专利名称：提高扩散均匀性的匀流板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池的制作工具，尤其是一种提高扩散均匀性的匀流板。
背景技术：
近年来，投资者对于太阳能行业的兴趣与日俱增。太阳能作为一种新型可再生能源，同化石燃料相比，其分布发广泛，可自由利用，取之不尽，用之不竭；而且太阳能发电绝对干净，不产生公害。所以太阳能发电被誉为最理想的能源，是人类最终可以依赖的能源。太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件，其基本原理是利用PN结的光生伏特效应将光能转化成电能。在太阳能电池中晶体硅太阳能电池占有绝大部分的份额。目前，在晶体硅太阳能电池的生产过程中，用于制作PN结的扩散制结工序是关键工序之一。太阳能电池在不断追求高效率的同时，扩散也不断追求高方阻，而方块电阻均匀性是扩散高方阻追求的首要目标，方阻均匀性的好坏会严重影响太阳能电池的效率。
发明内容本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而设计的一种提高扩散均匀性的匀流板，从而提高方块电阻的均匀性。本实用新型所设计的提高扩散均匀性的匀流板，匀流板上分布着排列规则的匀流气孔，所述匀流板为石英板，所述匀流气孔为多层圆环状分布；所述匀流板的形状呈下部带缺口的椭圆形。作为优选，所述匀流气孔分布中心点在椭圆形匀流板的上短半轴上，其中心点与椭圆形中心点的间距为5mm 30mm。在生产时最优化的取值是所述椭圆长半轴长是石英管半径的86% 95% ;椭圆短半轴是石英管半径的92% 96%。本实用新型所得的提高扩散均匀性的匀流板，与现有技术相比具有的优点是I、面积比现有匀流板的面积要大。在进行磷扩散时使得更多的掺杂源气流通过匀流板，使气体的均匀性得到提高，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高扩散管不均度。2、把匀流气孔分布中心点放在椭圆形匀流板的上短半轴上，达到气氛在单片硅片上的均匀分布，从而提高扩散单片不均匀度。3、结构简单，便于制备，且具有良好的实用性，适于推广应用。
图I是实施例I结构示意图；图中匀流板I、匀流气孔2。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。实施例I :如图I所示，本实施例所描述的提高扩散均匀性的匀流板，匀流板I上分布着排列规则的匀流气孔2，所述匀流板I为石英板，所述匀流气孔2为多层圆环状分布；所述匀流板I的形状呈下部带缺口的椭圆形。所述匀流气孔2分布中心点在椭圆形匀流板I的上短半轴上，其中心点与椭圆形中心点的间距为5mm 30mm。所述椭圆长半轴长是石英管半径的86% 95% ;椭圆短半轴是石英管半径的92% 96%。本实用新型所得的提高扩散均匀性的匀流板1，与现有技术相比具有的优点是I、面积比现有匀流板I的面积要大。在进行磷扩散时使得更多的掺杂源气流通过匀流板I，使气体的均匀性得到提高，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高扩散管不均度。2、匀流气孔2分布中心点在椭圆形匀流板I的上短半轴上，主要是磷扩散后硅片下边角的方阻比上边角的方阻小，说明石英管下半部分的掺杂源气氛场的浓度比上半部分的浓度要高，为改善这一现象，把匀流气孔2分布中心点放在椭圆形匀流板I的上短半轴上，达到气氛在单片硅片上的均匀分布，从而提高扩散单片不均匀度。 3、结构简单，便于制备，且具有良好的实用性，适于推广应用。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型的构思作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
权利要求1.一种提高扩散均匀性的匀流板，匀流板上分布着排列规则的匀流气孔，其特征是: 所述匀流板为石英板，所述匀流气孔为多层圆环状分布；所述匀流板的形状呈下部带缺口的椭圆形。
2.根据权利要求I所述的提高扩散均匀性的匀流板，其特征是所述匀流气孔分布中心点在椭圆形匀流板的上短半轴上，其中心点与椭圆形中心点的间距为5mm 30mm。
专利摘要本实用新型公开的提高扩散均匀性的匀流板上分布着排列规则的匀流气孔，所述匀流板为石英板，所述匀流气孔为多层圆环状分布；所述匀流板的形状呈下部带缺口的椭圆形。匀流气孔分布中心点在椭圆形匀流板的上短半轴上，其中心点与椭圆形中心点的间距为5mm～30mm。本实用新型的优点是1、面积比现有匀流板的面积要大。在进行磷扩散时使得更多的掺杂源气流通过匀流板，使气体的均匀性得到提高，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高扩散管不均度。2、把匀流气孔分布中心点放在椭圆形匀流板的上短半轴上，达到气氛在单片硅片上的均匀分布，从而提高扩散单片不均匀度。3、结构简单，便于制备，且具有良好的实用性，适于推广应用。
文档编号H01L31/18GK202352714SQ20112046522
公开日2012年7月25日 申请日期2011年11月21日 优先权日2011年11月21日
发明者崔鹏超, 李华, 李文, 钱应五 申请人:浙江正国太阳能科技有限公司