数字x射线平板探测器的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种数字X射线平板探测器，包括闪烁屏和与所述闪烁屏紧贴的非晶硅传感器阵列，所述闪烁屏包括：基板、附着在所述基板上表面的反射层、沉积在所述反射层上的闪烁层、压合在所述闪烁层上的防水薄膜层，所述闪烁层为针状结构的碘化铯晶体陈列，其厚度为800-1000μm，所述非晶硅传感器陈列位于所述基板的下表面。通过上述方式，本发明数字X射线平板探测器采用具有高分辨率的碘化铯闪烁屏，具有成像性能好的特点。
【专利说明】数字X射线平板探测器
【技术领域】
[0001]本发明涉及X射线成像【技术领域】，特别是涉及一种数字X射线平板探测器。
【背景技术】
[0002]数字X射线平板探测器的成像性能主要取决于闪烁屏的图像分辨率高低，现在闪烁屏中的闪烁体一般使用碘化铯晶体，但是碘化铯材料为吸湿性材料，当其吸收空气中的水分而潮解时，会影响闪烁体的特性，特别是图像分辨率大大降低，因此，有效封装闪烁体，防止闪烁体受潮，改善闪烁屏的图像分辨率，从而能提高数字X射线平板探测器的成像性倉泛。
【发明内容】
[0003]本发明主要解决的技术问题是提供一种数字X射线平板探测器，采用具有高分辨率的碘化铯闪烁屏，具有成像性能好的特点。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是:提供一种数字X射线平板探测器，包括:闪烁屏和与所述闪烁屏紧贴的非晶硅传感器阵列，所述闪烁屏包括:基板、附着在所述基板上表面的反射层、沉积在所述反射层上的闪烁层、压合在所述闪烁层上的防水薄膜层，所述闪烁层为针状结构的碘化铯晶体陈列，其厚度为800-1000 μ m，所述非晶硅传感器陈列位于所述基板的下表面。
[0005]在本发明一个较佳实施例中，所述基板为玻璃或玻璃纤维板。
[0006]在本发明一个较佳实施例中，所述反射层为金属薄膜。
[0007]在本发明一个较佳实施例中，所述金属薄膜为铝膜或者银膜。
[0008]本发明的有益效果是:本发明数字X射线平板探测器，X射线通过碘化铯闪烁屏把变换成可见光；可见光通过非晶硅传感器陈列变换成信号电荷取得图像；由于该碘化铯闪烁屏具有图像高分辨率的特性，故使用该闪烁屏的数字X射线平板探测器具有成像性能好的特点。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本发明X射线平板探测器一较佳实施例的结构示意图；
附图中各部件的标记如下:1、闪烁屏，2、非晶硅传感器陈列，10、基板，11、反射层，12、闪烁层，13、防水薄膜层。
【具体实施方式】
[0010]下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0011 ] 请参阅图1,本发明实施例包括:
一种数字X射线平板探测器，包括:闪烁屏I和与所述闪烁屏I紧贴的非晶硅传感器阵列2，所述闪烁屏I包括:基板10、附着在所述基板10上表面的反射层11、沉积在所述反射层11上的闪烁层12、压合在所述闪烁层12上的防水薄膜层13 ;所述非晶硅传感器陈列2位于所述基板10的下表面，用于把可见光变换成信号电荷取得图形。
[0012]其中，所述所述基板10为玻璃或玻璃纤维板，表面光滑，对X射线吸收率低于5% ；所述反射层11为金属薄膜，所述金属薄膜优选为铝膜或者银膜，其对可见光的反射率大于90%，可以提高图像分辨率；所述闪烁层12为针状结构的碘化铯晶体陈列，用于把X射线变换成可见光，其厚度为800-1000 μ m,吸收高能X射线的效率高，可以提高图像分辨率；所述闪烁层12上还压合有防水薄膜层13，可以防止闪烁层12中的碘化铯晶体吸收空气中的水汽，从而有效提高闪烁层12的性能及延长其使用寿命。
[0013]本发明揭示了一种数字X射线平板探测器，X射线通过碘化铯闪烁屏把变换成可见光；可见光通过非晶硅传感器陈列变换成信号电荷取得图像；由于该碘化铯闪烁屏具有图像高分辨率的特性，故使用该闪烁屏的数字X射线平板探测器具有成像性能好的特点
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的【技术领域】，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
【权利要求】
1.一种数字X射线平板探测器，其特征在于，包括:闪烁屏和与所述闪烁屏紧贴的非晶硅传感器阵列，所述闪烁屏包括:基板、附着在所述基板上表面的反射层、沉积在所述反射层上的闪烁层、压合在所述闪烁层上的防水薄膜层，所述闪烁层为针状结构的碘化铯晶体陈列，其厚度为800-1000 μ m，所述非晶硅传感器陈列位于所述基板的下表面。
2.根据权利要求1所述的数字X射线平板探测器，其特征在于，所述基板为玻璃或玻璃纤维板。
3.根据权利要求1所述的数字X射线平板探测器，其特征在于，所述反射层为金属薄膜。
4.根据权利要求3所述的数字X射线平板探测器，其特征在于，所述金属薄膜为铝膜或者银膜。
【文档编号】H01L27/146GK103745982SQ201310657594
【公开日】2014年4月23日 申请日期:2013年12月9日 优先权日:2013年12月9日
【发明者】范波 申请人:江苏龙信电子科技有限公司