所述平台下方设置有引流槽,所述引流槽中的水经水泵引入水槽,所述总水管中与该水槽相通。冷水经水泵抽回,可以直接回收,再次利用,降低了成本。本实用新型的显著效果是提供了一种结构简单,成本低,操作简便的冷水脱胶机构,简化了粘胶与单晶硅片的脱离工序。

图1是冷水喷淋器的结构示意3[0017]图2是本实用新型出胶口的结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。如图1、2所示,一种冷水脱胶机构,由至少二台结构一致的冷水喷淋器组成,每台所述冷水喷淋器设置有左站架1和右站架2,所述左站架1上固定有左水管3,所述右站架 2上固定有右水管4,所述左水管3和右水管4相互平行,且所述左水管3上开有一列朝右的喷水孔,所述右水管4上开有一列朝左的喷水孔。所述左水管3和右水管4连接在同一支水管5上,该支水管5上安装有开关6 ;所述各冷水喷淋器中的支水管5连接在同一总水管中7。所述各冷水喷淋器中的左站架1和右站架2安装在同一平台上;所述平台下方设置有引流槽8,所述引流槽8中的水经水泵9引入水槽10,所述总水管中7与该水槽10相通。
权利要求1.一种冷水脱胶机构,其特征在于由至少二台结构一致的冷水喷淋器组成,每台所述冷水喷淋器设置有左站架(1)和右站架O),所述左站架(1)上固定有左水管(3),所述右站架( 上固定有右水管G),所述左水管C3)和右水管(4)相互平行,且所述左水管(3) 上开有一列朝右的喷水孔,所述右水管(4)上开有一列朝左的喷水孔。
2.根据权利要求1所述的冷水脱胶机构,其特征在于所述左水管(3)和右水管(4)连接在同一支水管(5)上,该支水管(5)上安装有开关(6);所述各冷水喷淋器中的支水管( 连接在同一总水管中(7)。
3.根据权利要求2所述的冷水脱胶机构,其特征在于所述各冷水喷淋器中的左站架 (1)和右站架(2)安装在同一平台上;所述平台下方设置有引流槽(8),所述引流槽⑶中的水经水泵(9)引入水槽(10),所述总水管中(7)与该水槽(10)相通。
专利摘要一种冷水脱胶机构,其特征在于由至少二台结构一致的冷水喷淋器组成,每台所述冷水喷淋器设置有左站架和右站架,所述左站架上固定有左水管,所述右站架上固定有右水管,所述左水管和右水管相互平行,且所述左水管上开有一列朝右的喷水孔,所述右水管上开有一列朝左的喷水孔。本实用新型的显著效果是结构简单,成本低,操作简便,简化了粘胶与单晶硅片的脱离工序。
文档编号H01L21/00GK201985078SQ201120070318
公开日2011年9月21日 申请日期2011年3月17日 优先权日2011年3月17日
发明者张保林 申请人:重庆兰花太阳能电力股份有限公司
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